JP5558452B2 - 貼り合わせ装置 - Google Patents
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Description
11 上部チャック
11a 保持部本体
11b エッジ部
11b1 厚板部
11b2 薄板部
12 筺体
14 Oリング
15 釣支部材
16 支持板
18 吸気機構
20 加圧機構
25 エアーシリンダ
26 固定機構
30 高さ調整機構
40 上部チャック構造体
50、100 貼り合わせ装置
W ウエハ
Claims (6)
- 板状の第1部材と第2部材を貼り合わせる貼り合わせ装置であって、
前記第1部材を上面に載置して保持する第1の保持部と、
該第1の保持部の上部に対向配置され前記第2部材を保持する第2の保持部と、
前記第1の保持部と前記第2の保持部との間に形成される空間を減圧する吸気機構と、を有し、
前記第2の保持部は、剛性を有するエッジ部と、該エッジ部とは分割され当該エッジ部に外周部が支持された保持部本体とを有し、該保持部本体は、所定の圧力で当該保持部本体の一部が撓む弾性体からなり、
前記エッジ部は、周方向に沿って等間隔に設けられた4個〜8個の釣支部材によって前記第2の保持部の上方に設けられた支持板に釣支されていることを特徴とする貼り合わせ装置。 - 前記釣支部材は、6個であることを特徴とする請求項1記載の貼り合わせ装置。
- 前記第1の保持部と前記第2の保持部との間に形成される空間の気密性を保持するための気密性保持機構を有し、該気密性保持機構は、
前記第2の保持部の下面外周部に沿って設けられた環状のシール材であって、前記第1の保持部、前記第2の保持部及び当該シール材とで囲まれた空間の気密性を保持するシール材と、
該シール材の外側に設けられ、前記第2の保持部の下面に当接して前記第1の保持部材によって保持された第1部材と前記第2の保持部材によって保持された第2部材との間の間隔を調整する高さ調整機構と、を有することを特徴とする請求項1又は2記載の貼り合わせ装置。 - 前記高さ調節機構は、前記第1の保持部、前記第2の保持部及び前記シール材とで囲まれた空間の気密性を保持しつつ、前記第1部材と前記第2部材との間の間隔を調整することを特徴とする請求項3記載の貼り合わせ装置。
- 前記第2の保持部の上部に設けられ、前記第2の保持部を下方に押圧する加圧機構を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の貼り合わせ装置。
- 前記加圧機構は、前記第2の保持部の前記保持部本体の上面を覆うように設けられた鉛直方向に伸縮自在の圧力容器を有し、該圧力容器内に流体を導入することによって前記第2の保持部を加圧することを特徴とする請求項5記載の貼り合わせ装置。
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