JP5507216B2 - 半導体装置および電源装置 - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置およびそれを用いた電源装置に関し、例えば高電圧を低電圧に変換するスイッチング電源装置に適用して有効な技術に関するものである。
例えば、特許文献1には、パワーMOSFETと、それを駆動する駆動回路と、駆動回路にスイッチング制御信号を伝達する制御回路とが1つのパッケージ内に搭載された半導体装置が記載されている(図1、図2)。
また、特許文献2には、スイッチング周波数を調整することで出力電圧を制御するというコンパレータ方式に基づいたDC−DCコンバータが示されている。また、特許文献3には、軽負荷時にインダクタに流れる逆流を検出することが可能な同期整流型スイッチングレギュレータが示されている。
特開2008−17620号公報 特開2008−136307号公報 特開2006−211760号公報
例えば、パーソナルコンピュータ(以下、PC)等を代表とする各種電子機器ならびに電気機器では、商用電源となる交流電圧(例えば100V等)から所望の直流電圧(例えば12V、5V、3.3V等)を生成するAC/DCコンバータ(例えばATX電源)が用いられている。また、ノート型のPC等では、バッテリによって特定値の直流電圧が供給される。PC等に使用される各種半導体部品では、安定した電源電圧が必要とされ、場合によっては複数の電源電圧値が必要とされる。このため、このAC/DCコンバータやバッテリによって生成された電圧は、降圧型の非絶縁型DC/DCコンバータ(バックコンバータ)によって所定の電圧(例えば1.0V等)および安定した電圧に変換された上で各種半導体部品に供給される。
このようなバックコンバータは、一般的にPOL(point of load)コンバータ等と呼ばれる。例えばPCの場合、バックコンバータは、マザーボードや各種拡張ボード(グラフィックボード等)といったPCB(Printed Circuit Board)上で各種回路ユニット(CPU(Central Processing Unit)、GPU(Graphics Processing Unit)、メモリ等)の近傍に実装される。
近年、前述したような各種半導体部品では、高速化等に伴い大電流が必要とされてきている。その一方で、例えば、自身の作業負荷に応じて一部の内部回路ブロックが不必要となった場合に当該内部回路ブロックへの電源供給を一時的に遮断する等の省電力設計も行われている。特に、バッテリで動作する電子機器内の各種半導体部品では、このような省電力設計が極めて重要となる。したがって、バックコンバータにも、幅広い電流レンジへの対応や、電力変換効率の向上が求められる。
図17は、本発明の前提として検討した電源装置において、その構成の一例を示すブロック図である。図18は、図17の電源装置の動作例を示す波形図である。この電源装置は、コンスタント・オンタイム(COT)制御方式を反映した構成例となっている。図17に示す電源装置は、ハイサイドのトランジスタQH、およびロウサイドのトランジスタQLと、これらのオン・オフを制御するPWM制御ユニットPWMCTLUを備えている。PWMCTLUは、コンパレータ回路CMP50と、ワンショットパルス生成回路1PLSbと、逆電流検出回路RIDETbと、制御論理回路LGCならびにドライバ回路DRVを含んでいる。QHおよびQLの一端は、スイッチ信号SWの出力ノードに共通接続され、このノードにインダクタLの一端が接続される。インダクタLの他端は、出力電源ノードVOとなり、負荷LODの電源端子および容量Cldに接続されると共に、PWMCTLUに帰還される。
このような電源装置は、軽負荷時(負荷LODの消費電流(負荷電流)Ioが小さい時)においては次のように動作する。すなわち、図18に示すように、まず、コンパレータ回路CMP50が、出力電源ノードVOの電圧が所定の比較電圧VC(例えば1.0V)まで低下したことを検出し、これを受けて、ワンショットパルス生成回路1PLSbが所定のパルス幅(コンスタントオン時間)T1を持つワンショットパルスを生成する。このT1では、トランジスタQHのゲート電圧が‘H’レベルとなりQHがオンに、トランジスタQLのゲート電圧が‘L’レベルとなりQLがオフになり、これに伴いインダクタLの電流ILが上昇する。一方、T1を経た後は、QHがオフに、QLがオンにそれぞれ駆動され、電流ILは、徐々に減少しながらQLを介して流れ続ける。
ここで、電流ILが0Aまで減少すると、容量CldからインダクタLを介してQLに向かう方向に電流経路が形成される(すなわち逆流が生じる)。この逆流は、逆電流検出回路RIDETbによって検出され、これを受けてQLがオフに制御され、その結果、QH,QL共にオフとなる。このQH,QL共にオフとなる期間(T3)では、容量Cldによって負荷LODが駆動され、出力電源ノードVOの電圧が徐々に低下する。そして、このVOの電圧が、コンパレータ回路CMP50の比較電圧VCまで低下すると、再びQHがオンに制御され、同様の動作が繰り返される。
図19は、図17の電源装置において、そのスイッチング周波数の負荷電流依存性を示す図である。図20は、図17の電源装置において、その電力変換効率の負荷電流依存性を示す図である。図19に示すように、図17の電源装置は、重負荷時(図19の例では負荷電流Ioが5A以上の場合)には電流連続モード(CCM:Continuous Conduction Mode)で動作し、軽負荷時(図19の例ではIoが5A未満の場合)には電流不連続モード(DCM:Discontinuous Conduction Mode)で動作する。CCMとは、インダクタLに流れる電流ILが常に0Aよりも大きい状態を保つ動作モードであり、DCMとは、一部の期間においてILが0Aとなる期間が生じる動作モードである。CCM,DCMに関わらず、インダクタLに流れる電流ILの立ち上がり傾き(=(VINーVO)/L)、立ち下がり傾き(=−VO/L)ならびにILの立ち上がり時間(すなわちコンスタントオン時間T1)はそれぞれ一定値であり、また、ILの平均値がIoとなる。したがって、例えばIoが所定の値よりも小さくなると、必然的にILが0Aとなる期間が生じ、自動的にCCMからDCMに変化することになる。
CCMにおいては、電流ILに逆流は生じず、スイッチング周波数は、負荷電流Ioの大きさに関わらずに一定値となる。すなわち、Ioが定常状態の際には、前述したように、ILの傾きおよびコンスタントオン時間T1が一定値であることに加えて、ILの最大値および最小値もそれぞれ一定値となるため、スイッチング周波数Fswは、一定値を保ち、Ioの増加・減少に応じて、電流ILの最大値および最小値が共に一定の量だけシフトすることになる。この際のFswは、QHに供給される入力電源電圧VINと、出力電源ノードVOの電圧と、コンスタントオン時間T1を用いて式(1)となる。
Fsw=VO/(VIN・T1) (1)
一方、DCMにおいては、電流ILに逆流が生じ得るため、図18で述べたように、この逆流の検出に伴いILを0Aとする期間T3が生じる。このDCMでは、CCMの場合と異なり、ILの最小値が0Aに固定されるため、スイッチング周波数Fswは、負荷電流Ioの大きさに依存して変化することになる。また、Fswは、入力電源電圧VINの変化に伴い、立ち上がり傾きが変化することから、VINに対する依存性も持つ。この際のFswは、式(2)となる。
Fsw=2・Io・L・VO/{T1・VIN・(VIN−VO)} (2)
式(2)ならびに図18の説明から判るように、DCMでのスイッチング周波数Fswは、負荷電流Ioが小さくなるほど低下する(Io低下に伴い図18における期間T3が延びる)。これにより、図20に示すように、DCMでの電力変換効率は、仮にDCMを用いずにCCMでのスイッチング周波数をそのまま維持した場合(すなわち図17において逆電流検出回路RIDETbが存在しない場合に対応)と比べて向上する。例えば、負荷電流Ioが2A程度において、CCMでのスイッチング周波数Fswを維持した場合は、電力変換効率が約85%なのに対して、DCMの場合は約90%となっている。これは、Fswが低くなることで、QH,QLのドライブロス、ならびにスイッチングロスが小さくなるためである。
このように、図17のような電源装置を用いることで、軽負荷時の電力変換効率を向上させることが可能となる。しかしながら、この電源装置では、式(2)から判るように、入力電源電圧VINが変動すると、スイッチング周波数Fswが大きく変動してしまう。この特性は、特に、ノートPC等を代表とするバッテリ駆動の電子機器では、バッテリ電圧低下と共に効率が低下することになるため致命的となる。この特性を改善するため、例えば、入力電源電圧モニタ用の外部ピンを設ける方式が考えられる。ただし、この場合は、外部ピン数ならびに部品数(例えば入力電源電圧検出用の抵抗)の増大が生じ、電源装置の小型化やコスト低減の阻害要因となる。
さらに、別の課題として、前述した電力変換効率の向上と共に幅広い電流レンジへの対応も挙げられる。また、更に別の課題として、図17のような構成例では、コンスタントオン時間T1において、例えば、スイッチ信号SWのノードが接地電源電圧GNDにショートしていてもQHがオンし続けてしまい、QHが破壊、あるいはダメージを受けるといった事態も懸念される。
本発明は、このようなことを鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、軽負荷時の電力変換効率を入力電源電圧によらずに向上可能な電源装置を提供することにある。なお、本発明の前記ならびにそれ以外の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的な実施の形態の概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本実施の形態による電源装置は、電源電圧とインダクタの一端の間に接続された第1トランジスタと、接地電源電圧とインダクタの一端の間に接続された第2トランジスタと、電流検出回路と、エラーアンプ回路と、パルス生成回路と、逆電流検出回路と、スイッチング制御回路とを備えたものとなっている。電流検出回路は、インダクタに流れる電流を反映した電流検出信号を生成する。エラーアンプ回路は、第1設定電圧を基準としてインダクタの他端となる出力電源ノードの出力電圧を増幅し、その増幅結果となるエラーアンプ信号を出力する。パルス生成回路は、出力電源ノードの出力電圧が所定の電圧まで低下する毎にパルス信号を出力する。逆電流検出回路は、出力電源ノードからインダクタを介して第2トランジスタに流れる方向の電流を検出した際に逆電流検出信号を活性化する。スイッチング制御回路は、パルス生成回路からのパルス信号を受けた際に、第1トランジスタをオンに、第2トランジスタをオフに駆動し、電流検出信号の電圧レベルがエラーアンプ信号の電圧レベルに到達した際に、第1トランジスタをオフに、第2トランジスタをオンに駆動し、逆電流検出信号が活性化された際に、第2トランジスタをオフに駆動する。
このような構成を用いることで、軽負荷時においては、パルス生成回路からのパルス信号の発生周期が長くなるため、スイッチング損失が低減し、電力変換効率の向上が図れる。さらに、電流モード制御方式を用いているため、電源電圧が変動した場合でも、ほぼ同じ期間内にほぼ同じエネルギーをインダクタに持たせることが可能となり、電源電圧に応じたスイッチング周波数の変動を抑制できる。
本願において開示される発明のうち、代表的な実施の形態によって得られる効果を簡単に説明すると、軽負荷時の電力変換効率を入力電源電圧によらずに向上可能な電源装置が実現可能になる。
