TWI730808B - 二向移動之閥件驅動裝置 - Google Patents
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Abstract
一種二向移動之閥件驅動裝置,包含有:一主體,內部具有二氣室,一第一進氣口及一第一進氣通道,一第二進氣口及一第二進氣通道;一第一活塞桿具有一第一流道,一第二活塞桿具有一第二流道;一第一導桿以一端伸入至該第一流道中,且具有一氣槽以及連通該氣槽的一氣孔;一第二導桿以一端伸入至該第二流道中,且具有一導氣流道;一閥缸,固設於該第一活塞桿,具有一閥缸氣室,一推進通道,一退回通道以及一閥缸活塞桿;以及一閥件,固設於該閥缸活塞桿。
Description
本發明係與閘閥有關,特別是指一種二向移動之閥件驅動裝置。
中華民國第I503914號專利,揭露了一種雙向閘閥,該案主要是利用第一驅動單元來操作第一操作體,或是以及利用第二驅動單元來操作第二操作體,藉以使其推挽模組產生向左或向右的位移,進而使得第一密封板或第二密封板能對兩個入口進行選擇性的密封。
前述案件主要的技術特點在於,除了底部使用了空壓缸之外,在上層連接於空壓缸活塞桿的推挽模組的部分還使用到了類似曲臂的第一操作體及第二操作體。這是一種將位於兩個入口之間的密封板以選擇性的機構來向一側移動,藉以密封其中一個入口的技術。
由上可知,該案技術的機構較為複雜,零件繁多,組裝不易且容易有精度的問題。且其密封板的移動方式也是需要依賴例如第一操作體、旋轉軸與第一及第二密封板來產生旋轉之後的偏心側移動態,藉以使密封板能選擇性的向左或向右密封於兩個入口,此種動作方式較為複雜且準確度不高。
本發明之主要目的在於提出一種二向移動之閥件驅動裝置,其相較於先前技術而言具有更為精簡的零件數量,且驅動閥件的動作簡單,且具有較高的精準度。
基於上述目的,本發明提出一種二向移動之閥件驅動裝置,包含有:一主體,內部具有彼此不相連通的二氣室,一第一進氣口及一第一進氣通道設於該主體,該第一進氣口連通於外界,並藉由該第一進氣流道分別連通於該二氣室;一第二進氣口及一第二進氣通道設於該主體,該第二進氣口連通於外界,並藉由該第二進氣通道連通於該二氣室;一第一活塞桿以及一第二活塞桿,兩者均可伸縮地設於該主體,且兩者都有一端具有一活塞而分別位於該二氣室內,以及兩者都有部分露出於該主體,並且受驅動而於一推出位置以及一縮回位置之間移動,其中,該第一活塞桿具有沿軸向貫通的一第一流道,該第二活塞桿具有沿軸向貫通的一第二流道;一第一導桿以及一第二導桿,固設於該主體且分別位於該二氣室內,該第一導桿係以一端伸入至該第一活塞桿的該第一流道中,且該第一導桿的前述伸入端具有沿軸向凹設且與該第一流道連通的一氣槽,該第一導桿的桿身側面設有一氣孔,於該第一活塞桿位於該推出位置時,該氣孔係露出於該第一活塞桿外而連通該氣槽與第一導桿所位於的該氣室,於該第一活塞桿位於該縮回位置時,該氣孔係位於該第一流道內;該第二導桿係以一端伸入至該第二活塞桿的該第二流道中,該第二導桿具有一導氣流道,該導氣流道的兩端分別連通於該第二進氣口以及該第二流道;一閥缸,固設於該第一活塞桿以及該第二活塞桿露出於該主體的部分,該閥缸具有一閥缸氣室,以及具有一推進通道分別連通於該閥缸氣室以及該第一活塞桿的第一流道,以及具有一退回通道分別連通於該閥缸氣室以及該第二活塞桿的第二流道;一閥缸活塞桿,可伸縮地設於該閥缸並有部分露出於該閥缸,且一端具有一閥缸活塞位於該閥缸氣室內,該閥缸活塞桿的伸縮方向與該第一導桿的伸縮方向相夾預定角度;以及一閥件,固設於該閥缸活塞桿露出於該閥缸的部分;其中,該第一進氣通道連通於該二氣室的位置係對應位於該二活塞的一端,該第二進氣通道連通於該二氣室的位置係對應位於該二活塞的另一端,氣體由該第一進氣口進入該二氣室時,係將該第一活塞桿及該第二活塞桿推向該推出位置;其中,該推進通道連通於該閥缸氣室的位置係對應位於該閥缸活塞的一端,該退回通道連通於該閥缸氣室的位置係對應位於該閥缸活塞的另一端,氣體由該推進通道進入該閥缸氣室時,係將該閥缸活塞桿向外推出。
藉此,本發明相較於先前技術而言具有更為精簡的零件數量,組裝上更為容易,且驅動該閥件的動作簡單,具有較高的精準度。
