JP6420623B2 - 離間装置および離間方法 - Google Patents

Description

本発明は、離間装置および離間方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）を所定の形状、所定のサイズに切断して複数の半導体チップ（以下、単にチップという場合がある）に個片化し、個片化した各チップの相互間隔を広げてからリードフレームや基板等の被搭載物上に搭載することが行われている。

チップ（片状体）の相互間隔を広げる離間方法としては、フィルム（接着シート）を介してフレームと一体化されたウェハ（板状部材）を支持するフレーム支持手段（支持手段）と、フィルム面支持機構（離間テーブル）とを相対移動させることが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなチップの相互間隔を広げる方法では、例えば＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力を接着シートに付与し、例えば最外周に位置するチップが所定の位置に達したことを検知手段が検知することで間隔を広げる動作が完了する。

特開２０１２−２０４７４７号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の方法では、接着シートには上記４方向に加え、図２（Ｃ）に示すように、それらの合成方向すなわち、＋Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ１、＋Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ２、−Ｘ軸方向と＋Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ３、−Ｘ軸方向と−Ｙ軸方向との合成方向ＣＤ４にも張力が付与される。その結果、内側のチップの間隔と外側のチップとの間隔に違いが生じる。しかし、このような間隔の違いは極めて微小なため、各チップは、均等に間隔が広げられたものとされ、計算で導き出される位置（以下、理論上の位置という場合がある）を基準として搬送装置やピックアップ装置等の搬送手段によって搬送され、被搭載物上に搭載されて製造物が形成される。その結果、当該製造物におけるチップと被搭載物との相対位置関係が微妙にずれてしまう場合が生じ、ワイヤボンディングの接続位置がずれたり、チップと被搭載物との端子同士の位置がずれたりして、それらの導通が取れなくなり、当該製造物の歩留りを低下させてしまうという不都合を生じる。
なお、このような課題は、半導体装置の製造に係るだけでなく、例えば緻密な機械部品や微細な装飾品等においても発生し得る。

本発明の目的は、板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げたときに、各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる離間装置および離間方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の離間装置は、接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、前記接着シートの第１方向側を第１支持手段で支持し、当該第１支持手段を第１方向に移動させて前記接着シートに第１方向への張力を付与する第１張力付与手段と、前記接着シートの第２方向側を第２支持手段で支持し、当該第２支持手段を第２方向に移動させて前記接着シートに第２方向への張力を付与する第２張力付与手段と、前記接着シートの第３方向側を第３支持手段で支持し、当該第３支持手段を第３方向に移動させて前記接着シートに第３方向への張力を付与する第３張力付与手段とが少なくとも設けられ、前記板状部材の位置を検知する検知手段と、前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、当該包囲領域に対して前記各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成可能な切断手段とを備え、各張力付与手段は、前記検知手段の検知結果を基に、それぞれの支持手段で支持した前記接着シートに所定の張力を付与した後、前記板状部材を所定の位置に位置決めする、という構成を採用している。

この際、本発明の離間装置では、前記切断手段は、前記各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる２つの辺を有する不干渉切込を形成可能に構成されていることが好ましい。
また、本発明の離間装置では、前記切断手段は、前記各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる切込からなる不干渉切込を形成可能に構成されていることが好ましい。

一方、本発明の離間方法は、接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、前記接着シートの第１方向側を第１支持手段で支持する工程と、前記接着シートの第２方向側を第２支持手段で支持する工程と、前記接着シートの第３方向側を第３支持手段で支持する工程とを少なくとも有し、前記板状部材の位置を検知手段で検知する工程と、前記検知手段の検知結果を基に、各支持手段で支持した前記接着シートに所定の張力を付与した後、前記板状部材を所定の位置に位置決めする工程と、前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、当該包囲領域に対して前記各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成する工程と、前記第１支持手段を第１方向に移動させて前記接着シートに第１方向への張力を付与する工程と、前記第２支持手段を第２方向に移動させて前記接着シートに第２方向への張力を付与する工程と、前記第３支持手段を第３方向に移動させて前記接着シートに第３方向への張力を付与する工程とを備えている、とういう構成を採用している。

以上のような本発明によれば、接着シートに不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成するため、包囲領域に対して少なくとも３方向の所定方向に張力を付与したときに、当該包囲領域に対してそれらの合成方向に張力が付与されることを極力抑制することができ、板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げたときに、各片状体の位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。