本発明の実施の形態1による電源装置において、その構成の一例を示す回路ブロック図である。 図1の電源装置において、モード設定信号が‘L’レベル時の動作例を示す波形図であり、(a)は3フェーズ動作時、(b)は2フェーズ動作時、(c)は1フェーズ動作時を示すものである。 図1の電源装置において、1フェーズ動作かつモード設定信号が‘H’レベル時の動作例を示す波形図である。 (a)は、図3における軽負荷時の動作方式を模式的に示した原理図であり、(b)は、その比較対象として、図18における軽負荷時の動作方式を模式的に示した原理図である。 図1の電源装置において、その軽負荷時の動作におけるスイッチング周波数の入力電源電圧依存性の一例を示す図である。 図1の電源装置において、その各動作モード時における電力変換効率の負荷電流依存性の一例を示す図である。 図1の電源装置において、そのアナログコンパニオンユニットに含まれる3値バッファ回路の詳細な構成例を示す回路図である。 図1の電源装置において、アナログコンパニオンユニットならびに各PWM搭載型駆動ユニットに含まれるハイインピーダンス検出回路の構成例を示す回路ブロック図である。 図8に示したハイインピーダンス検出回路のより詳細な構成例を示す回路図である。 図9のハイインピーダンス検出回路の動作例を示す波形図である。 本発明の実施の形態2による電源装置において、その構成の一例を示す回路ブロック図である。 図11の電源装置において、そのアナログコンパニオンユニット内のSMOD&OVP出力回路の詳細を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す真理値表である。 本発明の実施の形態3による電源装置において、その詳細な構成例を示すブロック図である。 図13に示すPWM搭載型駆動ユニットの外形例を示す平面図である。 (a)は、図14におけるY1−Y1’間の構造例を示す断面図であり、(b)は、図14におけるX1−X1’間の構造例を示す断面図である。 図13において、ハイサイドのトランジスタが形成された半導体チップのデバイス構造例を示す断面図である。 本発明の前提として検討した電源装置において、その構成の一例を示すブロック図である。 図17の電源装置の動作例を示す波形図である。 図17の電源装置において、そのスイッチング周波数の負荷電流依存性を示す図である。 図17の電源装置において、その電力変換効率の負荷電流依存性を示す図である。
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらは互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。また、以下の実施の形態において、要素の数等(個数、数値、量、範囲等を含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。
さらに、以下の実施の形態において、その構成要素(要素ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。
また、実施の形態の各機能ブロックを構成する回路素子は、特に制限されないが、公知のCMOS(相補型MOSトランジスタ)等の集積回路技術によって、単結晶シリコンのような半導体基板上に形成される。なお、実施の形態で、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)(又はMOSトランジスタと略す)と記載した場合、ゲート絶縁膜として非酸化膜を除外するものではない。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
(実施の形態1)
<<電源装置全体の構成>>
図1は、本発明の実施の形態1による電源装置において、その構成の一例を示す回路ブロック図である。図1に示す電源装置は、共通制御ユニットCCTLUと、複数(ここでは3個)のPWM搭載型駆動ユニットPSIP[1]〜PSIP[3](半導体装置)と、複数(ここでは3個)のインダクタL[1]〜L[3]を含んで構成される。CCTLUは、マイクロコントローラユニットMCUと、アナログコンパニオンユニットACUを備えている。L[1]〜L[3]の一端は、出力電源ノードVOに共通に接続され、L[1]〜L[3]の他端は、それぞれ、PSIP[1]〜PSIP[3]に接続される。VOと接地電源電圧GNDの間には、負荷LODと容量Cldが並列に接続される。LODは、前述した各種回路ユニット(例えばCPU、GPU、メモリ等)に該当し、このVOを電源として所定の動作を行う。
PSIP[1]〜PSIP[3]は、例えば、それぞれ別の半導体パッケージによって実現される。MCUとACUは、それぞれ別の半導体パッケージで実現したり、一つの半導体パッケージで実現することも可能である。一つの半導体パッケージで実現する場合、MCUとACUは、それぞれ別の半導体チップで形成した後、所謂SiP(System in Package)技術によって一つの半導体パッケージに搭載したり、あるいは一つの半導体チップで形成してパッケージ化することも可能である。これらの半導体パッケージは、マザーボードや各種拡張ボード(グラフィックボード等)といった配線基板(PCB)上で、負荷LODの近傍に実装される。
マイクロコントローラユニットMCUは、複数(ここでは3個)の外部端子PNc1〜PNc3と、3個の外部端子PNvfi,PNvro,PNsmoを含んでいる。PNsmoからは、モード設定信号SMODが出力される。PNc1〜PNc3からは、同一周波数で、それぞれ位相が異なるクロック信号CLK[1]〜CLK[3]が出力される。また、MCUは、ディジタル・アナログ変換回路DACを備える。DACは、外部端子PNvfiからの基準電圧VREFと、複数ビットのディジタルコード(VIDコードと称す)とが入力され、VIDコードに応じた出力電圧設定信号VRを外部端子PNvroから出力する。VRは、出力電源ノードVOへの設定電圧を示すアナログ電圧信号である。特に限定はされないが、VIDコードによって、例えば、0.8V〜1.8V等といった電圧範囲の中から数十mVステップ等でVRを選択することができる。
アナログコンパニオンユニットACUは、12個の外部端子PNvfo,PNci,PNco,PNeo1,PNfp,PNfn,PNfo,PNfi,PNvri,PNeo2,PNvs,PNsmiを含んでいる。また、ACUは、基準電圧生成回路VREFG、ハイインピーダンス検出回路HZDETm、3値バッファ回路3BUF、オア回路OR1、アンド回路AD1,AD2、ワンショットパルス生成回路1PLS、コンパレータ回路CMP2、エラーアンプ回路EA、アンプ回路AMP2、抵抗R3a,R3b,R4a,R4bを備えている。VREFGは、基準電圧VREFを生成する。このVREFは、外部端子PNvfoを介して前述したACUの外部端子PNvfiに入力される。
アンプ回路AMP2および抵抗R3a,R3b,R4a,R4bは、差動増幅回路を構成し、R3a,R3bの抵抗値を共にR3とし、R4a,R4bの抵抗値を共にR4とすると、当該差動増幅回路のゲインは、R4/R3で設定できる。特に限定はされないが、ここではR3=R4=11kΩとし、差動増幅回路のゲインを1に設定する。この差動増幅回路は、(+)側に負荷LODの電源電圧(VOの電圧)となる出力電圧検出信号VSEN_Pが外部端子PNfpを介して入力され、(−)側にLODの接地電源電圧GNDとなる出力電圧検出信号VSEN_Nが外部端子PNfnを介して入力される。
AMP2の出力は、フィードバック信号FBoとして外部端子PNfoから出力される。PNfoは、外部に設けられた抵抗R17を介して外部端子PNfiに接続される。また、PNfiは、外部に設けられた容量C10および抵抗R16を介して外部端子PNeo2に接続される。したがって、FBoは、R17およびC10からなるループ補償回路(ロウパスフィルタ)によって平滑化され、この平滑化された信号がフィードバック信号FBiとしてPNfiから入力される。
エラーアンプ回路EAは、(−)側に前述したフィードバック信号FBiが入力され、(+)側に前述したMCUからの設定電圧VRが外部端子PNvriを介して入力される。EAは、外部端子PNeo1,PNeo2を介してエラーアンプ信号EOを出力する。このEOは、前述した抵抗R16および容量C10からなるループ補償回路(ロウパスフィルタ)によって平滑化される。また、PNeo1から出力されたEOは、エラーバスEB上に伝送される。
コンパレータ回路CMP2は、(+)側にエラーアンプ信号EOが入力され、(−)側に外部端子PNvsを介して設定電圧VSが入力される。VSは、前述した外部端子PNvfoより出力された基準電圧VREFを外部に設けられた抵抗R14,R15で分圧することで生成される。詳細は後述するが、軽負荷時の動作においては、この設定電圧VSに基づいてスイッチングのオンパルス幅やスイッチング周波数が定められる。アンド回路AD2は、2入力の一方にCMP2の出力が入力され、2入力の他方に前述したMCUからのモード設定信号SMODが外部端子PNsmiを介して入力される。ワンショットパルス生成回路1PLSは、AD2の出力ノードにおける立ち上がりエッジを受けて、所定のパルス幅を備えた‘H’パルス信号を出力する。
ハイインピーダンス検出回路HZDETmは、詳細な構成例は後述するが、前述したMCUからのクロック信号CLK[1]が外部端子PNciを介して入力され、CLK[1]がハイインピーダンス状態の場合には、ハイインピーダンス検出信号HZを出力する。また、HZDETmは、CLK[1]がハイインピーダンス状態で無い場合には、CLK[1]を再駆動した信号となる内部クロック信号CLKiを出力する。アンド回路AD1は、2入力の一方にCLKiが入力され、2入力の他方に前述したモード設定信号SMODの反転信号が外部端子PNsmiを介して入力される。
オア回路OR1は、2入力の一方にアンド回路AD1の出力が入力され、2入力の他方にワンショットパルス生成回路1PLSの出力が入力される。3値バッファ回路3BUFは、OR1の出力が入力され、HZによる制御に応じて外部端子PNcoよりクロック信号CLK’[1]を出力する。3BUFは、HZが活性状態の際にはCLK’[1]をハイインピーダンス状態とし、HZが非活性状態の際には、CLK’[1]をOR1の出力とする。
PWM搭載型駆動ユニットPSIP[1]は、8個の外部端子PN1[1]〜PN3[1],PN8[1]〜PN12[1]を含んでいる。PN1[1]には入力電源電圧VIN(例えば12V等)が供給され、PN3[1]には接地電源電圧GNDが供給される。PN8[1]には、ACUからのエラーアンプ信号EOがエラーバスEBを介して入力され、PN9[1]には、MCUからのクロック信号CLK’[1]が入力される。また、PN2[1]にはスイッチ信号SW[1]が出力されると共に前述したインダクタL[1]の他端が接続され、PN10[1]にはGNDが供給される。
PSIP[1]は、さらに、トランジスタ(パワートランジスタ)QH[1],QL[1]と、ドライバ回路DRVh[1],DRVl[1]と、制御論理回路LGC[1]と、PWM制御回路PWM_CTL[1]と、活性電流検出回路ACS[1]と、逆電流検出回路RIDET[1]と、ハイインピーダンス検出回路HZDET1[1]を備えている。トランジスタQH[1],QL[1]は、ここではNチャネル型のMOSFET(パワーMOSFET)を用いている。トランジスタQH[1]は、ドレインが入力電源電圧VINに、ゲートがDRVh[1]に、ソースがスイッチ信号SW[1]の出力端子となる外部端子PN2[1]にそれぞれ接続される。トランジスタQL[1]は、ドレインがPN2[1](SW[1])に、ゲートがDRVl[1]に、ソースが外部端子PN3[1]を介してGNDにそれぞれ接続される。
ハイインピーダンス検出回路HZDET1[1]は、外部端子PN9[1]からのクロック信号CLK’[1]を受け、CLK’[1]の状態に応じてイネーブル信号EN[1]を生成すると共に、内部クロック信号CLK_S[1]を生成する。HZDET1[1]は、詳細な構成例は後述するが、CLK’[1]がハイインピーダンス状態の場合には、EN[1]を出力し、ハイインピーダンス状態で無い場合には、CLK’[1]を再駆動した信号となるCLK_S[1]を出力する。活性電流検出回路ACS[1]は、トランジスタQH[1]に流れる電流Idhを検出し、その1/N(例えばN=18500等)の電流を生成する。この電流は、外部端子PN11[1]に外部接続された抵抗Rcsによって電圧に変換され、この電圧が電流検出信号CS[1]となる。
PWM制御回路PWM_CTL[1]は、コンパレータ回路CMP1[1]と、抵抗R1[1],R2[1]と、オフセット電圧源(オフセット電圧)VOF[1]と、バイアス電流源IB1と、セットリセット型フリップフロップ回路FFp[1]を備えている。R1[1]とR2[1]は、外部端子PN8[1]とPN10[1]の間に直列接続され、PN8[1]から入力されたエラーアンプ信号EOを分圧する。特に限定はされないが、ここではR1[1]とR2[1]を同一の抵抗値(例えば50kΩ等)とし、これによってEOは1/2に分圧される。
バイアス電流源IB1(例えば490μA等)は、前述した電流検出信号CS[1]を安定化させるためのものであり、活性電流検出回路ACS[1]と共に外部端子PN11[1]に電流を出力する。コンパレータ回路CMP1[1]は、(−)側に前述した抵抗R1[1],R2[1]によって分圧されたエラーアンプ信号EOが入力され、(+)側に、オフセット電圧源VOF[1]によるオフセット電圧(例えば0.1V等)が加算された電流検出信号CS[1]が入力される。フリップフロップ回路FFp[1]は、リセット入力ノード(R)にHZDET1[1]からの内部クロック信号CLK_S[1]が入力され、セット入力ノード(S)にCMP1[1]からの出力信号が入力され、反転出力ノード(/Q)からPWM信号PWM[1]を出力する。
