JP5649494B2 - 半導体基板、その製造方法、および電子装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態について説明する。
図1に示すような半導体基板100の製造方法を説明する。図3および図4は、半導体基板100の製造方法を示す断面図である。
図5は、比較例の電子装置が有する半導体基板200を示す断面図である。比較例においては、埋め込み膜208を1種類とし、固定成分の密度はカーボンナノチューブ7を安定化させられる程度とする。1種類の埋め込み膜14を用いる場合、カーボンナノチューブ7のビア孔11側の端部を基板1に固定しつつカーボンナノチューブ7を安定化するために、カーボンナノチューブ7の間をこの1種類の埋め込み膜208で満たす必要がある。
図7は第2の実施形態に係る電子装置が有する半導体基板300を示す断面図である。 第2の実施形態においては、第1の埋め込み膜10と第2の埋め込み膜8が接して形成されていることが第1の実施形態と異なる点である。
上述のような半導体基板をトランジスタやキャパシタなどの接続配線として用い、電子装置を形成することができる。
2: 下部電極
3: 層間絶縁膜
4: バリアメタル層
5: 第1の触媒層
6: 第2の触媒層
7: カーボンナノチューブ
8: 第2の埋め込み膜
9: 上部電極
10:第1の埋め込み膜
11:ビア孔
12:電流
13:空間
14:第2の基板
208:埋め込み膜
100:第1の実施形態の半導体基板
200:比較例の半導体基板
300:第2の実施形態の半導体基板
Claims (7)
- 基板上に設けられた層間絶縁膜が有するビア孔の底部であって前記基板上に設けられた、下部電極上に触媒層を形成し、
前記触媒層上に前記層間絶縁膜から突出するように複数のカーボンナノチューブを形成し、
前記カーボンナノチューブの間に液体の第1の材料を浸透させることにより前記カーボンナノチューブの前記触媒層側の端部および前記触媒層を覆う第1の埋め込み膜を硬化させて形成し、
前記カーボンナノチューブの間に前記第1の材料よりも密度が高い液体の第2の材料を浸透させることにより、前記第1の埋め込み膜上の前記カーボンナノチューブの間を満たす第2の埋め込み膜を、前記第1の埋め込み膜と同時又はその後に硬化させて形成し、
前記カーボンナノチューブの他端部、および前記第2の埋め込み膜の一部を除去し、
前記カーボンナノチューブの上に前記下部電極と対向するように上部電極を設ける、半導体基板の製造方法。 - 前記カーボンナノチューブの間に第1の材料を浸透させた後、前記第1の材料を加熱することにより前記第1の埋め込み膜を硬化させて形成する請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記カーボンナノチューブの間に第2の材料を浸透させた後、前記第2の材料を加熱することにより前記第2の埋め込み膜を硬化させて形成する請求項2に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記カーボンナノチューブの間に第1の材料を浸透させた後、前記第1の材料に紫外線を照射することにより前記第1の埋め込み膜を硬化させて形成する請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記カーボンナノチューブの間に第2の材料を浸透させた後、前記第2の材料に紫外線を照射することにより前記第2の埋め込み膜を硬化させて形成する請求項4に記載の半導体基板の製造方法。
- 基板上に設けられた層間絶縁膜が有するビア孔の底部であって前記基板上に設けられた、下部電極上に触媒層を形成し、
前記触媒層上に前記層間絶縁膜から突出するように複数のカーボンナノチューブを形成し、
前記カーボンナノチューブの間に液体の第1の材料を浸透させることにより、前記カーボンナノチューブの前記触媒層側の端部および前記触媒層を覆う第1の埋め込み膜を硬化させて形成し、
前記カーボンナノチューブの間に前記第1の材料よりも密度が高い液体の第2の材料を浸透させることにより、前記第1の埋め込み膜上の前記カーボンナノチューブの間を満たす第2の埋め込み膜を、前記第1の埋め込み膜と同時又はその後に硬化させて形成し、
前記カーボンナノチューブの他端部、および前記第2の埋め込み膜の一部を除去し、
前記カーボンナノチューブの上に前記下部電極と対向するように上部電極を設けることによって製造された半導体基板。 - 基板上に設けられた層間絶縁膜が有するビア孔の底部であって前記基板上に設けられた、下部電極上に触媒層を形成し、
前記触媒層上に前記層間絶縁膜から突出するように複数のカーボンナノチューブを形成し、
前記カーボンナノチューブの間に液体の第1の材料を浸透させることにより、前記カーボンナノチューブの前記触媒層側の端部および前記触媒層を覆う第1の埋め込み膜を硬化させて形成し、
前記カーボンナノチューブの間に前記第1の材料よりも密度が高い液体の第2の材料を浸透させることにより、前記第1の埋め込み膜上の前記カーボンナノチューブの間を満たす第2の埋め込み膜を、前記第1の埋め込み膜と同時又はその後に硬化させて形成し、
前記カーボンナノチューブの他端部、および前記第2の埋め込み膜の一部を除去し、
前記カーボンナノチューブの上に前記下部電極と対向するように上部電極を設けることによって製造された半導体基板を有する電子装置。
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