TWI705212B - 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置 - Google Patents

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Abstract

用於對壁(6)中的開口(4)進行真空密封的一種密封裝置包含有一個密封機構(1)和至少一個杆(2)，該杆從該密封裝置的殼體(8)中伸出，並在該殼體(8)外部帶動該密封機構(1)，並與一個承載件(14)相剛性連接，該密封裝置還包含有一個傳輸單元(18)，該傳輸單元可以由一個驅動裝置(15)在該密封機構(1)處於打開位置時的起始位置、該密封機構(1)處於中間位置時的中部位置、以及該密封機構(1)處於關閉位置時的末端位置之間平行於縱向調節方向(9)來調節，該密封裝置還包含有至少一個彈簧(25)，該彈簧設置在該傳輸單元(18)與該承載件(14)之間，以及該密封裝置還包含有一個止擋裝置，該止擋裝置在該傳輸單元(18)從中間位置調節到末端位置時阻止該承載件(14)平行於縱向調節方向(9)繼續調節。該傳輸單元(18)由至少一個縱向線性導向裝置(19)相對於該殼體(8)平行於縱向調節方向(9)可移動地被導向，並且該承載件(14)由至少一個傾斜線性導向裝置(20)相對於該傳輸單元(18)平行於傾斜調節方向(21)可移動地被導向。

Description

用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置
本發明涉及一種用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置，其包含有密封單元，該密封單元具有密封機構和至少一個杆，該密封機構可以平行於縱向調節方向從在該密封裝置的打開位置下該密封機構所處的打開位置調節到中間位置，並可以平行於與該縱向調節方向成直角的橫向調節方向從中間位置調節到在該密封裝置的關閉狀態下該密封機構所處於的關閉位置，所述至少一個杆具有與縱向調節方向相平行的縱軸線，並從該密封裝置的殼體中伸出，並在該殼體外部承載該密封機構，並與承載件相剛性連接，該密封裝置還包含有傳輸單元，該傳輸單元可以由驅動裝置在該密封機構處於打開位置時的起始位置、該密封機構處於中間位置時的中部位置、以及該密封機構處於關閉位置時的末端位置之間平行於縱向調節方向來調節，該密封裝置還包含有至少一個彈簧，所述至少一個彈簧設置在該傳輸單元與該承載件之間，並且所述至少一個彈簧在該傳輸單元從起始位置調節到中部位置時帶動該承載件，其中該承載件相對於該殼體在該縱向調節方向上來進行調節，並且該密封裝置包含有止擋裝置，該止擋裝置在該傳輸單元從中間位置調節到末端位置時阻止該承載件平 行於縱向調節方向繼續調節，其中該承載件相對於該殼體在橫向調節方向上來進行調節。
一種用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置也可以被稱作真空閥。如果開口位於真空室的壁中，並且該密封機構位於圍繞該真空室的環境空間中室壁的外側，那麼這種真空閥也被稱作真空門。以真空門形式的這種密封裝置可以針對僅在一個方向上作用的壓差來設計。其他種類的真空閥通常針對在兩個方向上作用的壓差來設計。在這種密封裝置中該密封機構一般設置在閥殼體中，其中該閥殼體具有可由該密封機構密封的閥開口。
在密封裝置中，為了關閉開口，該密封機構首先在與杆平行的縱向調節方向上從打開位置調節到中間位置，在該中間位置中該密封機構覆蓋該開口，但還從壁中抬起，並接著在至少基本垂直於縱向調節方向的橫向調節方向上被調節，並被壓到壁上，該密封裝置也被稱作L閥。
在與L閥不同類的構造方法中，該杆圍繞與縱向調節方向垂直的軸線可樞轉地佈置，以能夠使該密封機構從其中間位置調節到其關閉位置並返回。在此採用軸承滾道以使該杆圍繞該軸線旋轉，這比如在US 6,237,892 B1、US7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1中被公開。