逆電流検出回路RIDET[1]は、前述したMCUからのモード設定信号SMODが外部端子PN12[1]を介して入力され、このSMODによる制御を受けて動作する。RIDET[1]は、SMODが活性状態の場合には、外部端子PN2[1]からPN3[1]に向けた逆方向の電流を検出した際に逆電流検出信号RI[1]を活性化し、SMODが非活性状態の場合には、RI[1]を非活性状態に維持する。制御論理回路LGC[1]は、PWM制御回路PWM_CTL[1]からのPWM信号PWM[1]に基づいてDRVh[1],DRVl[1]を介してQH[1],QL[1]をスイッチング制御する。また、LGC[1]は、RI[1]の活性状態を受けた際には、DRVl[1]を介してQL[1]をオフに駆動する。
PWM搭載型駆動ユニットPSIP[2],PSIP[3]は、外部との間の入力信号および出力信号が若干異なることを除いて前述したPSIP[1]と同様な内部回路構成となっている。したがって、以降は、[n](n=1,2,3)によって各PSIP[n]の外部端子、内部回路ならびに内部信号を区別することとする。PSIP[2]は、外部端子PN9[2]を介してMCUからのクロック信号CLK[2]が入力され、エラーバスEBならびに外部端子PN8[2]を介してACUからのエラーアンプ信号EOが入力される。また、PSIP[2]は、外部端子PN2[2]を介してスイッチ信号SW[2]を出力し、このPN2[2]にインダクタL[2]が接続される。
同様に、PSIP[3]は、外部端子PN9[3]を介してMCUからのクロック信号CLK[3]が入力され、エラーバスEBならびに外部端子PN8[3]を介してACUからのエラーアンプ信号EOが入力される。また、PSIP[3]は、外部端子PN2[3]を介してスイッチ信号SW[3]を出力し、このPN2[3]にインダクタL[3]が接続される。なお、PSIP[2],PSIP[3]において、PSIP[1]の外部端子PN12[1]に対応する外部端子PN12[2],PN12[3]は、モード設定信号SMODの非活性状態に対応する電圧レベル(ここでは接地電源電圧GND)に固定される。
<<電源装置全体の動作>>
図2は、図1の電源装置において、モード設定信号SMODが‘L’レベル時の動作例を示す波形図であり、(a)は3フェーズ動作時、(b)は2フェーズ動作時、(c)は1フェーズ動作時を示すものである。まず、図2(a)に示す3フェーズ動作は、負荷が大きい場合(例えば負荷電流Io>33A等)で用いられる。この場合、マイクロコントローラユニットMCUは、モード設定信号SMODを非活性状態(‘L’レベル)とし、0°位相のCLK[1]と、120°位相のCLK[2]と、240°位相のCLK[3]を出力する。アナログコンパニオンユニットACUは、CLK[1]を受け、SMODが‘L’レベルであるため、HZDETm、AD1、OR1、および3BUFを介してCLK[1]と同様なCLK’[1]を出力する。PSIP[1]、PSIP[2]、PSIP[3]は、それぞれ、CLK’[1]、CLK[2]、CLK[3]を受けて動作を行う。
PSIP[1]を例に動作を簡単に説明すると、まず、HZDET[1]がCLK’[1]を受けてそれと同様なCLK_S[1]を出力し、CLK_S[1]の‘H’パルスを受けて、FFp[1]がPWM[1]を‘H’レベルに遷移させる。このPWM[1]の‘H’レベルを受けて、QH[1]がオン、QL[1]がオフとなり、インダクタL[1]にエネルギーが蓄積される。ここで、QH[1]に流れる電流(L[1]に流れるインダクタ電流と等価)は、ACS[1]を介して電流検出信号CS[1]として検出される。
一方、出力電源ノードVOの出力電圧は、ACU内のAMP2を含む差動増幅回路によって増幅(ここではゲイン=1)され、それと出力電圧設定信号VR(例えば1V等)との差分がEAによって増幅される。PSIP[1]内のCMP1[1]は、このEAからのエラーアンプ信号EO(詳細には、そのK(抵抗分圧比)倍)と電流検出信号CS[1]+オフセット電圧VOF[1]の値とを比較し、CS[1]+VOF[1]のピーク値がEO×Kに到達した際に‘H’レベルを出力する。FFp[1]は、CMP1[1]からの‘H’レベル出力に応じてPWM[1]を‘L’レベルに遷移させ、これを受けて、QH[1]がオフ、QL[1]がオンとなる。すなわち、ピーク電流制御方式が実行される。以降は、L[1]→負荷LODおよび容量Cld→QL[1]の経路で電流が還流され、その後、再びCLK’[1]の‘H’パルスを受けて同様な動作が繰り返される。また、PSIP[2],PSIP[3]は、位相が異なることを除いてPSIP[1]と同様な動作を行う。その結果、CLK[1]〜CLK[3]の周波数と同一のスイッチング周波数で3フェーズ動作が行われる。
次に、図2(b)に示す2フェーズ動作は、負荷が中程度の場合(例えば18A<Io≦33A等)で用いられる。この場合、MCUは、SMODを非活性状態(‘L’レベル)とし、0°位相のCLK[1]と、180°位相のCLK[2]を出力する。さらに、MCUは、CLK[3]をハイインピーダンス状態に設定する。ACUは、CLK[1]を受けてCLK[1]と同様なCLK’[1]を出力する。PSIP[1]、PSIP[2]は、それぞれ、CLK’[1]、CLK[2]を受けて、図2(a)の場合と同様に、CLK[1],CLK[2]の周波数と同一のスイッチング周波数で2フェーズ動作を行う。
一方、PSIP[3]内のハイインピーダンス検出回路HZDET1[3]は、CLK[3]のハイインピーダンス状態を検出し、イネーブル信号EN[3]を非活性化する。PSIP[3]は、このEN[3]の非活性化を受けて、QH[3],QL[3]を共にオフに固定すると共に、各内部回路で必要とされるバイアス電流等を選択的に停止する。これによってPSIP[3]は、省電力モードとなる。このように、1本のCLK[3]を用いてクロック信号の伝送機能とイネーブル信号の伝送機能とを併用させることで、それぞれを個別に伝送する場合(すなわち2本の信号を用いる場合)と比較して、MCUと各PSIP[n](n=1,2,3)間の配線本数の削減や、MCUや各PSIP[n]における外部端子数の削減等が可能となる。
続いて、図2(c)に示す1フェーズ動作は、負荷が小さい場合(例えばIo≦18A等)で用いられる。この場合、MCUは、SMODを非活性状態(‘L’レベル)とし、0°位相のCLK[1]を出力する。さらに、MCUは、CLK[2],CLK[3]を共にハイインピーダンス状態に設定する。ACUは、CLK[1]を受けてCLK[1]と同様なCLK’[1]を出力し、PSIP[1]は、CLK’[1]を受けてCLK[1]の周波数と同一のスイッチング周波数で1フェーズ動作を行う。一方、PSIP[2]およびPSIP[3]は、それぞれ、CLK[2]およびCLK[3]のハイインピーダンス状態を受けて、図2(b)の場合と同様に、QH[2],QL[2]およびQH[3],QL[3]をオフに固定すると共に省電力モードに移行する。
図3は、図1の電源装置において、1フェーズ動作かつモード設定信号SMODが‘H’レベル時の動作例を示す波形図である。図3に示す動作は、負荷が非常に小さい軽負荷時(例えばIoが数A以下等)で用いられる。この場合、MCUは、SMODを活性状態(‘H’レベル)とし、0°位相のCLK[1]を出力する。さらに、MCUは、CLK[2],CLK[3]を共にハイインピーダンス状態に設定する。ACUは、CLK[1]を受け、SMODが‘H’レベルであるため、CMP2、AD2、1PLS、OR1、および3BUFを介してCLK’[1]を出力する。
すなわち、ACUにおいては、出力電源ノードVOの電圧低下に応じてエラーアンプ信号EOの電圧が上昇する。このEOの電圧が設定電圧VSに到達すると、CMP2が‘H’パルスを出力し、これを受けて1PLSが所定のパルス幅を持つ‘H’パルスを出力する。この1PLSからの‘H’パルスがCLK’[1]となる。一方、PSIP[1]においては、このCLK’[1]に基づいてCLK_S[1]が生成され、FFp[1]を介してPWM[1]が‘H’レベルに遷移する。その結果、QH[1]がオンとなり、QL[1]はオフを維持する。
QH[1]がオンになると、図2(a)で説明したように、インダクタL[1]に流れる電流IL[1]、ならびにこれを反映した電流検出信号CS[1]が時間に伴い一次関数的に増大していく。そして、このCS[1]にVOF[1]を加算した電圧が、抵抗R1[1],R2[2]によって分圧されたエラーアンプ信号EOの電圧(EO/2)に到達した際に、FFp[1]は、PWM[1]を‘L’レベルに遷移させる。このPWM[1]の‘L’レベルを受けて、QH[1]はオフとなり、QL[1]はオンとなる。なお、スイッチ信号SW[1]の電圧は、QH[1]がオンの期間T1’ではVINレベル(例えば12V等)となり、QH[1]がオフ、QH[L]がオンとなる期間T2’ではGNDレベルとなる。この期間T1’では、VOの電圧は徐々に上昇し、これに応じてEOの電圧は徐々に低下することになる。
QH[1]がオフ、QH[L]がオンとなる期間T2’では、インダクタL[1]による起電力によってインダクタを流れる電流(還流電流)IL[1]が時間に伴い一次関数的に減少していく。また、この期間T2では、VOの電圧は、上昇から横ばい状態へと近づいていく。ここで、このIL[1]が0Aに到達すると(すなわちL[1]に蓄えられたエネルギーが使い果たされると)、SW[1]の電圧がVOの電圧(例えば1V程度等)となるため、PN2[1]からPN3[1]に向けた逆方向の電流が流れ始める。逆電流検出回路RIDET[1]は、この逆電流を検出した際に逆電流検出信号RI[1]を活性状態(‘H’レベル)にする。LGC[1]は、このRI[1]の‘H’レベルを受けてQL[1]をオフに制御する。その結果、QH[1],QL[1]共にオフとなる期間T3’が生じる。
このQH[1],QL[1]共にオフとなる期間T3’では、容量Cldに蓄えられたエネルギーで負荷LODが駆動され、その結果、VOの電圧は徐々に低下していき、これに応じてEOの電圧は徐々に上昇する。この期間T3’では、SW[1]の電圧は、VOの電圧(例えば1V程度等)となる。ここで、このEOの電圧が、設定電圧VSに到達すると、再び、ACU内のCMP2が‘H’パルスを出力することで前述した期間T1’に移行し、以降、期間T2’、期間T3’、期間T1’、…が同様に繰り返される。なお、インダクタL[1]に流れる電流IL[1]は、出力端子となる外部端子PN2[1]に流れる電流(すなわちスイッチ信号SW[1]の電流)に等しく、言い換えれば、PSIP[1]の出力電流とも言える。
図4(a)は、図3における軽負荷時(モード設定信号SMODが‘H’レベル時)の動作方式を模式的に示した原理図であり、図4(b)は、その比較対象として、図18における軽負荷時の動作方式を模式的に示した原理図である。図4(a)、(b)中で、実線および破線は、それぞれVINが高い場合および低い場合のインダクタLを流れる電流ILを表している。
図4(a)に示すように、VINが高い場合に、トランジスタQHがオン、トランジスタQLがオフの期間(t1の期間)は、電流ILの傾きa1はdIL/dt=(VIN−VO)/Lとなる。また、QHがオフ、QLがオンの期間(t2の期間)の電流ILの傾きa2はdIL/dt=−VO/Lとなる。電流ILのピーク値ILpeakは、図1における設定電圧VSによって定めることができることから、入力電源電圧VINが低くなった場合の電流ILは図4(a)中の破線のようになる。すなわち、図1のおける設定電圧VSは、図3に示すように、スイッチング周波数を定めると共に、パワートランジスタQHをオンに駆動する時点のエラーアンプ信号EOの電圧値を定めることから、間接的に、電流ILのピーク値ILpeakも定めることになる。入力電源電圧VINが低くなった場合には、ILのピーク値ILpeakは変わらずに、ILの傾きがa1からa1’のように変化し、これに伴いQHのオン時間がt1からt1’に変化する。