為了詳細說明本發明之技術特點所在,茲舉以下之較佳實施例並配合圖式說明如後,其中:
如圖1至圖10所示,本發明一較佳實施例所提出之一種二向移動之閥件驅動裝置10,主要由一主體11、一第一活塞桿21、一第二活塞桿25、一第一導桿31、一第二導桿35、一閥缸41、三閥缸活塞桿45以及一閥件49所組成,其中:
該主體11,內部具有彼此不相連通的二氣室12,一第一進氣口13及一第一進氣通道14設於該主體11,該第一進氣口13連通於外界,並藉由該第一進氣流道分別連通於該二氣室12,該主體11還設有一第二進氣口17及一第二進氣通道18,該第二進氣口17連通於外界,並藉由該第二進氣通道18連通於該二氣室12。
該第一活塞桿21及該第二活塞桿25,兩者均可伸縮地設於該主體11,且兩者都有一端具有一活塞211,251而分別位於該二氣室12內,以及兩者都有部分露出於該主體11,並且受驅動而於一推出位置(圖10為上升至頂端的位置)及一縮回位置(圖3為下降至底端的位置)之間移動,其中,該第一活塞桿21具有沿軸向貫通的一第一流道22,該第二活塞桿25具有沿軸向貫通的一第二流道26。
該第一導桿31及該第二導桿35,固設於該主體11且分別位於該二氣室12內,該第一導桿31係以一端伸入至該第一活塞桿21的該第一流道22中,且該第一導桿31的前述伸入端具有沿軸向凹設且與該第一流道22連通的一氣槽32,該第一導桿31的桿身側面設有一氣孔33,於該第一活塞桿21位於該推出位置時,該氣孔33係露出於該第一活塞桿21外而連通該氣槽32與該第一導桿31所位於的該氣室12,於該第一活塞桿21位於該縮回位置時,該氣孔33係位於該第一流道22內。該第二導桿35係以一端伸入至該第二活塞桿25的該第二流道26中,該第二導桿35具有一導氣流道36,該導氣流道36的兩端分別連通於該第二進氣口17以及該第二流道26。其中,該氣孔33的位置,在實際設計時,可以設計為在該第一活塞桿21位於該推出位置時,該氣孔33才剛好露出於該第一活塞桿21外,藉以確保必須在該第一活塞桿21確實移到該推出位置時,氣體才得以進入該氣孔33。
該閥缸41,固設於該第一活塞桿21以及該第二活塞桿25露出於該主體11的部分,在本實施中係設於該第一活塞桿21以及該第二活塞桿25的末端。該閥缸41具有三個閥缸氣室42,以及具有一推進通道43分別連通於各該閥缸氣室42以及該第一活塞桿21的第一流道22,以及具有一退回通道44分別連通於各該該閥缸氣室42以及該第二活塞桿25的第二流道26。
該三閥缸活塞桿45,可伸縮地設於該閥缸41並有部分露出於該閥缸41,且各該閥缸活塞桿45的一端具有一閥缸活塞46而分別位於各該閥缸氣室42內,該三閥缸活塞桿45的伸縮方向與該第一活塞桿21及該第二活塞桿25的伸縮方向相夾一個角度,以本實施例而言係呈垂直,而相夾九十度。
該閥件49,固設於該三閥缸活塞桿45露出於該閥缸41的部分,本實施例中係設於該三閥缸活塞桿45的末端。
其中,該第一進氣通道14連通於該二氣室12的位置係對應位於該二活塞211,251的一端,該第二進氣通道18連通於該二氣室12的位置係對應位於該二活塞211,251的另一端,氣體由該第一進氣口13進入該二氣室12時,係將該第一活塞桿21及該第二活塞桿25推向該推出位置,氣體由該第二進氣口17進入該二氣室12時,係將該第一活塞桿21及該第二活塞桿25推向該縮回位置。此外,該推進通道43連通於各該閥缸氣室42的位置係對應位於各該閥缸活塞46的一端,該退回通道44連通於各該閥缸氣室42的位置係對應位於各該閥缸活塞46的另一端,氣體由該推進通道43進入各該閥缸氣室42時,係將各該閥缸活塞桿45向外推出,氣體由該退回通道44進入各該閥缸氣室42時,係將各該閥缸活塞桿45推回至縮回狀態。
在實際實施時,該第一進氣口13及該第二進氣口17可以分別設置一個氣嘴51,以方便外部的氣體源(圖中未示)連接。
以上說明了本實施例的架構,接下來說明本實施例的操作動作。
如圖11所示,在使用前,先將本發明安裝於一閥口91旁。在未操作時,該第一活塞桿21以及該第二活塞桿25均位於該縮回位置,且該閥缸活塞桿45亦位於縮回的狀態,此時該閥件49即位於最低位置且處於縮回狀態。該閥口91即處於未封閉狀態。