在L閥中，其中為了在中間位置與關閉位置之間調節該密封機構，該密封機構在與縱向調節方向成角度的，尤其垂直的橫向調節方向上進行 平行移動，根據一種常規的實施方式，在支撐該密封機構的支撐單元上設置有驅動元件，以在中間位置與該關閉位置之間調節該密封機構，其中該支撐單元設置於杆上。這種L閥、尤其以真空門形式的實施比如參見US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2和US 7,611,122 B2。在US 6,056,266 A和US 7,611,122 B2中其中還公開了順序控制，以保證該活塞-氣缸單元操作的正確流程。US 8,177,190 B2公開了L閥的這樣的另外一種順序控制。
在WO 2010/034046 A1中公開了一種L閥，其中在與縱向調節方向相垂直的橫向調節方向上線性可移動地支撐有一個塊，該塊在縱向調節方向上可移動地支撐了該杆，在該塊上還設置有驅動裝置，以在縱向調節方向上調節該杆。借助在該方向上作用的活塞-氣缸單元來進行這種線性移動。
US 7,762,527 B2示出了L閥的一種實施方式，其中用於在縱向調節方向上調節該密封機構的該活塞-氣缸單元相對於閥殼體借助線性導向裝置在與縱向調節方向相垂直的橫向調節方向上可移動地被支撐。
由WO 2014/075757 A1公開了一種閥，其中承載該密封機構的該杆在縱向調節方向上線性可移動地被導向。為此，具有一個與該閥杆相連接的承載件，其中該承載件沿著杆狀導向部件在縱向調節方向上可移動地被導向。杆狀導向部件在與縱向調節方向相垂直的橫向調節方向上是可移動的，並可以借助氣動活塞-氣缸單元在橫向調節方向上來移動。為了在縱向調節方向上移動該杆同樣使用了氣動活塞-氣缸單元，其活塞杆與該承載件相連接，其中這種連 接實現了該傳輸件相對於該活塞杆在橫向調節方向上的可移動性。
US 2013/0112906 A1示出了開頭所述種類的一種密封裝置。該密封機構在此佈置在閥殼體中，並在關閉位置中密封了在閥殼體中的開口。為了打開以及關閉該密封裝置而使用了活塞-氣缸單元，活塞-氣缸單元平行於縱向調節方向在起始位置、中部位置和末端位置之間移動傳輸單元。該傳輸單元由一個軛來構成，在該軛上固定有在縱向調節方向上突出的左凸輪挺杆和右凸輪挺杆。在相應凸輪挺杆中分別設置有在縱向調節方向上延伸的第一凸輪凹槽以及在斜調節方向上延伸的第二凸輪凹槽。在該第一凸輪凹槽中咬合了在殼體上固定設置的控制凸輪。在第二凸輪凹槽中咬合了設置於承載件上的控制凸輪，其中該承載件與承載該密封機構的杆相剛性連接。在該傳輸單元的軛與該承載件之間設置有一個彈簧。該彈簧在該傳輸單元從起始位置調節到中部位置時帶動該承載件。在該傳輸單元繼續從該中部位置移動到該末端位置時，該承載件在縱向調節方向上被阻止繼續運動，並且該承載件在與縱向調節方向上相垂直的橫向調節方向上被調節。由此該杆以及與之一起的該密封機構平行於橫向調節方向而被移動，以把該密封機構置於關閉位置。在這種密封裝置中，難以不用大的耗費就實現輕便的、具有微小間隙的運動過程。
在EP 1 061 301 A2中公開了一種類似的密封裝置。但在此在該傳輸單元從中部位置調節到末端位置時把承載該密封機構的杆圍繞與縱向調節方向相垂直的軸線來進行樞轉。比如關於在其關閉位置中對該密封機構的密封的 均勻壓縮方面，這種樞轉相對於該密封機構的平行移動是有缺點的。
在US 2015/0014556 A1中公開了另一種與US 2013/0112906 A1的密封裝置相類似的密封裝置。該文獻的密封裝置的區別在於，具有第一和第二密封機構，可以由該第一和第二密封機構來變換地密封相對的壁中的開口。
在JP H112360 A中公開了一種密封裝置，其中同樣借助在縱向上作用的一個驅動裝置來進行該密封機構從打開位置經過中間位置到關閉位置的調節。在此，通過樞轉閥門杆來進行該密封機構從中間位置到關閉位置的調節，其中該密封機構設置在該閥門杆上，其中第一凸輪在平行於縱向延伸的第一長孔中被移動，第二凸輪在與縱向相傾斜延伸的第二長孔中被移動。
本發明的任務是提供一種開頭所述種類的有利的密封裝置，其可以以簡單的方式來製造。