ここで、通常、「VIN(例えば12V等)≫VO(例えば1V等)」であるため、「a1(またはa1’)≫a2(またはa2’)の絶対値」である。言い換えればt1≪t2(またはt1’≪t2’)である。したがって、図4(a)から判るように、ILのピーク値ILpeakを一定に保てば、電流ILが0Aから上昇して再び0Aに戻るまでの周期は、VINが高い場合ではt1+t2、低い場合ではt1’+t2’となる。ここでt2=t2’であるので、電流ILの周期の変化量はt1’−t1である。t1’−t1の値は微小であるので周期の変化量も微小であるといえる。更に、電流ILの1周期において、VINが高い場合と低い場合とでインダクタが持つエネルギー(実線および破線が描く各三角形の面積に相当)もほぼ同一の大きさとなる。その結果、VINの変動に依らずに、ほぼ同一の期間内にほぼ同一のエネルギーを保持することができ、スイッチング周期(図3のT1’+T2’+T3’)(およびスイッチング周波数)もVINの変動に依らずにほぼ一定とすることができる。すなわち、図1の電源装置は、図3に示すような軽負荷時の動作において、各スイッチング周期毎に、入力電源電圧VINが変動した場合でもインダクタLに供給する電荷をほぼ一定に保つような制御方式を備えるのである。
これに対し、図4(b)においては、入力電源電圧VINが低くなった場合、電流ILは破線のように変化する。図18の動作では、トランジスタQHのオン時間は固定(すなわちt1=t1’)であるため、ILのピーク値がVINに応じてILpeakからILpeak’のように減少することになる。そうすると、図4(b)から判るように、電流ILのピーク値から0Aになるまでの期間がt2からt2’へ大幅に減少することになるため、電流ILの周期がt1+t2からt1’+t2’に大幅に減少する。また、実線および破線が描くそれぞれの三角形の面積も大幅に減少することから、インダクタLが持つエネルギーが大幅に減少することも判る。よって、VINが低下すると、図4(a)の場合と比較して、スイッチング周波数が大幅に高くなることになる。
ところで、図1と図17を比較して、図1の構成例のように、エラーアンプ信号EOをコンパレータ回路CMP2で監視することで軽負荷時のスイッチング周波数等を定める方式ではなく、例えば、図17の構成例のように、出力電源ノードVOの電圧値を別途設けたコンパレータ回路で監視することで軽負荷時のスイッチング周波数等を定める方式も考えられる。しかしながら、この場合では、この別途設けたコンパレータ回路に基づいてQHがオンした際に、それとは別経路で定められるEOの電圧レベルが必ずしも適切であるとは限らない。すなわち、エラーアンプ回路EAのオフセット特性や遅延特性等に応じて、QHがオンした際のEOの電圧レベルが必要以上に高過ぎたり低過ぎたりする事態が生じ、QHのオンパルス幅が適切に定められない恐れがある。このようなことから、図1の構成例のように、EOをコンパレータ回路CMP2で監視することで軽負荷時のスイッチング周波数等を定める方式を用いることが望ましい。
<<電源装置全体の効果>>
図5は、図1の電源装置において、その軽負荷時(モード設定信号SMODが‘H’レベル時)の動作におけるスイッチング周波数Fswの入力電源電圧VIN依存性の一例を示す図である。なお、図5では、比較例として図17の構成例を用いた場合が併せて示されている。図1の電源装置(チャージ制御方式)を用いた場合には、図17の構成例(コンスタントオン制御方式)に比べて、入力電源電圧VINに対するスイッチング周波数Fswの依存性が小さいことが分る。
図6は、図1の電源装置において、その各動作モード時における電力変換効率の負荷電流Io依存性の一例を示す図である。図6に示すように、例えばIo>33A程度の場合には、図2(a)に示したような3フェーズ動作を用いることで、91%程度の電力変換効率を実現可能となっている。また、例えば18A<Io≦33A程度の場合には、図2(b)に示したような2フェーズ動作を用いることで、91%程度の電力変換効率を実現可能となっている。さらに、例えば11A<Io≦18A程度の場合には、図2(c)に示したような1フェーズ動作を用いることで、91%程度の電力変換効率を実現可能となっている。
ただし、1フェーズ動作を用いた場合でも、電力変換効率は、Io≦11A程度の領域ではスイッチング損失が主要因となって徐々に低下し、特に、Io≦6Aとなると急速に低下する。しかしながら、前述したようにモード設定信号SMODを‘H’レベルとし、図3に示したような動作を行うことで、スイッチング損失を低減でき、2A<Io≦6A程度の領域においても比較的良好な電力変換効率を維持できる。
以上のようなことから、図1の電源装置を用いることで、例えば、次のような効果が得られる。第1に、軽負荷時において、その負荷の大きさに応じてスイッチング周波数を低下させることができる。また、スイッチング周波数Fswの入力電源電圧VIN依存性を小さくすることが可能となる。その結果、特に、ノートPC等を代表とするバッテリ駆動の電子機器において、バッテリ電圧が低下してもほぼ一定の電力変換効率が実現可能となる。
第2に、ピーク電流制御方式を応用して図3のような軽負荷時の動作を実現しているため、この軽負荷時の動作と図2のようなマルチフェーズ動作とを容易に切り替え可能となり、幅広い変動幅の負荷電流(すなわち広い電流レンジ)に対して、それぞれ最適な電力変換効率を実現可能になる。第3に、仮にQHがオンの状態でスイッチ信号SWの外部端子PN2が接地電源電圧GNDにショートした場合、QHの電流が活性電流検出回路ACSによって検出され、即座にPWM信号に反映されると共にQHがオフに制御されるため、QHの破壊やダメージを防止できる。
<<3値バッファ回路詳細>>
図7は、図1の電源装置において、そのアナログコンパニオンユニットACUに含まれる3値バッファ回路3BUFの詳細な構成例を示す回路図である。図7に示す3BUFは、所謂クロックドインバータ回路となっており、PMOSトランジスタMP21,MP22と、NMOSトランジスタMN21,MN22と、インバータ回路IV21,IV22によって構成される。MP21は、ソースが電源電圧VCCに接続され、ドレインがMP22のソースに接続される。MN21は、ソースが接地電源電圧GNDに接続されドレインがMN22のソースに接続される。そして、MP22とMN22のドレインが共通に接続され、このノードからクロック信号CLK’[n]が出力される。
ハイインピーダンス検出信号HZが活性状態(‘H’レベル)の際には、MP21がオフとなり、IV22を介したHZの反転信号によってMN21もオフとなり、CLK’[n]はハイインピーダンス状態となる。一方、HZが非活性状態(‘L’レベル)の際には、MP21およびMN21がオンとなり、オア回路OR1からの信号がIV21による反転動作とMP22,MN22による反転動作を介してCLK’[n]に出力される。
<<ハイインピーダンス検出回路詳細>>
図8は、図1の電源装置において、アナログコンパニオンユニットACUならびに各PWM搭載型駆動ユニットPSIP[n]に含まれるハイインピーダンス検出回路HZDETの構成例を示す回路ブロック図である。図8に示すHZDETは、中間レベル検出回路MJGEと、制御バッファ回路CTBUF1を備えている。MJGEは、入力信号IN1の電圧レベルがロウ(‘L’)レベル判定電圧VTHlとハイ(‘H’)レベル判定電圧VTHhの間にある場合には出力信号OUT1を‘L’レベル(反転出力信号OUTB1を‘H’レベル)とし、それ以外の場合にはOUT1を‘H’レベル(OUTB1を‘L’レベル)とする。
中間レベル検出回路MJGEは、例えば、2個のコンパレータ回路等を用いて実現することができる。CTBUF1は、OUT1が‘H’レベルの場合には出力信号OUT2としてIN1を出力し、OUT1が‘L’レベルの場合にはOUT2を‘L’レベル(または‘H’レベル)に固定する。図1におけるACU内のHZDETmにおいては、図8のIN1、OUTB1、OUT2が、それぞれCLK[1]、HZ、CLKiとなり、図1におけるPSIP[1]内のHZDET1[1]においては、図8のIN1、OUT1、OUT2が、それぞれCLK’[1]、EN[1]、CLK_S[1]となる。
図9は、図8に示したハイインピーダンス検出回路HZDETのより詳細な構成例を示す回路図である。図9に示すハイインピーダンス検出回路HZDETは、抵抗R31,R32と、しきい値設定型インバータ回路IV_VTh,IV_VTlと、インバータ回路IV31〜IV33と、アンド回路AD31と、オア回路OR31と、ナンド回路ND31と、タイマ回路TMR3と、セットリセットラッチ回路LTe2,LTc2と、NMOSトランジスタMN32を備えている。
抵抗R31は、入力信号IN1の入力ノードと電源電圧VDD(例えば5V)の間に設けられる。抵抗R32は、一端がこのIN1の入力ノードに接続され、他端がNMOSトランジスタMN32のドレインに接続される。MN32は、ソースが接地電源電圧GNDに接続され、ゲートが出力信号OUT1によって制御される。しきい値設定型インバータ回路IV_VThは、前述した図8における‘H’レベル判定電圧VTHhのしきい値を備え、IN1を受けて反転動作を行う。しきい値設定型インバータ回路IV_VTlは、前述した図8における‘L’レベル判定電圧VTHlのしきい値を備え、IN1を受けて反転動作を行う。
アンド回路AD31およびオア回路OR31は、共に、2入力の一方にIV_VThの出力がインバータ回路IV31を介して入力され、2入力の他方に、IV_VTlの出力がインバータ回路IV32を介して入力される。ナンド回路ND31は、2入力の一方にIV_VThの出力がIV31とインバータ回路IV33を介して入力され、2入力の他方に、IV_VTlの出力がインバータ回路IV32を介して入力される。
タイマ回路TMR3は、PMOSトランジスタMP31と、NMOSトランジスタMN31と、抵抗R33と、インバータ回路IV34,IV35と、容量C30と、ワンショットパルス生成回路1PLSaによって構成される。MP31は、ソースがVDDに、ゲートがND31の出力に、ドレインがR33の一端にそれぞれ接続される。MN31は、ソースがGNDに、ゲートがND31の出力に、ドレインがR33の他端にそれぞれ接続される。C30は、このR33の他端とGNDの間に接続される。また、このR33の他端から得られた信号は、IV34およびIV35を介して1PLSaに入力される。1PLSaは、IV35の出力において立ち上がりエッジを検出した際に所定(例えば20ns)のパルス幅を備えた‘H’パルスを1回出力する。
ここで、特に限定はされないが、例えば、抵抗R33は75kΩであり、容量C30は2pFである。この場合、ND31の出力が‘L’レベルを維持している間、IV34の入力ノードの電圧がR33×C30(ここでは150ns)の時定数によりVDDに向けて徐々に上昇する。そして、この電圧がIV34のしきい値電圧に達した際に、IV35の出力ノードに立ち上がりエッジが生じることになる。なお、ND31の出力が‘L’レベルとなるのは、IN1の電圧レベルがVTHlより大きくVTHhより小さい中間レベルとなる場合であるため、TMR3は、この中間レベルがある程度の期間で継続した場合にのみワンショットの‘H’パルスを出力することになる。
セットリセットラッチ回路LTc2は、AD31からの‘H’レベル出力を受けてセット動作を行い、OR31からの‘L’レベル出力を受けてリセット動作を行う。LTc2は、セット動作を行った場合は出力信号OUT2に‘H’レベルを出力し、リセット動作を行った場合はOUT2に‘L’レベルを出力する。一方、セットリセットラッチ回路LTe2は、TMR3からの‘H’レベル出力を受けてセット動作を行い、OR31からの‘L’レベル出力を受けてリセット動作を行う。LTe2は、セット動作を行った場合はOUT1に‘L’レベル(OUTB1に‘H’レベル)を出力し、リセット動作を行った場合はOUT1に‘H’レベル(OUTB1に‘L’レベル)を出力する。
図10は、図9のハイインピーダンス検出回路HZDETの動作例を示す波形図である。まず、図9において、LTc2のセット入力(S)が‘H’レベルとなる期間は、入力信号IN1の電圧レベルがVTHhを上回った期間であり、リセット入力(R)が‘H’レベル(/Rが‘L’レベル)となる期間は、IN1の電圧レベルがVTHlを下回った期間である。また、LTe2のセット入力(S)が‘H’レベルとなる期間は、IN1の電圧レベルが中間レベルであり、かつそれが一定期間継続した後のワンショットパルス期間であり、リセット入力(R)が‘H’レベル(/Rが‘L’レベル)となる期間は、IN1の電圧レベルがVTHlを下回った期間である。
したがって、図10のS1001に示すように、入力信号INが‘H’レベルと‘L’レベル間で遷移する期間では、IN1の‘H’レベル遷移に伴いその電圧レベルがVTHlを上回った場合にLTc2およびLTe2のリセット入力が‘L’レベルに戻される。そして、更にIN1の電圧レベルがVTHhを上回った場合にLTc2がセット動作を行う。その後、IN1の‘L’レベル遷移に伴いその電圧レベルがVTHhを下回った場合にLTc2のセット入力が‘L’レベルに戻され、更にIN1の電圧レベルがVTHlを下回った場合に、LTc2とLTe2がリセット動作を行う。これによって、出力信号OUT2にIN1と同様の信号が出力されると共に、出力信号OUT1に‘H’レベルが出力される(‘H’レベルが維持される)。