本発明の一実施形態に係る離間装置の側面図。 （Ａ）、（Ｂ）は図１の離間装置で張力を付与する接着シートの態様図、（Ｃ）は従来の接着シートに張力を付与した状態を示す態様図。 本発明の変形例の離間装置で張力を付与する接着シートの態様図。 本発明の他の変形例の接着シートに張力を付与した状態を示す態様図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって図１中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１、２において、離間装置１０は、接着シートＡＳ上の板状部材としての四角形のウエハＷＦに＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向の張力を付与して、ウエハＷＦから形成される複数の片状体としてのチップＣＰの相互間隔を広げる離間装置であって、接着シートＡＳの第１方向としての＋Ｘ軸方向側を第１支持手段２０で支持し、当該第１支持手段２０を＋Ｘ軸方向に移動させて接着シートＡＳに＋Ｘ軸方向への張力を付与する第１張力付与手段３０と、接着シートＡＳの第２方向としての−Ｘ軸方向側を第２支持手段４０で支持し、当該第２支持手段４０を−Ｘ軸方向に移動させて接着シートＡＳに−Ｘ軸方向への張力を付与する第２張力付与手段５０と、接着シートＡＳの第３方向としての＋Ｙ軸方向側を第３支持手段６０で支持し、当該第３支持手段６０を＋Ｙ軸方向に移動させて接着シートＡＳに＋Ｙ軸方向への張力を付与する第３張力付与手段７０と、接着シートＡＳの第４方向としての−Ｙ軸方向側を第４支持手段８０で支持し、当該第４支持手段８０を−Ｙ軸方向に移動させて接着シートＡＳに−Ｙ軸方向への張力を付与する第４張力付与手段９０と、接着シートＡＳを介してウエハＷＦを支持する支持テーブル１００とが設けられ、接着シートＡＳにおけるウエハＷＦが貼付された被着体貼付領域ＡＷを囲む多角形の包囲領域ＡＣの各頂部ＡＰからそれぞれ接着シートＡＳの外縁方向に延びて、当該包囲領域ＡＣに対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込ＣＵを形成して離間用接着シートＡＵを形成可能な切断手段１１０を備えている。なお、ウエハＷＦは、切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されるか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされ、接着シートＡＳが貼付されて一体物ＷＫとされている。

第１〜第４支持手段２０、４０、６０、８０は、駆動機器としての直動回動モータ２１、４１、６１、８１の各出力軸２２、４２、６２、８２に支持された下把持部材２３、４３、６３、８３と、下把持部材２３、４３、６３、８３の上面に支持された駆動機器としての回動モータ２４、４４、６４、８４の各出力軸２５、４５、６５、８５に支持された上把持部材２６、４６、６６、８６とを備えている。

第１〜第４張力付与手段３０、５０、７０、９０は、駆動機器としてのリニアモータ３１、５１、７１、９１を備え、それぞれのスライダ３２、５２、７２、９２で直動回動モータ２１、４１、６１、８１を支持している。

支持テーブル１００は、平面視すなわち上方から見た外形が四角形で、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって接着シートＡＳを吸着保持可能かつ、ウエハＷＦよりも大きな平面形状とされた支持面１０１を備えている。

切断手段１１０は、駆動機器としての多関節ロボット１１１と、多関節ロボット１１１の先端部（作業アーム）に設けられ、カッター刃１１２を有するカッターツール１１３とを備えている。多関節ロボット１１１は、その作業範囲内において先端部に装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。

以上の離間装置１０において、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げる手順を説明する。
先ず、図１中実線で示すように、各部材が初期位置で待機する離間装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物ＷＫを搬送し、接着シートＡＳの外縁４箇所を下把持部材２３、４３、６３、８３上に載置する。次いで、第１〜第４支持手段２０、４０、６０、８０が回動モータ２４、４４、６４、８４を駆動し、図１中に二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの外縁を下把持部材２３、４３、６３、８３および上把持部材２６、４６、６６、８６で把持する。次に、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段の検知結果を基に、第１〜第４張力付与手段３０、５０、７０、９０がリニアモータ３１、５１、７１、９１を駆動し、接着シートＡＳの中央部が大幅に垂れ下ることなく、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔が広がらない程度の張力を接着シートＡＳに付与した後、ウエハＷＦを所定の位置に位置決めする。次いで、第１〜第４支持手段２０、４０、６０、８０が直動回動モータ２１、４１、６１、８１を駆動し、一体物ＷＫを下降させて接着シートＡＳの下面を支持テーブル１００の支持面１０１に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、接着シートＡＳを吸着保持する。

