JP5555633B2 - 所定の温度条件下で試験基板を検査する方法及び温度条件を設定可能な検査装置 - Google Patents
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Description
2 温度調節可能なチャック
3 ツェータ駆動部
4 Z方向駆動部
5 Y方向スライダ
6 Y方向ステータ
7 X方向スライダ
8 X方向ステータ
9 プローブ保持板
10 ベースプレート
11 筐体
12 EMV遮蔽体
13 プローブヘッド
14 顕微鏡駆動部
15 観測ユニット、顕微鏡
16 台座
17 上室
18 対物レンズシール
19 温度調節流体の供給及び排出パイプ
20 プローブ保持板用熱交換機
21 温度調節流体の供給及び排出パイプ
22 顕微鏡用熱交換機
23 温度調節流体の供給及び排出パイプ
24 温度調節流体の供給及び排出パイプ
25 温度調節ガスの供給パイプ
26 放出部品
27 X−Y方向駆動部用熱交換機
28 ツェータ及びZ方向駆動部用熱交換機
29 温度センサーT1
30 温度センサーT2
31 温度センサーT3
32 検査プローブ
Claims (14)
- 検査する試験基板を温度調節可能なチャックによって保持して所定の温度に設定し、少なくとも一つの位置決め機器を用いて、検査プローブに対して相対的な位置に試験基板を配置して、検査のために検査プローブと接触させる、所定の温度条件の下で試験基板を検査する方法であって、
温度調節機器を用いて、温度調節する試験基板の周辺領域に有る、位置決め機器の少なくとも一つの部品の温度を試験基板の温度と独立して設定するとともに、その温度を一定に保持する試験基板検査方法において、
チャック駆動部を用いて、試験基板の位置決めを行い、チャック駆動部の少なくとも一つの部品の温度を所望の温度に設定することを特徴とする試験基板検査方法。 - 位置決め機器の部品がプローバを熱平衡状態に移行することができると見込まれる温度に、当該の部品の温度を設定して、その温度設定が、試験基板の温度を検査温度にまで調節するための時間内に行われることを特徴とする請求項1に記載の試験基板検査方法。
- 当該の位置決め機器の部品の温度を試験基板の検査温度と大きく異なる温度に設定することを特徴とする請求項1に記載の試験基板検査方法。
- 請求項1から3までのいずれか一つに記載の方法にもとづき、プローバの温度条件を設定する方法において、
マニピュレータを用いて、検査プローブの位置決めを行うことができ、マニピュレータの温度を所望の温度に設定することを特徴とする方法。 - 位置決め可能な観測ユニットを用いて、検査を観測し、温度調節機器を用いて、観測ユニットの駆動部の温度を試験基板の温度と独立した温度に設定するとともに、その温度を一定に保持することを特徴とする請求項1から4までのいずれか一つに記載の試験基板検査方法。
- 熱交換機を用いて、温度調節を行うことを特徴とする請求項1から5までのいずれか一つに記載の試験基板検査方法。
- 温度調節したガスの流れを向けることによって、温度調節を行うことを特徴とする請求項1から6までのいずれか一つに記載の試験基板検査方法。
- 試験基板の収容及び温度調節用の温度調節可能なチャックと、試験基板と接触させる検査プローブと、検査プローブに対して相対的な試験基板の位置決めを行うための位置決め機器とを有する、温度条件を設定することが可能なプローバであって、
温度調節する試験基板の周辺領域に有る、位置決め機器の少なくとも一つの部品が、試験基板の温度と独立した一定に保持すべき所定の温度に設定するための温度調節機器を有する、温度条件を設定可能なプローバにおいて、
当該のチャックが、試験基板の位置決めを行うためのチャック駆動部を有し、温度調節機器を用いて、チャック駆動部の少なくとも一つの部品の温度を所望の温度に設定することが可能であることを特徴とする、温度条件を設定可能なプローバ。 - このプローバが、検査プローブの位置決めを行うための少なくとも一つのマニピュレータを有し、温度調節機器を用いて、このマニピュレータの温度を所望の温度に設定することが可能であることを特徴とする請求項8に記載の温度条件を設定可能なプローバ。
- 当該のマニピュレータが、プローブ保持板上に配置されており、温度調節機器を用いて、このプローブ保持板を介して間接的に所望の温度に設定することが可能であることを特徴とする請求項9に記載の温度条件を設定可能なプローバ。
- 温度調節機器が、熱交換機を有することを特徴とする請求項8から10までのいずれか一つに記載の温度条件を設定可能なプローバ。
- 温度調節機器が、温度調節されたガスの流れを発生させて、位置決め機器の部品に流出させる機器を有することを特徴とする請求項8から11までのいずれか一つに記載の温度条件を設定可能なプローバ。
- このプローバが、検査を観察するための移動可能な観測ユニットを有し、その駆動部が、試験基板の温度と独立した一定に保持すべき所定の温度に設定するための温度調節機器を有することを特徴とする請求項8から12までのいずれか一つに記載の温度条件を設定可能なプローバ。
- このプローバが、プローバの位置決め機器の少なくとも一部を取り囲んで、電磁放射線を遮蔽する筐体を有することを特徴とする請求項8から13までのいずれか一つに記載の温度条件を設定可能なプローバ。
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