JP5475059B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、塗布装置1は、ワークWにペースト状の塗布剤を塗布する塗布手段2と、撮像手段であるカメラ3と、塗布手段2及びカメラ3を移動させる駆動手段4と、カメラ3によって得られた撮像データに基づいて塗布手段2の塗布位置を補正する位置補正手段5とを備えている。ここでは、塗布剤を、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などの樹脂接着剤としているが、銀ペーストやその他の塗布剤を用いることも可能である。
本実施形態では、接合剤の塗布予定箇所であるアイランド9上に接合剤の塗布を行う前に、まず、アイランド9の位置検出を行う。アイランド9の位置検出は、カメラ3によってアイランド9の画像を取り込み、それを画像処理系16で画像処理することによって行うが、このとき、カメラ3の撮像焦点がリードフレーム10(又はアイランド9)の表面に合っていない場合は、カメラ3の高さ調整を行う。具体的には、Z方向駆動部15を駆動させ、図2に示すリードフレーム10(又はアイランド9)に対するカメラ3の距離Aを撮像可能距離に設定する。
図5に示す実施形態では、固定フレーム8に2つのカメラ3を取り付けている。2つのカメラ3は、塗布手段2に対して図のY方向の両側に配設されている。この構成の場合、塗布手段2と2つのカメラ3をY方向に移動させることで、進行方向の前方のカメラ3でアイランド9の位置検出を行いつつ、塗布手段2で位置検出後のアイランド9に接合剤の塗布を行い、さらに、同時に後方のカメラ3で塗布状態の確認を行うことができる。
2 塗布手段
3 カメラ(撮像手段)
4 駆動手段
5 位置補正手段
9 アイランド
10 リードフレーム
15 Z方向駆動部(接離方向駆動部)
17 制御部
W ワーク
Claims (5)
- リードフレームを搭載しその長手方向の一方へ搬送する搬送ステージと、前記リードフレームの長手方向及び幅方向に並んだ複数のアイランド上に塗布剤を塗布する塗布手段と、前記塗布手段を前記リードフレームの長手方向に往復移動させるX方向駆動部と、前記塗布手段を前記リードフレームの幅方向に往復移動させるY方向駆動部と、前記塗布手段を前記リードフレームに対して接近離間する方向に移動させるZ方向駆動部と、前記リードフレーム上のアイランドを撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた撮像データに基づいて前記塗布手段の塗布位置を補正する位置補正手段とを備えた塗布装置において、
前記撮像手段を、前記X方向駆動部、前記Y方向駆動部及び前記Z方向駆動部によって前記塗布手段と一体的に移動可能に構成し、
前記Z方向駆動部を駆動させて前記ワークに対する前記撮像手段の撮像距離を調整する制御部を備え、
前記塗布手段と前記撮像手段を、前記リードフレームの幅方向に並べて配設し、
前記リードフレーム上のアイランドに対する前記撮像手段の距離を撮像可能距離に設定し、前記撮像手段と前記塗布手段とを前記リードフレームの幅方向に移動させて、リードフレームの幅方向に並ぶ複数のアイランドから成るアイランド群を撮像してから、前記リードフレーム上のアイランドに対する前記塗布手段の距離を塗布に適した距離に設定し、再度、前記撮像手段と前記塗布手段とを前記リードフレームの幅方向に移動させて、前記撮像されたアイランド群の各アイランドに塗布剤の塗布を行い、前記アイランドの撮像と前記アイランドへの塗布剤の塗布とをアイランド群ごとに繰り返し行うように制御することを特徴とする塗布装置。 - 前記制御部は、前記リードフレーム又はアイランドの厚さ又は高さに基づき前記撮像距離を調整するように構成された請求項1に記載の塗布装置。
- 前記撮像手段の撮像方向を、前記リードフレーム上のアイランドの表面に対して直交する方向に設定した請求項1又は2に記載の塗布装置。
- 前記塗布手段によって塗布剤を塗布した後、再度、前記リードフレーム上のアイランドに対する前記撮像手段の距離を撮像可能距離に設定し、前記撮像手段によって前記リードフレーム上の塗布済みアイランドを撮像するように制御する請求項1から3のいずれか1項に記載の塗布装置。
- 前記アイランド群のアイランドのうち、一部のみを前記撮像手段によって撮像するように制御する請求項1から4のいずれか1項に記載の塗布装置。
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