JP5398234B2 - 異物検出方法、装置及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
17 表面処理装置
18 表面検査装置
19 搬送アーム機構
34 収容室
35 ウエハステージ(載置台)
42 収容室
43 ウエハステージ(載置台)
45 レーザ光照射部
47 散乱光受光部(コリメータ)
48 光電変換部
55 検査剤
56 凝縮物
Claims (9)
- 基板の表面に付着した異物を検出する異物検出方法であって、
前記基板の表面にハロゲン元素を含有する油脂状物質又はハロゲン元素を含有する有機溶媒を噴霧する噴霧ステップと、
前記基板の表面温度を調整して前記噴霧された油脂状物質又は有機溶媒を前記基板表面に付着した異物の周囲に凝縮させて前記異物を強調する凝縮ステップと、
前記油脂状物質又は有機溶媒が凝縮することによって強調された異物を表面検査装置を用いて検出する表面検査ステップと、
前記表面検査ステップ後の基板表面を加熱して前記凝縮した油脂状物質又は有機溶媒を飛散させる復元ステップと
を有することを特徴とする異物検出方法。 - 前記復元ステップは、前記基板表面に付着した前記異物に電子ビームを照射することによって行うことを特徴とする請求項1記載の異物除去方法。
- 前記噴霧ステップにおいて、前記ハロゲン元素を含有する油脂状物質又はハロゲン元素を含有する有機溶媒を、アルコール又は水に溶解もしくは分散させた後、前記基板の表面に噴霧することを特徴とする請求項1又は2記載の異物検出方法。
- 前記凝縮ステップにおいて、前記基板の表面を0℃乃至30℃に冷却することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異物検出方法。
- 前記噴霧ステップ及び前記凝縮ステップを減圧雰囲気で行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の異物検出方法。
- 前記ハロゲン元素を含有する油脂状物質又はハロゲン元素を含有する有機溶媒は、フッ素(F)、塩素(Cl)及び臭素(Br)のうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の異物検出方法。
- 前記ハロゲン元素を含有する油脂状物質は、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロクロロフルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、パーフルオロカーボン、及びパーフルオロポリエーテル油のうち少なくとも1つであることを特徴とする請求項6記載の異物検出方法。
- 基板の表面に付着した異物を検出する異物検出装置であって、
前記基板を収容する収容室を備え、前記基板の表面に前処理を施す表面処理装置と、
前記前処理が施された前記基板の表面を検査する表面検査装置と、を有し、
前記表面処理装置は、
前記基板の表面にハロゲン元素を含有する油脂状物質又はハロゲン元素を含有する有機溶媒を噴霧する噴霧部と、
前記基板の表面温度を調整して前記噴霧された油脂状物質又は有機溶媒を前記基板表面に付着した異物の周囲に凝縮させる温度調節部と、を有し、
前記表面検査装置は、
前記基板表面を検査する表面検査部と、
前記基板表面を加熱して前記凝縮した油脂状物質又は有機溶媒を飛散させる加熱部と、
を有することを特徴とする異物検出装置。 - 基板の表面に付着した異物を検出する異物検出方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体において、
前記異物検出方法は、
前記基板の表面にハロゲン元素を含有する油脂状物質又はハロゲン元素を含有する有機溶媒を噴霧する噴霧ステップと、
前記基板の表面温度を調整して前記噴霧された油脂状物質又は有機溶媒を前記基板表面に付着した異物の周囲に凝縮させて前記異物を強調する凝縮ステップと、
前記油脂状物質又は有機溶媒が凝縮することによって強調された異物を表面検査装置を用いて検出する表面検査ステップと、
前記表面検査ステップ後の基板表面を加熱して前記凝縮した油脂状物質又は有機溶媒を飛散させる復元ステップと
を有することを特徴とする記憶媒体。
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