如圖3所示,欲將該閥口91封閉時,係執行封閉操作,其係使氣體由一該氣嘴51進入該第一進氣口13,進而進入該二氣室12,該第一活塞桿21及該第二活塞桿25即受推動而向該推出位置移動,此時該閥缸41即隨著該第一活塞桿21及該第二活塞桿25而移動,但此時由於該第一導桿31的該氣孔33尚未露出於該第一導桿31所在的氣室12,因此氣體還不會進入該氣孔33。該第一活塞桿21持續被推動而移動至該推出位置時,其狀態即如圖10及圖12所示。再如圖10及圖5所示,當該第一活塞桿21移動至該推出位置時,該氣孔33即會露出於該第一活塞桿21外,該氣孔33所在的該氣室12內的氣體即會進入該氣孔33,而經由該氣槽32、該第一流道22以及該推進通道43而流入該三閥缸氣室42,進而推動該閥缸活塞桿45向外推進而最終向外移動至最外端的位置,此時,該閥件49即蓋住該閥口91形成封閉效果,而形成如圖13的狀態。
如圖10及圖13所示,欲將該閥件49退回時,係執行退回操作,其係使氣體由另一個氣嘴51進入該第二進氣口17,進而進入該二氣室12,且也同時進入該導氣流道36,並經由該第二流道26以及該退回通道44而進入該三閥缸氣室42,進而藉由氣壓的推動而將該三閥缸活塞桿45推回縮回的位置,並將該第一活塞桿21及該第二活塞桿25推動至縮回位置。如此一來,該閥件49即又退回至前述如圖3所示的未操作的位置。
前述的動作說明中,在執行封閉操作時,所形成的效果是該第一活塞桿21及該第二活塞桿25先上升至推出位置後,該三閥缸活塞桿45才伸出,而對於該閥件49來說,其動態則是該閥件49先上升,再平移至蓋住該閥口91。而在執行退回操作時,該閥件49則是縮回與下降同時進行。因此,在設計上,對於該第二進氣口17與該第二進氣通道18所形成的路徑上的最小口徑的部位,相較於該第二進氣口17、該導氣流道36、該第二流道26以及該退回通道44所形成的路徑上的最小口徑的部位而言,可以設計為口徑較小。這個設計可以讓氣體在進入該第二進氣通道18時較為不易,而在進入該退回通道44時較為容易,進而可以確保在退回操作時氣體會優先進入該退回通道44,使得該三閥缸活塞桿45先縮回至無法再縮回的位置後,氣體才會由再進入該第二進氣通道18來推動該第一活塞桿21及該第二活塞桿25下降,進而使該閥件49產生先平移縮回才下降的效果。本發明是利用一該氣嘴51與該第二進氣口17之間的縫隙來做為較小口徑的部位,並且使該氣嘴51與該導氣流道36之間直接連通而使得口徑大於該氣嘴51與該第二進氣口17之間的縫隙,形成上述的口徑關係,如此就可以在退操作時形成使該閥件49先平移縮回才下降的效果。
綜上可知,本發明利用氣體流道的設計來使兩個方向的活塞桿分別移動,進而使該閥件49產生兩個方向上的移動動作,因此,本案並不是使用多個零件來產生機構上的旋轉或偏移,因此本案相較於先前技術而言具有更為精簡的零件數量,且本案在驅動閥件49的操作動作上較為簡單,且本案使用活塞桿在空壓缸上的伸縮移動,因此較機構件的偏擺或旋擺移動而言具有更較高的精準度。
須額外說明的是,在該第一進氣口13進氣時,該第二進氣口17即可以做為出氣使用,反之,在該第二進氣口17進氣時,該第一進氣口13即可以做為出氣使用。此外,為了氣密功能而設置油封(或O形環)乃屬習知技術,因此容不於本案中加以說明,而僅在圖式中予以表示出來,但這些油封的設置位置及方式並非本案之申請重點,不能用來限制本案之申請專利範圍。
10:二向移動之閥件驅動裝置
11:主體
12:氣室
13:第一進氣口
14:第一進氣通道
17:第二進氣口
18:第二進氣通道
21:第一活塞桿
211:活塞
22:第一流道
25:第二活塞桿
251:活塞
26:第二流道
31:第一導桿
32:氣槽
33:氣孔
35:第二導桿
36:導氣流道
41:閥缸
42:閥缸氣室
43:推進通道
44:退回通道
45:閥缸活塞桿
46:閥缸活塞
49:閥件
51:氣嘴
91:閥口
圖1係本發明第一較佳實施例之組合立體圖。
圖2係沿圖1中2-2剖線之剖視圖。
圖3係圖2的前視圖。
圖4係沿圖3中4-4剖線之剖視圖。