次に、切断手段１１０が多関節ロボット１１１を駆動し、カッター刃１１２を接着シートＡＳに差し込んで移動させ、図２（Ａ）に示すように、各頂部ＡＰからそれぞれ接着シートＡＳの外縁方向に延びる２つの辺ＣＳと、上把持部材２６、４６、６６、８６の内側縁に沿う補助辺ＣＳＳとからなる不干渉切込ＣＵを４つ形成する。これにより、包囲領域ＡＣと、不干渉切込ＣＵと、包囲領域ＡＣの各辺からそれぞれ＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向に延びる引張領域ＡＬとを備える離間用接着シートＡＵが形成される。このとき、支持面１０１で接着シートＡＳを吸着保持しているので、不干渉切込ＣＵを形成する際に、接着シートＡＳが上下や左右等に揺れて不干渉切込ＣＵを適切に形成できなくなることを防止することができる。その後、支持テーブル１００が減圧手段の駆動を停止し、離間用接着シートＡＵの吸着保持を解除する。

次に、第１〜第４張力付与手段３０、５０、７０、９０がリニアモータ３１、５１、７１、９１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、各引張領域ＡＬを引っ張って包囲領域ＡＣに＋Ｘ軸方向、−Ｘ軸方向、＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向の４方向への張力を付与し、チップＣＰの相互間隔を広げる。そして、最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、第１〜第４張力付与手段３０、５０、７０、９０がリニアモータ３１、５１、７１、９１の駆動を停止する。このとき、図示しない検知手段の検知結果を基に、第１〜第４支持手段２０、４０、６０、８０が直動回動モータ２１、４１、６１、８１を駆動し、下把持部材２３、４３、６３、８３を所定平面内で回動させて首振り動作を行うことで、引張領域ＡＬの伸び方向を矯正することができ、各方向への伸びが不均一になることを防止することができる。

ここで、接着シートＡＳに不干渉切込ＣＵが形成されていない場合、被着体貼付領域ＡＷには、上記４方向に加え、これらの合成方向にも張力が付与される。このため、各チップＣＰは、図２（Ｃ）に示すように、内側のチップＣＰの間隔と外側のチップＣＰとの間隔に違いが生じ、各チップＣＰを理論上の位置に配置することができない。
これに対し、本実施形態では、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳに不干渉切込ＣＵを形成して離間用接着シートＡＵを形成するため、包囲領域ＡＣに対して４方向に張力を付与したときに、当該包囲領域ＡＣに対してそれらの合成方向に張力が付与されることを極力抑制することができ、各チップＣＰを理論上の位置に配置することができる。

その後、搬送装置やピックアップ装置等の図示しない搬送手段が理論上の位置を基準として各チップＣＰを保持して搬送し、リードフレームや基板等の被搭載物上に搭載する。その後、全てのチップＣＰの搬送が終了すると、第１〜第４支持手段２０、４０、６０、８０および第１〜第４張力付与手段３０、５０、７０、９０が直動回動モータ２１、４１、６１、８１、回動モータ２４、４４、６４、８４およびリニアモータ３１、５１、７１、９１を駆動し、離間装置１０の各部材を初期位置に復帰させた後、チップＣＰが取り外された一体物ＷＫを搬送手段が回収し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げたときに、各チップＣＰの位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

第１〜第４支持手段２０、４０、６０、８０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段や、接着剤、磁力等で接着シートＡＳを支持する構成でもよい。

第１〜第４張力付与手段３０、５０、７０、９０のうち、任意の一つの張力付与手段を固定しておき、他の三つの張力付与手段を前記一つの張力付与手段に対して離間するように移動させてもよいし、一つの張力付与手段と三つの張力付与手段との両方を互いに反対方向に離間するように移動させてもよい。なお、このような場合、全ての張力付与手段をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に構成する必要がある。

支持テーブル１００の支持面１０１の形状は、図４に示すような三角形の支持テーブル１００Ａとしてもよいし、五角形以上の多角形状や、円形、楕円形、あるいは幾何学形状でもよい。
支持テーブル１００の支持面１０１の形状は、被着体貼付領域ＡＷより大きくてもよいし、小さくてもよいし、同じであってもよい。
支持テーブル１００は、接着シートＡＳの全域を吸着保持可能としてもよく、この場合、支持面１０１の面内にカッター刃１１２の通過を許容する溝を設けるとよい。これにより、不干渉切込ＣＵの形成時に接着シートＡＳが上下に揺れて不干渉切込ＣＵを適切に形成できなくなることをより確実に防止することができる。
支持テーブル１００はなくともよい。

