JP5602553B2 - Surface treatment equipment - Google Patents

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Description

本発明は、表面処理槽と前処理槽とを有する表面処理装置に関する。   The present invention relates to a surface treatment apparatus having a surface treatment tank and a pretreatment tank.

表面処理装置例えばワーク表面をメッキ処理する電解メッキ処理装置として、メッキ槽内にて回路基板等のワークを連続搬送する連続メッキ処理装置が知られている。ワークは、給電レール（ガイドレール）に沿って搬送される搬送治具に垂下して保持され、給電レールから搬送治具を介して給電されながらめっき槽内を連続搬送される。メッキ槽には、陰極となるワーク搬送経路の両側に陽極が配置され、陰極−陽極間に電界を形成してメッキ液を電気分解してワーク表面をメッキする。   2. Description of the Related Art As a surface treatment apparatus, for example, an electroplating treatment apparatus for plating a work surface, a continuous plating treatment apparatus that continuously conveys a work such as a circuit board in a plating tank is known. The workpiece is suspended and held by a conveyance jig conveyed along the power supply rail (guide rail), and is continuously conveyed in the plating tank while being fed from the power supply rail via the conveyance jig. In the plating tank, anodes are arranged on both sides of the work conveyance path serving as a cathode, and an electric field is formed between the cathode and the anode to electrolyze the plating solution to plate the work surface.

ここで、メッキ槽の上方に給電レールを配置した構造（特許文献１）や、メッキ槽の上方から外れた位置にて、メッキ槽の長手方向と平行に給電レールを延設した構造が知られている（特許文献２）。後者の構造では、給電レール上を搬送治具が摺動する時に発生する粉塵が、メッキ槽内に落下混入することを防止できる点で優れている。   Here, a structure in which a power supply rail is arranged above the plating tank (Patent Document 1) and a structure in which the power supply rail is extended in parallel with the longitudinal direction of the plating tank at a position deviated from above the plating tank are known. (Patent Document 2). The latter structure is excellent in that dust generated when the conveying jig slides on the power supply rail can be prevented from falling into the plating tank.

ワークは、電子機器や半導体装置に用いられる基板等であり、貫通孔であるスルーホールや、非貫通孔であるビアホール等の孔部が形成されることがある。表面処理装置は、これらの孔部の内側も表面処理例えばメッキ処理する必要がある。スルーホールは基板の表裏面を導通させる貫通孔であり、ビアホールは内部配線を表層に導通させるための非貫通孔であり、孔部の内側をメッキ配線する必要があるからである。   The workpiece is a substrate or the like used in an electronic device or a semiconductor device, and a hole such as a through hole that is a through hole or a via hole that is a non-through hole may be formed. The surface treatment apparatus needs to perform surface treatment, for example, plating treatment on the inside of these holes. This is because the through hole is a through hole for conducting the front and back surfaces of the substrate, and the via hole is a non-through hole for conducting the internal wiring to the surface layer, and the inside of the hole portion needs to be plated.

これらの孔部に気泡が存在すると、その気泡によって孔部の内側が表面処理されない問題が指摘されている（特許文献３〜５）。   When bubbles exist in these holes, problems have been pointed out that the inside of the holes is not surface-treated by the bubbles (Patent Documents 3 to 5).

特許第３０２５２５４号公報Japanese Patent No. 3025254 特許第３５９１７２１号公報Japanese Patent No. 3591721 特開平１１−３５０１８７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-350187 特開２００４−１１１８９３号公報JP 2004-111893 A 特開２００８−３０８７０８号公報JP 2008-308708 A

特許文献３では、二流体スプレーノズル、あるいは超音波を用いて発生させた霧化した液体をワークの表面に当てて微細孔内部を濡らし、その後にメッキ処理している。特許文献４では、アニオン系界面活性剤を添加することによって表面張力を３００〜６００μＮ／ｃｍとした水溶液中にワークを浸漬しながら超音波を印加することにより、ワークの非貫通孔内の気泡を除去している。特許文献５では、ワークに対する表面張力がメッキ処理液よりも小さい前処理溶液にワークを浸漬して、前処理溶液は微細孔の内面との接触角が小さいため、微細孔の内面と気泡との間に前処理溶液が進入して、微細孔の内側に充満している気泡を微細孔の内面から離脱している。   In Patent Document 3, an atomized liquid generated by using a two-fluid spray nozzle or ultrasonic waves is applied to the surface of a work to wet the inside of the fine hole, and then plating is performed. In Patent Document 4, by adding ultrasonic waves while immersing a workpiece in an aqueous solution having a surface tension of 300 to 600 μN / cm by adding an anionic surfactant, bubbles in non-through holes of the workpiece are removed. It has been removed. In Patent Document 5, since the work is immersed in a pretreatment solution having a surface tension with respect to the work smaller than that of the plating treatment liquid, and the pretreatment solution has a small contact angle with the inner surface of the micropore, In the meantime, the pretreatment solution enters, and the bubbles filling the inside of the micropores are separated from the inner surface of the micropores.

しかし、スルーホールやビアホール等の孔部の径はさらに微細化する等、ワークの濡れ性を高めるだけでは、孔部の内側に入りこんだ気泡の除去がより困難な状況にある。   However, it is more difficult to remove bubbles that have entered the inside of the hole by simply increasing the wettability of the workpiece, such as by further miniaturizing the diameter of the hole such as a through hole or a via hole.

本発明の幾つかの態様では、ワークに付着した気泡を物理的に除去して、表面処理能力を向上することができる。   In some aspects of the present invention, bubbles attached to the workpiece can be physically removed to improve surface treatment capability.

本発明の一態様は、
ガイドレールと、
前記ガイドレールに案内され、前記ガイドレールに沿った搬送方向に沿って搬送される、ワークを保持した搬送治具と、
前記搬送治具に保持された前記ワークを表面処理する表面処理槽と、
前記表面処理槽よりも前記搬送方向の上流側に配置され、前記搬送治具に保持された前記ワークを処理液中に浸漬して処理する前処理槽と、
前記前処理槽にて前記処理液に浸漬される前記ワークを保持した前記搬送治具に振動を付与して、前記処理液中にて前記ワークを振動させる振動付与部と、
を有することを特徴とする。 One embodiment of the present invention provides:
A guide rail,
A transport jig that holds the workpiece guided by the guide rail and transported along a transport direction along the guide rail;
A surface treatment tank for surface-treating the workpiece held by the conveyance jig;
A pretreatment tank that is disposed upstream of the surface treatment tank in the conveyance direction and immerses the workpiece held in the conveyance jig in a treatment liquid; and
Applying vibration to the transfer jig holding the work immersed in the treatment liquid in the pretreatment tank, and a vibration applying unit for vibrating the work in the treatment liquid;
It is characterized by having.

本発明の一態様によれば、前処理槽にて処理液に浸漬されるワークを保持した搬送治具に振動を付与している。それにより、処理液中にてワークが振動する。その結果、ワークに付着していた気泡をワークから除去することができる。ワークに付着した気泡とは、ワーク表面に付着した気泡を含む。よって、本発明は必ずしも孔付きのワークに限らない。ワークの表面に気泡が付着すると、その部分の表面処理能力が劣るからである。この他、ワークに貫通または非貫通の孔部が形成されている場合には、その孔部に滞留している気泡も、ワークの振動により孔部から排出される。また、孔部から除去された気泡がワーク表面に再付着しても、その気泡をワークの振動によりワーク表面から除去することができる。こうして、前処理にてワークから気泡を除去できるので、その後の表面処理工程では、孔部の内面も表面処理することができる。   According to one aspect of the present invention, vibration is applied to the conveying jig that holds the workpiece immersed in the treatment liquid in the pretreatment tank. Thereby, the workpiece vibrates in the processing liquid. As a result, the bubbles adhering to the workpiece can be removed from the workpiece. The bubbles attached to the workpiece include bubbles attached to the workpiece surface. Therefore, the present invention is not necessarily limited to a work with holes. This is because if air bubbles adhere to the surface of the workpiece, the surface treatment capability of that portion is inferior. In addition, when a penetrating or non-penetrating hole is formed in the work, bubbles remaining in the hole are also discharged from the hole by the vibration of the work. In addition, even if the bubbles removed from the hole are reattached to the workpiece surface, the bubbles can be removed from the workpiece surface by the vibration of the workpiece. In this way, air bubbles can be removed from the workpiece by the pretreatment, so that the inner surface of the hole can also be surface treated in the subsequent surface treatment process.

ここで、搬送治具に保持されて処理液中を搬送中のワークに振動を付与しても良いが、処理液中にて停止中のワークであると、搬送治具への振動付与がし易い点で好ましい。ワークが処理液中で振動されると、ワークの表面や孔部の壁部の規制から解除される気泡は、浮力が作用して上昇するので、気泡をワークから物理的に排出させることができる。なお、振動付与部は、前処理槽のほか、後処理槽にも設置することができる。   Here, vibration may be applied to the workpiece being held in the processing liquid and being transferred in the processing liquid, but if the work is stopped in the processing liquid, vibration is applied to the conveying jig. It is preferable in terms of easy. When the workpiece is vibrated in the processing liquid, the bubbles released from the regulation of the surface of the workpiece and the wall of the hole are lifted by buoyancy, so that the bubbles can be physically discharged from the workpiece. . In addition, a vibration provision part can be installed also in a post-processing tank other than a pre-processing tank.

本発明の一態様では、前記搬送治具は、前記ガイドレールに案内される被案内部と、前記ワークを垂下状態にて保持する保持部と、前記被案内部と前記保持部とを連結する連結部と、を有し、前記振動付与部は、前記搬送治具の前記連結部に振動を付与することができる。   In one aspect of the present invention, the conveying jig connects the guided portion guided by the guide rail, the holding portion that holds the workpiece in a suspended state, and the guided portion and the holding portion. And the vibration applying unit can apply vibration to the connecting unit of the conveying jig.

被案内部は、ガイドレールに係合しているために振動が減衰されやすい。保持部は、ワークの保持状態が振動により悪影響を受けやすい。その点、連結部であれば連結機能が保持される限り弊害はない。   Since the guided portion is engaged with the guide rail, the vibration is easily attenuated. In the holding unit, the holding state of the work is easily affected by vibration. In that respect, if it is a connecting portion, there is no harmful effect as long as the connecting function is maintained.

本発明の一態様では、前記ガイドレールは、前記表面処理槽及び前記前処理槽の上方から外れた位置にて、前記前処理槽から前記表面処理槽に向う方向と平行に延設され、前記搬送治具の前記連結部は、前記被案内部側の基端部から自由端部に向けて水平方向に延びる水平部と、前記水平部の前記自由端部から前記保持部に向けて垂下する垂下部と、
を含み、前記振動付与部は、前記垂下部に振動を付与することができる。 In one aspect of the present invention, the guide rail extends in parallel with a direction from the pretreatment tank toward the surface treatment tank at a position deviated from above the surface treatment tank and the pretreatment tank, The connecting portion of the conveying jig hangs down from the base end portion on the guided portion side toward the free end portion in the horizontal direction, and hangs down from the free end portion of the horizontal portion toward the holding portion. Hanging part,
The vibration applying unit can apply vibration to the drooping portion.

