JP2017216345A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のシート貼付装置において、前記不要シート支持手段は、前記被着体を出し入れ可能な開口を備えていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置は、前記被着体支持手段および、当該被着体支持手段に支持された支持対象物の少なくとも一方の表面を清掃する清掃手段を備えていることが好ましい。
また、不要シート支持手段が開口を備えていれば、当該開口を介して支持手段への被着体の搬入や支持手段からの被着体の搬出を行うことができる。
また、清掃手段を設ければ、被着体支持手段や被着体の被着面を清掃できるので、被着体に塵や埃などが付着することを防止することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
外側テーブル22は、内側テーブル21で支持されたウエハWFと共に接着シートASが貼付され、切断手段50の切断によって形成された不要シートUSを支持する不要シート支持面22Aと、その内部で直動モータ23を支持する凹部22Bと、凹部22Bの後側面に設けられ、ウエハWFを出し入れ可能な開口22Cとを備え、図示しない駆動機器によって昇降可能に設けられている。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図中実線で示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、繰出手段30および回収手段60が回動モータ35Aおよび62を駆動し、剥離シートRLおよび接着シートASを巻き取り、支持手段20上に位置する接着シートASの張力が所定値となったことがロードセル34Aによって検知されると、回動モータ35Aおよび62の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。その後、移送手段70が多関節ロボット51および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール71でウエハWFを吸着保持した後、開口22C内に吸着ツール71を差し込んでウエハWFを支持面21A上に載置すると、支持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハWFを吸着保持する。次に、押圧手段40が直動モータ43を駆動し、押圧ローラ44を下降させて接着シートASを不要シート支持面22Aに所定の押圧力で押圧する。このとき、支持手段20上に位置する接着シートASの張力の上昇がロードセル34Aによって検知されると、繰出手段30が回動モータ35Aを駆動し、剥離シートRLを巻き取ることで接着シートASを繰り出し、当該接着シートASの張力を所定値に保つ制御が行われる。次いで、繰出手段30が直動モータ33を駆動し、押付部材33Bとガイドローラ32Aとで接着シートASを挟み込み、当該接着シートASの繰り出しを抑制する。
清掃手段80は、除去部材としてブラシやブレード材を採用してもよいし、加圧ポンプやタービン等の気体吹付手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段等を採用してもよいし、なくてもよい。
支持手段20は、内側テーブル21を上方に移動させた際、被着面WF1が不要シート支持面22Aと同一平面内に位置するように配置してもよいし、押圧ローラ44で被着面WF1および不要シート支持面22Aに接着シートASが貼付できる範囲内であれば、被着面WF1が不要シート支持面22Aよりも上方または下方に位置するように配置してもよい。
内側テーブル21は、支持面21Aに対して突没自在な支持ピンやリフタ等の受取手段を設け、当該受取手段で移送手段70からウエハWFを受け取ってもよい。
外側テーブル22は、複数の開口22Cを備えていてもよいし、開口22Cを備えていなくてもよく、開口22Cを備えていない場合、内側テーブル21と外側テーブル22との間にウエハWFを搬入、搬出ができる隙間があればよい。
移動手段は、内側テーブル21を固定または移動させつつ、外側テーブル22を移動させてもよいし、直動モータ23に代えて内側テーブル21を回動させる駆動機器を採用し、内側テーブル21を凹部22B内で回動させて支持面21Aの姿勢を垂直にしたり、斜めにしたりしてもよく、この場合、内側テーブル21の回動角度に合わせて、開口22Cを縦長や斜めに形成してもよい。
繰出手段30は、支持ローラ31および回収ローラ36のうち少なくとも一方がフレーム37に支持されていてもよいし、リニアモータ38、39を上下方向および左右方向の各々に対して傾斜して延設してもよいし、それらを互いに直交しない方向に延設してもよいし、リニアモータ38のスライダでリニアモータ39を支持し、リニアモータ39のスライダ39Aでフレーム37を支持してもよいし、張力検出手段として圧力センサやレギュレータ等、接着シートASの張力を測定可能なものであれば何を採用してもよいし、支持ローラ31をロック可能な駆動機器で支持する構成として直動モータ33を省いてもよいし、リニアモータ38、39を採用することなく、押圧ローラ44の右方への移動に伴い、支持ローラ31から原反RSを繰り出す構成としてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
20 支持手段
21 内側テーブル(被着体支持手段)
22 外側テーブル(不要シート支持手段)
22C 開口
23 直動モータ(移動手段)
40 押圧手段
50 切断手段
60 回収手段
80 清掃手段
AS 接着シート
AS1 接着シート部分
US 不要シート
WF ウエハ(被着体)
WF1 被着面(表面)
Claims (5)
- 被着体を支持する支持手段と、
前記支持手段で支持された被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段と、
前記接着シートにおける前記接着シート部分以外の不要シートを回収する回収手段とを備え、
前記支持手段は、前記回収手段による前記不要シートの回収中に、前記支持手段への被着体の搬入および、前記支持手段からの被着体の搬出の少なくとも一方が許容可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記支持手段は、前記被着体を支持する被着体支持手段と、当該被着体支持手段の外側に位置し前記不要シートを支持する不要シート支持手段と、前記被着体支持手段および前記不要シート支持手段を相対的に移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記不要シート支持手段は、前記被着体を出し入れ可能な開口を備えていることを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。
- 前記被着体支持手段および、当該被着体支持手段に支持された支持対象物の少なくとも一方の表面を清掃する清掃手段を備えていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のシート貼付装置。
- 被着体を支持手段で支持する支持工程と、
前記支持手段で支持された被着体に接着シートを押圧して貼付する押圧工程と、
前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断工程と、
前記接着シートにおける前記接着シート部分以外の不要シートを回収する回収工程とを備え、
前記回収工程による前記不要シートの回収中に、前記支持手段への被着体の搬入および、前記支持手段からの被着体の搬出の少なくとも一方を実施することを特徴とするシート貼付方法。
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