根據本發明，這通過用於對壁中的開口進行真空密封的一種密封裝置來實現，該密封裝置包含有密封單元，該密封單元具有密封機構和至少一個杆，該密封機構能夠平行於縱向調節方向從在該密封裝置的打開位置下該密封機構所處於的打開位置調節到中間位置，並可以平行於與該縱向調節方向成直角的橫向調節位置從中間位置調節到在該密封裝置的關閉狀態下該密封機構所處於的關閉位置，所述至少一個杆具有與縱向調節方向相平行的縱軸線，並從該密封裝置的殼體中伸出，並在該殼體外部承載該密封機構，並與承載件相 剛性連接，該密封裝置還包含有傳輸單元，該傳輸單元可以由驅動裝置在該密封機構處於打開位置時的起始位置、該密封機構處於中間位置時的中部位置、以及該密封機構處於關閉位置時的末端位置之間平行於縱向調節方向來調節，該密封裝置還包含有至少一個彈簧，該彈簧設置在該傳輸單元與該承載件之間，並且該彈簧在該傳輸單元從起始位置調節到中部位置時帶動該承載件，其中該承載件相對於該殼體在該縱向調節方向上來進行調節，並且該密封裝置包含有止擋裝置，該止擋裝置在該傳輸單元從中部位置調節到末端位置時阻止該承載件平行於縱向調節方向繼續調節，其中該承載件相對於該殼體在橫向調節方向上來進行調節，其中該密封裝置包含有至少一個縱向線性導向裝置和至少一個傾斜線性導向裝置，其分別具有導軌和沿該導軌可線性移動地佈置的滑架，其中該縱向線性導向裝置的導軌平行於縱向調節方向來設置，並且該傾斜線性導向裝置的導軌平行於傾斜調節方向來設置，該傾斜調節方向在該縱向調節方向和橫向調節方向所確定的平面中與縱向調節方向成角度並與橫向調節方向成角度，其中該傳輸單元由至少一個縱向線性導向裝置相對於該殼體平行於縱向調節方向可移動地來導向，該承載件由至少一個傾斜線性導向裝置相對於該傳輸單元平行於傾斜調節方向可移動地來導向。
如果通孔不具有穿過所述膜片式波紋管的杆，或者如果這種杆與所述膜片的內邊緣之間僅僅具有如此微小的間距，使得該間距太小，不足以在所述膜片式波紋管中採用內部滑動導向環，那麼也可以採用根據本發明的滑動 導向裝置。
在該密封裝置關閉時，如果該傳輸單元到達中部位置，那麼就通過該止擋裝置來進行該密封單元的制動。為了對制動進行衰減，該止擋裝置有利地具有起動彈簧，該起動彈簧在該止擋裝置作用時，通過在該起動彈簧上要起動的止擋部件而從初始位置變形到工作位置。在此該起動彈簧有利地具有彈簧臂，彈簧臂在該起動彈簧從初始位置變形到工作位置時通過彈簧位移而被偏轉，並在此在該起動彈簧的初始位置中至少在一個區段中與剛性支撐部件相間隔，並在該起始彈簧的工作位置中在該區段中靠置於該支撐部件上，其中在所述區段中該止擋部件在該密封裝置關閉時碰到所述彈簧臂上。該起動部分比如可以是設置於該杆的區段上的螺栓，其中該杆在該承載件的與該密封機構相對一側上從該承載件突出。從而能夠構造簡單地並有效地實現該密封單元的制動衰減。
在本發明的一種有利的實施方式中，該密封裝置以真空門的形式來構造。這種可以設置在真空室的室壁的外側，並從而位於圍繞該真空室的環境空間中真空室的外部。在該密封裝置的關閉狀態下，該密封機構被按壓在圍繞開口的區域中室壁的外側。這種真空門僅可以構造用於密封從環境空間到真空室內部空間方向上作用的壓差。除此之外，該密封裝置還可以以一種真空閥的形式來構造，其中該密封機構設置於閥殼體中。該密封裝置那麼就可以在兩個方向上耐壓差(直至大氣壓的大小)。
1‧‧‧密封機構
2‧‧‧杆
3‧‧‧連接件
4‧‧‧開口
5‧‧‧軸線
6‧‧‧壁
7‧‧‧螺絲釘
8‧‧‧殼體
9‧‧‧縱向調節方向
10‧‧‧橫向調節方向
11‧‧‧支座
12‧‧‧密封環
13‧‧‧縱軸線
14‧‧‧承載件
15‧‧‧驅動裝置
16‧‧‧活塞杆
17‧‧‧氣缸
18‧‧‧傳輸單元
18a‧‧‧側部
18b‧‧‧側部
18c‧‧‧連接部
19‧‧‧縱向線性導向裝置
20‧‧‧傾斜線性導向裝置
21‧‧‧傾斜調節方向
22‧‧‧導軌
22a‧‧‧頂部區域
23‧‧‧滑架
24‧‧‧角
25‧‧‧彈簧
26‧‧‧密封單元
27‧‧‧突起
28‧‧‧起動彈簧
28a‧‧‧彈簧臂
28b‧‧‧底座部件
29‧‧‧止擋部件
30‧‧‧支撐部件
31‧‧‧波紋管
32‧‧‧滾動體