次いで、図10のS1002に示すように、IN1がハイインピーダンス状態(中間レベルVm)となる期間では、IN1のVmへの遷移に伴いその電圧レベルがVTHlを上回った場合にLTc2とLTe2のリセット入力が‘L’レベルに戻される。また、IN1の電圧レベルがVTHhを上回らない中間レベルにある限りND31は‘L’レベルを出力するため、この中間レベルが前述したC30×R33に応じた所定の期間(Tw)継続すると、TMR3からワンショットパルスが出力され、これを受けてLTe2はセット動作を行う。このセット動作が行われると、OUT1が‘L’レベルに遷移し、これを受けて、MN32がオフに駆動される。これによりR31およびR32を介した貫通電流が遮断される。
一方、MN32がオフに駆動されると、IN1の入力ノードが‘H’レベルに向けて上昇することになる。この上昇に伴いIN1の電圧がVTHhを上回るとLTc2はセット動作を行い、OUT2が‘H’レベルに遷移する。以降、IN1が‘L’レベルに遷移しない限り、OUT2は、‘H’レベルに固定される。その後、図10のS1003に示すように、IN1がハイインピーダンス状態から復帰し、再び‘H’レベルと‘L’レベル間で遷移する期間に移行したとする。そうすると、IN1の‘L’レベル遷移に伴いその電圧レベルがVTHhを下回った場合にLTc2のセット入力が‘L’レベルに戻され、更にVTHlを下回った場合に、LTc2とLTe2がリセット動作を行う。これによって、OUT2は‘L’レベルに遷移し、OUT1は‘H’レベルに遷移する。OUT1が‘H’レベルに遷移すると、再びMN32がオンとなる。その後は、図10のS1004において、S1001と同様の動作が行われる。
このようなハイインピーダンス検出回路HZDETを用いることで、入力信号の伝送と共に入力信号のハイインピーダンス状態を検出することが可能となる。また、入力信号がハイインピーダンス状態の間は、抵抗R31,R32を介した貫通電流を遮断でき、消費電流を低減することが可能となる。
以上、本実施の形態1による電源装置を用いることで、代表的には、軽負荷時の電力変換効率を入力電源電圧によらずに向上可能となる。また、幅広い変動幅の負荷電流に対して、それぞれ最適な電力変換効率を実現することが可能となる。
なお、図1の電源装置は、その半導体パッケージ構成を含めて適宜変更可能である。例えば、更に大きな負荷電流に対応する場合には、PWM搭載型駆動ユニットPSIP[4]を追加すればよい。また、逆に、小さい負荷電流にしか対応する必要がない場合には、共通制御ユニットCCTLUとPSIP[1]のみを設ける構成でもよい。この場合、例えば、CCTLUとPSIP[1]を1個の半導体パッケージで実現するようなことも可能である。
(実施の形態2)
本実施の形態2では、図1に示した電源装置の変形例について説明する。図11は、本発明の実施の形態2による電源装置において、その構成の一例を示す回路ブロック図である。図12は、図11の電源装置において、そのアナログコンパニオンユニットACUa内のSMOD&OVP出力回路SMOVGの詳細を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す真理値表である。図11に示す電源装置は、共通制御ユニットCCTLUaと、複数(ここでは3個)のPWM搭載型駆動ユニットPSIPa[1]〜PSIPa[3]と、複数(ここでは3個)のインダクタL[1]〜L[3]を含んで構成される。CCTLUaは、マイクロコントローラユニットMCUと、アナログコンパニオンユニットACUaを備えている。
共通制御ユニットCCTLUaは、図1の共通制御ユニットCCTLUと比較して、そのアナログコンパニオンユニットACUa内に一部の回路が追加された構成となっている。この追加された回路以外の構成に関しては、図1の共通制御ユニットCCTLUと同様であるため詳細な説明は省略する。図11に示すACUaは、図1のACUに対して、外部端子PNsooと、SMOD&OVP出力回路SMOVGと、OVPラッチ回路OVPLTと、コンパレータ回路CMP3と、オフセット電圧源VOF2が追加されている。
コンパレータ回路CMP3は、(+)側に外部端子PNfpを介して入力された出力電圧検出信号VSEN_Pが入力され、(−)側に外部端子PNvriを介して入力された設定電圧VRにオフセット電圧源VOF2による電圧(例えば0.2V等)を加算した電圧が入力される。すなわち、CMP3は、出力電源ノードVOの電圧が設定電圧VRよりも所定の電圧(ここでは0.2V)以上高くなった場合に‘H’レベルを出力する。OVPラッチ回路OVPLTは、このCMP3からの‘H’レベルをラッチし、OVP信号(過電圧検出信号)OVPmを出力する。
SMOD&OVP出力回路SMOVGは、MCUから外部端子PNsmoを介して入力されたモード設定信号SMODとOVPLTからのOVPmを受けて、外部端子PNsooよりSMOD&OVP信号SMOVを出力する。その構成は、例えば、図12(a)に示すように、図7に示したクロックドインバータ回路に対して、その出力ノードをドレインとし、電源電圧VCCをソースとするPMOSトランジスタMP23が追加されたものとなっている。OVPmは、インバータ回路IV21を介して、PMOSトランジスタMP22,MP23およびNMOSトランジスタMN22のゲートに入力され、SMODは、PMOSトランジスタMP21のゲートに入力されると共に、インバータ回路IV22を介してNMOSトランジスタMN21のゲートに入力される。そして、MP22およびMN22のドレインとなる出力ノードからSMOVが出力される。
このようなSMOD&OVP出力回路SMOVGを用いると、図12(b)に示すように、OVPmが‘H’レベルの場合(すなわち過電圧が検出された場合)には、SMOVはSMODの値によらずに‘H’レベルとなる。また、OVPmが‘L’レベルかつSMODが‘L’レベルの場合(すなわち図2のような通常動作を指示する場合)には、SMOVは‘L’レベルとなり、OVPmが‘L’レベルかつSMODが‘H’レベルの場合(すなわち図3のような軽負荷時の動作を指示する場合)には、SMOVはハイインピーダンス状態となる。
一方、各PWM搭載型駆動ユニットPSIPa[n](n=1,2,3)は、図1の各PSIP[n]と比較して、ハイインピーダンス検出回路HZDET2[n]が追加された構成となっている。この追加された回路以外の構成に関しては、図1のPSIP[n]と同様であるため詳細な説明は省略する。PSIPa[1]内のHZDET2[1]は、外部端子PN12[1]からの入力信号を受けて動作する。このPN12[1]には、図1の場合と異なり、前述したACUa内のSMOVGからのSMOVが入力される。また、PSIPa[2],PSIPa[3]における外部端子PN12[2],PN12[3]にも、図1の場合と異なりSMOVが図示しないバスを介して入力される。
HZDET2[1]は、SMOVを受けて、それがハイインピーダンス状態の場合にはモード設定信号SMOD[1]を活性状態(‘H’レベル)とし、そうでない場合には、SMOD[1]を非活性状態(‘L’レベル)にすると共に、SMOVのレベルに応じたOVP信号(過電圧検出信号)OVP[1]を出力する。SMOD[1]が‘H’レベル(すなわちSMOVがハイインピーダンス状態)であった場合には、図1の場合と同様に、逆電流検出回路RIDET[1]が有効とされる。また、OVP[1]は、制御論理回路LGC[1]に入力される。LGC[1]は、OVP[1]が‘H’レベル(すなわちSMOVの‘H’レベル)の場合には、QH[1]をオフ、QL[1]をオンに制御することで、出力電源ノードVOの過電圧を取り除き、負荷LODの破壊を防止する。また、LGC[1]は、OVP[1]が‘L’レベル(すなわちSMOVの‘L’レベル)の場合には、通常通りのPWM制御動作を行う。
ここで、図11の構成例では、SMOVが、PSIPa[2],PSIPa[3]に対しても伝送される。PSIPa[2],PSIPa[3]は、PSIPa[1]と同様に、SMOVの‘H’レベルを受けた場合(すなわち過電圧が検出された場合)には、負荷LODの破壊を防止する動作を行う。一方、SMOVがハイインピーダンス状態の場合(すなわち、軽負荷時の動作が選択された場合)には、それ以前に、図3で述べたようにPSIPa[2],PSIPa[3]がCLK[2],CLK[3]のハイインピーダンス状態を受けて自身の動作を無効にする設定となっているため、特に不都合は生じない。
なお、PSIPa[2],PSIPa[3]は、図1の場合と同様に外部端子PN12[2],PN12[3]をGNDに固定する構成とすることも可能である。この場合、過電圧が検出された際には、PSIPa[1]のみによって負荷LODの破壊を防止する動作を行う。また、各PSIP[n]内のHZDET2[n]は、図8および図9のような構成によって実現できる。この場合、図8および図9のIN1、OUTB1、OUT2が、それぞれ図11のSMOV、SMOD[n]、OVP[n]となる。
以上、本実施の形態2による電源装置を用いることで、実施の形態1の場合と同様に、代表的には、軽負荷時の電力変換効率を入力電源電圧によらずに向上可能となる。また、幅広い変動幅の負荷電流に対して、それぞれ最適な電力変換効率を実現することが可能となる。さらに、ACUaの外部端子PNsooとPSIPa[n]の外部端子PN12[n]間で3値情報を伝送することで、実施の形態1の構成例に対して、過電圧検出による保護機能を少ない配線本数で実現可能になる。
(実施の形態3)
<<PWM搭載型駆動ユニットの詳細回路>>
本実施の形態3では、実施の形態2で述べた電源装置に含まれる、PWM搭載型駆動ユニットPSIPa[n](半導体装置)のより詳細な構成例について説明する。図13は、本発明の実施の形態3による電源装置において、その詳細な構成例を示すブロック図である。図13に示す半導体装置となるPWM搭載型駆動ユニットPSIPaは、大別すると、ハイサイドのトランジスタ(パワートランジスタ)QH,QH’と、ロウサイドのトランジスタ(パワートランジスタ)QL,QL’と、これら以外の回路群となり、各トランジスタを制御する各種制御回路から構成される。
QH,QH’,QL,QL’は、例えばnチャネル型MOSFETである。QH,QH’は、ハイサイド用の半導体チップHSCP内に形成され、QL,QL’は、ロウサイド用の半導体チップLSCP内に形成され、それ以外の各種制御回路は、制御用の半導体チップCTLCP内に形成される。これらの各半導体チップは、後述するように、例えば1個の半導体パッケージに搭載される。QHおよびQL’のソース・ドレイン間にはそれぞれダイオードD1およびD2が形成され、QLのソース・ドレイン間にはショットキーダイオードSBD1が形成される。このSBD1によって、特にQHをオフした後にQL(QL’)をオンするまでのデットタイムの間、QL(QL’)側の電流経路に伴う電圧降下を低減することができる。
QHは、ゲートがドライバ回路DRVhによって駆動され、ドレインが、入力電源電圧VINが供給される外部端子PN1に接続され、ソースが、スイッチ信号SWの出力端子となる外部端子PN2に接続される。QLは、ゲートがドライバ回路DRVl1によって駆動され、ドレインがPN2(SW)に接続され、ソースが、接地電源電圧PGNDが供給される外部端子PN3に接続される。このPN3(PGND)は、QH,QL専用の端子となっており、その他の各種制御回路等にスイッチングノイズを与えないように、各種制御回路等の接地電源電圧SGNDとは分離して設けられる。
また、QH’は、ゲートがDRVhによって駆動され、ドレインがPN1(VIN)に接続され、ソースがトランジスタ(PMOSトランジスタ)Q1のソースに接続される。QH’は、HSCP内でQHとカレントミラー回路を構成するように形成され、例えば、QHの1/18500のサイズを備えている。一方、QL’は、ソース・ドレイン間がQLと並列に接続され、ゲートがDRVl2によって駆動される。QL’は、LSCP内で例えば、QLの1/10のサイズを備えている。