圖5係沿圖4中之5-5剖線之剖視圖。
圖6係沿圖5中6-6剖線之剖視圖。
圖7係沿圖6中7-7剖線之剖視圖。
圖8係沿圖5中8-8剖線之剖視圖。
圖9係沿圖5中9-9剖線之剖視圖。
圖10係本發明一較佳實施例之一動作示意圖。
圖11係本發明一較佳實施例之組裝示意圖。
圖12係本發明一較佳實施例之組裝狀態下之動作示意圖。
圖13係本發明一較佳實施例之組裝狀態下之另一動作示意圖。
11:主體
12:氣室
13:第一進氣口
14:第一進氣通道
17:第二進氣口
18:第二進氣通道
21:第一活塞桿
211:活塞
22:第一流道
25:第二活塞桿
251:活塞
26:第二流道
31:第一導桿
32:氣槽
33:氣孔
35:第二導桿
36:導氣流道
41:閥缸
44:退回通道
45:閥缸活塞桿
49:閥件
51:氣嘴
Claims (6)
- 一種二向移動之閥件驅動裝置,包含有:一主體,內部具有彼此不相連通的二氣室,一第一進氣口及一第一進氣通道設於該主體,該第一進氣口連通於外界,並藉由該第一進氣流道分別連通於該二氣室;一第二進氣口及一第二進氣通道設於該主體,該第二進氣口連通於外界,並藉由該第二進氣通道連通於該二氣室;一第一活塞桿以及一第二活塞桿,兩者均可伸縮地設於該主體,且兩者都有一端具有一活塞而分別位於該二氣室內,以及兩者都有部分露出於該主體,並且受驅動而於一推出位置以及一縮回位置之間移動,其中,該第一活塞桿具有沿軸向貫通的一第一流道,該第二活塞桿具有沿軸向貫通的一第二流道;一第一導桿以及一第二導桿,固設於該主體且分別位於該二氣室內,該第一導桿係以一端伸入至該第一活塞桿的該第一流道中,且該第一導桿的前述伸入端具有沿軸向凹設且與該第一流道連通的一氣槽,該第一導桿的桿身側面設有一氣孔,於該第一活塞桿位於該推出位置時,該氣孔係露出於該第一活塞桿外而連通該氣槽與該第一導桿所位於的該氣室,於該第一活塞桿位於該縮回位置時,該氣孔係位於該第一流道內;該第二導桿係以一端伸入至該第二活塞桿的該第二流道中,該第二導桿具有一導氣流道,該導氣流道的兩端分別連通於該第二進氣口以及該第二流道;一閥缸,固設於該第一活塞桿以及該第二活塞桿露出於該主體的部分,該閥缸具有一閥缸氣室,以及具有一推進通道分別連通於該閥缸氣室以及該第一活塞桿的該第一流道,以及具有一退回通道分別連通於該閥缸氣室以及該第二活塞桿的該第二流道; 一閥缸活塞桿,可伸縮地設於該閥缸並有部分露出於該閥缸,且一端具有一閥缸活塞位於該閥缸氣室內,該閥缸活塞桿的伸縮方向與該第一導桿的伸縮方向相夾預定角度;以及一閥件,固設於該閥缸活塞桿露出於該閥缸的部分;其中,該第一進氣通道連通於該二氣室的位置係對應位於該二活塞的一端,該第二進氣通道連通於該二氣室的位置係對應位於該二活塞的另一端,氣體由該第一進氣口進入該二氣室時,係將該第一活塞桿及該第二活塞桿推向該推出位置;其中,該推進通道連通於該閥缸氣室的位置係對應位於該閥缸活塞的一端,該退回通道連通於該閥缸氣室的位置係對應位於該閥缸活塞的另一端,氣體由該推進通道進入該閥缸氣室時,係將該閥缸活塞桿向外推出。
- 依據請求項1所述之二向移動之閥件驅動裝置,其中:該閥缸活塞桿的伸縮方向與該第一活塞桿及該第二活塞桿的伸縮方向係相互垂直。
- 依據請求項1所述之二向移動之閥件驅動裝置,其中:該閥缸具有複數個閥缸氣室,且有複數個閥缸活塞桿可伸縮地分別設於各該閥缸,該閥件係固設於該複數閥缸活塞桿露出於該閥缸的部分,該退回通道以及該推進通道均係連通於該複數閥缸氣室。
- 依據請求項1所述之二向移動之閥件驅動裝置,其中:該第二進氣口與該第二進氣通道所形成的路徑上的最小口徑的部位,相較於該第二進氣口、該導氣流道、該第二流道以及該退回通道所形成的路徑上的最小口徑的部位而言,其口徑更小。
- 依據請求項1所述之二向移動之閥件驅動裝置,其中:該第一進氣口及該第二進氣口係分別設有一氣嘴。
- 依據請求項5所述之二向移動之閥件驅動裝置,其中:該第二進氣口、連接於該第二進氣口的氣嘴以及與該第二進氣通道所形成的路徑上的最小口徑的部位,相較於該第二進氣口、連接於該第二進氣口的氣嘴、該導氣流道、該第二流道以及該退回通道所形成的路徑上的最小口徑的部位而言,其口徑更小。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW109119694A TWI730808B (zh) | 2020-06-11 | 2020-06-11 | 二向移動之閥件驅動裝置 |