本發明的其他優點和細節在下文中借助附圖來解釋。其中：圖1和2示出了根據本發明一個實施例的密封單元的斜視圖；圖3示出了該密封機構在打開位置中安裝在壁上的、殼體蓋去除的密封單元的俯視圖；圖4、5和6示出了沿圖3的線AA、BB和CC的剖視圖；圖7示出了圖6的放大的詳圖N；圖8示出了該密封機構在中間位置中與圖3類似的俯視圖；圖9、10和11示出了沿圖8的線DD、EE和FF的剖視圖；圖12示出了圖11的放大的詳圖P；圖13示出了該密封機構在關閉位置中與圖3類似的俯視圖；圖14、15和16示出了沿圖13的線GG、HH和KK的剖視圖；圖17示出了圖16的放大的詳圖R；圖18示出了該密封機構在打開位置中安裝在壁上的密封單元的仰視圖；圖19示出了沿圖18的線LL的剖視圖；圖20示出了圖19的放大的詳圖M；圖21示出了與圖19類似的但該密封機構在中間位置中的剖視圖；圖22示出了圖21的放大的詳圖U；圖23示出了與圖19類似的但該密封機構在關閉位置中的剖視圖； 圖24示出了圖23的放大的詳圖V；圖25、26和27示出了該密封機構在打開位置、中間位置和關閉位置中安裝在壁上的、殼體蓋去除的密封裝置的斜視圖；圖28和29示出了不同視角的分解圖；圖30示出了與圖28相同視角的分解圖，其中一同運動的部分作為單元、也即不分開地來示出(殼體蓋例外)；圖31示出了滑架部分切開的線性導向裝置的一種略微變化的實施方式的區段。
在圖1至圖30中示出了根據本發明的密封裝置的一個實施例。
該密封裝置具有密封機構1，該密封機構尤其構造為板狀的，並由杆2來承載。在該實施例中，在杆2與該密封機構1之間通過連接件3來進行連接。也可以考慮並可以把該密封機構1直接固定在該杆2上。
借助該密封機構1可以在該密封裝置的關閉狀態下來密封在壁6中的開口4，並在該密封裝置的打開狀態下打開該開口。該壁6比如是在附圖中沒有另外示出的真空室的一部分。該密封裝置在此可以固定在壁6的與真空室的內部空間相背離的外側上，比如借助螺絲釘7，其中該螺絲釘穿過該密封裝置的殼體8並擰入壁中具有內螺紋的盲孔中。
如下文還要更詳細解釋的，該密封機構在該密封裝置關閉時從該 密封機構1的打開位置在縱向調節方向9上直線地被移動，直至到達中間位置，其中該密封機構1在該密封裝置的打開狀態下處於打開位置，並接著在與該縱向調節方向相垂直的橫向調節方向10上直線地被移動，直至該密封機構1到達關閉位置，其中在該關閉位置中該密封裝置具有其密封狀態。
在該中間位置中該密封機構1從而在開口4的軸線5方向上看，覆蓋了該開口4，但從該壁6上抬起(=與之分離)。在關閉位置中該密封機構1蓋到圍繞該開口4的支座11上。該支座11在該實施例中由密封面構成，其中設置在該密封機構1上的彈性密封環12(比如由FKM或FFKM製造)壓到該密封面上。原則上該密封環12也可以設置在該支座11上，並且該密封面設置在該密封機構1上。
該杆2具有縱軸線13，該縱軸線平行於縱向調節方向9。通過該杆2在其縱軸線13方向上的移動來進行該密封機構1從打開位置到中間位置的移動。
在該密封機構1的關閉位置中，該開口4被真空密封。這意味著，在位於該壁6的與該密封機構1相對一側上並且除開口4之外被密閉地密封的真空區域中，在該密封機構1的關閉狀態下超過較長的時間段、尤其多於一小時能夠保持真空，尤其小於0.1帕斯卡。
該杆2與承載件14剛性連接。該承載件14、杆2、密封機構1和必要時存在的連接件3共同構成了密封單元26(見圖30)，其組成部分在該密封裝
為了打開並關閉該密封裝置而使用了驅動裝置15，其在所示的實施例中由兩個氣動活塞-氣缸單元來構成。該驅動裝置15作用於該傳輸單元18上。該傳輸單元18相對於該殼體8借助第一和一個第二線性導向裝置19平行於縱向調節方向9可移動地導向。平行於該縱向調節方向9可移動地對該傳輸單元18進行導向的線性導向裝置在該檔中被稱作縱向線性導向裝置19。該傳輸單元18可以由該驅動裝置15在縱向調節方向9上直線地從起始位置通過中部位置調節到末端位置。
在該傳輸單元18的起始位置中，該密封機構1處於其打開位置，在該傳輸單元18的末端位置中該密封機構1處於其關閉位置。在該傳輸單元18從起始位置移動到中部位置期間，該密封機構1進行從該密封機構1的打開位置到中間位置的調節。在該傳輸單元18從中部位置移動到末端位置期間，該密封機構1進行從該密封機構1的中間位置到關閉位置的移動，這在下文中還要更詳細地解釋。
