JP5593935B2 - 強誘電体キャパシタの製造方法及び強誘電体キャパシタ - Google Patents
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Description
基板の上に、下部電極膜を形成する工程と、
前記下部電極膜の上に、強誘電体膜を形成する工程と、
前記強誘電体膜の上に、ペロブスカイト構造を持つ導電性酸化物からなるアモルファスの中間膜を形成する工程と、
前記中間膜の上に、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなる第1の上部電極膜を形成する工程と、
前記第1の上部電極膜を形成した後、酸化性ガスを含む中で第1の熱処理を行うことにより、前記中間膜を結晶化させる工程と、
前記第1の熱処理の後、前記第1の上部電極膜の上に、前記第1の上部電極膜を形成するときの成長温度よりも低温で、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなる第2の上部電極膜を形成する工程と
を有する強誘電体キャパシタの製造方法が提供される。
基板の上に形成された下部電極と、
前記下部電極の上に配置され、結晶粒が柱状である強誘電体膜と、
前記強誘電体膜の上に配置され、ペロブスカイト構造を持つ導電性酸化物膜で形成され、結晶粒が柱状である中間膜と、
前記中間膜の上に配置され、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなり、結晶粒が柱状である第1の上部電極と、
前記第1の上部電極の上に配置され、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなり、アモルファスまたは微結晶の第2の上部電極と
を有する強誘電体キャパシタが提供される。
図1A〜図1Fを参照して、実施例1による強誘電体キャパシタの製造方法について説明する。
・基板温度 350℃
・スパッタリングガス Ar
・圧力 1Pa
・DCパワー 0.3kW
下部電極膜11を成膜した後、結晶性を向上させるための熱処理を行う。この熱処理には、例えばラピッドサーマルアニール(RTA)が適用される。熱処理条件は、例えば下記の通りである。
・雰囲気 不活性ガス、例えばAr
・熱処理温度 650℃
・熱処理時間 60秒
下部電極膜11の上に、アモルファス状態の貴金属酸化物膜12を形成する。貴金属酸化物膜12に含まれる貴金属は、例えばPt、Pd、Rh、Ir、Ru、またはOsである。実施例1においては、貴金属酸化物膜12に、Ptの酸化物を用いた。貴金属酸化物膜12の厚さは、例えば0.1nm〜3nmの範囲内とする。貴金属酸化物膜12の形成には、例えばスパッタリングが適用される。成膜条件は、例えば下記の通りである。
・基板温度 100℃〜400℃
・スパッタリングガス ArとO2(ArとO2との流量比20:80)
・圧力 1Pa
・DCパワー 0.1W〜0.3W
なお、下部電極膜11を形成した後、大気中に放置して下部電極膜11の表面を自然酸化させることにより、貴金属酸化物膜12を形成してもよい。
・ターゲット CSPLZT
・基板温度 30℃〜100℃
・スパッタリングガス Ar
・圧力 0.8Pa〜1.1Pa
・RFパワー 1.0kW
上記条件で形成した第1の強誘電体膜15は、結晶化しておらず、アモルファス状態である。
・熱処理温度 550℃〜650℃
・熱処理時間 90秒
この熱処理により、第1の強誘電体膜15が結晶化され、柱状結晶構造の第1の強誘電体膜15が得られる。本明細書において、「柱状結晶構造」とは、結晶粒の各々が結晶性膜の底面から上面まで達し、複数の結晶粒が面内方向に分布している構造を意味する。結晶粒の面内寸法は、20nm〜200nmの範囲内である。
・ターゲット Bi2O3を2wt%添加したSROセラミック
・基板温度 室温〜350℃(より好ましくは50℃〜70℃)
・スパッタリングガス Ar
・圧力 0.5Pa
・DCパワー 0.35kW
中間膜20の上に、結晶性の第1の上部電極膜21を形成する。第1の上部電極膜21には、例えば酸化イリジウムが用いられる。第1の上部電極膜21の厚さは、例えば10nm〜70nmの範囲内であり、より好ましくは20nm〜50nmの範囲内である。第1の上部電極膜21の形成には、例えば反応性スパッタリングが適用される。成膜条件は、例えば下記の通りである。
・基板温度 150℃〜350℃
・スパッタリングガス ArとO2との混合ガス(ArとO2との流量比70:30)
・圧力 2Pa
・DCパワー 1kW
上記基板温度で形成された第1の上部電極膜21は、結晶化されており、柱状結晶構造を有する。結晶化した第2の強誘電体膜16の結晶粒の面内寸法が、20nm〜200nmの範囲内であるのに対し、第1の上部電極膜21の結晶粒の面内寸法は、それよりも小さく、1nm〜10nmの範囲内である。
・熱処理温度 700℃〜750℃
・熱処理時間 120秒
・雰囲気ガス ArとO2との混合ガス
・総流量に対するO2流量の比 1.0%〜20%
この熱処理により、アモルファスまたは微結晶の第2の強誘電体膜16(図1D)が結晶化される。このとき、既に結晶化している第1の強誘電体膜15(図1D)の結晶粒から結晶が成長する。このため、第1の強誘電体膜15及び第2の強誘電体膜16が一体化して、柱状結晶構造を有する強誘電体膜17が形成される。さらに、中間膜20においても、強誘電体膜17の結晶粒から結晶成長が生じ、中間膜20も柱状結晶構造になる。
・基板温度 0℃〜100℃
・スパッタリングガス ArとO2との混合ガス
・総流量に対するO2ガス流量の比 40%以上
・圧力 1.5Pa〜2.0Pa