QHのソース(SW)とQH’のソースは、アンプ回路AMP40の2個の入力ノードにそれぞれ接続される。そして、AMP40の出力ノードによってトランジスタQ1のゲートが駆動される。QH’は、QHに流れる電流Idhを検出するための素子である。QH’には、QH’とQHのソース電圧が等しい場合に、前述したカレントミラー構成によって、Idh/18500の電流が流れる。そこで、このQH’とQHのソース電圧を等しくし、QHの電流を高精度に検出するため、AMP40ならびにQ1が設けられている。また、Q1のソースにはバイアス電流源IB2が接続されている。このIB2は、QHの電流ILが殆どゼロの場合にもQHとQH’のソース電圧を等しく制御できるように設けられる。
トランジスタQH’によって検出された電流は、トランジスタQ1を介してブランキング回路BKに入力される。BKは、QHおよびQL(QL’)のスイッチング期間をマスク期間(例えば数十ns)とし、この期間を除いて、QH’による電流検出信号CSを外部端子PN11に供給する。PN11(CS)には、電流・電圧変換用の外部抵抗Rcsが接続され、これによってCSが電圧に変換される。なお、PN11(CS)には安定化を図るためのバイアス電流源IB1が接続されている。
ドライバ回路DRVhは、制御論理回路LGCからの制御に基づいてQH,QH’を駆動し、ドライバ回路DRVl1は、LGCからの制御に基づいてトランジスタQLを駆動し、ドライバ回路DRVl2は、LGCからの制御に基づいてトランジスタQL’を駆動する。外部端子PN1からの入力電源電圧VIN(例えば12V等)は、入力電圧検出回路UVLOCならびにレギュレータ回路VREG1,VREG2に供給される。UVLOCは、入力電源電圧VINが所定電圧(例えば8V等)以上であることを検出し、その場合に入力電圧検出信号UVLOを介してVREG1,VREG2の動作を有効とする。VREG1,VREG2は、VINを受けて約5Vのような内部電源電圧を生成する。VREG1は、生成した内部電源電圧VDD1を各種制御回路に供給すると共に外部端子PN6に出力する。VREG2は、生成した内部電源電圧VDD2をドライバ回路DRVh,DRVl1,DRVl2などに供給すると共に外部端子PN5に出力する。PN6(VDD1),PN5(VDD2)には、電圧安定化用のコンデンサC44,C45がそれぞれ接続される。
ここで、ドライバ回路DRVh,DRVl1,DRVl2は、トランジスタQH,QH’,QL,QL’を駆動するため、比較的大きな電流を必要とし、多くのノイズを発生する。一方、その他の各種制御回路は、内部にアンプ回路等のアナログ回路が多く含まれるため、電源ノイズを低減する必要がある。そこで、これらの電源を2個のレギュレータ回路VREG1,VREG2によって個別に生成している。また、レギュレータ電圧監視回路SVは、VREG1,VREG2が生成した内部電源電圧を監視し、それが所定の範囲であった場合に内部電源イネーブル信号REGGDを出力する。
外部端子PN4には、昇圧電圧BOOTが生成され、これがドライバ回路DRVhの電源電圧として供給される。PN4(BOOT)は、外部端子PN5(VDD2)との間でショットキーダイオードSBD2を介して接続されると共に、外部端子PN2(SW)との間で昇圧用外部コンデンサCbおよび外部抵抗Rbを介して接続される。トランジスタQHがオフの際、このCbには、内部電源電圧VDD2がSBD2およびPN4(BOOT)を介して印加される。その後、QHがオンとなった際には、SWに伝達された入力電源電圧VINをこのCbによって昇圧してDRVhに供給する。これによって、DRVhはQHのしきい値以上の電圧を発生することができる。
制御論理回路LGCは、内部電源イネーブル信号REGGD、入力電圧検出信号UVLO、PWM信号(PWM)、イネーブル信号EN、過電圧検出信号OVP、過剰電流検出信号OCP、モード設定信号SMODを受けて動作を行う。REGGDはレギュレータ電圧監視回路SVから生成され、UVLOは入力電圧検出回路UVLOCから生成され、PWM信号(PWM)はPWM制御回路PWM_CTLから生成される。また、ENはハイインピーダンス検出回路HZDET1から生成され、OCPは過剰電流検出回路OCPCから生成され、OVPおよびSMODは、ハイインピーダンス検出回路HZDET2から生成される。OCPCは、コンパレータ回路CMP40の出力を受けて動作を行う。CMP40は、外部端子PN11(CS)の電圧を比較電圧VC2と比較し、その比較結果をOCPCに出力する。OCPCは、この比較結果によって、CSの電圧が過剰な場合(すなわちトランジスタQHに過剰な電流が流れている場合)に、OCPを活性化する。
LGCは、REGGD、UVLO、ENが共に活性化され、OVPおよびOCPが共に非活性化されている場合にPWM信号(PWM)を用いてドライバ回路DRVh,DRVl1,DRVl2を制御する。一方、REGGD、UVLO、ENのいずれかが非活性化されている場合またはOCPが活性化されている場合は、QH,QL,QL’を共にオフに制御し、OVPが活性化されている場合は、QHをオフに、QLおよび/またはQL’をオンに制御する。ここで、REGGDが活性状態の場合とは、内部電源電圧が十分に生成されていることを意味し、UVLOが活性状態の場合とは、入力電源電圧VINが十分な電圧であることを意味し、ENが活性状態の場合とは、外部からデバイスを有効にする命令が入力されていることを意味する。また、OCPが非活性状態の場合とは、QHに過剰な電流が流れていないことを意味し、OVPが非活性状態の場合とは、出力電源ノードVOに過剰な電圧が生成されていないことを意味する。
外部端子PN9には、クロック信号CLKが入力される。CLKは、前述したようにハイインピーダンス検出回路HZDET1に入力され、HZDET1が、イネーブル信号ENと、内部クロック信号CLK_Sを生成する。また、外部端子PN12(SMOV)には、SMOD&OVP信号SMOVが入力される。SMOVは、前述したようにハイインピーダンス検出回路HZDET2に入力され、HZDET2が、モード設定信号SMODと、OVP信号(過電圧検出信号)OVPを生成する。
PWM制御回路PWM_CTLは、抵抗R41,R42と、コンパレータ回路CMP41と、フリップフロップ回路FFpと、ソフトスタート制御回路SSCTLによって構成される。R41,R42は、入力端子PN8から入力されたエラーアンプ信号EOを分圧し、その電圧をCMP41の(−)入力ノードに印加する。CMP41の一方の(+)入力ノードには、PN11から得られた電流検出信号CSにオフセット電圧(ここでは0.1V)を付加した信号が印加される。CMP41の他方の(+)入力ノードには、SSCTLからの出力信号が印加される。CMP41は、(−)入力ノードの電圧を、2個の(+)入力ノードの内のいずれか低い方の電圧を基準に判定する。
ソフトスタート制御回路SSCTLは、イネーブル信号ENの立ち上がりエッジを検出する立ち上がりエッジ検出回路TRDETを含み、この検出が行われた際に、徐々に上昇していく電圧を生成する。このSSCTLは、マルチフェーズ動作の過程で、負荷LODの消費電流の状態に応じて、ENによって一部のフェーズが無効とされ、その後、再び有効とされた場合に用いられる。すなわち、ENが有効とされた際には、外部端子PN8からのエラーアンプ信号EOの電圧が高くなっているため、SSCTLを用いたソフトスタートによって復帰動作を行う。フリップフロップ回路FFpは、CMP41の出力に応じてセット動作を行い、CLK_Sに応じてリセット動作を行う。そして、FFpからの反転出力信号(/Q)がPWM信号(PWM)として制御論理回路LGCに出力される。
基準電流生成回路IREFGは、内部電源電圧VDD1で動作し、外部端子PN7に接続された基準電流設定用の抵抗Rirに応じて複数の基準電流IREFを生成する。この基準電流IREFは、例えば、バイアス電流源IB1,IB2の基になると共に、コンパレータ回路CMP40,CMP41やアンプ回路AMP40の動作電流を含めて各種制御回路に供給される。IREFGは、イネーブル信号ENが非活性化された場合には、この複数の基準電流IREFにおける一部または全部の電流生成を停止し、これによって省電力モードに移行する。
また、逆電流検出回路RIDETは、モード設定信号SMODが活性状態(すなわち、図3で述べたような軽負荷時の動作が指示された場合)の場合に動作が有効となる。この場合、RIDETは、例えば、QL’(QL)のソース・ドレイン間の電圧を監視し、PN2(SW)側からPN3(PGND)側に向かう電流を検出した際には、逆流検出信号RIDを出力する。
また、制御論理回路LGCは、モード設定信号SMODが活性状態の場合(すなわち、図3で述べたような軽負荷時の動作が指示された場合)には、QLを用いずに(オフに固定し)、QL’を用いる(スイッチング制御する)ことで軽負荷時の動作を行う。なお、この軽負荷時の動作期間において逆流検出信号RIDが入力された際には、LGCは、図3で述べたようにQL’をオフに制御する。一方、LGCは、SMODが非活性状態の場合(すなわち、図2で述べたような通常動作が指示された場合)には、QLとQL’の両方を用いる(スイッチング制御する)ことで通常動作を行う。このようにQLとQL’を用いることで、前述した特許文献3に記載されているように、トランジスタサイズの違いに伴いQLよりもQL’のオン抵抗が大きいため、軽負荷時の動作における逆流の検出が容易となる。
<<PWM搭載型駆動ユニットのパッケージ構成>>
図14は、図13に示すPWM搭載型駆動ユニット(PSIPa)の外形例を示す平面図である。図15(a)は、図14におけるY1−Y1’間の構造例を示す断面図であり、図15(b)は、図14におけるX1−X1’間の構造例を示す断面図である。
図14に示すPWM搭載型駆動ユニット(PSIPa)は、例えばQFN(Quad Flat Non-leaded package)型の面実装型の半導体パッケージ(封止体)PAを有している。PAの材料は、例えばエポキシ系の樹脂等である。PAは、それぞれ半導体チップが搭載される3つのダイパッドDP_HS,DP_LS,DP_CTと、リード配線LDBと、外部端子となる複数のリードLDを備えている。DP_HSとDP_CTは、PA内の平面領域を半分にした一方の領域に配置され、DP_LSとLDBは、他方の領域に配置される。DP_HSとDP_CTは、共に略矩形の平面形状を持ち、互いに隣接して配置される。DP_LSは、略矩形の平面形状を持ち、LDBは、L字型の平面形状を持つ。LDBは、DP_LSにおける直交する2辺と、PAにおける直交する2辺との間に配置される。
ダイパッドDP_HS,DP_LS,DP_CTの上面には、それぞれ、メッキ層9a,9b,9dが形成され、このメッキ層9a,9b,9dを介して半導体チップHSCP,LSCP,CTLCPが搭載される。図13で述べたように、半導体チップHSCPには、ハイサイドのトランジスタQH,QH’が形成され、半導体チップLSCPには、ロウサイドのトランジスタQL,QL’が形成され、半導体チップCTLCPには、それ以外の各種制御回路が形成される。ここでは、LSCPの面積が、HSCPの面積よりも2倍程度大きく設計されている。例えば、12Vの入力電源電圧VINを1.0Vの出力電源電圧に変換するような場合には、QHをオンする時間よりもQL,QL’をオンする時間の方が10倍程度長くなる。したがって、LSCPの面積を大きくすることで、オン抵抗を下げ、電源装置の電力効率を高めることができる。
また、各ダイパッドDP_HS,DP_LS,DP_CTは、その下面がPAの裏面から露出している。このうち、DP_LSの露出面積が最も大きく、次にDP_HSの露出面積が大きい。これによって、特に、QLのオン抵抗を下げると共に、その放熱性を高めることが可能となる。DP_LSの上面には、メッキ層9cが形成される。さらに、リード配線LDBの上面には、メッキ層9e1,9e2が形成され、リードLDの上面にはメッキ層9fが形成される。各ダイパッドDP_HS,DP_LS,DP_CT、リード配線LDB、およびリードLDは、例えば、銅(Cu)等の金属を主材料として形成される。各メッキ層9a,9b,9c,9d,9e1,9e2,9fは、例えば、銀(Ag)メッキ層または金(Au)メッキ層等である。
半導体チップHSCPは、裏面にドレイン電極を備え、表面に複数のソース電極S1h〜S4hとゲート電極Ghを備えている。これによって、ドレイン電極は、DP_HSと電気的に接続される。複数のソース電極S1h〜S4hは、それぞれ、HSCPの内部配線によって接続されている。また、半導体チップLSCPは、裏面にドレイン電極を備え、表面に複数のソース電極S1l〜S4lと複数のゲート電極Gl1,Gl2を備えている。このドレイン電極は、DP_LSと電気的に接続される。複数のソース電極S1l〜S4lは、それぞれ、LSCPの内部配線によって接続されている。また、半導体チップCTLCPは、表面に電極PD1h,PD2h,PD1l,PD2l,PD3lを含む複数の電極を備えている。CTLCPの裏面は、DP_CTと電気的に接続されている。