該傳輸單元18在該實施例中由兩個側部18a、18b和連接部18c構成，其中這兩個活塞-氣缸單元的活塞杆16咬合到側部18a和18b上。一種與此相比變化的、比如一體的構造也可以考慮並且是可以的。
該承載件14與該傳輸單元18相比借助第一和第二線性導向裝置20平行於傾斜調節方向21(尤其參見圖6)可移動地導向。平行於傾斜調節方向21相對於該傳輸單元18對該承載件14進行導向的線性導向裝置在該檔中被稱作 傾斜線性導向裝置20。。
縱向和傾斜線性導向裝置19、20通常作為導軌導向裝置來構造，並分別具有直線延伸的導軌22和沿該導軌22的縱向伸展可移動地導向的滑架(=導向小車)23。該滑架23具有凹陷，其中它利用該凹陷與該導軌22的擴寬的頂部區域22a相咬合。該空隙尤其在與該導軌22的縱向伸展相垂直的橫截面上看而具有C形。該滑架23從而在垂直於該導軌22的縱向伸展的全部方向上形狀匹配地保證以避免與該導軌22相脫離。在圖31中示出了線性導向裝置的一個區段，其相對於根據圖1至30示出的實施例中的縱向和傾斜線性導向裝置19、20有略微變化地來構造，但也可以應用於這些縱向和傾斜線性導向裝置19、20，其中滑架23部分地切開來示出。從而在此可以看到以滾珠形式構造的滾動體32。除了滾珠之外，作為用於滾動軸承的滾動體比如也可以設置滾子。優選的是借助滾動體32相對於該導軌22可移動地佈置滑架23。比如可以設置滾珠或滾子軸承(Rollenumlauf)，或者可以設置佈置於保持器中的滾珠或滾子(=輥)來作為滾動體。
在一種變化的實施方式中，該縱向線性導向裝置19和/或傾斜線性導向裝置20的滑架23的滑動導向原則上可以考慮並且是可以的。
在該縱向線性導向裝置19和/或傾斜線性導向裝置20的滑架23通過滾動體32進行可移動導向的情況下，相應的滑架23可以與相應的導軌22通過該滾動體32而施加彈性應力。從而可以避免間隙。 該滾動體32而施加彈性應力。從而可以避免間隙。
在該縱向線性導向裝置19中，在所示的實施例中該導軌22設置在殼體8上，並且該滑架23設置在該傳輸單元18上，尤其設置在該傳輸單元18的相應側部18a、18b上，這對於該密封裝置的緊湊構造是有利的。但原則上該導軌22也可以設置在該傳輸單元18上，並且該滑架23設置在殼體8上。
在傾斜線性導向中，在該實施例中該導軌22設置在該傳輸單元18上，尤其設置在該傳輸單元18的兩個側部18a、18b上，並且該滑架23設置在承載件14上。該導軌22原則上也可以設置在該承載件14上，並且該滑架23設置在該傳輸單元18上。
該縱向線性導向裝置19的滑架23的開口側和該傾斜線性導向裝置20的滑架23的開口側在該實施例中指向相互垂直的方向。該縱向線性導向裝置19的滑架23的開口側在此指向壁6的方向，並且該傾斜導向裝置的滑架23的開口側指向與該縱向調節方向9和橫向調節方向10所確定平面相垂直的方向。如下構造是可以考慮的並且是可以的，即該縱向線性導向裝置19的和傾斜線性導向裝置20的滑架23的開口側指向相同方向和/或指向相反方向。
該傾斜調節方向21位於由該縱向調節方向9和橫向調節方向10所確定的平面中(=在該平面中，不僅具有該縱向調節方向9，還具有該橫向調節方向10)。該傾斜調節方向21在此與縱向調節方向9成角度，並與橫向調節方向10成角度，也即，不僅與縱向調節方向9，而且與橫向調節方向10夾一個不等於 0°的角(尤其是參見圖6)。該傾斜調節方向21有利地與縱向調節方向9夾一個大於4°並小於45°的角。該角24優選地處於5°至20°的範圍中。
在該傳輸單元18與該承載件14之間設置有彈簧25，該彈簧在該密封裝置關閉時把該承載件14與該傳輸單元18相耦合，並從而也可以稱作“耦合彈簧”。該彈簧25在該密封裝置關閉時承受壓力，從而作為壓縮彈簧來工作。其中該彈簧25在該密封裝置關閉時作為拉伸彈簧來工作的這種構造也是可以考慮的並且是可以的。
在該實施例中具有兩個彈簧25。也可以僅具有一個彈簧25，或者可以設置多於兩個彈簧25。
