JP5549913B2 - 電気機械変換素子の製造方法 - Google Patents
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Description
先ず、水熱合成法ではTi金属上にPZTが選択成長する。Ti電極をパターニングしておけば、その部位のみにPZT膜が成長する。この方法で十分な耐圧を有するPZT膜を得るには、膜厚が5μm以上の比較的厚い膜が好ましい。これ以下の膜厚では、電界印加で容易に絶縁破壊してしまうからである。
14;結晶化膜、20;液滴吐出ヘッド、40;液滴吐出装置、
100;インクジェット記録装置。
Claims (6)
- 電気機械変換素子を製造する方法において、
下部電極としての、アモルファス酸化物で形成されたアモルファス酸化物電極膜上に電気機械変換層になるゾルゲル液を塗布する工程と、
塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解後に部分的にレーザを照射し、前記アモルファス酸化物電極膜とゾルゲル熱分解膜の両者を結晶化させる工程と、
未照射部の非結晶のゾルゲル熱分解膜をエッチングして除去する工程と、
未照射部の前記アモルファス酸化物電極膜をエッチングして除去する工程と、
前記電気機械変換層の特性回復と残部の前記アモルファス酸化物電極膜の結晶化のための熱処理を行う工程と、
上部電極を積層する工程とを有することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 前記アモルファス酸化物電極膜は500nm以上の波長に対し不透明であり、積層する前記ゾルゲル熱分解膜の結晶化温度より低温で結晶化する電極膜であることを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記アモルファス酸化物は化学式ABO3で記述され、A=Sr、Ba、Ca、Pb、La、B=Ru、Co、Ni、Snを主成分とする複合酸化物であることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記ゾルゲル熱分解膜の主成分が化学式ABO3で記述され、A=Pb、Ba、Sr、B=Ti、Zr、Sn、Ni、Zn、Mg、Nbを主成分とする複合酸化物であることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記エッチングはフッ酸、硝酸、酢酸からなるエッチング液、またはフッ酸、硝酸、水からなるエッチング液を用いて結晶化部と非結晶ゾルゲル膜を選択エッチングすることを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記エッチング液の組成がx(HF)+y(CH3COOH)+z(HNO3)、またはx(HF)+y(H2O)+z(HNO3) (x+y+z=1)とし、これら成分を頂点とする三角座標中、x、y、zで表せる点が、x=50、y=47、z=3となる点A、x=3、y=94、z=3となる点B、x=3、y=57、z=40となる点C、x=50、y=10、z=40となる点Dで囲まれる範囲内に存在することを特徴とする請求項5記載の電気機械変換素子の製造方法。
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