振動が付与される垂下部は、ガイドレールに支持される被案内部の基端部から延びる水平部の自由端部に連結されている。このため、片持ち梁の自由端を振動させる要領により、処理液中にてワークを効果的に振動させることができる。   The hanging portion to which vibration is applied is connected to the free end portion of the horizontal portion extending from the base end portion of the guided portion supported by the guide rail. For this reason, the workpiece | work can be vibrated effectively in a process liquid by the way to vibrate the free end of a cantilever.

本発明の一態様では、前記振動付与部は、前記搬送治具を打撃する打撃部を含むことができる。振動付与には種々の方法が考えられ得るが、振動付与部の打撃部は、少なくとも１回だけ搬送治具を打撃することで、搬送治具に振動を付与することができる。特に、搬送治具の連結部、その連結部の中でも錘下部を打撃することで、片持ち梁構造の搬送治具を効果的に振動されることができる。この振動はワークに伝達されるので、処理液中にてワークを振動させることができる。   In one aspect of the present invention, the vibration applying unit may include a striking unit that strikes the transport jig. Although various methods can be considered for applying vibration, the striking unit of the vibration applying unit can apply vibration to the conveying jig by hitting the conveying jig at least once. In particular, by striking the lower part of the weight in the connecting part of the conveying jig and the connecting part, the conveying jig of the cantilever structure can be vibrated effectively. Since this vibration is transmitted to the workpiece, the workpiece can be vibrated in the processing liquid.

本発明の一態様では、前記打撃部は、前記ワークの表面と交差する方向に移動して前記搬送治具を打撃することができる。好ましくは、打撃部はワークの表面と直交する方向に移動して搬送治具を打撃することができる。いずれの場合も、ワークの両表面には処理液の圧力が作用するので、処理液が緩衝材となって搬送治具への過度な衝撃を和らげることができる。   In one aspect of the present invention, the hitting part can move in a direction intersecting the surface of the workpiece and hit the conveying jig. Preferably, the striking part can move in a direction perpendicular to the surface of the workpiece and strike the transport jig. In either case, since the pressure of the processing liquid acts on both surfaces of the workpiece, the processing liquid can serve as a buffer material and can alleviate an excessive impact on the conveying jig.

本発明の一態様では、前記振動付与部は、前記打撃部を、支点廻りに回動自在に保持する第１アーム部と、前記第１アーム部を、前記支点廻りで打撃位置と待機位置とに往復回動駆動する駆動部と、を含むことができる。   In one aspect of the present invention, the vibration imparting portion includes a first arm portion that holds the hitting portion so as to be pivotable around a fulcrum, and a striking position and a standby position around the fulcrum. And a driving unit that reciprocally rotates.

このように、打撃部を駆動部により第１アーム部を介して回動させることで、打撃部を打撃位置と待機位置とに往復移動させることができる。打撃部が待機位置にあれば、打撃部は搬送治具の搬送路と干渉しないので、搬送治具を搬送路に沿って搬送できる。搬送治具の搬送が停止された後に打撃部を駆動すれば、搬送治具を打撃することができる。   Thus, the striking part can be reciprocated between the striking position and the standby position by rotating the striking part via the first arm part by the driving part. If the striking part is at the standby position, the striking part does not interfere with the transport path of the transport jig, so that the transport jig can be transported along the transport path. If the striking unit is driven after the transport of the transport jig is stopped, the transport jig can be hit.

本発明の一態様では、前記振動付与部は、前記打撃位置にて前記第１アーム部に当接するストッパー部をさらに含むことができる。   In one aspect of the present invention, the vibration applying unit may further include a stopper unit that contacts the first arm unit at the hitting position.

こうすると、打撃位置にて打撃部を確実に停止させることができる。ストッパー部を設けることで、仮に搬送治具が存在しない場合でも、打撃部を所定の位置にて停止させることができ、安全性が高まる。   If it carries out like this, a striking part can be stopped reliably at a striking position. By providing the stopper portion, even if the conveying jig is not present, the hitting portion can be stopped at a predetermined position, and safety is improved.

本発明の一態様では、前記打撃部は、前記第１アーム部に固定された固定部と、前記固定部に摺動可能に支持され、前記第１アーム部が前記ストッパー部に当接して停止された際の慣性力で前記固定部よりも前方に突出される摺動部と、を含み、前記摺動部が前記搬送治具を打撃してもよい。   In one aspect of the present invention, the striking portion is fixed to the first arm portion and slidably supported by the fixing portion, and the first arm portion comes into contact with the stopper portion and stops. And a sliding part protruding forward from the fixed part by the inertial force at the time, and the sliding part may hit the conveying jig.

このように、摺動部が慣性力で前方移動する途中または移動端に搬送治具が存在すれば、摺動部が搬送治具に衝突して搬送治具を打撃することができる。こうすることで、振動付与力を増大させることができる。   In this way, if the conveyance jig exists in the middle of the sliding portion moving forward by inertia force or at the moving end, the sliding portion can collide with the conveyance jig and hit the conveyance jig. By doing so, the vibration applying force can be increased.

本発明の一態様では、前記振動付与部は、前記駆動部により駆動されて、前記支点廻りに前記第１アーム部と一体移動する第２アーム部をさらに有し、前記打撃部が保持される前記第１アーム部の作用点から前記支点までの第１距離を、前記駆動部からの駆動力が前記第２アーム部に伝達される力点から前記支点までの第２距離よりも長くすることができる。   In one aspect of the present invention, the vibration applying unit further includes a second arm unit that is driven by the driving unit and moves integrally with the first arm unit around the fulcrum, and the striking unit is held. The first distance from the operating point of the first arm part to the fulcrum may be longer than the second distance from the force point to which the driving force from the driving part is transmitted to the second arm part to the fulcrum. it can.

こうすると、駆動部の駆動力で第２アーム部を駆動した時の打撃部の移動速度が速くなり、摺動部に付与される慣性力を増大できる。それにより、摺動部により搬送治具に付与される衝撃力を増大できる。   If it carries out like this, the moving speed of the hit | damage part when driving a 2nd arm part with the drive force of a drive part will become quick, and the inertial force provided to a sliding part can be increased. Thereby, the impact force given to a conveyance jig by a sliding part can be increased.

本発明の実施形態に係る連続メッキ装置の概略平面図である。It is a schematic plan view of the continuous plating apparatus which concerns on embodiment of this invention. メッキ槽への搬送治具を間欠搬送し、メッキ槽内にて搬送治具を連続搬送する動作を説明する図である。It is a figure explaining the operation | movement which conveys intermittently the conveyance jig | tool to a plating tank, and conveys a conveyance jig continuously in a plating tank. 前処理槽の一部にて搬送治具を間欠搬送する動作を説明する図である。It is a figure explaining the operation | movement which conveys a conveyance jig intermittently in a part of pretreatment tank. 前処理槽の他の一部にて搬送治具を間欠搬送する動作を説明する図である。It is a figure explaining the operation | movement which conveys a conveyance jig intermittently in the other part of a pre-processing tank. メッキ槽の概略縦断面図である。It is a schematic longitudinal cross-sectional view of a plating tank. 搬送治具の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a conveyance jig. 前処理槽と振動付与部とを示す側面図である。It is a side view which shows a pretreatment tank and a vibration provision part. 打撃部が待機位置にある振動付与部の平面図である。It is a top view of the vibration provision part which has a striking part in a standby position. 第１アーム部がストッパー部に当接する直前の状態を示す振動付与部の平面図である。It is a top view of the vibration provision part which shows the state just before a 1st arm part contact | abuts to a stopper part. 第１アーム部がストッパー部に当接した直後の打撃状態を示す振動付与部の平面図である。It is a top view of the vibration provision part which shows the striking state immediately after the 1st arm part contact | abutted to the stopper part.

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The present embodiment described below does not unduly limit the contents of the present invention described in the claims, and all the configurations described in the present embodiment are indispensable as means for solving the present invention. Not necessarily.

１．表面処理装置の概要
図１は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の平面図である。連続メッキ処理装置１０は、回路基板等のワーク２０をそれぞれ保持する複数の搬送冶具３０が、図１の例えば右回りの循環搬送方向Ａに沿って循環搬送される循環搬送路１００を有する。なお、図１では一部のワーク２０や一部の搬送治具３０は図示が省略されている。 1. Overview of Surface Treatment Apparatus FIG. 1 is a plan view of a surface treatment apparatus, for example, a continuous plating treatment apparatus. The continuous plating apparatus 10 includes a circulation conveyance path 100 in which a plurality of conveyance jigs 30 respectively holding workpieces 20 such as circuit boards are circulated and conveyed along, for example, a clockwise circulation conveyance direction A in FIG. In FIG. 1, some of the workpieces 20 and some of the conveying jigs 30 are not shown.

循環搬送路１００には、複数の搬送冶具３０の各々に保持されたワーク２０を表面処理例えばメッキ処理するメッキ槽（広義には表面処理槽）２００と、メッキ槽２００よりも循環搬送路１００の上流に設けられて未処理のワーク２０複数の搬送冶具３０に搬入する搬入部２１０と、メッキ槽２００よりも循環搬送路１００の下流に設けられて処理済みのワーク２０を複数の搬送冶具３０から搬出する搬出部２２０とが設けられている。   In the circulation conveyance path 100, a plating tank (surface treatment tank in a broad sense) 200 for surface-treating, for example, plating the workpiece 20 held on each of the plurality of conveyance jigs 30, and the circulation conveyance path 100 more than the plating tank 200. An unprocessed workpiece 20 provided upstream and a carry-in portion 210 for carrying in the plurality of conveyance jigs 30, and a processed workpiece 20 provided downstream of the circulation conveyance path 100 with respect to the plating tank 200 from the plurality of conveyance jigs 30. An unloading unit 220 for unloading is provided.

循環搬送路１００は、第１直線搬送路１１０と、第１直線搬送路１１０と平行な第２直線搬送路１２０と、第１直線搬送路１１０の一端より第２直線搬送路１２０の一端に複数の搬送冶具３０の少なくとも一つを水平転回して受け渡す第１転回装置１３０と、第２直線搬送路１２０の他端より第１直線搬送路１１０の他端に複数の搬送冶具３０の少なくとも一つを水平転回して受け渡す第２転回装置１４０とを有する。   The circulation conveyance path 100 includes a first straight conveyance path 110, a second straight conveyance path 120 parallel to the first straight conveyance path 110, and a plurality of circulation conveyance paths 100 from one end of the first straight conveyance path 110 to one end of the second straight conveyance path 120. The first turning device 130 that horizontally delivers at least one of the conveying jigs 30 and the other end of the first straight conveying path 110 from the other end of the second straight conveying path 120 to at least one of the plurality of conveying jigs 30. And a second turning device 140 for horizontally turning and delivering the two.