・DCパワー 1kW
基板温度を、第1の上部電極膜21を形成するときの基板温度よりも低くし、第2の上部電極膜22を、柱状結晶構造ではなく、アモルファスまたは微結晶にする。また、第2の上部電極膜22の組成比は、第1の上部電極膜21の組成比よりも、化学量論的組成比に近い。アモルファスまたは微結晶で、かつ化学量論的組成比に近い第2の上部電極膜22は、柱状結晶構造で、化学量論的組成比より酸素が少ない第1の上部電極膜21に比べて、水分や水素の拡散を防止する機能が高い。このため、第2の上部電極膜22は、後工程で強誘電体膜17に水分や水素が供給されることを抑制する機能を持つ。従って、第2の上部電極膜22は、第1の上部電極膜21よりも厚くすることが好ましい。
図7A〜図7J、及び図8を参照して、実施例2による強誘電体メモリの製造方法について説明する。
図9に、実施例3による強誘電体メモリの断面図を示す。実施例2による強誘電体メモリは、平坦な絶縁膜上に強誘電体キャパシタを配置した所謂プレーナ型であった。これに対し、実施例3による強誘電体メモリは、導電プラグの上に強誘電体キャパシタを配置した所謂スタック型である。
基板の上に、下部電極膜を形成する工程と、
前記下部電極膜の上に、強誘電体膜を形成する工程と、
前記強誘電体膜の上に、ペロブスカイト構造を持つ導電性酸化物からなるアモルファスの中間膜を形成する工程と、
前記中間膜の上に、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなる第1の上部電極膜を形成する工程と、
前記第1の上部電極膜を形成した後、酸化性ガスを含む中で第1の熱処理を行うことにより、前記中間膜を結晶化させる工程と、
前記第1の熱処理の後、前記第1の上部電極膜の上に、前記第1の上部電極膜を形成するときの成長温度よりも低温で、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなる第2の上部電極膜を形成する工程と
を有する強誘電体キャパシタの製造方法。
前記中間膜が、SrとRuとOを含む導電材料、SrとTiとOを含む導電材料、LaとSrとMnとOを含む導電材料、またはLaとSrとCoとOを含む導電材料で形成されている付記1に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記中間膜の厚さが1nm〜5nmの範囲内である付記1または2に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第1の上部電極膜を形成する工程において、前記第1の上部電極膜が柱状結晶構造になる条件で前記第1の上部電極膜を形成する付記1乃至3のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第1の上部電極膜の厚さを10nm〜70nmの範囲内とする付記1乃至4のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記中間膜を、基板温度50℃〜70℃の条件で、スパッタリングにより形成する付記1乃至5のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第1の上部電極膜を、基板温度150℃〜350℃の条件で、スパッタリングにより形成する付記1乃至6のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第1の上部電極膜を、O2とArとの総流量に対するO2の流量の比が20%〜50%の範囲内の条件で形成する付記7に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第2の上部電極膜を、基板温度0℃〜100℃の条件で、スパッタリングにより形成する付記1乃至8のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第2の上部電極膜を形成するときの、O2とArとの総流量に対するO2の流量の比が、前記第1の上部電極膜を形成するときのそれよりも高い付記9に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第2の上部電極膜は、アモルファスまたは微結晶状態である付記1乃至10のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記強誘電体膜を形成する工程は、
前記下部電極の上に、結晶化した第1の強誘電体膜を形成する工程と、
前記第2の強誘電体膜の上に、アモルファスまたは微結晶の第2の強誘電体膜を形成する工程と
を含み、
前記第1の熱処理時に、前記第2の強誘電体膜が結晶化する付記1乃至11のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
前記第1の熱処理は、O2と不活性ガスとの混合ガス中で行い、総流量に対するO2ガスの流量の比を20%以下とする付記1乃至12のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
基板の上に形成された下部電極と、
前記下部電極の上に配置され、結晶粒が柱状である強誘電体膜と、
前記強誘電体膜の上に配置され、ペロブスカイト構造を持つ導電性酸化物膜で形成され、結晶粒が柱状である中間膜と、
前記中間膜の上に配置され、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなり、結晶粒が柱状である第1の上部電極と、
前記第1の上部電極の上に配置され、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなり、アモルファスまたは微結晶の第2の上部電極と
