JP7398930B2 - 検査装置システム - Google Patents
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Description
はじめに、検査装置システムの全体構成について説明する。図1は、検査装置システムの全体構成の一例を示す図である。
次に、検査装置120,130,140の構成例について説明する。図2は、検査装置の構成例を示す図である。以下、検査装置120の構成について説明するが、検査装置130,140についても検査装置120と同様の構成である。
次に、検査装置120,130,140で取り扱われるデータ群について説明する。図3は、検査装置で取り扱われるデータ群の具体例を示す図である。以下、検査装置120で取り扱われるデータ群について説明するが、検査装置130,140で取り扱われるデータ群についても検査装置120で取り扱われるデータ群と同様である。
次に、データ処理装置110のハードウェア構成について説明する。図4は、データ処理装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
次に、データ処理装置110のデータ解析部111の機能構成について説明する。図5は、データ解析部の機能構成の一例を示す図である。
(モデル作成処理)
次に、データ解析部111の各部のうち、モデル作成部501及び収集部502により実行されるモデル作成処理について説明する。モデル作成処理は、複数の検査装置120,130,140から得られるデータ群である装置パラメータ及び指標データに基づき、装置パラメータと指標データとの間の因果関係を定めるモデルを作成する処理である。図6は、モデル作成処理の一例を示すフローチャートである。
次に、データ解析部111の各部のうち、収集部502、判定部503、算出部504及び出力部505により実行される調整量算出処理について説明する。調整量算出処理は、装置パラメータと指標データの因果関係を定めるモデルが解析結果格納部113に格納された状態で実行される。該モデルは、例えばモデル作成部501が前述のモデル作成処理を実行することにより作成されたモデルであってよく、ドライブ装置408を介して記録媒体から読み出されたモデルであってもよい。図7は、調整量算出処理の一例を示すフローチャートである。
110 データ処理装置
111 データ解析部
112 データ格納部
113 解析結果格納部
120,130,140 検査装置
501 モデル作成部
502 収集部
503 判定部
504 算出部
505 出力部505
Claims (5)
- 複数の検査装置と、該複数の検査装置と相互に通信可能なデータ処理装置と、を備える検査装置システムであって、
前記データ処理装置は、
前記検査装置の設定に関する複数の装置パラメータと、前記検査装置を動作させたときに得られる指標データの因果関係を定めるモデルを格納する格納部と、
前記複数の検査装置の少なくともいずれかの検査装置から前記複数の装置パラメータ及び前記指標データを収集する収集部と、
前記収集部が収集した前記指標データが予め定めた許容範囲内に含まれるか否かを判定する判定部と、
算出部と、
を有し、
前記モデルは、前記指標データに対する前記複数の装置パラメータの各々の寄与度を示す数式を含み、
前記算出部は、前記判定部により前記指標データが前記許容範囲内に含まれないと判定された場合、前記格納部に格納された前記モデルに基づき、前記収集部が収集した前記複数の装置パラメータのうち、前記指標データに対する寄与度の高い装置パラメータを調整する調整量を算出する、
検査装置システム。 - 前記複数の検査装置から得られる前記複数の装置パラメータ及び前記指標データに基づき、前記モデルを作成するモデル作成部を有する、
請求項1に記載の検査装置システム。 - 前記モデル作成部は、多変量解析又は機械学習により前記モデルを作成する、
請求項2に記載の検査装置システム。 - 前記判定部により前記指標データが前記許容範囲内に含まれないと判定された場合、前記検査装置が異常であることを示す警告信号を出力する出力部を有する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の検査装置システム。 - 前記算出部から算出される前記調整量により、対応する検査装置の装置パラメータの調整を実行することができる請求項1乃至4のいずれか一項に記載の検査装置システム。
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