JP5511677B2 - 真空バルブ - Google Patents
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- バルブ開口部(6)および前記バルブ開口部(6)を取り囲むバルブシートを有する壁部(1)と、
閉軌道にしたがって前記バルブ開口部(6)が開放されている開位置から、前記バルブ開口部(6)を閉塞する閉位置まで変位可能であって、前記閉位置において前記バルブシートのシール面(10)に対して押し付けられるシールリング(11)または前記閉位置において前記バルブシートのシールリングが押し付けられるシール面を有するバルブプレート(7)とを備えている真空バルブであって、
前記真空バルブの閉塞に際して、前記バルブプレート(7)が前記開位置から前記閉軌道の主要部分を通じて、前記バルブプレート(7)に対して平行かつ前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの平面に対して平行な主要閉方向に動かされ、前記閉軌道の前記主要部分に続いて、前記バルブプレート(7)に対して傾斜しているとともに、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの前記平面に対して傾斜している前記閉軌道の終端部分を通じて動かされ、
前記バルブプレート(7)に設けられている案内要素(17)(18)と相互作用して、前記閉軌道の前記終端部分を通じて前記バルブプレート(7)を案内する少なくとも1つの案内要素(15)(16)が前記壁部(1)に設けられ、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(19)(20)(21)(22)によって、前記閉軌道の前記終端部分を通じて前記バルブプレート(7)が案内され、前記バルブプレート(7)の案内要素(17)(18)または前記壁部(1)に設けられている案内要素(15)(16)に当該案内面のうち少なくとも1つが設けられ、
前記主要閉方向に関して前記バルブ開口部(6)の前方にある案内要素(15)が、前記壁部(1)の突出部または前記壁部に取り付けられている突出部により構成されているとともに、前記バルブプレートの凹部に突き出される、或は、前記バルブプレート(7)の案内要素(17)が、前記バルブプレート(7)の突出部または前記バルブプレートに取り付けられている突出部により構成されているとともに、前記主要閉方向に関して前記バルブ開口部(6)の前方にある前記壁部(1)の凹部に突き出されることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1記載の真空バルブにおいて、
前記主要閉方向に関して前記バルブ開口部(6)の前方で前記壁部(1)に設けられている少なくとも1つの案内要素(15)と、前記主要閉方向に関して前記バルブ開口部(6)の後方で前記壁部(1)に対して固定されている少なくとも1つの案内要素(16)とが、前記バルブプレート(7)の案内要素(17)(18)のそれぞれと相互作用することを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1記載の真空バルブにおいて、
前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの前記平面(45)に対して傾斜し、前記バルブプレート(7)の案内要素(17)と相互作用する案内要素(19)が前記突出部に設けられ、代替的または付加的に、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの前記平面(45)に対して傾斜し、前記壁部(1)に設けられている案内要素(15)と相互作用する案内要素(21)が前記バルブプレート(7)の前記凹部の壁部分に設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記主要閉方向に関して前記バルブ開口部(6)の前方にある複数の案内要素(15)が前記壁部(1)に設けられ、かつ、前記壁部(1)に設けられている前記複数の案内要素(15)が突き出される複数の凹部が前記バルブプレート(7)に設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記壁部(1)の前記凹部の壁部分が、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの平面(45)に対して傾斜しているとともに、前記バルブプレート(7)の前記案内要素(17)と相互作用する案内面(19)を備え、代替的または付加的に、バルブプレート(7)に設けられている凹部が、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの平面(45)に対して傾斜しているとともに、前記壁部(1)に設けられている前記案内要素(15)と相互作用する案内面(21)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項5記載の真空バルブにおいて、
前記バルブプレート(7)に複数の案内要素(17)が設けられ、かつ、前記壁部(1)が、前記主要閉方向(14)に関して前記バルブ開口部(6)の前方の領域において、前記バルブプレート(7)の前記案内要素(17)が突き出される複数の凹部を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記主要閉方向(14)に関して前記バルブ開口部(6)の後方にある案内要素(16)が、前記壁部(1)の突出部または前記壁部(1)に取り付けられている突出部により構成されるとともに、前記バルブプレートの案内要素(18)と相互作用し、壁部(1)に設けられている案内要素(16)および壁部(1)に設けられている案内要素(18)のうち一方または両方が、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(20)(22)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記主要閉方向(14)に関して前記バルブ開口部(6)の後方にあって、前記壁部(1)から突出するとともに前記バルブプレート(7)に設けられている案内要素(18)と相互作用する案内要素(16)が、前記真空バルブの側壁部(3)に設けられ、前記側壁部(3)に設けられている案内要素(16)および前記バルブプレート(7)に設けられている案内要素(18)のうち一方または両方が、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(20)(22)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項7または8記載の真空バルブにおいて、