を有する強誘電体キャパシタ。
前記中間膜の結晶粒が、前記強誘電体膜の結晶粒に対応して分布する付記14に記載の強誘電体キャパシタ。
前記第1の上部電極の結晶粒の面内方向の寸法は、前記強誘電体膜の結晶粒の面内方向の寸法よりも小さい付記14または15に記載の強誘電体キャパシタ。
前記中間膜の厚さは、1nm〜5nmの範囲内である付記14乃至16のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタ。
前記第1の上部電極の厚さは、10nm〜70nmの範囲内である付記14乃至17のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタ。
前記第1の上部電極の結晶粒の面内方向の寸法が、1nm〜10nmの範囲内である付記14乃至18のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタ。
11 下部電極膜
12 貴金属酸化物膜
12A 貴金属膜
13 下部電極膜
15 第1の強誘電体膜
16 第2の強誘電体膜
20 中間膜
21 第1の上部電極膜
22 第2の上部電極膜
23 上部電極膜
30 半導体基板
31 素子分離絶縁膜
32 p型ウェル
33 MOSトランジスタ
35 絶縁膜
36 層間絶縁膜
37 ビアホール
38 密着膜
39 導電プラグ
40、41 絶縁膜
42 密着膜
51 下部電極膜
52 強誘電体膜
53 中間膜
54 上部電極膜
60 ハードマスク膜
61、62 レジストパターン
65 保護膜
66 レジストパターン
68 保護膜
70 層間絶縁膜
71 保護膜
72 層間絶縁膜
75 密着膜
76 導電プラグ
80 半導体基板
81 素子分離絶縁膜
82 p型ウェル
83 MOSトランジスタ
84 絶縁膜
85 層間絶縁膜
86 ビアホール
87 酸化防止膜
88 層間絶縁膜
89 導電プラグ
90 下地導電膜
91 配向性向上膜
92 密着膜
93 酸素バリア膜
95 強誘電体キャパシタ
96 下部電極膜
97 強誘電体膜
98 中間膜
99 上部導電膜
100 水素バリア膜
110、111 保護膜
115 層間絶縁膜
117 バリア膜
118 層間絶縁膜
120 導電プラグ
121 配線
Claims (10)
- 基板の上に、下部電極膜を形成する工程と、
前記下部電極膜の上に、強誘電体膜を形成する工程と、
前記強誘電体膜の上に、ペロブスカイト構造を持つ導電性酸化物からなるアモルファスの中間膜を形成する工程と、
前記中間膜の上に、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなる第1の上部電極膜を形成する工程と、
前記第1の上部電極膜を形成した後、酸化性ガスを含む中で第1の熱処理を行うことにより、前記中間膜を結晶化させる工程と、
前記第1の熱処理の後、前記第1の上部電極膜の上に、前記第1の上部電極膜を形成するときの成長温度よりも低温で、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなる第2の上部電極膜を形成する工程と
を有する強誘電体キャパシタの製造方法。 - 前記中間膜が、SrとRuとOを含む導電材料、SrとTiとOを含む導電材料、LaとSrとMnとOを含む導電材料、またはLaとSrとCoとOを含む導電材料で形成されている請求項1に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
- 前記中間膜の厚さが1nm〜5nmの範囲内である請求項1または2に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
- 前記第1の上部電極膜を形成する工程において、前記第1の上部電極膜が柱状結晶構造になる条件で前記第1の上部電極膜を形成する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
- 前記第1の上部電極膜の厚さを10nm〜70nmの範囲内とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
- 前記第1の上部電極膜を、基板温度150℃〜350℃の条件で、スパッタリングにより形成する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
- 前記第2の上部電極膜を、基板温度0℃〜100℃の条件で、スパッタリングにより形成する請求項1乃至6のいずれか1項に記載の強誘電体キャパシタの製造方法。
- 基板の上に形成された下部電極と、
前記下部電極の上に配置され、結晶粒が柱状である強誘電体膜と、
前記強誘電体膜の上に配置され、ペロブスカイト構造を持つ導電性酸化物膜で形成され、結晶粒が柱状である中間膜と、
前記中間膜の上に配置され、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなり、結晶粒が柱状である第1の上部電極と、
前記第1の上部電極の上に配置され、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Osからなる群より選択された少なくとも1つの金属の酸化物からなり、アモルファスまたは微結晶の第2の上部電極と
を有する強誘電体キャパシタ。 - 前記中間膜の厚さは、1nm〜5nmの範囲内である請求項8に記載の強誘電体キャパシタ。
- 前記第1の上部電極の厚さは、10nm〜70nmの範囲内である請求項8または9に記載の強誘電体キャパシタ。
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