JP5596579B2 - 板状部材の搬送装置 - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 26
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 26
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 55
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
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Description
本発明の目的は、板状部材に貼付された接着シートの接着剤層が当接手段に接触することを防止することができる板状部材の搬送装置を提供することにある。
前記接着シートは、前記板状部材の外縁に達する位置まで貼付され、
前記板状部材の外縁に当接可能な複数の当接手段と、これら当接手段を離間接近して前記板状部材を把持可能に設けられた把持手段と、この把持手段及び当接手段を支持する支持手段と、この支持手段を移動可能な移動手段とを備え、
前記当接手段は、前記板状部材の外縁側に当接したとき、当該板状部材に貼付された接着シート外縁側の接着剤層に非接触となる逃げ部を備えている、という構成を採っている。
前記当接手段は、第1面に対して傾斜する第1傾斜面と、第2面に対して傾斜する第2傾斜面とを備え、これら第1及び第2傾斜面が前記板状部材と基材シートとに線接触可能に設けられる、という構成を採ってもよい。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、各当接手段13A、13Bの設置数及び設置位置は、前述のようにウエハWを把持できる限り、アーム部材の形状に応じて変更してもよい。
11 支持手段
12 移動手段
13 当接手段
15 把持手段
21 第1傾斜面
22 第2傾斜面
23 逃げ部
AD 接着剤層
BS 基材シート
S 接着シート
W 半導体ウエハ(板状部材)
W1 第1面
W2 第2面
Claims (3)
- 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートが貼付された板状部材の搬送装置であって、
前記接着シートは、前記板状部材の外縁に達する位置まで貼付され、
前記板状部材の外縁に当接可能な複数の当接手段と、これら当接手段を離間接近して前記板状部材を把持可能に設けられた把持手段と、この把持手段及び当接手段を支持する支持手段と、この支持手段を移動可能な移動手段とを備え、
前記当接手段は、前記板状部材の外縁側に当接したとき、当該板状部材に貼付された接着シート外縁側の接着剤層に非接触となる逃げ部を備えた形状に設けられていることを特徴とする板状部材の搬送装置。 - 前記板状部材は、厚さ方向両側に位置する第1及び第2面を備え、
前記当接手段は、第1面に対して傾斜する第1傾斜面と、第2面に対して傾斜する第2傾斜面とを備え、これら第1及び第2傾斜面が前記板状部材と基材シートとに線接触可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の板状部材の搬送装置。 - 前記逃げ部は、第1及び第2傾斜面が狭まる方に連設された凹溝により形成されていることを特徴とする請求項2記載の板状部材の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011015987A JP5596579B2 (ja) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | 板状部材の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011015987A JP5596579B2 (ja) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | 板状部材の搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012156417A JP2012156417A (ja) | 2012-08-16 |
JP5596579B2 true JP5596579B2 (ja) | 2014-09-24 |
Family
ID=46837808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011015987A Expired - Fee Related JP5596579B2 (ja) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | 板状部材の搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5596579B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6126414B2 (ja) * | 2013-03-06 | 2017-05-10 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送装置、基板研磨装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11220003A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-10 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | ウエハ把持装置 |
US6256555B1 (en) * | 1998-12-02 | 2001-07-03 | Newport Corporation | Robot arm with specimen edge gripping end effector |
JP2002307343A (ja) * | 2001-04-12 | 2002-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄板材の移載方法および装置 |
JP4634950B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2011-02-16 | 株式会社ディスコ | ウエーハの保持機構 |
JP2008300521A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハおよびその加工方法 |
JP5226443B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2013-07-03 | 株式会社ウインズ | 半導体ウエーハ搬送用ハンド |
-
2011
- 2011-01-28 JP JP2011015987A patent/JP5596579B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012156417A (ja) | 2012-08-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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