所述至少一個彈簧25優選地如圖所示以螺旋彈簧的形式來構造，其縱向伸展平行於傾斜調節方向21來延伸。彈簧的其他構造、比如以彈簧墊圈組的形式是可以考慮的並且是可以的。
如圖3至圖6、圖19和圖25所示，在該傳輸單元18的起始位置中，該密封機構1如前所述處於其打開位置。為了關閉該密封裝置，該傳輸單元18借助該驅動裝置15平行於縱向調節方向9從起始位置向其末端位置方向被移動。在此，該承載件14首先由至少一個彈簧25來帶動，也即該承載件14與該傳輸單元18一致地平行於縱向調節方向9被移動。如果該傳輸單元18已經到達該中部位置，那麼該密封機構1就處於其中間位置。該傳輸單元18的狀態在圖8至圖11、圖21和圖26中被示出。 端位置方向平行於縱向調節方向9被移動，那麼就通過下文更詳細解釋的止擋裝置28、29來阻止該承載件14平行於縱向調節方向繼續移動。從而現在該傳輸單元18相對於該承載件14來進行相對移動，其中所述至少一個彈簧25被壓縮(如果在另一實施例中所述至少一個彈簧25作為拉伸彈簧來設計，那麼它將被拉伸)。該承載件14相對於該傳輸單元18的相對移動通過該傾斜線性導向裝置20來強制導向。在該傳輸單元18從中部位置移動到末端位置期間，從而導致該傾斜線性導向裝置20的滑架23沿著該傾斜線性導向裝置20的導軌22來移動。從而導致該承載件14、並從而該密封單元26整體相對於該殼體8在橫向調節方向10上移動。該密封機構1由此在朝向壁6的方向上被移動，並被按壓在其上，以密封該開口4。在圖13至圖16、圖23和圖27中示出了該傳輸單元18的末端位置。
從而通過該傳輸單元18從該傳輸單元18的起始位置直至末端位置的直線移動來進行該真空閥的整個關閉。從該傳輸單元18的起始位置直至中部位置，在此在該承載件14與該傳輸單元18之間不進行相對移動。從該傳輸單元18的中部位置直至末端位置，該承載件14相對於該傳輸單元18沿著由該傾斜線性導向裝置20所設定的傾斜調節方向21而被移動。
在該密封裝置打開時，以相反的方向來進行所述的運動過程。在此設置有止擋，其限制該承載件14相對於該傳輸單元18的移動，如果該傳輸單元18從其末端位置開始到達其中部位置，那麼該止擋就發揮作用。該止擋在該實施例中通過該傳輸單元18的突起27來實現，其中該傾斜線性導向裝置20的滑 架23碰到該突起上。這種止擋也可以以其他方式來構造，比如在該導軌22與相應傾斜線性導向裝置20的滑架23之間。原則上也可以考慮並可以的是，省略這種止擋，並通過所述至少一個彈簧25來帶動該承載件14，其中該彈簧那麼在當前實施例中在該密封裝置打開時作為拉伸彈簧來發揮作用。
在圖30中出於清晰的目的，一同運動的元件以相互連接的狀態來示出。從而該密封單元26的組成部分以及該傾斜線性導向裝置20的設置在該承載件14上的滑架23作為單元來示出。該傳輸單元18和該縱向線性導向裝置19的設置於其上的滑架23、該傾斜線性導向裝置20的設置於其上的導軌22以及與之咬合的活塞杆16同樣作為單元來示出。該縱向線性導向裝置19的導軌22設置在該殼體8上來示出，如該氣缸17一樣。
為了對該密封單元的制動進行衰減(也即減少延遲以及降低出現的衝擊)，該止擋裝置具有起動彈簧28。在該密封機構1的打開位置中，該起動彈簧28不載入並處於一個不變形的初始位置。如果該密封裝置關閉，那麼止擋部件29就撞擊到該止擋彈簧28上，並將其變形為工作位置，也即在該傳輸單元18從起始位置至中部位置的調節過程的最後階段中發生這種止擋和變形。
該起動彈簧28具有彈簧臂28a，其相應地與該止擋部件29相協同作用。相應的彈簧臂28a可以由該止擋部件29通過彈簧位移而偏轉。在該起動彈簧28的初始位置中，其在此至少在其伸展的區段中與相應的剛性支撐部件30相間隔，其中在該區段中該止擋部件29在該密封裝置關閉時止擋在該彈簧臂上。 在該起動彈簧28的工作位置中，如果該彈簧臂28a已經由該止擋部件29而被偏轉，那麼該彈簧臂28a的該區段就靠置在該支撐部件30上。該彈簧臂28a的偏轉從而通過該支撐部件30來限定。