本実施形態では、メッキ槽２００は第２直線搬送路１２０に沿って設けられ、搬入部２１０及び搬出部２２０は第１直線搬送路１１０に設けられている。循環搬送路１００には、メッキ槽２００の上流側に配置される前処理槽群２３０と、メッキ槽２００の下流側に配置される後処理槽群２４０とをさらに設けることができる。   In the present embodiment, the plating tank 200 is provided along the second straight conveyance path 120, and the carry-in part 210 and the carry-out part 220 are provided in the first straight conveyance path 110. The circulation conveyance path 100 may further include a pretreatment tank group 230 disposed on the upstream side of the plating tank 200 and a posttreatment tank group 240 disposed on the downstream side of the plating tank 200.

前処理槽群２３０は、搬入部２１０とメッキ槽２００との間に、上流側から順に、例えば脱脂槽２３０Ａ、湯洗槽２３０Ｂ、水洗槽２３０Ｃ、シャワー槽２３０Ｄ及び酸洗槽２３０Ｅを配置することで構成される。後処理槽２４０は、メッキ槽２００と搬出部２２０との間に、上流側から順に、例えばシャワー槽２４０Ａ及び水洗槽２４０Ｂを配置することで構成される。なお、前処理槽群２３０及び後処理槽群２４０の数や種類は適宜変更可能である。また、本実施例装置では、第１転回装置１３０により転回されるワーク２０は、転回中にシャワー槽２３０Ｄで洗浄される。同様に、第２転回装置１４０により転回されるワーク２０は、転回中にシャワー槽２４０Ａで洗浄される。   In the pretreatment tank group 230, for example, a degreasing tank 230 </ b> A, a hot water washing tank 230 </ b> B, a water washing tank 230 </ b> C, a shower tank 230 </ b> D, and a pickling tank 230 </ b> E are sequentially arranged between the carry-in unit 210 and the plating tank 200. Consists of. The post-treatment tank 240 is configured by arranging, for example, a shower tank 240A and a water washing tank 240B in this order from the upstream side between the plating tank 200 and the carry-out unit 220. Note that the number and type of the pretreatment tank group 230 and the posttreatment tank group 240 can be changed as appropriate. Moreover, in the present embodiment apparatus, the work 20 turned by the first turning device 130 is washed in the shower tank 230D during turning. Similarly, the workpiece 20 turned by the second turning device 140 is washed in the shower tank 240A during turning.

前処理槽群２３０及び後処理槽群２４０では、搬送治具３０は間欠搬送される。このために、前処理槽群２３０及び後処理槽群２４０では、搬送治具３０を搬送ガイドする２種類のガイドレールが設けられる。一つは、同一処理槽内で搬送治具３０を間欠搬送させるための固定レール２３２，２３４，２３５，２４２，２４３である。他の一つは、異なる処理槽間で、仕切り壁を越えて搬送治具３０を間欠搬送可能な昇降レール２３１，２３３，２３６，２４１である。   In the pretreatment tank group 230 and the posttreatment tank group 240, the conveyance jig 30 is intermittently conveyed. For this purpose, the pretreatment tank group 230 and the post-treatment tank group 240 are provided with two types of guide rails that convey and guide the conveyance jig 30. One is fixed rails 232, 234, 235, 242, and 243 for intermittently transporting the transport jig 30 in the same processing tank. The other one is elevating rails 231, 233, 236, and 241 that can intermittently convey the conveyance jig 30 across the partition walls between different treatment tanks.

前処理槽群２３０及び後処理槽群２４０のシャワー槽２３０Ｄ，２４０Ａ以外の第１，第２直線搬送路１１０，１２０では、この２種類のガイドレールと、ガイドレールに沿って１または複数の搬送治具３０を単位距離だけ移動させるプッシャーとにより、搬送治具３０が間欠搬送される。なお、間欠搬送動作については図３及び図４を用いて後述する。   In the first and second straight conveyance paths 110 and 120 other than the shower tanks 230D and 240A of the pretreatment tank group 230 and the posttreatment tank group 240, one or a plurality of conveyances are performed along the two types of guide rails and the guide rails. The conveying jig 30 is intermittently conveyed by a pusher that moves the jig 30 by a unit distance. The intermittent conveyance operation will be described later with reference to FIGS.

前処理槽群２３０及び後処理槽群２４０中のシャワー槽２３０Ｄ，２４０Ａでは、第１，第２転回装置１３０，１４０により、搬送治具３０が間欠搬送される。このために、第１転回装置１３０は一体的に転回駆動される２本の転回レール１３１，１３２を有し、第２転回装置１４０は一体的に転回駆動される２本の転回レール１４１，１４２を有する。   In the shower tanks 230D and 240A in the pretreatment tank group 230 and the posttreatment tank group 240, the conveyance jig 30 is intermittently conveyed by the first and second turning devices 130 and 140. For this purpose, the first turning device 130 includes two turning rails 131 and 132 that are integrally driven to rotate, and the second turning device 140 includes two turning rails 141 and 142 that are integrally driven to rotate. Have

例えば第１転回装置１３０では、２本の転回レール１３１，１３２のうち、循環搬送方向の上流側に位置する一方に搬送治具３０を支持し、循環搬送方向の下流側に位置する他方は空状態で、２本の転回レール１３１，１３２を一体で１８０°ずつ間欠的に転回駆動する。第２転回装置１４０も同様である。第１，第２転回装置１３０，１４０にて転回される搬送治具３０に保持されたワーク２０は、シャワー槽２３０Ｄまたはシャワー槽２４０Ａにてシャワー洗浄される。この際、シャワー槽２３０Ｄ，２４０Ａではワーク２０を浸漬させる液を収容する必要がないので、隔壁があったとしても低くてよく、ワーク２０の水平搬送に支障とならない。   For example, in the first turning device 130, the transfer jig 30 is supported on one of the two turning rails 131 and 132 located on the upstream side in the circulation and conveyance direction, and the other located on the downstream side in the circulation and conveyance direction is empty. In this state, the two rolling rails 131 and 132 are integrally and intermittently driven by 180 °. The same applies to the second turning device 140. The work 20 held by the conveying jig 30 that is rotated by the first and second rotating devices 130 and 140 is subjected to shower cleaning in the shower tank 230D or the shower tank 240A. At this time, the shower tanks 230D and 240A do not need to contain a liquid for immersing the workpiece 20, so that even if there is a partition wall, it may be low, and the horizontal conveyance of the workpiece 20 is not hindered.

図１に示すように、第１，第２転回装置１３０，１４０の各々に設けられた２本の転回レール１３１，１３２，１４１，１４２の各々は、停止位置にて、第１，第２の直線搬送路１１０，１２０の両端にそれぞれ配置された４本のガイドレール２３４，２３５，２４２，２４３の対応する各１本と一直線上に配置される。   As shown in FIG. 1, each of the two rolling rails 131, 132, 141, 142 provided in each of the first and second turning devices 130, 140 is in the stop position at the first, second, The four guide rails 234, 235, 242, and 243 respectively disposed at both ends of the straight conveyance paths 110 and 120 are arranged on a straight line with the corresponding ones.

メッキ槽２００には、メッキ槽２００の上方から外れた位置にて、図１の平面図にてメッキ槽２００の長手方向と平行に延設される給電レール（広義にはガイドレール）２０１が設けられている。給電レール２０１に支持される複数の搬送冶具３０は、メッキ槽２００内に配置させてワーク２０をそれぞれ保持する。また、複数の搬送冶具３０を給電レール２０１に沿って連続搬送させる連続搬送手段４００が、給電レール２０１に沿って設けられる。なお、連続搬送動作については図２を用いて後述する。   The plating tank 200 is provided with a power supply rail (guide rail in a broad sense) 201 that extends in parallel with the longitudinal direction of the plating tank 200 in the plan view of FIG. It has been. The plurality of conveying jigs 30 supported by the power supply rails 201 are arranged in the plating tank 200 and hold the workpieces 20 respectively. Further, a continuous conveyance unit 400 that continuously conveys the plurality of conveyance jigs 30 along the power supply rail 201 is provided along the power supply rail 201. The continuous conveyance operation will be described later with reference to FIG.

循環搬送路１００は、第１直線搬送路１１０の搬出部２２０から搬入部２１０に亘って、治具戻し搬送路１５０をさらに有する。治具戻し搬送路１５０は、例えば２本の無端状チェーン１５１，１５２を有する。治具戻し搬送路１５０は、空状態の搬送治具３０を搬出部２２０から搬入部２１０に戻し搬送する機能と、搬入部２１０の上流側で空状態の搬送治具３０を待機させる機能を有する。   The circulation conveyance path 100 further includes a jig return conveyance path 150 extending from the carry-out section 220 to the carry-in section 210 of the first straight conveyance path 110. The jig return conveyance path 150 includes, for example, two endless chains 151 and 152. The jig return conveyance path 150 has a function of returning and conveying the empty conveyance jig 30 from the carry-out unit 220 to the carry-in unit 210 and a function of waiting the empty conveyance jig 30 on the upstream side of the carry-in unit 210. .

２．搬送治具の間欠搬送と連続搬送
図２は、メッキ槽２００内での搬送治具３０の連続搬送動作と、酸洗槽２３０Ｅとメッキ槽２００との間での搬送治具３０の間欠搬送動作とを示している。図２は、昇降レール２３６に支持されていた３個の搬送治具３０のうち、鎖線で示す先頭の搬送治具３０が昇降レール２３６から給電レール２０１上の実線で示す位置に受け渡された直後の状態を示している。 2. FIG. 2 shows a continuous conveyance operation of the conveyance jig 30 in the plating tank 200 and an intermittent conveyance operation of the conveyance jig 30 between the pickling tank 230E and the plating tank 200. It shows. In FIG. 2, among the three transport jigs 30 supported by the lifting rail 236, the leading transport jig 30 indicated by a chain line is transferred from the lift rail 236 to the position indicated by the solid line on the power supply rail 201. The state immediately after is shown.

図２において、昇降レール２３６は昇降モーター２５０の駆動により昇降軸２５２に沿って昇降可能である。この昇降レール２３６は、４個の搬送治具３０を支持できる長さを有し、実際の駆動では２個または３個の搬送治具３０が支持される。よって、少なくとも１個の搬送治具３０を支持するスペースを、空きスペースとして有している。   In FIG. 2, the lifting rail 236 can be lifted and lowered along the lifting shaft 252 by driving the lifting motor 250. The elevating rail 236 has a length that can support the four conveyance jigs 30, and two or three conveyance jigs 30 are supported in actual driving. Therefore, a space for supporting at least one conveyance jig 30 is provided as an empty space.

