JP2007129091A - プローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブ18を有するプローブカード17と、ウエハWを保持するウエハチャック11と、制御部32と、を備え、テスタ21の各端子を半導体装置の電極に接続するプローバであって、ウエハチャック11のウエハを保持する部分を全体的に温度調整し、部分的には温度調整できない温度調整手段31と、ウエハチャックのウエハを保持する部分の複数箇所の温度を検出する複数の温度センサ33A,33B,33Cと、を備え、制御部32は、複数箇所の温度から、検査中の半導体装置に対応する検査対応温度を算出し、検査対応温度に応じて温度調整手段31を調整する。
【選択図】図2
Description
17 プローブカード
18 プローブ
21 テスタ本体
31 温度調整手段
32 制御部
33A−33C 温度センサ
34 スイッチ
A−M 温度センサ
W ウエハ
Claims (6)
- 半導体装置の電極に接触して前記電極をテスタの端子に接続するプローブを有するプローブカードと、
ウエハを保持するウエハチャックと、
各部を制御する制御部と、を備え、ウエハ上に形成された複数の半導体装置をテスタで検査をするために、前記テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバであって、
前記ウエハチャックの前記ウエハを保持する部分を全体的に温度調整し、部分的には温度調整できない温度調整手段と、
前記ウエハチャックの前記ウエハを保持する部分の複数箇所の温度を検出する複数の温度センサと、を備え、
前記制御部は、前記複数の温度センサの検出した複数箇所の温度から、前記複数の半導体装置のうち検査中の半導体装置に対応する検査対応温度を算出し、前記検査対応温度に応じて前記温度調整手段を調整することを特徴とするプローバ。 - 前記制御部は、前記複数の温度センサの検出した複数箇所の温度のうち、もっとも高い温度を前記検査対応温度として算出する請求項1に記載のプローバ。
- 前記制御部は、検査中の検査中半導体装置にもっとも近い温度センサの検出している温度を前記検査対応温度として算出する請求項1に記載のプローバ。
- 前記制御部は、検査中の半導体装置の近傍の複数の温度センサの検出している複数の関連温度を、前記検査中の半導体装置の近傍の前記複数の温度センサまでの距離に応じて合成して前記検査対応温度を算出する請求項1に記載のプローバ。
- 前記ウエハ上の前記複数の半導体装置は、検査の順番があらかじめ設定されており、
前記制御部は、前記複数の温度センサの検出した複数箇所の温度から、検査中の半導体装置の後に続いて検査することが予測される検査予定半導体装置に対応する検査予定対応温度を算出し、前記検査対応温度及び前記検査予定対応温度に基づいて前記温度調整手段を調整する請求項1に記載のプローバ。 - 前記制御部は、検査中の半導体装置の近傍の複数の温度センサの検出している複数の関連温度を、前記検査中の半導体装置から近傍の前記複数の温度センサまでの距離に応じて合成して前記検査対応温度を算出すると共に、前記検査予定半導体装置の近傍の複数の温度センサの検出している複数の予定関連温度を、前記検査予定半導体装置の近傍の前記複数の温度センサまでの距離に応じて合成して前記検査予定対応温度を算出する請求項5に記載のプローバ。
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JP2007109816A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Sharp Corp | 集積回路検査装置 |
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