在該實施例中，該起動彈簧28具有兩個彈簧臂28a，其分別分配有一個支撐部件30。也可以僅設置具有所屬支撐部件30的一個彈簧臂28a，或者可以設置具有相應所屬支撐部件30的多於兩個的彈簧臂28。這些支撐部件在該實施例中由螺栓來構成，其設置在該殼體8的底殼上並從其突出，其中支撐部件30也可以以不同的、與此相比變化的形式來構造，也可以為多於一個的彈簧臂28a來設置一個共同的支撐部件。所述至少一個彈簧臂28a與縱向調節方向9之間夾一個大於45°的角(在該起動彈簧28的初始位置以及工作位置中)。
該起動彈簧28的一種符合目的的擴展規定，其具有板狀的底座部件28b，其中所述至少一個彈簧臂28a通過一個彎曲與之相連接。該板狀底座部件28b可以直接擰到該殼體8上。在該起動彈簧28的初始狀態下，該彈簧臂28a與該底座部件28b夾一個角，該角合理地處於45°與80°之間的範圍內。在該起動彈簧28的工作位置中，如果該彈簧臂28a支撐在該止擋部件29上，那麼該角比如就可以如圖所示為90°。
在該實施例中，該止擋部件29設置在該杆2上，也即設置在背向該密封機構1一側上從該承載件14伸出的杆區段中，尤其在該杆2的區段的自由端區域中。該止擋部件29在此由穿過該杆2的螺栓構成，但也可以以其他方式來 構造。在一種變化的改進方式中，該止擋部件29也可以設置在該承載件14上，並與一個相應安裝在該殼體8上的起動彈簧相協同作用。
該殼體8具有一個內部空間，其中該杆2從該內部空間中伸出。所述伸出在該實施例中通過該波紋管31(在中間部分未繪製)來密封。從而避免在該殼體中所產生的微粒通過該杆2的開口從該殼體內部到達該壁6中的開口4的區域。
該傳輸單元18、該承載件14以及線性導向裝置19、20設置在該殼體8的內部空間中，優選地該驅動裝置15也設置於其中。該殼體8可以相對於環境空間而密封，或者通過過濾器與環境空間相連，該過濾器阻止了微粒從該殼體的內部空間中出來。該密封裝置從而尤其可以適於應用於潔淨空間環境。
本發明的所示實施例的不同變化是可以考慮的並且是可以的，而不脫離本發明的範疇。那麼比如可以在一種變化的構造方式中，作為驅動裝置而僅僅設置一個單獨的活塞-氣缸單元，或者可以採用多於兩個活塞-氣缸單元。可以採用具有與氣動活塞-氣缸單元不同的其他執行器的驅動裝置，比如電驅動裝置。
如果該驅動裝置具有多於一個的驅動元件(=執行器)，那麼其就以相同的運動方向來作用。
該傳輸單元18也可以由兩個單獨的部分來構造，這兩個部分通過該驅動裝置而被同步地移動(比如通過同步的執行器)。
該密封單元也可以包含有多於一個杆，其中這些杆與一個共同的承載件剛性連接。各一個杆也可以與各一個、分立的承載件剛性連接。
原則上也可以僅具有一個縱向線性導向裝置以對該傳輸單元進行線性可移動導向，或者可以設置多於兩個縱向線性導向裝置。
原則上也可以僅具有一個傾斜線性導向裝置以相對於該傳輸單元18來對該承載件14進行可移動導向，或者設置多於兩個傾斜線性導向裝置。
在該實施例中，該密封裝置以真空門的形式來構造。以其他種類的真空閥形式的構造同樣是可以考慮的並且是可以的。從而其比如可以是能夠設置在兩個真空室之間的真空閥。該密封裝置從而可以具有一個閥殼體，在該閥殼體中設置有該密封機構1，其中該杆2尤其是借助波紋管密封地從該閥殼體中伸出。該開口4那麼就設置於該閥殼體的壁中，並且該閥殼體會在對側的壁中具有一個第二開口。
1‧‧‧密封機構
3‧‧‧連接件
4‧‧‧開口
6‧‧‧壁
8‧‧‧殼體
9‧‧‧縱向調節方向
10‧‧‧橫向調節方向
14‧‧‧承載件
16‧‧‧活塞杆
17‧‧‧氣缸
18a‧‧‧側部
18b‧‧‧側部
18c‧‧‧連接部
19‧‧‧縱向線性導向裝置
20‧‧‧傾斜線性導向裝置
21‧‧‧傾斜調節方向
22‧‧‧導軌
22a‧‧‧頂部區域
23‧‧‧滑架
25‧‧‧彈簧
27‧‧‧突起
28‧‧‧起動彈簧
28a‧‧‧彈簧臂
28b‧‧‧底座部件
29‧‧‧止擋部件
30‧‧‧支撐部件
31‧‧‧波紋管

Claims (9)