図２の状態から昇降レール２３６が上昇される前に、シャワー槽２３０Ｄにあった１個の搬送治具３０（図２では図示せず）が昇降レール２３６に支持されるように送り動作される。こうして、３個の搬送治具３０を搭載した昇降レール２３６が上昇される。上昇位置には、上部プッシャー２６０が配置されている。この上部プッシャー２６０は、ロッド２６２に３個の送りコマ２６４を有する。ロッド２６２は、送りモーター２６６により駆動される送りボールねじ２６８によって、前後進可能である。   Before the lifting rail 236 is lifted from the state of FIG. 2, the feeding jig 30 (not shown in FIG. 2) in the shower tub 230 </ b> D is fed so as to be supported by the lifting rail 236. . Thus, the elevating rail 236 carrying the three conveying jigs 30 is raised. An upper pusher 260 is disposed at the raised position. The upper pusher 260 has three feeding pieces 264 on the rod 262. The rod 262 can be moved forward and backward by a feed ball screw 268 driven by a feed motor 266.

一方、昇降レール２３６に指示された３個の搬送治具３０の各々には、第１駆動片３２０が固定されている。昇降レール２３６が上昇すると、上部プッシャー２６０の３個の送りコマ２６４の前方に３個の第１駆動片３２０が配置される。その後ロッド２６２を前進させると、ロッド２６２と共に前進する３個の送りコマ２６４が３個の第１駆動片３２０を押動して、３個の搬送治具３０が単位距離だけ前進される。こうして、先頭の搬送治具３０は、酸洗槽２３０Ｅの上方からメッキ槽２００の上方へと移動される。   On the other hand, a first driving piece 320 is fixed to each of the three conveying jigs 30 instructed by the lifting rail 236. When the elevating rail 236 is raised, the three first drive pieces 320 are disposed in front of the three feed pieces 264 of the upper pusher 260. Thereafter, when the rod 262 is moved forward, the three feed pieces 264 moving forward together with the rod 262 push the three first drive pieces 320, and the three conveying jigs 30 are moved forward by a unit distance. Thus, the leading transport jig 30 is moved from above the pickling tank 230E to above the plating tank 200.

その後、昇降レール２３６が下降される。それにより、先頭の搬送治具３０は、図２にて鎖線で示すようメッキ槽２００内に配置される。このように、異なる処理槽間の隔壁２３７を乗り越えるために、昇降レール２３６と上部プッシャー２６０とを用いて、搬送治具３０は間欠搬送される。   Thereafter, the lifting rail 236 is lowered. Thereby, the leading conveyance jig 30 is arranged in the plating tank 200 as indicated by a chain line in FIG. Thus, in order to get over the partition wall 237 between different treatment tanks, the transport jig 30 is intermittently transported using the lifting rail 236 and the upper pusher 260.

昇降レール２３６上に支持された先頭の搬送治具３０（鎖線で図示）は、下部プッシャー２７０により、昇降レール２３６から給電レール２０１へと受け渡される。下部プッシャー２７０は、ロッド２７２に支持された送りコマ２７４を有する。一方、搬送治具３０は、送りコマ２７４に当接可能な第２駆動片３２１を有し、昇降レール２３６上に支持された先頭の搬送治具３０の第２駆動片３２１は送りコマ２７４の前方に配置される。その後ロッド２７２を前進させると、ロッド２７２と共に前進する送りコマ２７４が第２駆動片３２１を押動して、搬送治具３０が単位距離だけ矢印Ａ方向に前進される。こうして、先頭の搬送治具３０は、酸洗槽２３０Ｅの上方からメッキ槽２００の上方へと移動される。昇降レール２３６から給電レール２０１へと受け渡される。   The leading conveyance jig 30 (illustrated by a chain line) supported on the lifting rail 236 is transferred from the lifting rail 236 to the power supply rail 201 by the lower pusher 270. The lower pusher 270 has a feed piece 274 supported by the rod 272. On the other hand, the transport jig 30 has a second drive piece 321 that can come into contact with the feed piece 274, and the second drive piece 321 of the leading transport jig 30 supported on the elevating rail 236 serves as the feed piece 274. Arranged forward. Thereafter, when the rod 272 is moved forward, the feed piece 274 moving forward together with the rod 272 pushes the second drive piece 321 and the conveying jig 30 is moved forward in the arrow A direction by a unit distance. Thus, the leading transport jig 30 is moved from above the pickling tank 230E to above the plating tank 200. It is transferred from the elevating rail 236 to the power supply rail 201.

この際、ロッド２７２のシーケンシャル制御により、ロッド２７２にて前進された後行の搬送治具３０に支持されたワーク２０は、給電レール２０１上にて低速度で連続搬送中の先行の搬送治具３０に支持されたワーク２０と僅かなギャップＧだけ隔てて配置される。ギャップＧは狭いほどよいが、先行及び後行のワーク２０同士の干渉を防止する必要があり、設計値として１０ｍｍまたはその前後の寸法に設定される。ギャップＧが大きいと、ワーク２０の両端に電解が集中して、いわゆるドッグボーン（犬の骨）と称されるようにワーク２０の両端でのメッキ厚が厚くなり、面内均一性が確保できないからである。   At this time, the workpiece 20 supported by the subsequent conveyance jig 30 advanced by the rod 272 by the sequential control of the rod 272 is performed on the power supply rail 201 at a low speed and continuously. The workpiece 20 supported by 30 is arranged with a slight gap G. The narrower the gap G, the better. However, it is necessary to prevent interference between the preceding and succeeding workpieces 20, and the design value is set to 10 mm or a dimension before and after that. When the gap G is large, electrolysis concentrates on both ends of the work 20, so that the plating thickness at both ends of the work 20 becomes thick as so-called dog bone (dog bone), and in-plane uniformity cannot be ensured. Because.

次に、図３及び図４を参照して、前処理槽群２３０で搬送治具３０を間欠搬送する動作について説明する。図３及び図４でも、図２での間欠搬送動作と同様に、同一槽内のみでの間欠搬送動作は下部プッシャー２８０，２８４，２８６と固定レール２３２，２３４，２３５を用いて実施され、異なる槽間で隔壁２３７を超える間欠搬送動作を含む場合には、上部プッシャー２８２と昇降レール２３３を用いて間欠搬送動作が実施される。なお、図４は水洗槽２３０Ｃから酸洗槽２３０Ｅまでを展開した図として示しているが、シャワー槽２３０Ｄ内での間欠搬送は、固定レールに代えて、水平に転回される転回レール１３１または転回１３２が用いられ、転回レール１３１（１３２）とその前後の固定レール２３４，２３５との間の間欠搬送は、下部プッシャー２８４，２８６により実施される。また、後処理槽群２４０での間欠搬送動作については説明を省略するが、上記と同様にして、転回レール１４１，１４２、固定レール２４２，２４３と図示しない下部プッシャーを用いて実施される。   Next, with reference to FIG.3 and FIG.4, the operation | movement which conveys the conveyance jig | tool 30 intermittently in the pretreatment tank group 230 is demonstrated. 3 and 4, similarly to the intermittent transfer operation in FIG. 2, the intermittent transfer operation only in the same tank is performed using the lower pushers 280, 284, 286 and the fixed rails 232, 234, 235 and is different. In the case where the intermittent conveyance operation exceeding the partition wall 237 is included between the tanks, the intermittent conveyance operation is performed using the upper pusher 282 and the lifting rail 233. Although FIG. 4 shows a developed view from the washing tank 230C to the pickling tank 230E, the intermittent conveyance in the shower tank 230D is performed in place of the fixed rail instead of the stationary rail 131 or the rotating rail. 132 is used, and intermittent conveyance between the rolling rail 131 (132) and the fixed rails 234 and 235 before and after the rolling rail 131 (132) is performed by the lower pushers 284 and 286. Although the description of the intermittent transfer operation in the post-processing tank group 240 is omitted, it is performed in the same manner as described above using the rotating rails 141 and 142, the fixed rails 242 and 243, and a lower pusher (not shown).

３．メッキ槽
図５は、メッキ槽２００の概略断面図である。メッキ槽２００は、上部が開口した枠体２０２を有する。枠体２０２内には、２つの陽極ボックス２０３が対向して配置され、陽極ボックス２０３内には消耗品である陽極ボール２０３Ａが収容される。２つの陽極ボックス２０３の間には、２列のノズル管２０４が配置される。２列のノズル管２０４の各々には、縦列にて複数のノズル２０４Ａが固定され、メッキ液をワーク２０の両面に向けて噴出可能である。２列のノズル管２０４の下端は、分配配管２０５にそれぞれ固定されている。 3. Plating Tank FIG. 5 is a schematic sectional view of the plating tank 200. The plating tank 200 has a frame body 202 having an open top. Two anode boxes 203 are arranged opposite to each other in the frame body 202, and anode balls 203A that are consumables are accommodated in the anode box 203. Two rows of nozzle tubes 204 are arranged between the two anode boxes 203. A plurality of nozzles 204 </ b> A are fixed in a vertical row to each of the two rows of nozzle tubes 204, and the plating solution can be ejected toward both surfaces of the workpiece 20. The lower ends of the two rows of nozzle tubes 204 are respectively fixed to the distribution piping 205.

ワーク２０の両側には、ワーク２０を搬送ガイドするガイド部材や、ワーク２０の上下端部をマスクするマスク部材を設けることができる。さらに、ワーク２０の全長に合わせてガイド部材及びマスク部材の高さ位置を調整できる。マスク部材がワーク２０の上下端部をマスクすることで、ワーク２０の下端に電界が集中してメッキ厚が厚くなることを防止できる。   On both sides of the workpiece 20, a guide member for conveying and guiding the workpiece 20 and a mask member for masking the upper and lower ends of the workpiece 20 can be provided. Furthermore, the height positions of the guide member and the mask member can be adjusted in accordance with the entire length of the workpiece 20. Since the mask member masks the upper and lower end portions of the work 20, it is possible to prevent the electric field from concentrating on the lower end of the work 20 and increasing the plating thickness.

４．搬送治具
ワーク２０を保持する搬送治具３０は、図６に示すように、被案内部３００、連結部３３０及び保持部３４０を有する。被案内部３００は給電レール２０１に案内される部分である。保持部３４０はワーク２０を垂下状態にて保持する部分である。連結部３３０は、被案内部３００と保持部３４０とを連結する部分である。 4). Conveying jig As shown in FIG. 6, the conveying jig 30 that holds the workpiece 20 includes a guided part 300, a connecting part 330, and a holding part 340. The guided portion 300 is a portion guided by the power supply rail 201. The holding part 340 is a part that holds the workpiece 20 in a suspended state. The connecting part 330 is a part that connects the guided part 300 and the holding part 340.

