JP5559773B2 - 積層半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
(a)半導体基板のデバイス面側とは反対側の基板裏面を研磨する工程、
(b)前記基板裏面から電気導通のない電極穴を加工する工程、
(c)前記基板裏面から電気導通のある貫通電極穴を加工する工程
(d)前記両電極穴中に側壁絶縁膜を堆積、加工し、さらに電極材を埋め込んで電極を形成する工程、
(e)前記両電極端の平坦化を行い半導体装置を形成する工程、
(f)前記(a)〜(e)の工程で得られた半導体装置を複数積層する工程を有する積層半導体装置の製造方法にある。
(g)前記半導体基板上のデバイス面側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程と、
(h)前記半導体基板上の前記貫通電極側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程から選ばれる少なくとも一つの工程をさらに有しても良い。
前記側壁絶縁膜の加工は、電極内に堆積させた絶縁膜の穴底絶縁膜を除去すると同時にデバイス側の電極面まで加工することが好ましい。
(a)半導体基板のデバイス面側とは反対側の基板裏面を研磨する工程、
(i)前記基板裏面にマスク材を堆積させる工程、
(j)電気導通のない電極穴を加工するためのマスクを作成し、加工する工程、
(k)電気導通のある貫通電極穴を加工するためのマスクを作成し、加工する工程、
(d)前記両電極穴中に側壁絶縁膜を堆積、加工し、さらに電極材を埋め込んで電極を形成する工程、
(e)前記両電極端の平坦化を行い半導体装置を形成する工程、
(f)前記(a)〜(e)の工程で得られた半導体装置を複数積層する工程を有する積層半導体装置の製造方法にある。
(g)前記半導体基板上のデバイス面側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程と、
(h)前記半導体基板上の前記貫通電極側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程から選ばれる少なくとも一つの工程をさらに有することが好ましい。
前記側壁絶縁膜の加工は、電極内に堆積させた絶縁膜の穴底絶縁膜を除去すると同時にデバイス側の電極面まで加工することが好ましい。
(l)半導体基板の一方の面に電極材を埋め込んで電気導通のある貫通電極を形成する工程、
(m)半導体基板のもう一方の面を研磨して電気導通のある貫通電極を露出する工程、
(b’)前記露出面を保護しながら前記露出面と同じ方向の面から電気導通のない電極穴を加工する工程、
(d’)前記電気導通のない電極穴中に電極材を埋め込んで電極を形成する工程、
(e)前記両電極端の平坦化を行い半導体装置を形成する工程、
(f’)前記(l)〜(e)の工程で得られた半導体装置を複数積層する工程を有する積層半導体装置の製造方法にある。
(g)前記半導体基板上のデバイス面側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程と、
(h)前記半導体基板上の前記貫通電極側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程から選ばれる少なくとも一つの工程をさらに有することが好ましい。
ここでは、via-Lastにおいて貫通電極を形成した積層半導体装置の実施例に関して説明する。はじめに、完成した半導体装置のデバイス側に金属バンプを形成する方法を説明する。デバイス側の最上部には、Alで形成された取り出し用のAl電極が面内に均一配置されており、それらの高さは皆同じである。回路設計により、予め内部回路との電気導通があるAl電極と電気導通がないAl電極の両方が形成されている。
実施の形態1において、電気導通のない電極を形成しない以外は、全て同様の操作を行って積層半導体装置を得た。これにより得られた半導体装置を半導体装置Bと表現する。
実施の形態1において電気導通のない電極を形成せず、さらに電気導通のある貫通電極以外の領域に金属バンプを形成しない以外は、全て同様の操作を行って半導体装置を得た。これにより得られた半導体装置を半導体装置Cと表現する。
実施の形態1において、デバイス面側に金属バンプを形成せず、さらに、半導体装置裏面側に金属バンプを形成しない以外は、全て同様の操作を行って半導体装置を得た。これにより得られた半導体装置を半導体装置Dと表現する。
次に、via-Firstにおいて貫通電極を形成した積層半導体装置の実施例に関して説明する。デバイス領域と最初のメタル配線(M1)を形成する手前まで半導体装置を作製した後、層間膜上から電気導通のある貫通電極用の穴を開口し、この貫通電極穴の内壁にCVD酸化膜で側壁絶縁膜を堆積させる。この時の貫通電極深さは31μmである。シード層(Ta/Cu)をスパッタで形成し、Cuメッキにて貫通電極穴内にCuを埋め込んだ後、余分なCuをCMPにて除去および平坦化することで、貫通電極同士を電気的に独立させた。この後、メタル配線層を形成する。この際、この貫通電極と配線層は電気的に繋がるので、この貫通電極は電気導通のある貫通電極となる。
実施の形態2において、電気導通のない電極を形成しない以外は、全て同様の操作を行って積層半導体装置を得た。これにより得られた半導体装置を半導体装置Fと表現する。
実施の形態2において電気導通のない電極を形成せず、さらに電気導通のある貫通電極以外の領域に金属バンプを形成しない以外は、全て同様の操作を行って半導体装置を得た。これにより得られた半導体装置を半導体装置Gと表現する。