切断手段１１０は、図３（Ａ）に示すように、円形のウエハＷＦ１が貼付された円形の被着体貼付領域ＡＷ１を囲む四角形の包囲領域ＡＣ１の各頂部ＡＰ１からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びるスリット状の切込からなる不干渉切込ＣＵ１を形成し、包囲領域ＡＣ１に張力を付与する４つの引張領域ＡＬ１を備える離間用接着シートＡＵ１を形成してもよい。このような場合でも、図３（Ｂ）に示すように、各チップＣＰの位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。
切断手段１１０は、図４（Ａ）に示すように、被着体貼付領域ＡＷ１を囲む三角形の包囲領域ＡＣ２の各頂部ＡＰ２からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる２つ辺ＣＳを有する不干渉切込ＣＵ２を形成し、包囲領域ＡＣ２に張力を付与する３つの引張領域ＡＬ２を備える離間用接着シートＡＵ２を形成してもよい。このような場合でも、図４（Ｂ）に示すように、各チップＣＰの位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。また、包囲領域が三角形の場合でも、スリット状の切込からなる不干渉切込を形成してもよい。
切断手段１１０は、不干渉切込ＣＵ、ＣＵ２を構成する各辺ＣＳや不干渉切込ＣＵ１を、曲線状や折線状等の切込で形成してもよい。
切断手段１１０は、カッター刃１１２の代わりにレーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の他の構成のものを採用してもよい。
切断手段１１０は、接着シートＡＳの外縁側を切り落とすことなく不干渉切込ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２を形成してもよい。

包囲領域は、少なくとも３個所の頂部を最短距離で繋いだ各直線で形成される多角形の内側の領域であり、被着体貼付領域を囲む多角形形状であればどのような形状でもよい。
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
片状体は、接着シートが貼付される以前の板状部材を切断することで形成されてもよいし、接着シート上で板状部材を切断ることで形成されてもよい。
支持手段および張力付与手段の数は、被着体貼付領域に対して張力を付与する数によって決定することができ、５つ以上であってもよい。

また、本発明における接着シートＡＳ、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。また、接着シートＡＳ、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。さらに、板状部材としては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができ、片状体は、それらが個片化されたものであればよい。なお、接着シートＡＳ、離間用接着シートＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１〜第３支持手段は、接着シートの所定方向側を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０…離間装置
２０…第１支持手段
３０…第１張力付与手段
４０…第２支持手段
５０…第２張力付与手段
６０…第３支持手段
７０…第３張力付与手段
８０…第４支持手段
９０…第４張力付与手段
１１０…切断手段
ＡＣ、ＡＣ１、ＡＣ２…包囲領域
ＡＰ、ＡＰ１、ＡＰ２…頂部
ＡＳ…接着シート
ＡＵ、ＡＵ１、ＡＵ２…離間用接着シート
ＡＷ、ＡＷ１…被着体貼付領域
ＣＰ…チップ（片状体）
ＣＳ…辺
ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２…不干渉切込
ＷＦ…ウエハ（板状部材）

Claims (2)

1. 接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
   前記接着シートの第１方向側を第１支持手段で支持し、当該第１支持手段を第１方向に移動させて前記接着シートに第１方向への張力を付与する第１張力付与手段と、
   前記接着シートの第２方向側を第２支持手段で支持し、当該第２支持手段を第２方向に移動させて前記接着シートに第２方向への張力を付与する第２張力付与手段と、
   前記接着シートの第３方向側を第３支持手段で支持し、当該第３支持手段を第３方向に移動させて前記接着シートに第３方向への張力を付与する第３張力付与手段とが少なくとも設けられ、
   前記板状部材の位置を検知する検知手段と、
   前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、当該包囲領域に対して前記各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成可能な切断手段とを備え、
   各張力付与手段は、前記検知手段の検知結果を基に、それぞれの支持手段で支持した前記接着シートに所定の張力を付与した後、前記板状部材を所定の位置に位置決めすることを特徴とする離間装置。
2. 接着シート上の板状部材に少なくとも３方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
   前記接着シートの第１方向側を第１支持手段で支持する工程と、
   前記接着シートの第２方向側を第２支持手段で支持する工程と、
   前記接着シートの第３方向側を第３支持手段で支持する工程とを少なくとも有し、
   前記板状部材の位置を検知手段で検知する工程と、
   前記検知手段の検知結果を基に、各支持手段で支持した前記接着シートに所定の張力を付与した後、前記板状部材を所定の位置に位置決めする工程と、
   前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、当該包囲領域に対して前記各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成する工程と、
   前記第１支持手段を第１方向に移動させて前記接着シートに第１方向への張力を付与する工程と、
   前記第２支持手段を第２方向に移動させて前記接着シートに第２方向への張力を付与する工程と、
   前記第３支持手段を第３方向に移動させて前記接着シートに第３方向への張力を付与する工程とを備えていることを特徴とする離間方法。

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