ここで、被案内部３００を案内する給電レール２０１は、図６に示すように、縦断面が、上面２０１Ａと、下面２０１Ｂと、メッキ槽２００側の第１側面２０１Ｃと、第１側面２０１Ｃと対向する第２側面２０１Ｄとを有する矩形断面である。なお、給電レール２０１の形状は、メッキ槽２００以外で搬送治具３０を間欠搬送するガイドレール（固定レール２３２，２３４，２３５，２４２，２４３、昇降レール２３１，２３３，２３６，２４１または転回レール１３１，１３２，１４１，１４２）の形状と一致している。   Here, as shown in FIG. 6, the power supply rail 201 that guides the guided portion 300 has a vertical cross section of an upper surface 201A, a lower surface 201B, a first side surface 201C on the plating tank 200 side, and a first side surface 201C. It is a rectangular cross section which has 2nd side 201D which opposes. The shape of the power supply rail 201 is a guide rail (fixed rails 232, 234, 235, 242, 243, lift rails 231, 233, 236, 241, or rolling rail 131 that intermittently conveys the conveying jig 30 outside the plating tank 200. , 132, 141, 142).

連続搬送手段４００は、例えば図６に示すように、チェーン４１０と、チェーン４１０に固定された複数の歯付きブロック４２０を有する。   For example, as illustrated in FIG. 6, the continuous conveyance unit 400 includes a chain 410 and a plurality of toothed blocks 420 fixed to the chain 410.

被案内部３００は、給電レール２０１の上面２０１Ａと接触する被給電部３０１と、給電レール２０１の第１側面２０１Ｃと転接する少なくとも一つ、例えば２つの第１ローラー３０２と、給電レール２０１の第２側面２０１Ｄと転接する少なくとも一つ、例えば３つの第２ローラー３０３と、連続搬送手段４００の歯付きブロック４２０に噛合される被噛合部３０４と、を有する。さらに、給電レール２０１の下面２０１Ｂに転接する少なくとも一つ、例えば２つの第３ローラー３０５を設けることができる。このように、給電レール２０１の上面２０１Ａと自重により接触する被給電部３０１を有する被案内部３００は、給電レール２０１の両側面２０１Ｃ，２０１Ｄを挟持するように転接する第１，第２ローラー３０２，３０３によって給電レール２０１に案内される。さらに、給電レール２０１の下面２０１Ｂに転接する第３ローラー３０５を設けることで、搬送治具３０の上下動を規制できる。転回レール１３１，１３２，１４１，１４２も給電レール２０１と同一形状であるので、これらの転回レールに搬送治具３０を保持した転回動作中でも、搬送治具３０は水平方向または上下方向に変動することがない。   The guided portion 300 includes at least one power supplied portion 301 that is in contact with the upper surface 201A of the power supply rail 201, at least one that is in rolling contact with the first side surface 201C of the power supply rail 201, for example, two first rollers 302, and the first portion of the power supply rail 201. At least one, for example, three second rollers 303 that are in rolling contact with the two side surfaces 201 </ b> D, and a meshed portion 304 that meshes with the toothed block 420 of the continuous conveyance means 400. Furthermore, at least one, for example, two third rollers 305 that are in rolling contact with the lower surface 201B of the power supply rail 201 can be provided. Thus, the guided portion 300 having the power-supplied portion 301 that comes into contact with the upper surface 201A of the power supply rail 201 by its own weight is in contact with the first and second rollers 302 so as to sandwich the both side surfaces 201C and 201D of the power supply rail 201. , 303 to the power supply rail 201. Furthermore, by providing the third roller 305 that is in rolling contact with the lower surface 201B of the power supply rail 201, the vertical movement of the conveying jig 30 can be regulated. Since the turning rails 131, 132, 141, and 142 have the same shape as the power supply rail 201, the conveying jig 30 may fluctuate in the horizontal direction or the vertical direction even during the turning operation in which the conveying jig 30 is held on these turning rails. There is no.

給電レール２０１に案内される被案内部３００自体に、連続搬送手段４００の歯付きブロック４２０と噛合して被案内部３００に搬送力を作用させる被噛合部３０４を設けているので、被案内部３００は給電レール２０１上を円滑に搬送される。この被案内部３００には、図６に示すように、上述した第１，第２駆動片３２０，３２１と、搬送治具３０の有無をセンシングするための被検出片（第２の被検出部）３２２が設けられている。   The guided portion 300 itself guided by the power supply rail 201 is provided with a meshed portion 304 that meshes with the toothed block 420 of the continuous conveying means 400 and applies a conveying force to the guided portion 300. 300 is smoothly conveyed on the power supply rail 201. As shown in FIG. 6, the guided portion 300 includes the above-described first and second drive pieces 320 and 321 and a detected piece for sensing the presence or absence of the conveying jig 30 (second detected portion). ) 322 is provided.

搬送治具３０の連結部３３０は、図６に示すように、互いに隔離して配置される被案内部３００と保持部３４０とを連結するものである。本実施形態では、搬送治具３０が図６に示す形状を有することで、連結部３３０を有することで、図５に示すように、搬送治具３０の被案内部３００を案内する給電レール２０１は、メッキ槽２００の上方から外れた位置とすることができる。これにより、被案内部３００が給電レール２０１を摺動した時に発生する粉塵がメッキ槽２００に落下することがない。本実施形態では、連結部３３０は、被案内部３００側の基端部から自由端部に向けて水平方向に延びる水平部３３１と、水平部３３１の自由端部から保持部３４０に向けて垂下する垂下部３３２と、を有する。   As shown in FIG. 6, the connecting portion 330 of the conveying jig 30 connects the guided portion 300 and the holding portion 340 that are arranged separately from each other. In the present embodiment, since the conveying jig 30 has the shape shown in FIG. 6, the feeding rail 201 that guides the guided part 300 of the conveying jig 30 as shown in FIG. Can be a position deviated from above the plating tank 200. Thereby, dust generated when the guided part 300 slides on the power supply rail 201 does not fall into the plating tank 200. In the present embodiment, the connecting portion 330 is suspended from the base end portion on the guided portion 300 side toward the free end portion in the horizontal direction, and the horizontal portion 331 hangs down from the free end portion of the horizontal portion 331 toward the holding portion 340. And a drooping portion 332.

連結部３３０の水平部３３１は、図１に示す戻し搬送路１５０の２つのチェーン１５１，１５２上に載置され、搬送治具３０が戻し搬送路１５０に沿って戻し搬送される。   The horizontal portion 331 of the connecting portion 330 is placed on the two chains 151 and 152 of the return conveyance path 150 shown in FIG. 1, and the conveyance jig 30 is conveyed back along the return conveyance path 150.

保持部３４０は、図６に示すようにワーク２０の上部をチャックする複数例えば３つのチャック部３４１を有する。幅が広いワーク２０を保持できるように、標準装備としてまたはオプションとして、３つのチャック部３４１の両側に可動チャック部を設けることができる。可動チャック部は、ワーク２０の幅に合わせてスライド移動可能とすることができる。   As shown in FIG. 6, the holding unit 340 includes a plurality of, for example, three chuck units 341 that chuck the upper portion of the workpiece 20. A movable chuck portion can be provided on both sides of the three chuck portions 341 as standard equipment or as an option so that the workpiece 20 having a wide width can be held. The movable chuck portion can be slidable according to the width of the workpiece 20.

５．前処理槽と振動付与部
５．１．前処理槽
上述の通り、本実施形態の前処理槽群２３０は、メッキ槽２００の上流側に、脱脂槽２３０Ａ、湯洗槽２３０Ｂ、水洗槽２３０Ｃ、シャワー槽２３０Ｄ及び酸洗槽２３０Ｅを有している。このうち、以下にて説明する振動付与部５００が配置される前処理槽は、ワーク２０を処理液中に浸漬して処理する前処理槽であり、シャワー槽２３０Ｄを除く槽２３０Ａ，２３０Ｂ，２３０Ｃ，２３０Ｅの少なくとも一つである。これらの中でいずれか一つに振動付与部５００を設けるとすれば、好ましくは界面活性剤を含む処理液が用いられる槽、例えば脱脂槽２３０Ａである。以下、前処理槽２３０Ａとして説明するが、脱脂槽２３０Ａ以外の他の前処理槽２３０Ｂ，２３０Ｃ，２３０Ｅのいずれかに振動付与部５００を設ける場合も同様である。振動付与部５００は、前処理槽に加えて、処理液を用いる後処理槽２４０Ｂにも設置することができる。 5. Pretreatment tank and vibration applying part 5.1. Pretreatment Tank As described above, the pretreatment tank group 230 of this embodiment has a degreasing tank 230A, a hot water washing tank 230B, a water washing tank 230C, a shower tank 230D, and a pickling tank 230E on the upstream side of the plating tank 200. ing. Among these, the pretreatment tank in which the vibration imparting unit 500 described below is disposed is a pretreatment tank in which the workpiece 20 is immersed in the treatment liquid for treatment, and the tanks 230A, 230B, and 230C excluding the shower tank 230D. , 230E. If any one of these is provided with the vibration imparting unit 500, a tank in which a treatment liquid containing a surfactant is preferably used, for example, a degreasing tank 230A. Hereinafter, although described as the pretreatment tank 230A, the same applies to the case where the vibration applying unit 500 is provided in any of the pretreatment tanks 230B, 230C, and 230E other than the degreasing tank 230A. In addition to the pretreatment tank, the vibration imparting unit 500 can also be installed in a posttreatment tank 240B that uses a treatment liquid.

５．２．振動付与部の役割
図７は、前処理槽２３０Ａにて処理液に浸漬されるワーク２０を保持した搬送治具３０に振動を付与して、処理液２９０中にてワーク２０を振動させる振動付与部５００を示している。図７に示すように、前処理槽２７０Ａに搬入された搬送治具３０は、図１に示すガイドレール（昇降レールまたは固定レール）２３１または２３２上にて例えば停止中に、振動付与部５００より振動が付与される。それにより、処理液２９０中にてワーク２０が振動する。 5.2. FIG. 7 shows the application of vibration that vibrates the work 20 in the processing liquid 290 by applying vibration to the conveying jig 30 holding the work 20 immersed in the processing liquid in the pretreatment tank 230A. Part 500 is shown. As shown in FIG. 7, the conveyance jig 30 carried into the pretreatment tank 270 </ b> A is received from the vibration applying unit 500 during, for example, stopping on the guide rail (elevating rail or fixed rail) 231 or 232 shown in FIG. 1. Vibration is applied. Thereby, the workpiece 20 vibrates in the processing liquid 290.