実施の形態2において、デバイス面側に金属バンプを形成せず、さらに、半導体装置裏面側に金属バンプを形成しない以外は、全て同様の操作を行って半導体装置を得た。これにより得られた半導体装置を半導体装置Hと表現する。
2 デバイス領域
3 プロテクト膜
4 取り出し電極(デバイス側)
5 電気導通のある貫通電極(断面)
6 貫通電極のある領域
7 貫通電極のない領域
8 デバイス側の金属パッドまたは金属バンプ
9 半導体装置裏面側の金属パッドまたは金属バンプ
10 貫通電極ない領域に形成した金属パッドまたは金属バンプ
11 電気導通のある貫通電極端(平面)
12 電気導通のない電極端(平面)
13 半導体装置
14 配線層
15 電気導通のある貫通電極穴
16 電極内の側壁絶縁膜
17 電極内の埋め込み電極
18 貫通電極露出面
19 電気導通のない電極穴
20 電気導通のない電極(断面)
21 CVD酸化膜
22 両面バンプ付き電極チップ
23 インターフェースチップ
24 積層半導体装置
25 実装基板
26 アンダーフィル剤
27 ハンダバンプ
Claims (8)
- (a)半導体基板のデバイス面側とは反対側の基板裏面を研磨する工程、
(b)前記基板裏面から電気導通のない電極穴を加工する工程、
(c)前記基板裏面から電気導通のある貫通電極穴を加工する工程
(d)前記両電極穴中に側壁絶縁膜を堆積、加工し、さらに電極材を埋め込んで電極を形成する工程、
(e)前記両電極端の平坦化を行い半導体装置を形成する工程、
(f)前記(a)〜(e)の工程で得られた半導体装置を複数積層する工程を有することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の積層半導体装置の製造方法において、
(g)前記半導体基板上のデバイス面側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程と、
(h)前記半導体基板上の前記貫通電極側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程から選ばれる少なくとも一つの工程をさらに有することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の積層半導体装置の製造方法において、
前記側壁絶縁膜の加工は、電極内に堆積させた絶縁膜の穴底絶縁膜を除去すると同時にデバイス面側の電極面まで加工することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。 - (a)半導体基板のデバイス面側とは反対側の基板裏面を研磨する工程、
(i)前記基板裏面にマスク材を堆積させる工程、
(j)電気導通のない電極穴を加工するためのマスクを作成し、加工する工程、
(k)電気導通のある貫通電極穴を加工するためのマスクを作成し、加工する工程、
(d)前記両電極穴中に側壁絶縁膜を堆積、加工し、さらに電極材を埋め込んで電極を形成する工程、
(e)前記両電極端の平坦化を行い半導体装置を形成する工程、
(f)前記(a)〜(e)の工程で得られた半導体装置を複数積層する工程を有することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。 - 請求項4に記載の積層半導体装置の製造方法において、
(g)前記半導体基板上のデバイス面側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程と、
(h)前記半導体基板上の前記貫通電極側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程から選ばれる少なくとも一つの工程をさらに有することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。 - 請求項4に記載の積層半導体装置の製造方法において、前記側壁絶縁膜の加工は、電極内に堆積させた絶縁膜の穴底絶縁膜を除去すると同時にデバイス面側の電極面まで加工することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。
- (l)半導体基板の一方の面に電極材を埋め込んで電気導通のある貫通電極を形成する工程、
(m)半導体基板のもう一方の面を研磨して電気導通のある貫通電極を露出する工程、
(b’)前記露出面を保護しながら前記露出面と同じ方向の面から電気導通のない電極穴を加工する工程、
(d’)前記電気導通のない電極穴中に電極材を埋め込んで電極を形成する工程、
(e)前記両電極端の平坦化を行い半導体装置を形成する工程、
(f’)前記(l)〜(e)の工程で得られた半導体装置を複数積層する工程を有することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。 - 請求項7に記載の積層半導体装置の製造方法において、
(g)前記半導体基板上のデバイス面側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程と、
(h)前記半導体基板上の前記電極側に金属パッドまたは金属バンプを形成する工程から選ばれる少なくとも一つの工程をさらに有することを特徴とする積層半導体装置の製造方法。
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