ダイパッドDP_HSの周辺には、入力電源電圧VIN用となる複数(ここでは7本)のリード(外部端子)LDと、スイッチ信号SW用となるリードLDが配置される。この内、入力電源電圧VIN用となる複数のリードLDは、DP_HSと一体化して形成される。したがって、HSCPのドレイン電極は、DP_HSを介してVIN用のリードLDと電気的に接続される。ダイパッドDP_LSの周辺には、SW用となる複数(ここでは8本)のリードLDが配置される。このSW用となる複数のリードLDは、DP_LSと一体化して形成される。したがって、LSCPのドレイン電極は、DP_LSを介してSW用のリードLDと電気的に接続される。リード配線LDBの周辺には、接地電源電圧PGND用となる複数(ここでは13本)のリードLDが配置される。このPGND用となる複数のリードLDは、LDBと一体化して形成される。
ダイパッドDP_CTの周辺には、接地電源電圧SGND用となる複数(ここでは2本)のリードLDが配置される。このSGND用となる複数のリードLDは、DP_CTと一体化して形成される。したがって、CTLCPの裏面は、DP_CTを介してSGND用のリードLDと電気的に接続される。更に、DP_CTの周辺には、クロック信号CLK用、電流検出信号CS用、内部電源電圧VDD2用、SMOD&OVP信号用SMOV用、エラーアンプ信号EO用、基準電流IREF用、内部電源電圧VDD1用、昇圧電圧BOOT用のリードLDがそれぞれ配置される。これらのリードLDは、それぞれ、メッキ層9fおよびボンディングワイヤBWを介して前述したCTLCPの表面に備わった電極に接続される。
図14に示すパッケージPAは、更に、2個の金属板(導体板)MB1,MB2を有している。MB1,MN2は、例えば銅(Cu)を代表に、導電性および熱伝導性の高い金属で形成される。MB1は、半導体チップHSCP上に備わったソース電極S1h,S2hと、ダイパッドDP_LS上に形成されたメッキ層9cとを接続する。これによって、HSCPのソースが、スイッチ信号SW用のリードLDに接続される。MB2は、半導体チップLSCP上に備わったソース電極S1l〜S3lと、リード配線LDB上の2箇所に形成されたメッキ層9e1,9e2とをそれぞれ接続する。これによって、LSCPのソースが、接地電源電圧PGND用のリードLDに接続される。
半導体チップHSCP上に備わったソース電極S4hは、ボンディングワイヤBWを介して前述したDP_HS周辺に配置されたSW用のリードLDにメッキ層9fを介して接続される。HSCP上に備わったゲート電極Ghおよびソース電極S3hは、それぞれBWを介して、半導体チップCTLCP上に備わった電極PD1hおよびPD2hに接続される。LSCP上に備わったゲート電極Gl1、ゲート電極Gl2およびソース電極S4lは、それぞれBWを介して、CTLCP上に備わった電極PD1l、PD2lおよびPD3lと接続される。PD1hおよびPD2hは、図13におけるドライバ回路DRVhの出力ノードおよび基準電圧ノードに該当する。PD1lおよびPD2lは、図13におけるドライバ回路DRVl1の出力ノードおよびドライバ回路DRVl2の出力ノードに該当し、PD3lは、DRVl1,DRVl2の基準電圧ノードに該当する。
また、図15(a),(b)に示すように、パッケージPAの裏面で露出するリードLDの下面およびダイパッドDP_HS,DP_LS,DP_CTの下面上には、メッキ層10が形成される。このメッキ層10は、半田めっき層であり、パッケージPA形成後に形成されたメッキ層である。メッキ層10は、PSIPaを配線基板(PCB)上に実装する際に、このPCBとの半田接続を容易にするために設けられている。半導体チップHSCP,LSCP,CTLCPは、接着層11aを介してメッキ層9a,9b,9dにそれぞれ接続され、HSCP,LSCPは、接着層11bを介して、金属板MB1,MB2にそれぞれ接続される。MB1は、接着層11cを介してメッキ層9cに接続され、MB2は、接着層11cを介してメッキ層9e2(9e1)に接続される。接着層11a〜11cは、半田により形成される。また、CTLCPからのボンディングワイヤBWは、メッキ層9fに接続される。
このように複数の半導体チップを1つの半導体パッケージに集約(パッケージング)することで、電源装置の小型化が実現できることに加えて、配線寄生インダクタンスが小さくできることから高周波化、高効率化も実現することができる。また、各ダイパッドDP_HS,DP_LS,DP_CTの下面をパッケージPAの裏面から電極として露出させることで、電極の低抵抗化や放熱性の向上が図れる。さらに、2個の金属板(導体板)MB1,MB2を用いた接続を行うことで、ボンディングワイヤBWを用いる場合と比較して当該接続部分における低抵抗化や放熱性の向上が図れる。これらによって、損失を低減し、電力変換効率の向上が可能となる。
<<PWM搭載型駆動ユニットのデバイス構造>>
図16は、図13において、ハイサイドのトランジスタが形成された半導体チップHSCPのデバイス構造例を示す断面図である。ここでは、ハイサイドのトランジスタ(パワートランジスタ)QH,QH’を例とするが、ロウサイドのトランジスタQL,QL’も同様の構造となる。トランジスタQH,QH’は、n+型の単結晶シリコンなどからなる基板本体21aとn−型のシリコン単結晶からなるエピタキシャル層21bとを有した半導体基板21の主面に形成される。このエピタキシャル層21bの主面には、例えば酸化シリコンなどからなるフィールド絶縁膜(素子分離領域)22が形成されている。
このフィールド絶縁膜22とその下層のp型ウエルPWL1とに囲まれた活性領域に、QH,QH’を構成する複数の単位トランジスタセルが形成されている。QHは、これら複数の単位トランジスタセルが並列に接続されることで形成される。一方、QH’は、例えば、この並列に接続される単位トランジスタセルの個数をQHの1/18500等とすることで形成される。各単位トランジスタセルは、例えばトレンチゲート構造のnチャネル型のMOSトランジスタで形成されている。
基板本体21aおよびエピタキシャル層21bは、前述した単位トランジスタセルのドレイン領域としての機能を有している。半導体基板21の裏面には、ドレイン電極用の裏面電極BEが形成されている。この裏面電極BEは、例えば半導体基板21の裏面から順にチタン(Ti)層、ニッケル(Ni)層および金(Au)層を積み重ねて形成されている。図15(a),(b)に示したPSIPaにおいては、この裏面電極BEは、接着層11aを介してダイパッドDP_HS(メッキ層9a)に接合されて電気的に接続される。
また、エピタキシャル層21b中に形成されたp型の半導体領域23は、前述した単位トランジスタセルのチャネル形成領域としての機能を有している。さらに、そのp型の半導体領域23の上部に形成されたn+型の半導体領域24は、単位トランジスタセルのソース領域としての機能を有している。また、半導体基板21には、その主面から半導体基板21の厚さ方向に延びる溝25が形成されている。溝25は、n+型の半導体領域24の上面からn+型の半導体領域24およびp型の半導体領域23を貫通し、その下層のエピタキシャル層21b中で終端するように形成されている。この溝25の底面および側面には、例えば酸化シリコンからなるゲート絶縁膜26が形成されている。
溝25内には、ゲート絶縁膜26を介してゲート電極27が埋め込まれている。ゲート電極27は、例えばn型不純物が添加された多結晶シリコン膜からなる。ゲート電極27は、前述した単位トランジスタセルのゲート電極としての機能を有している。また、フィールド絶縁膜22上の一部にも、ゲート電極27と同一層の導電性膜からなるゲート引き出し用の配線部27aが形成されており、ゲート電極27とゲート引き出し用の配線部27aとは、一体的に形成されて互いに電気的に接続されている。なお、図16の断面図には示されない領域において、ゲート電極27とゲート引き出し用の配線部27aとは一体的に接続されている。ゲート引き出し用の配線部27aは、それを覆う絶縁膜28に形成されたコンタクトホール29aを通じてゲート配線30Gと電気的に接続されている。
一方、ソース配線30Sは、絶縁膜28に形成されたコンタクトホール29bを通じてソース用のn+型の半導体領域24と電気的に接続されている。また、ソース配線30Sは、p型の半導体領域23の上部であってn+型の半導体領域24の隣接間に形成されたp+型の半導体領域31に電気的に接続され、これを通じてチャネル形成用のp型の半導体領域23と電気的に接続されている。ゲート配線30Gおよびソース配線30Sは、コンタクトホール29a,29bが形成された絶縁膜28上にコンタクトホール29a,29bを埋めるように金属膜(例えばアルミニウム膜)を形成し、この金属膜をパターニングすることにより形成することができる。
ゲート配線30Gおよびソース配線30Sはポリイミド樹脂などからなる保護膜(絶縁膜)32により覆われている。この保護膜32は、半導体チップHSCPの最上層の膜(絶縁膜)である。保護膜32の一部には、その下層のゲート配線30Gやソース配線30Sの一部が露出されるような開口部33が形成されており、この開口部33から露出するゲート配線30G部分が前述したゲート電極Ghであり、開口部33から露出するソース配線30S部分が前述したソース電極S1h〜S4hである。このようにソース電極S1h〜S4hは、最上層では保護膜32によって分離されているが、ソース配線30Sを通じて互いに電気的に接続されている。
電極Gh,S1h〜S4hの表面には(すなわち開口部33の底部で露出するゲート配線30G部分およびソース配線30S部分上には)、メッキ法などで金属層34が形成されている。金属層34は、ゲート配線30Gやソース配線30S上に形成された金属層34aと、その上に形成された金属層34bとの積層膜によって形成されている。下層の金属層34aは、例えばニッケル(Ni)からなり、主として下地のゲート配線30Gやソース配線30Sのアルミニウムの酸化を抑制または防止する機能を有している。また、その上層の金属層34bは、例えば金(Au)からなり、主として下地の金属層34aのニッケルの酸化を抑制または防止する機能を有している。
このようなハイサイドのトランジスタQH,QH’における単位トランジスタセルの動作電流は、ドレイン用のエピタキシャル層21bとソース用のn+型の半導体領域24との間をゲート電極27の側面(すなわち、溝25の側面)に沿って基板21の厚さ方向に流れるようになっている。すなわち、チャネルが半導体チップHSCPの厚さ方向に沿って形成される。このように、半導体チップ4HSCPは、トレンチ型ゲート構造を有する縦型のMOSFET(パワーMOSFET)が形成された半導体チップである。ここで、縦型のMOSFETとは、ソース・ドレイン間の電流が、半導体基板(基板21)の厚さ方向(半導体基板の主面に略垂直な方向)に流れるMOSFETに対応する。
以上、本実施の形態3の電源装置を用いることで、代表的には、実施の形態2の場合と同様に、軽負荷時の電力変換効率を入力電源電圧によらずに向上可能となる。さらに、前述したような半導体パッケージの各種低抵抗化によって、電力変換効率の更なる向上が可能となる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
例えば、これまでに述べた各実施の形態では、ピーク電流制御方式を用いてマルチフェーズ動作ならびに軽負荷時の動作を実現したが、ピーク電流制御方式に限らず、電流モード制御方式を用いた電源装置であれば、同様に適用可能である。すなわち、電流モード制御方式には、前述したようなピーク電流制御方式の他に、平均電流制御方式等が知られている。ピーク電流制御方式では、図1等に示したように、パワートランジスタQHの入力電源電圧VIN側から電流をモニタするのが一般的であるが、平均電流制御方式では、インダクタLの出力電源ノードVO側から抵抗等を介して電流をモニタしたり、あるいはインダクタLのQH側から平均化回路等を介して電流をモニタするのが一般的である。電流モード制御方式を用いる限り、図4で述べたように、チャージ量をほぼ一定に保つような制御が可能となるため、同様の効果が得られることになる。ただし、電源装置の小型化(すなわち外部部品や外部配線等の削減)や、マルチフェーズ動作時における動作の安定性等を加味した場合には、ピーク電流制御方式を用いることが望ましい。
10 メッキ層
11 接着層
1PLS ワンショットパルス生成回路
21 半導体基板
22 フィールド絶縁膜
23,24,31 半導体領域
25 溝
26 ゲート絶縁膜
27 ゲート電極
28 絶縁膜
29 コンタクトホール
30G ゲート配線
30S ソース配線
