JP5585209B2 - 電気機械変換素子の製造方法、該製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents
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Description
であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。
14;PZT膜、15;電気機械変換膜、17;マスク、
18;紫外線、19;PDMSスタンプ、20;溶液、
21,30;液滴吐出ヘッド、51;ダミーパターン、
60;液滴吐出塗布装置、100;インクジェット記録装置。
Claims (13)
- 電気機械変換素子を製造する方法において、
第1の電極を設けた第1の基板上に部分的に表面改質を行う第1の工程と、
前記第1の基板の所定の部分に金属の複合酸化物であるゾルゲル液を塗布する第2の工程と、
塗布したゾルゲル液を乾燥、熱分解、600度以上の高温で結晶化して電気機械変換膜を形成する第3の工程と、
前記第1の工程で表面改質を行った領域と同じ領域に実施する前記第1の工程と、第2の工程と、第3の工程とを順に繰返し行い所望する膜厚の電気機械変換膜を得る第4の工程と、
前記第1の基板の前記第1の電極との間に前記電気機械変換膜を挟むように第2の電極を配置する第5の工程と
を有することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 前記第1の電極及び前記第2の電極が白金族元素、及びその酸化物、またはこれら数種の積層膜からなることを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記第1の工程は、前記第1の電極上にチオール化合物により成された後フォトリソグラフィ・エッチング、またはマスクを介した紫外線照射により部分的にチオール化合物を除去することを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記第1の工程は、前記第1の電極上にマイクロコンタクトプリント用のスタンプを用いて部分的にチオール化合物で表面を改質することを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記ゾルゲル液の主成分が化学式ABO3で記述される複合酸化物よりなり、AはPb、Ba、Srの1つ以上を示し、BはTi、Zr、Sn、Ni、Zn、Mg、Nbの1つ以上を示すことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記第1の電極は化学式ABO3で記述される複合酸化物よりなり、AはSr、Ba、Ca、Laの1つ以上を示し、BはRu、Co、Niの1つ以上を示すことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記第2の工程は、表面改質を行った前記第1の電極の所定の部分に金属の複合酸化物であるゾルゲル液を液滴吐出ヘッドで塗布することを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 前記第1の工程において、前記第1の電極上に液滴吐出ヘッドにより金属の複合酸化物であるゾルゲル液が塗布されない領域面上が疎水面に表面改質されていることを特徴とする請求項1記載の電気機械変換素子の製造方法。
- パターン化した前記電気機械変換膜の外側に、前記電気機械変換膜の駆動とは無関係の別の塗布パターンであるダミーパターンを配置したことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の電気機械変換素子の製造方法。
- マイクロコンタクトプリント用のスタンプで前記ダミーパターンを設けることを特徴とする請求項9記載の電気機械変換素子の製造方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の電気機械変換素子の製造方法によって製造されたことを特徴とする電気機械変換素子。
- 請求項11記載の電気機械変換素子を具備することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項12記載の液滴吐出ヘッドを具備することを特徴とする液滴吐出装置。
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