JP7436267B2 - 洗浄ノズルおよび洗浄方法 - Google Patents
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Description
したがって、本発明の目的は、乾式で保持面を洗浄する際に、吹き飛ばしたゴミが保持面に再付着されることを抑制することにある。
また、本洗浄ノズルでは、該吸気ノズルは、該吸気口の上方に、該吸気口よりも幅の広い空間である吸気空間を有していてもよい。
本実施形態では、テープマウンタのチャックテーブル100における保持面101を被洗浄面として、洗浄ノズル1の構成および動作について説明する。
また、図1および図2に示すように、エアノズル12および吸気ノズル13は、筐体11の長手方向であるY軸方向に沿って延びるとともに、X軸方向に並ぶように設けられている。
第1側壁111、中央壁112および第2側壁113の上面は、筐体11の上面117(+Z側の面)を形成している。また、第1側壁111、中央壁112および第2側壁113の下面は、筐体11の下面118(-Z側の面)を形成している。
さらに、筐体11は、図1に示すように、+Y側の第3側壁115、および、-Y側の第4側壁116を有している。
一方、吸気ノズル13は、中央壁112、第2側壁113、第3側壁115、第4側壁116、および、これらの側壁に囲まれた内部空間である吸気空間131を含んでいる。
エア空間121の下方は、筐体11の下面118における、第1側壁111の下面および中央壁112の下面によって形成される部分が配置されている。そして、この下面118の部分に、噴射口122が設けられている。この噴射口122は、エア空間121と外部とを連通する孔であり、エアノズル12の外部にエアを噴出するための噴射口である。
本実施形態では、図1に示すように、筐体11の下面118に、Y軸方向に沿って、複数の噴射口122が、所定の間隔をおいて並ぶように設けられている。エア空間121の下方における噴射口122どうしの間は、塞がれている。
なお、高圧電源71は、直流電源でも、高周波電源でもよい。
吸気空間131の下方は、筐体11の下面118における、中央壁112の下面および第2側壁113の下面によって形成される部分が配置されている。そして、この下面118の部分に、吸気空間131内に外部の空気を吸引するための吸気口132が、Y軸方向に沿って延びるように設けられている。
以下に、洗浄ノズル1によるチャックテーブル100の保持面101の洗浄動作(洗浄方法)について説明する。
これにより、移動する保持面101における各部分(洗浄される部分)の上には、吸気ノズル13の吸気口132が、エアノズル12の噴射口122よりも先に配置されることとなる。
すなわち、制御手段17は、吸気バルブ62を開放する。これにより、吸気ノズル13(吸気空間131)が、吸気連結部15、吸気配管63および吸気バルブ62を介して、吸気源61に連通される。これにより、図5に示すように、吸気ノズル13の吸気口132に、矢印303によって示すように、保持面101で反射されたエアとともに、舞い上げられたゴミ401が吸引される。これによって、保持面101が洗浄される(洗浄工程)。
また、噴射口122から噴射されるエアをイオン化エアとすることにより、噴射口122から噴射されるエアの風圧を小さくしても、ゴミ401を除去することができる。したがって、洗浄のためのエアの消費量を抑えることができる。
12:エアノズル、14:エア連結部、121:エア空間、122:噴射口、
123:電極針、51:エア源、52:エアバルブ、53:エア配管、
13:吸気ノズル、15:吸気連結部、131:吸気空間、132:吸気口、
61:吸気源、62:吸気バルブ、63:吸気配管、71:高圧電源、
111:第1側壁、112:中央壁、113:第2側壁、
115:第3側壁、116:第4側壁、134:傾斜内壁、135:垂直内壁、
100:チャックテーブル、101:保持面、103:レール、401:ゴミ
Claims (5)
- 被加工物を保持する保持面あるいは該保持面に保持された被加工物の表面のいずれかを被洗浄面として洗浄する洗浄ノズルであって、
該被洗浄面に平行な方向に延在し、該被洗浄面に向かってエアを噴射する噴射口を有するエアノズルと、
該エアノズルに隣接して並列に配置され、該被洗浄面上の空気を吸引する吸気口を有する吸気ノズルと、
を備え、
該吸気口は、該エアノズル側の垂直内壁と、該垂直内壁の下方に向かって傾斜している傾斜内壁との間に形成される溝状を有している、
る洗浄ノズル。 - 該エアノズルは、イオン化されたエアを該噴射口から噴射する、
請求項1記載の洗浄ノズル。 - 該吸気ノズルは、該吸気口の上方に、該吸気口よりも幅の広い空間である吸気空間を有している、
請求項1に記載の洗浄ノズル。 - 請求項1~3のいずれかに記載の洗浄ノズルを用いて、被加工物を保持する保持面あるいは該保持面に保持された被加工物の表面のいずれかを、被洗浄面として洗浄する洗浄方法であって、
該被洗浄面の上に隙間を空けて該被洗浄面に平行に該洗浄ノズルを配置する配置工程と、
該配置工程で配置された該洗浄ノズルと該被洗浄面とを、相対的に、該被洗浄面に平行な方向で、かつ、該洗浄ノズルの延在方向に対し交差する方向に移動させながら、該噴射口からエアを噴射すること、および、該被洗浄面で反射されたエアを該吸気口によって吸気することによって、該被洗浄面を洗浄する洗浄工程と、を含む、
洗浄方法。 - 該洗浄工程では、該洗浄ノズルに対する該被洗浄面の移動方向において、該吸気ノズルの該吸気口が、該エアノズルの該噴射口よりも上流側に配置される、
請求項4記載の洗浄方法。
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