32 保護膜
33 開口部
34 金属層
3BUF 3値バッファ回路
9 メッキ層
ACS 活性電流検出回路
ACU アナログコンパニオンユニット
AD アンド回路
AMP アンプ回路
BK ブランキング回路
BW ボンディングワイヤ
C 容量
CTBUF 制御バッファ回路
CCTLU 共通制御ユニット
CLK クロック信号
CMP コンパレータ回路
DAC ディジタル・アナログ変換回路
DP ダイパッド
DRV ドライバ回路
EA エラーアンプ回路
EB エラーバス
EO エラーアンプ信号
FF フリップフロップ回路
HSCP,LSCP,CTLCP 半導体チップ
HZDET ハイインピーダンス検出回路
IB バイアス電流源
IREFG 基準電流生成回路
IS 絶縁層
IV インバータ回路
L インダクタ
LCB リード配線
LD リード
LGC 制御論理回路
LOD 負荷
LT ラッチ回路
LY 配線層
MB 金属板
MCU マイクロコントローラユニット
MJGE 中間レベル検出回路
MN NMOSトランジスタ
MP PMOSトランジスタ
ND ナンド回路
OCPC 過剰電流検出回路
OR オア回路
OVPLT OVPラッチ回路
PA 半導体パッケージ
PD 電極
PN 外部端子
PSIP PWM搭載型駆動ユニット
PWM PWM信号
PWM_CTL PWM制御回路
Q トランジスタ
QH,QH’,QL,QL’ パワートランジスタ
R 抵抗
RIDET 逆電流検出回路
SMOVG SMOD&OVP出力回路
SSCTL ソフトスタート制御回路
SV レギュレータ電圧監視回路
SW スイッチ信号
TMR タイマ回路
TRDET 立ち上がり検出回路
UVLOC 入力電圧検出回路
VIN 入力電源電圧
VO 出力電源ノード
VOF オフセット電圧源
VREFG 基準電圧生成回路
VREG レギュレータ回路

Claims (13)

  1. DC/DCコンバータのハイサイドトランジスタおよびロウサイドトランジスタをそれぞれ構成し、外部負荷に電力を供給する第1トランジスタおよび第2トランジスタと、
    前記第1トランジスタに流れる電流を反映した電流検出信号を生成する電流検出回路と、
    前記外部負荷の電源電圧を検出し、第1設定電圧を基準に前記外部負荷の電源電圧を増幅した結果となるエラーアンプ信号を出力するエラーアンプ回路と、
    前記外部負荷の電源電圧が所定の電圧まで低下する毎にパルス信号を出力するパルス生成回路と、
    前記外部負荷の電源電圧から前記第2トランジスタに向けて流れる方向の電流を検出した際に逆電流検出信号を活性化する逆電流検出回路と、
    スイッチング制御回路とを備え、
    前記スイッチング制御回路は、前記パルス信号を受けた際に、前記第1トランジスタをオンに、前記第2トランジスタをオフに駆動し、前記電流検出信号の電圧レベルが前記エラーアンプ信号の電圧レベルに到達した際に、前記第1トランジスタをオフに、前記第2トランジスタをオンに駆動し、前記逆電流検出信号が活性化された際に、前記第2トランジスタをオフに駆動し、
    前記パルス生成回路による前記パルス信号の発生周期は、前記外部負荷の電源電圧に応じて各周期毎に可変であることを特徴とする電源装置。
  2. 請求項1記載の電源装置において、
    前記電流検出回路は、前記第1トランジスタよりも小さいトランジスタサイズを持ち、前記第1トランジスタとカレントミラー接続された第3トランジスタを用いて前記電流検出信号を生成することを特徴とする電源装置。
  3. 請求項2記載の電源装置において、
    前記パルス生成回路は、前記エラーアンプ信号の電圧レベルを監視し、この電圧レベルが第2設定電圧に到達した際に所定のパルス幅を持つ前記パルス信号を出力することを特徴とする電源装置。
  4. 請求項2記載の電源装置において、さらに、
    固定周波数のクロック信号を生成するクロック生成回路と、
    モード設定信号と、
    前記パルス信号と前記クロック信号が入力され、前記モード設定信号が活性状態の際に前記パルス信号を出力し、前記モード設定信号が非活性状態の際に前記クロック信号を出力する選択回路とを備え、
    前記逆電流検出回路は、前記モード設定信号が非活性状態の際には、前記逆電流検出信号を非活性状態に維持し、
    前記スイッチング制御回路は、前記選択回路からの前記パルス信号または前記クロック信号を受けた際に、前記第1トランジスタをオンに、前記第2トランジスタをオフに駆動し、前記電流検出信号の電圧レベルが前記エラーアンプ信号の電圧レベルに到達した際に、前記第1トランジスタをオフに、前記第2トランジスタをオンに駆動し、前記逆電流検出信号が活性化された際に、前記第2トランジスタをオフに駆動することを特徴とする電源装置。
  5. 第1駆動ユニットおよび第2駆動ユニットと、
    共通制御ユニットとを備え、
    前記第1駆動ユニットは、
    第1DC/DCコンバータのハイサイドトランジスタおよびロウサイドトランジスタをそれぞれ構成し、外部負荷に電力を供給する第1ハイサイドトランジスタおよび第1ロウサイドトランジスタと、
    前記第1ハイサイドトランジスタに流れる電流を反映した第1電流検出信号を生成する第1電流検出回路と、
    前記外部負荷の電源電圧から前記第1ロウサイドトランジスタに流れる方向の電流を検出した際に第1逆電流検出信号を活性化する第1逆電流検出回路と、
    前記第1ハイサイドトランジスタおよび第1ロウサイドトランジスタのオン・オフを制御する第1スイッチング制御回路とを有し、
    前記第2駆動ユニットは、
    第2DC/DCコンバータのハイサイドトランジスタおよびロウサイドトランジスタをそれぞれ構成し、前記外部負荷に電力を供給する第2ハイサイドトランジスタおよび第2ロウサイドトランジスタと、
    前記第2ハイサイドトランジスタに流れる電流を反映した第2電流検出信号を生成する第2電流検出回路と、
    前記第2ハイサイドトランジスタおよび第2ロウサイドトランジスタのオン・オフを制御する第2スイッチング制御回路とを有し、
    前記共通制御ユニットは、
    前記外部負荷の電源電圧を検出し、第1設定電圧を基準に前記外部負荷の電源電圧を増幅した結果となるエラーアンプ信号を出力するエラーアンプ回路と、
    前記外部負荷の電源電圧が所定の電圧まで低下する毎にパルス信号を出力するパルス生成回路と、
    同一周波数でそれぞれ位相が異なる第1および第2クロック信号を生成するクロック生成回路と、
    モード設定信号と、
    前記パルス信号と前記第1クロック信号が入力され、前記モード設定信号が活性状態の際に前記パルス信号を出力し、前記モード設定信号が非活性状態の際に前記第1クロック信号を出力する選択回路とを備え、
    前記第1逆電流検出回路は、前記モード設定信号が非活性状態の際には、前記第1逆電流検出信号を非活性状態に維持し、
    前記第1スイッチング制御回路は、前記選択回路からの前記パルス信号または前記第1クロック信号を受けた際に、前記第1ハイサイドトランジスタをオンに、前記第1ロウサイドトランジスタをオフに駆動し、前記第1電流検出信号の電圧レベルが前記エラーアンプ信号の電圧レベルに到達した際に、前記第1ハイサイドトランジスタをオフに、前記第1ロウサイドトランジスタをオンに駆動し、前記第1逆電流検出信号が活性化された際に、前記第1ロウサイドトランジスタをオフに駆動し、
    前記第2スイッチング制御回路は、前記モード設定信号が非活性状態の場合において前記第2クロック信号を受けた際に、前記第2ハイサイドトランジスタをオンに、前記第2ロウサイドトランジスタをオフに駆動し、前記第2電流検出信号の電圧レベルが前記エラーアンプ信号の電圧レベルに到達した際に、前記第2ハイサイドトランジスタをオフに、前記第2ロウサイドトランジスタをオンに駆動し
    前記パルス生成回路による前記パルス信号の発生周期は、前記外部負荷の電源電圧に応じて各周期毎に可変であることを特徴とする電源装置。
  6. 請求項5記載の電源装置において、
    前記第1電流検出回路は、前記第1ハイサイドトランジスタよりも小さいトランジスタサイズを持ち、前記第1ハイサイドトランジスタとカレントミラー接続された第3トランジスタを用いて前記第1電流検出信号を生成し、
    前記第2電流検出回路は、前記第2ロウサイドトランジスタよりも小さいトランジスタサイズを持ち、前記第2ロウサイドトランジスタとカレントミラー接続された第4トランジスタを用いて前記第2電流検出信号を生成することを特徴とする電源装置。
  7. 請求項6記載の電源装置において、
    前記パルス生成回路は、前記エラーアンプ信号の電圧レベルを監視し、この電圧レベルが第2設定電圧に到達した際に所定のパルス幅を持つ前記パルス信号を出力することを特徴とする電源装置。
  8. 請求項6記載の電源装置において、
    前記第1駆動ユニット、前記第2駆動ユニット、前記共通制御ユニットは、それぞれ別の半導体パッケージに搭載されていることを特徴とする電源装置。
  9. 請求項8記載の電源装置において、
    前記共通制御ユニットは、さらに、
    前記外部負荷の電源電圧が第3設定電圧よりも高くなった場合に過電圧検出信号を活性化する過電圧検出回路と、
    前記過電圧検出信号と前記モード設定信号が入力され、第1制御信号として、第1論理レベル、第2論理レベル、およびハイインピーダンスレベルからなる3値情報のいずれかを出力する信号変換回路とを備え、
    前記第1駆動ユニットは、さらに、前記第1制御信号が入力され、前記第1制御信号における前記3値情報のいずれかを判別する判別回路を備え、
    前記第1制御信号における前記3値情報は、それぞれ、前記過電圧検出信号が活性状態の場合と、前記過電圧検出信号が非活性状態かつ前記モード設定信号が活性状態の場合と、前記過電圧検出信号が非活性状態かつ前記モード設定信号が非活性状態の場合に割り当てられることを特徴とする電源装置。
  10. 請求項8記載の電源装置において、
    前記第2駆動ユニットは、さらに、前記第2クロック信号がハイインピーダンス状態の場合を検出して前記第2ハイサイドトランジスタおよび第2ロウサイドトランジスタを共にオフに固定する第1回路を備え、
    前記共通制御ユニットは、前記モード設定信号が活性状態の場合に、前記第2クロック信号をハイインピーダンス状態に設定することを特徴とする電源装置。
  11. 電源電圧が供給され、オンに制御された際に、外部において一端が出力電源ノードに接続されたインダクタにエネルギーを供給する第1トランジスタと、
    接地電源電圧が供給され、オンに制御された際に前記インダクタからの還流電流の電流経路を形成する第2トランジスタと、
    前記インダクタに流れる電流を反映した電流検出信号を生成する電流検出回路と、
    前記出力電源ノードから前記インダクタを介して前記第2トランジスタに流れる方向の電流を検出した際に逆電流検出信号を活性化する逆電流検出回路と、
    前記出力電源ノードの出力電圧が所定の電圧まで低下する毎にパルス信号が入力される第1入力ノードと、
    前記出力電源ノードの出力電圧を所定の電圧を基準に増幅した信号となるエラーアンプ信号が入力される第2入力ノードと、
    スイッチング制御回路とを備え、
    前記スイッチング制御回路は、前記第1入力ノードより前記パルス信号を受けた際に、前記第1トランジスタをオンに、前記第2トランジスタをオフに駆動し、前記電流検出信号の電圧レベルが前記第2入力ノードから入力された前記エラーアンプ信号の電圧レベルに到達した際に、前記第1トランジスタをオフに、前記第2トランジスタをオンに駆動し、前記逆電流検出信号が活性化された際に、前記第2トランジスタをオフに駆動し
    前記第1入力ノードに入力される前記パルス信号の発生周期は、外部負荷の電源電圧に応じて各周期毎に可変であることを特徴とする半導体装置。
  12. 請求項11記載の半導体装置において、
    前記電流検出回路は、前記第1トランジスタよりも小さいトランジスタサイズを持ち、前記第1トランジスタとカレントミラー接続された第3トランジスタを用いて前記電流検出信号を生成することを特徴とする半導体装置。
  13. 請求項12記載の半導体装置において、
    前記第1および第2トランジスタと、前記電流検出回路と、前記逆電流検出回路と、前記スイッチング制御回路は、共に1個の半導体パッケージに搭載され、
    前記第1および第2入力ノードは、共に外部端子であることを特徴とする半導体装置。
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