処理液２９０中にてワーク２０を振動させると、ワーク２０の表面に付着していた気泡は、ワーク２０から物理的に除去される。ワーク２０にスルーホール（貫通孔）またはビアホール（非貫通孔）等の孔部が形成されている場合には、その孔部に滞留している気泡と、ワーク２０の孔部との相対位置が振動周期に応じて変化する。ワーク２０の孔部はワーク２０と一体で振動するのに対して、気泡には浮力による上昇力が付与されるからである。こうして、孔部の壁部の規制から解除される気泡は、浮力が作用して上昇するので、気泡を孔部内から物理的に排出させることができる。ワーク２０の孔部から除外されてワーク２０の表面に再付着した気泡も、ワーク２０の振動により物理的にワーク２０の表面から除去される。処理液２９０中の界面活性剤は、ワーク２０の表面や孔部に処理液を接触し易くして、上述した気泡の除去作用を促進できる。   When the workpiece 20 is vibrated in the treatment liquid 290, bubbles attached to the surface of the workpiece 20 are physically removed from the workpiece 20. When a hole such as a through hole (through hole) or a via hole (non-through hole) is formed in the work 20, the relative position between the bubbles staying in the hole and the hole of the work 20 is It changes according to the vibration period. This is because the hole portion of the workpiece 20 vibrates integrally with the workpiece 20, whereas the bubbles are given a rising force due to buoyancy. In this way, the bubbles released from the restriction of the wall portion of the hole portion rise due to the buoyancy, so that the bubbles can be physically discharged from the hole portion. Bubbles that are excluded from the holes of the workpiece 20 and reattached to the surface of the workpiece 20 are also physically removed from the surface of the workpiece 20 by the vibration of the workpiece 20. The surfactant in the treatment liquid 290 can facilitate the contact of the treatment liquid with the surface or hole of the workpiece 20 and promote the above-described bubble removal action.

このように、前処理槽２３０Ａにてワーク２０の表面や孔部から気泡を除去できるので、その後のメッキ槽２００でのメッキ工程（表面処理工程）では、ワーク２０の表面や孔部の内面もメッキ処理（表面処理）することができる。こうして、ワーク２０の表面の一部や孔部にメッキ無しの不良が発生することを防止できる。なお、搬送治具３０に保持されて処理液２９０中を搬送中のワークに振動を付与しても良いが、処理液２９０中にて停止中のワーク２０であると、搬送治具３０への振動付与がし易い点で好ましい。さらに、ワーク２０の曲げ剛性が低いと、処理液２９０中にて搬送中にワーク２０が振動すると、搬送に伴いワーク２０に作用する液圧が増大し、ワーク２０が折れ曲がる等の変形をきたす虞がある。この意味からも、処理液２９０中にて停止中のワーク２０を振動させることが好ましい。   In this way, bubbles can be removed from the surface and holes of the workpiece 20 in the pretreatment tank 230A. Therefore, in the subsequent plating process (surface treatment process) in the plating tank 200, the surface of the workpiece 20 and the inner surfaces of the holes are also removed. Plating treatment (surface treatment) can be performed. In this way, it is possible to prevent a defect without plating from occurring on a part of the surface of the work 20 or a hole. Note that vibration may be applied to the workpiece that is held by the conveyance jig 30 and is being conveyed in the processing liquid 290, but if the workpiece 20 is stopped in the treatment liquid 290, This is preferable because vibration can be easily applied. Furthermore, if the bending rigidity of the workpiece 20 is low, when the workpiece 20 vibrates during conveyance in the processing liquid 290, the hydraulic pressure acting on the workpiece 20 increases with conveyance, and the workpiece 20 may be bent. There is. Also in this sense, it is preferable to vibrate the workpiece 20 that is stopped in the treatment liquid 290.

５．３．搬送部材に振動を付与する部位
次に、振動付与部５００が搬送治具３０に振動を付与する部位について説明する。上述した通り、搬送治具３０は、ガイドレール（昇降レールまたは固定レール）２３１または２３２に案内される被案内部３００と、ワーク２０を垂下状態にて保持する保持部３４０と、被案内部３００と保持部３４０とを連結する連結部３３０とを含む。本実施形態では、振動付与部５００は、搬送治具３０の連結部３３０に振動を付与している。被案内部３００は、ガイドレール（固定レール）２３１または２３２に係合しているために振動が減衰されやすい。保持部３４０は、ワーク２０の保持状態が振動により悪影響を受けやすい。その点、連結部３００であれば連結機能が保持される限り弊害はない。 5.3. Next, the site | part which the vibration provision part 500 provides a vibration to the conveyance jig 30 is demonstrated. As described above, the conveying jig 30 includes the guided portion 300 guided by the guide rail (elevating rail or fixed rail) 231 or 232, the holding portion 340 that holds the workpiece 20 in the suspended state, and the guided portion 300. And a connecting portion 330 that connects the holding portion 340. In the present embodiment, the vibration imparting unit 500 imparts vibration to the connecting portion 330 of the conveying jig 30. Since the guided portion 300 is engaged with the guide rail (fixed rail) 231 or 232, the vibration is easily damped. In the holding unit 340, the holding state of the workpiece 20 is easily affected by vibration. In this respect, the connecting portion 300 is not harmful as long as the connecting function is maintained.

ここで、本実施形態では、図１及び図７に示すように、ガイドレール（昇降レールまたは固定レール）２３１または２３２は、前処理槽２３０Ａの上方から外れた位置にて、搬送治具３０の搬送方向と平行に延設されている。このために、搬送治具３０の連結部３００は、上述した通り、被案内部３００側の基端部から自由端部に向けて水平方向に延びる水平部３３１と、水平部３３１の自由端部から保持部３４０に向けて垂下する垂下部３３２と、を有している。この場合、振動付与部５００は、図７に示すように垂下部３３２に振動を付与することができる。   Here, in this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 7, the guide rail (elevating rail or fixed rail) 231 or 232 is located at a position off the upper side of the pretreatment tank 230A. It extends parallel to the transport direction. For this reason, as described above, the connecting portion 300 of the conveying jig 30 includes a horizontal portion 331 extending in the horizontal direction from the base end portion on the guided portion 300 side toward the free end portion, and the free end portion of the horizontal portion 331. And a hanging portion 332 that hangs down toward the holding portion 340. In this case, the vibration applying unit 500 can apply vibration to the drooping portion 332 as shown in FIG.

ここで、振動が付与される垂下部３３２は、図７に示すように、ガイドレール（昇降レールまたは固定レール）２３１または２３２に支持される被案内部３００の基端部から延びる水平部３３１の自由端部に連結されている。このため、片持ち梁の自由端を振動させる要領により、処理液２９０中にてワーク２０を効果的に振動させることができる。   Here, the drooping portion 332 to which the vibration is applied is, as shown in FIG. 7, a horizontal portion 331 extending from the base end portion of the guided portion 300 supported by the guide rail (elevating rail or fixed rail) 231 or 232. Connected to the free end. For this reason, the workpiece | work 20 can be effectively vibrated in the process liquid 290 by the procedure which vibrates the free end of a cantilever.

なお、前述したとおり、処理槽とガイドレールとの位置関係として、上述した特許文献１のように、処理槽の上方にガイドレールを配置するものもある。本発明は特許文献１の配置構造にも適用できる。この場合にも、搬送治具は上述と同様の機能を有する被案内部、保持部及び連結部を有するが、この場合の連結部は水平部３３１を持たずに垂下部３３２だけで形成される。よって、振動付与部５００は搬送治具の連結部（垂下部）に振動を付与することができる。   As described above, as a positional relationship between the processing tank and the guide rail, there is a case where the guide rail is arranged above the processing tank as in Patent Document 1 described above. The present invention can also be applied to the arrangement structure of Patent Document 1. Also in this case, the conveying jig has a guided portion, a holding portion, and a connecting portion having the same functions as described above. However, the connecting portion in this case is formed only by the hanging portion 332 without having the horizontal portion 331. . Therefore, the vibration applying unit 500 can apply vibration to the connecting portion (hanging portion) of the conveying jig.

５．４．振動付与部の振動付与方式
本実施形態の振動付与部５００は、図７に示すように、搬送治具３０を打撃する打撃部５１０を含むことができる。振動付与には種々の方法が考えられ得るが、振動付与部５００の打撃部５１０は、少なくとも１回だけ搬送治具３０を打撃することで、搬送治具３０に振動を付与することができる。特に、搬送治具３０の連結部３３０、その連結部３３０の中でも垂下部３３２を打撃することで、片持ち梁構造の搬送治具３０を効果的に振動させることができる。この振動はワーク２０に伝達されるので、処理液２９０中にてワーク２０を振動させることができる。 5.4. Vibration Applying Method of Vibration Applying Unit The vibration applying unit 500 of the present embodiment can include a hitting unit 510 that hits the conveying jig 30 as shown in FIG. Although various methods can be considered for applying vibration, the striking unit 510 of the vibration applying unit 500 can apply vibration to the transport jig 30 by striking the transport jig 30 at least once. Particularly, by striking the hanging portion 332 in the connecting portion 330 of the conveying jig 30 and the connecting portion 330, the conveying jig 30 having a cantilever structure can be vibrated effectively. Since this vibration is transmitted to the workpiece 20, the workpiece 20 can be vibrated in the processing liquid 290.

ここで、打撃部５１０は、図７に示すようにワーク２０の表面と交差する方向Ｂ、好ましくはワーク２０の表面と直交する方向Ｂに移動して搬送治具３０を打撃することができる。こうすると、ワーク２０の両表面は処理液２９０の圧力が作用するので、処理液２９０が緩衝材となって搬送治具３０への過度な衝撃を和らげることができる。よって、搬送治具３０を打撃しても、その打撃力の大半は処理液２９０が受け止めることができ、搬送治具３０の破損が防止される。換言すれば、ワーク２０の表面と平行な方向には打撃しないことが好ましい。この場合には処理液２９０が緩衝材として機能することが期待できないからである。ただし、振動効果は大きいので、ワーク２０の表面と平行な方向には打撃することを否定するものではない。   Here, as shown in FIG. 7, the striking portion 510 can move in the direction B intersecting the surface of the workpiece 20, preferably in the direction B orthogonal to the surface of the workpiece 20, and strike the conveying jig 30. In this case, the pressure of the processing liquid 290 acts on both surfaces of the workpiece 20, so that the processing liquid 290 acts as a cushioning material, and an excessive impact on the conveying jig 30 can be reduced. Therefore, even if the transport jig 30 is hit, most of the hitting force can be received by the processing liquid 290, and the transport jig 30 is prevented from being damaged. In other words, it is preferable not to hit in the direction parallel to the surface of the workpiece 20. This is because the processing liquid 290 cannot be expected to function as a buffer material in this case. However, since the vibration effect is great, there is no denying that the ball is hit in a direction parallel to the surface of the workpiece 20.