EP20186661.3A EP3922891B1 (en) | 2020-06-11 | 2020-07-20 | Valve member driving device capable of bidirectional movement |
CN202021526173.4U CN212455707U (zh) | 2020-06-11 | 2020-07-29 | 二向移动的阀件驱动装置 |
CN202010742516.9A CN113803515A (zh) | 2020-06-11 | 2020-07-29 | 二向移动的阀件驱动装置 |
US16/943,435 US11231114B2 (en) | 2020-06-11 | 2020-07-30 | Valve member driving device capable of bidirectional movement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW109119694A TWI730808B (zh) | 2020-06-11 | 2020-06-11 | 二向移動之閥件驅動裝置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWI730808B true TWI730808B (zh) | 2021-06-11 |
TW202146793A TW202146793A (zh) | 2021-12-16 |
Family
ID=71728597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW109119694A TWI730808B (zh) | 2020-06-11 | 2020-06-11 | 二向移動之閥件驅動裝置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11231114B2 (zh) |
EP (1) | EP3922891B1 (zh) |
CN (2) | CN212455707U (zh) |
TW (1) | TWI730808B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2020-06-11 TW TW109119694A patent/TWI730808B/zh active
- 2020-07-20 EP EP20186661.3A patent/EP3922891B1/en active Active
- 2020-07-29 CN CN202021526173.4U patent/CN212455707U/zh active Active
- 2020-07-29 CN CN202010742516.9A patent/CN113803515A/zh active Pending
- 2020-07-30 US US16/943,435 patent/US11231114B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210388908A1 (en) | 2021-12-16 |
EP3922891B1 (en) | 2022-09-07 |
CN212455707U (zh) | 2021-02-02 |
TW202146793A (zh) | 2021-12-16 |
EP3922891A1 (en) | 2021-12-15 |
US11231114B2 (en) | 2022-01-25 |
CN113803515A (zh) | 2021-12-17 |
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