  1. 一種用於對壁(6)中的開口(4)進行真空密封的密封裝置，其包含有：密封單元(26)，該密封單元具有密封機構(1)和至少一個杆(2)，該密封機構能夠平行於縱向調節方向(9)從在該密封裝置的打開位置下該密封機構(1)所處於的打開位置調節到中間位置，並能夠平行於與該縱向調節方向(9)成直角的橫向調節方向(10)從中間位置調節到在該密封裝置的關閉狀態下該密封機構(1)所處於的關閉位置，所述至少一個杆(2)具有與縱向調節方向(9)相平行的縱軸線(13)，並從該密封裝置的殼體(8)中伸出，並在該殼體(8)外部承載該密封機構(1)，並與承載件(14)剛性連接，傳輸單元(18)，該傳輸單元能夠由驅動裝置(15)在該密封機構(1)處於打開位置時的起始位置、該密封機構(1)處於中間位置時的中部位置、以及該密封機構(1)處於關閉位置時的末端位置之間平行於縱向調節方向(9)來調節，至少一個彈簧(25)，所述至少一個彈簧設置在該傳輸單元(18)與該承載件(14)之間，並且所述至少一個彈簧在該傳輸單元(18)從起始位置調節到中部位置時帶動該承載件(14)，其中該承載件(14)相對於該殼體(8)在該縱向調節方向(9)上來進行調節，以及止擋裝置，該止擋裝置在該傳輸單元(18)從中部位置調節到末端 位置時阻止該承載件(14)平行於縱向調節方向(9)繼續調節，其中該承載件(14)相對於該殼體(8)在橫向調節方向(10)上來進行調節，其特徵在於，該密封裝置包含有至少一個縱向線性導向裝置(19)和至少一個傾斜線性導向裝置(20)，其分別具有導軌(22)和沿該導軌(22)線性能移動地佈置的滑架(23)，其中該縱向線性導向裝置(19)的導軌(22)平行於縱向調節方向(9)來設置，並且該傾斜線性導向裝置(20)的導軌(22)平行於傾斜調節方向(21)來設置，該傾斜調節方向在由該縱向調節方向(9)和橫向調節方向(10)所確定的平面中與縱向調節方向(9)成角度並與橫向調節方向(10)成角度，其中該傳輸單元(18)由至少一個縱向線性導向裝置(19)相對於該殼體(8)平行於縱向調節方向(9)能移動地被導向，該承載件(14)由至少一個傾斜線性導向裝置(20)相對於該傳輸單元(18)平行於傾斜調節方向(21)能移動地被導向。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述的密封裝置，其中，所述滑架(23)相對於導軌(22)借助滾動體能移動地被設置。
  3. 根據申請專利範圍第1項所述的密封裝置，其中，該止擋裝置具有一起動彈簧(28)，所述起動彈簧在該密封機構(1)的打開位置中是不載入的並處於初始位置，並且其為了對在該密封裝置關閉時該密封單元(26)進行的制動進行衰減而能夠變形為工作位置。
  4. 根據申請專利範圍第3項所述的密封裝置，其中，該起動彈簧(28)具有一彈簧臂(28a)，其中該彈簧臂(28a)為了對在該密封裝置關閉時該密封單元(26)進行的制動進行衰減而能夠由碰到起動彈簧(28)的止擋部件(29)通過彈簧位移而偏轉，並在此在該起動彈簧(28)的初始位置中，至少在如下區段中與剛性的支撐部件(30)相間隔：在該區段中該止擋部件(29)在該密封裝置關閉時碰到該彈簧臂(28a)上，並在該起動彈簧(28)的工作位置中，該彈簧臂(28a)在該區段中就靠置到該支撐部件(30)上。
  5. 根據申請專利範圍第1項至第4項中之任一所述的密封裝置，其中，該傾斜調節方向(21)與該縱向調節方向(9)夾了小於45°的角(24)。
  6. 根據申請專利範圍第1項至第4項中之任一所述的密封裝置，其中，該傾斜調節方向(21)與該縱向調節方向(9)夾了大於4°的角(24)。
  7. 根據申請專利範圍第6項所述的密封裝置，其中，該傾斜調節方向(21)與該縱向調節方向(9)夾了一角(24)，該角處於5°至20°的範圍中。
  8. 根據申請專利範圍第1項至第4項中之任一所述的密封裝置，其中，該杆(2)的縱軸線(13)在兩側分別設置有縱向線性導向裝置(19)並分別設置有傾斜線性導向裝置(20)。
  9. 根據申請專利範圍第1項至第4項中之任一所述的密封裝置，其中，該傳輸單元(18)、該承載件(14)、所述至少一個縱向線性導向裝置(19)和所述至少一個傾斜線性導向裝置(20)設置在該殼體(8)的內部空間中。
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