５．５．振動付与部の駆動方式
図８〜図１０は、振動付与部５００の平面図であり、それぞれが振動付与部５００の異なる状態を示している。図８は打撃部５１０の待機位置を示し、図９及び図１０は打撃部５１０が待機位置から打撃位置へ向けて移動した状態を示している。 5.5. FIG. 8 to FIG. 10 are plan views of the vibration applying unit 500, and show different states of the vibration applying unit 500, respectively. FIG. 8 shows a standby position of the hitting unit 510, and FIGS. 9 and 10 show a state where the hitting unit 510 has moved from the standby position toward the hitting position.

図８〜図１０に示すように、振動付与部５００は、打撃部５１０を、支点５２２の廻りに回動自在に保持する第１アーム部５２０と、第１アーム部５２０を、支点５２２の廻りで打撃位置と待機位置とに往復回動駆動する駆動部例えばエアーシリンダ５３０とを有することができる。このように、打撃部５１０を駆動部５３０により第１アーム部５２０を介して回動させることで、打撃部５１０を打撃位置と待機位置とに往復移動させることができる。打撃部５１０が待機位置にあれば、打撃部５１０は搬送治具３０の搬送方向Ａ（搬送路１００）と干渉しないので、搬送治具３０を搬送方向Ａ（搬送路１００）に沿って搬送できる。搬送治具３０の搬送が停止された後に打撃部５１０を駆動すれば、搬送治具３０を打撃することができる。   As shown in FIGS. 8 to 10, the vibration applying unit 500 includes a first arm unit 520 that holds the striking unit 510 so as to be rotatable around the fulcrum 522, and a first arm unit 520 around the fulcrum 522. Can have a drive unit, for example, an air cylinder 530, which reciprocates between the striking position and the standby position. Thus, the striking part 510 can be reciprocated between the striking position and the standby position by rotating the striking part 510 via the first arm part 520 by the driving part 530. If the striking part 510 is in the standby position, the striking part 510 does not interfere with the transport direction A (transport path 100) of the transport jig 30, so that the transport jig 30 can be transported along the transport direction A (transport path 100). . If the striking unit 510 is driven after the transport of the transport jig 30 is stopped, the transport jig 30 can be hit.

ここで、振動付与部５００は、打撃位置にて第１アーム部に当接するストッパー部５４０をさらに含むことができる。こうすると、図９及び図１０に示すように搬送治具３０の搬送方向Ａと打撃部５１０とが交差例えば直交する打撃位置にて、打撃部５１０を確実に停止させることができる。ストッパー部５４０は、第１アーム部５２０に接触して打撃部５１０を停止させることができる。ストッパー部５１０を設けることで、仮に搬送治具３０が存在しない場合でも、打撃部５１０を所定の位置にて停止させることができ、安全性が高まる。   Here, the vibration imparting unit 500 may further include a stopper unit 540 that contacts the first arm unit at the striking position. In this way, as shown in FIGS. 9 and 10, the striking portion 510 can be reliably stopped at a striking position where the transport direction A of the transport jig 30 and the striking portion 510 intersect, for example, at right angles. The stopper portion 540 can stop the striking portion 510 by contacting the first arm portion 520. By providing the stopper part 510, even if the conveyance jig 30 does not exist, the striking part 510 can be stopped at a predetermined position, and safety is improved.

エアーシリンダ５３０により回動される第１アーム部５２０に保持された打撃部５１０は、図８に示す回動軌跡ＲＴ１に沿って移動する。図９及び図１０に示すように搬送治具３０の搬送方向Ａと打撃部５１０とが例えば直交する位置で打撃部５１０を停止させるために、ストッパー部５４０を設けている。これにより、打撃部５１０は、図７に示すようにワーク２０の表面と交差する方向Ｂ、好ましくはワーク２０の表面と直交する方向に移動して搬送治具３０を打撃することができる。   The striking portion 510 held by the first arm portion 520 rotated by the air cylinder 530 moves along a rotation locus RT1 shown in FIG. As shown in FIGS. 9 and 10, a stopper portion 540 is provided to stop the striking portion 510 at a position where the transport direction A of the transport jig 30 and the striking portion 510 are orthogonal to each other, for example. As a result, the striking portion 510 can move in the direction B intersecting the surface of the workpiece 20, preferably in the direction perpendicular to the surface of the workpiece 20, as shown in FIG.

ここで、ストッパー部５４０を単に停止させる機能だけに限らず、打撃部５１０の一部に慣性力を付与するために用いることもできる。このために、打撃部５１０は、図８〜図１０に示すように、第１アーム部５２０に固定された固定部５１２と、固定部５１２に摺動可能に支持され、第１アーム部５２０がストッパー部５４０に当接して停止された際の慣性力で固定部５１２よりも前方に突出される摺動部５１４と、を含むことができる。この場合、摺動部５１４が搬送治具３０を打撃することになる。   Here, not only the function of simply stopping the stopper portion 540 but also a portion of the striking portion 510 can be used to apply an inertial force. For this purpose, as shown in FIGS. 8 to 10, the striking portion 510 is fixed to the first arm portion 520 and is supported by the fixing portion 512 so as to be slidable, and the first arm portion 520 is And a sliding portion 514 protruding forward from the fixed portion 512 by an inertial force when being brought into contact with the stopper portion 540 and stopped. In this case, the sliding portion 514 hits the conveying jig 30.

打撃部５１０が待機位置にある図８と、打撃部５１０がストッパー部５４０により停止される直前の状態を示す図９では、摺動部５１４は後退位置にある。打撃部５１０がストッパー部５４０により停止されると、固定部５１２も停止されるが、図１０に示すように摺動部５１４は慣性力により前方に移動する。図１０の位置から図８の位置に打撃部５１０が移動し、第１アーム部５２０が移動停止されると、摺動部５１４は慣性力により図８に示す元の位置に復帰される。   In FIG. 8 where the hitting portion 510 is in the standby position and in FIG. 9 which shows a state immediately before the hitting portion 510 is stopped by the stopper portion 540, the sliding portion 514 is in the retracted position. When the hitting portion 510 is stopped by the stopper portion 540, the fixing portion 512 is also stopped, but as shown in FIG. 10, the sliding portion 514 moves forward by inertial force. When the striking part 510 moves from the position of FIG. 10 to the position of FIG. 8 and the movement of the first arm part 520 is stopped, the sliding part 514 is returned to the original position shown in FIG.

ここで、軸状の固定部５１２の先端にはフランジ部５１２Ａを形成することができる。一方、軸状の固定部５１２が挿通される筒状の摺動部５１４には段付孔を形成することができる。摺動部５１４は、固定部５１２のフランジ部５１２Ａが段付孔の段差面と係合するまで、前方に突出される。図９の位置から図１０の位置に摺動部５１４が前方移動する途中または移動端に搬送治具３０が存在すれば、摺動部５１４が搬送治具３０に衝突して搬送治具３０を打撃することができる。こうすることで、振動付与力を増大させることができる。   Here, a flange portion 512 </ b> A can be formed at the tip of the shaft-shaped fixing portion 512. On the other hand, a stepped hole can be formed in the cylindrical sliding portion 514 through which the shaft-like fixing portion 512 is inserted. The sliding portion 514 protrudes forward until the flange portion 512A of the fixing portion 512 is engaged with the step surface of the stepped hole. If the conveyance jig 30 exists in the middle of the sliding part 514 moving forward from the position of FIG. 9 to the position of FIG. 10 or at the moving end, the sliding part 514 collides with the conveyance jig 30 and causes the conveyance jig 30 to move. Can be hit. By doing so, the vibration applying force can be increased.

なお、図８に示す待機位置に打撃部５１０が存在することを検出するセンサ５５０を設けることができる。このセンサ５５０は、例えば光または容量値の変化によって非接触で検出することができるが、接触式であっても良い。センサ５５０で打撃部５１０を検出する工程を、打撃部５１０の駆動シーケンスに組み込むことができる。   In addition, the sensor 550 which detects that the hit | damage part 510 exists in the standby position shown in FIG. 8 can be provided. The sensor 550 can be detected in a non-contact manner, for example, by a change in light or a capacitance value, but may be a contact type. The step of detecting the hitting portion 510 with the sensor 550 can be incorporated into the driving sequence of the hitting portion 510.

本実施形態では、振動付与部５００は、図１０に示すように、駆動部５３０により駆動されて、支点５２２の廻りに第１アーム部５２０と一体移動する第２アーム部５２４をさらに有し、打撃部５１０が保持される前記第１アームの作用点から前記支点までの第１距離Ｌ１が、駆動部５３０からの駆動力が第２アーム部５２４に伝達される力点から支点５２２までの第２距離Ｌ２よりも長くすることができる。   In the present embodiment, the vibration applying unit 500 further includes a second arm unit 524 that is driven by the driving unit 530 and moves integrally with the first arm unit 520 around the fulcrum 522, as shown in FIG. The first distance L1 from the operating point of the first arm where the hitting portion 510 is held to the fulcrum is the second distance from the power point at which the driving force from the driving unit 530 is transmitted to the second arm unit 524 to the fulcrum 522. The distance can be longer than the distance L2.

こうすると、駆動部５３０の駆動力で第２アーム部５２４を駆動した時の打撃部５１０の移動速度が速くなり、摺動部５１４に付与される慣性力を増大できる。それにより、摺動部５１４により搬送治具３０に付与される衝撃力を増大できる。   If it carries out like this, the moving speed of the hit | damage part 510 when driving the 2nd arm part 524 with the drive force of the drive part 530 will become quick, and the inertial force provided to the sliding part 514 can be increased. Thereby, the impact force applied to the conveyance jig 30 by the sliding part 514 can be increased.

ここで、図９及び図１０に示すように、第２アーム部５２４は支点５２２の廻りの回動軌跡ＲＴ２を移動する。そこで、駆動部であるエアーシリンダ５３０は、シリンダ５３１の後端が支点５３２に回動自在に支持され、シリンダ５３２により進退駆動されるロッド５３３は、支点５３４を介して第２アーム部５２４と連結されている。   Here, as shown in FIG. 9 and FIG. 10, the second arm portion 524 moves on the rotation locus RT <b> 2 around the fulcrum 522. Therefore, the air cylinder 530 serving as a drive unit is supported at the rear end of the cylinder 531 so as to be rotatable at the fulcrum 532, and the rod 533 driven forward and backward by the cylinder 532 is connected to the second arm unit 524 via the fulcrum 534. Has been.

なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。   Although the present embodiment has been described in detail as described above, it will be easily understood by those skilled in the art that many modifications can be made without departing from the novel matters and effects of the present invention. Accordingly, all such modifications are intended to be included in the scope of the present invention. For example, a term described at least once together with a different term having a broader meaning or the same meaning in the specification or the drawings can be replaced with the different term in any part of the specification or the drawings. All combinations of the present embodiment and the modified examples are also included in the scope of the present invention.