前記主要閉方向(14)に関して前記バルブ開口部(6)の後方で前記壁部(1)に固定して設けられている少なくとも1つの案内要素(16)と相互作用する、前記バルブプレート(7)の案内要素(18)が、前記バルブプレート(7)の、前記主要閉方向(14)に関して前方の縁から突出している突起により構成されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項9記載の真空バルブにおいて、
前記突起のうち前記壁部(1)の反対側に、前記シール面(10)または前記バルブシートの前記シールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(22)が設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜10のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記閉軌道を通じて前記バルブプレート(7)を変位させるため、前記閉軌道の全部を通じて前記バルブプレート(7)を動かす少なくとも1つのアクチュエータ(12)が設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜11のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記真空バルブが前記バルブプレート(7)を収容する内部空間(5)を有するバルブハウジングを備え、当該内部空間はバルブ開口部(6)を有する壁部(1)によって一方の側が画定されるとともに前記真空バルブの真空領域を形成することを特徴とする真空バルブ。 - 請求項12記載の真空バルブにおいて、
前記内部空間(5)が、前記バルブ開口部(6)を有する前記壁部(1)に対向する側が、1つの別の開口部(8)(24)を有する壁部(2)により画定されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項12または13記載の真空バルブにおいて、
前記バルブプレート(7)を前記閉軌道の前記終端部分を通じて案内する前記案内要素(15)(16)(17)(18)が、前記バルブハウジングの内部空間(5)に設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項12〜14のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記バルブハウジングの前記内部空間(5)において、第1壁部(1)の第1バルブ開口部(6)を閉塞するための第1閉塞体を構成する前記バルブプレート(7)に加えて、第2壁部(2)に設けられている第2バルブ開口部(24)を開放する開位置と、前記第2バルブ開口部(24)が閉塞かつ密封される閉位置との間で、前記バルブプレート(7)から独立して変位可能な第2閉塞体(23)が設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項15記載の真空バルブにおいて、
前記第2閉塞体(23)が、前記第2バルブ開口部(24)が覆われる一方で前記第2バルブ開口部(24)を取り囲む第2バルブシートから離れている中間位置に変位可能であることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項16記載の真空バルブにおいて、
前記第2閉塞体(23)を前記開位置および前記中間位置の間で動かすために少なくとも1つのアクチュエータ(25)が設けられ、前記アクチュエータは前記バルブハウジングの外側に設けられるとともに少なくとも1つのバルブロッド(28)を軸方向に動かし、前記第2閉塞体(23)が前記バルブロッドに連動することを特徴とする真空バルブ。 - 請求項17記載の真空バルブにおいて、
少なくとも1つのバルブロッド(28)が取り付けられるキャリアユニット(27)に設けられ、前記第2閉塞体(23)を前記中間位置および前記閉位置の間で動かす少なくとも1つの別のアクチュエータ(26)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項16〜18のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記第2閉塞体(23)を前記開位置および前記中間位置の間で動く際に、前記第2閉塞体(23)に連動する部分(33)が、前記第2閉塞体(23)の前記閉位置において、前記第2バルブ開口部(24)の反対側の領域で前記バルブプレート(7)に支持されることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項19記載の真空バルブにおいて、
前記第2閉塞体(23)が前記開位置および前記中間位置の間で動く際に、前記第2閉塞体(23)に連動する前記部分(33)が、前記第2バルブ開口部(24)の反対側の領域で、前記第1バルブ開口部(6)を有する前記第1壁部(1)または前記第1壁部(1)から起立している側壁部(3)に設けられている少なくとも1つの案内要素(16)に支持されることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項19または20記載の真空バルブにおいて、
駆動装置(27)の補強部分(33)は板状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
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