２０ ワーク、３０ 搬送治具、１００ 循環搬送路、２００ 表面処理槽（メッキ槽）、２０１ ガイドレール（給電レール）、２３１〜２３６ ガイドレール（固定レールまたは昇降レール）、３００ 被案内部、３３０ 連結部、３３１ 水平部、３３２ 垂下部、３４０ 保持部、５００ 振動付与部、５１０ 打撃部、５２０ 第１アーム部、５２２ 支点、５２４ 第２アーム部、５３０ 駆動部（エアーシリンダ）、５４０ ストッパー部   20 Workpieces, 30 Transfer jig, 100 Circulation transfer path, 200 Surface treatment tank (plating tank), 201 Guide rail (power supply rail), 231 to 236 Guide rail (fixed rail or lifting rail), 300 Guided part, 330 Connection Part, 331 horizontal part, 332 hanging part, 340 holding part, 500 vibration applying part, 510 striking part, 520 first arm part, 522 fulcrum, 524 second arm part, 530 driving part (air cylinder), 540 stopper part

Claims (8)

ガイドレールと、
前記ガイドレールに案内され、前記ガイドレールに沿った搬送方向に沿って搬送される、ワークを保持した搬送治具と、
前記搬送治具に保持された前記ワークを表面処理する表面処理槽と、
前記表面処理槽よりも前記搬送方向の上流側に配置され、前記搬送治具に保持された前記ワークを処理液中に浸漬して処理する前処理槽と、
前記前処理槽にて前記処理液に浸漬される前記ワークを保持した前記搬送治具に振動を付与して、前記処理液中にて前記ワークを振動させる振動付与部と、
を有し、
前記搬送治具は、
前記ガイドレールに案内される被案内部と、
前記ワークを垂下状態にて保持する保持部と、
前記被案内部と前記保持部とを連結する連結部と、
を有し、
前記振動付与部は、前記搬送治具の前記連結部に振動を付与することを特徴とする表面処理装置。 A guide rail,
A transport jig that holds the workpiece guided by the guide rail and transported along a transport direction along the guide rail;
A surface treatment tank for surface-treating the workpiece held by the conveyance jig;
A pretreatment tank that is disposed upstream of the surface treatment tank in the conveyance direction and immerses the workpiece held in the conveyance jig in a treatment liquid; and
Applying vibration to the transfer jig holding the work immersed in the treatment liquid in the pretreatment tank, and a vibration applying unit for vibrating the work in the treatment liquid;
Have
The transport jig is
A guided portion guided by the guide rail;
A holding unit for holding the workpiece in a suspended state;
A connecting portion for connecting the guided portion and the holding portion;
Have
The surface treatment apparatus , wherein the vibration applying unit applies vibration to the connecting portion of the transport jig . 請求項１において、
前記ガイドレールは、前記表面処理槽及び前記前処理槽の上方から外れた位置にて、前記前処理槽から前記表面処理槽に向う方向と平行に延設され、
前記搬送治具の前記連結部は、
前記被案内部側の基端部から自由端部に向けて水平方向に延びる水平部と、
前記水平部の前記自由端部から前記保持部に向けて垂下する垂下部と、
を含み、
前記振動付与部は、前記垂下部に振動を付与することを特徴とする表面処理装置。 In claim 1,
The guide rail extends in parallel with the direction from the pretreatment tank toward the surface treatment tank at a position deviated from above the surface treatment tank and the pretreatment tank.
The connecting portion of the conveying jig is
A horizontal portion extending in the horizontal direction from the base end portion on the guided portion side toward the free end portion; and
A hanging portion that hangs from the free end portion of the horizontal portion toward the holding portion;
Including
The surface treatment apparatus, wherein the vibration applying unit applies vibration to the hanging portion. 請求項１または２において、
前記振動付与部は、前記搬送治具を打撃する打撃部を含むことを特徴とする表面処理装置。 In claim 1 or 2 ,
The vibration treatment unit includes a striking unit that strikes the transport jig. 請求項３において、
前記打撃部は、前記ワークの表面と交差する方向に移動して前記搬送治具を打撃することを特徴とする表面処理装置。 In claim 3 ,
The surface treatment apparatus according to claim 1, wherein the striking unit moves in a direction intersecting the surface of the workpiece and strikes the conveying jig. 請求項３または４において、
前記振動付与部は、
前記打撃部を、支点廻りに回動自在に保持する第１アーム部と、
前記第１アーム部を、前記支点廻りで打撃位置と待機位置とに往復回動駆動する駆動部と、
を含むことを特徴とする表面処理装置。 In claim 3 or 4 ,
The vibration applying unit is
A first arm portion for holding the striking portion rotatably around a fulcrum;
A drive unit that reciprocally drives the first arm unit to a striking position and a standby position around the fulcrum;
A surface treatment apparatus comprising: 請求項５において、
前記振動付与部は、
前記打撃位置にて前記第１アーム部に当接するストッパー部をさらに含むことを特徴とする表面処理装置。 In claim 5 ,
The vibration applying unit is
The surface treatment apparatus further comprising a stopper portion that contacts the first arm portion at the hitting position. 請求項６において、
前記打撃部は、
前記第１アーム部に固定された固定部と、
前記固定部に摺動可能に支持され、前記第１アーム部が前記ストッパー部に当接して停止された際の慣性力で前記固定部よりも前方に突出される摺動部と、
を含み、
前記摺動部が前記搬送治具を打撃することを特徴とする表面処理装置。 In claim 6 ,
The striking part is
A fixed portion fixed to the first arm portion;
A sliding portion that is slidably supported by the fixed portion and protrudes forward from the fixed portion by an inertial force when the first arm portion is brought into contact with the stopper portion and stopped;
Including
The surface treatment apparatus, wherein the sliding portion strikes the conveying jig. 請求項７において、
前記振動付与部は、
前記駆動部により駆動されて、前記支点廻りに前記第１アーム部と一体移動する第２アーム部をさらに有し、
前記打撃部が保持される前記第１アーム部の作用点から前記支点までの第１距離が、前記駆動部からの駆動力が前記第２アーム部に伝達される力点から前記支点までの第２距離よりも長いことを特徴とする表面処理装置。 In claim 7 ,
The vibration applying unit is
A second arm portion that is driven by the driving portion and moves integrally with the first arm portion around the fulcrum;
The first distance from the operating point of the first arm part where the striking part is held to the fulcrum is the second distance from the force point to which the driving force from the driving part is transmitted to the second arm part to the fulcrum. A surface treatment apparatus characterized by being longer than a distance.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101366999B1 (en) * 2012-05-07 2014-02-25 삼성전기주식회사 Defoaming device of substrate
CN104451801A (en) * 2014-11-15 2015-03-25 扬州禾基塑业有限公司 Electroplating post-processing device
KR101683144B1 (en) 2014-12-23 2016-12-06 주식회사 투게더 Method for transmitting data
CN104988566B (en) * 2015-06-26 2018-03-16 昆山博通机械设备有限公司 Has the self-driven transfer hanger of intelligence of rectification function
CN109804108B (en) * 2016-09-29 2021-07-23 Almex Pe 株式会社 Workpiece holding jig and surface treatment device
CN113930834A (en) * 2017-05-30 2022-01-14 Almex Pe 株式会社 Surface treatment device and conveying jig
KR102024835B1 (en) * 2017-07-28 2019-09-25 주식회사 티케이씨 Clamp hanger for substrate support
JP6909524B2 (en) * 2018-11-20 2021-07-28 株式会社アルメックステクノロジーズ Jig transfer member and surface treatment device and method
CN111910240B (en) * 2019-05-10 2023-11-10 湖南鸿展自动化设备有限公司 Circuit board electroplating device
KR102034465B1 (en) * 2019-07-26 2019-10-21 이희범 An apparatus of molding
CN110484961A (en) * 2019-08-30 2019-11-22 苏州铭电机械科技有限公司 A kind of FPC electroplating system
KR102380767B1 (en) * 2022-01-12 2022-04-01 (주)네오피엠씨 Hanger moving apparatus for plating

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS563690A (en) * 1979-06-20 1981-01-14 Ibiden Co Ltd High speed through-hole plating method
JPS62154797A (en) * 1985-12-27 1987-07-09 株式会社　プランテツクス Manufacturing apparatus for printed wiring board
CN86207138U (en) * 1986-09-30 1987-09-02 机械工业部济南铸造锻压机械研究所 Continuous shot blast cleaning machine
TW218397B (en) * 1993-06-15 1994-01-01 Electroplating & Chemical Raw Materials Vibratory electroplating process and its device
CN1104267A (en) * 1993-12-24 1995-06-28 辰泽兴业有限公司 Vibration-type electroplating method and its apparatus
JP3591721B2 (en) * 2001-06-29 2004-11-24 株式会社アルメックス Surface treatment equipment
JP2003073894A (en) 2001-09-04 2003-03-12 Kida Seiko Kk Continuous electroplating system and rotary holder used for the same
JP2004111893A (en) * 2002-07-24 2004-04-08 Kyocera Corp Method for manufacturing multiple wiring board
JP2004211118A (en) 2002-12-27 2004-07-29 Marunaka Kogyo Kk Work transport apparatus for in-solution transport type electroplating apparatus
JP2004281444A (en) * 2003-03-12 2004-10-07 Chuo Seisakusho Ltd Plating equipment for through hole of printed wiring board
JP4257897B2 (en) * 2003-05-23 2009-04-22 株式会社ケミトロン Plating equipment
KR20050042627A (en) * 2003-11-03 2005-05-10 (주)포인텍 Feeding apparatus in plating system
CN2742723Y (en) * 2004-11-19 2005-11-23 丰顺县骏达电子有限公司 Rocking vibrator for circuit board
JP5038024B2 (en) * 2007-06-06 2012-10-03 上村工業株式会社 Work surface treatment system
JP5457010B2 (en) * 2007-11-01 2014-04-02 アルメックスＰｅ株式会社 Continuous plating equipment
CN201276605Y (en) * 2008-03-07 2009-07-22 竞铭机械股份有限公司 Degassing device
CN101498028A (en) * 2009-01-20 2009-08-05 东莞宝迪环保电镀设备有限公司 Single-channel multi-process surface processing device
CN201420109Y (en) * 2009-03-24 2010-03-10 东莞市宏德电子设备有限公司 Air cylinder top vibration and electric vibration device
CN201490825U (en) * 2009-08-21 2010-05-26 东莞美维电路有限公司 Electric vibration device for immersion tin line
JP2012046783A (en) * 2010-08-25 2012-03-08 Almex Pe Inc Surface treatment apparatus
JP5613499B2 (en) * 2010-08-25 2014-10-22 アルメックスＰｅ株式会社 Surface treatment equipment

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