JP5376366B2 - 電磁波発生装置および電磁波発生方法 - Google Patents
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また、特に本出願において、波長が10−7m(0.1μm)〜10−2m(10mm)のパルスレーザー光、パルス列レーザー光、テラヘルツ波およびミリ波の電磁波を対象とする。
なお、近赤外(波長800nm)のフェムト秒レーザー光、可視光のフェムト秒レーザーも含め、レーザー発光するものは全ての波長において、本出願における電磁波に含まれる。
テラヘルツ波は、電波と光波の中間領域に当たる電磁波であり、電波のように紙やプラスティック等様々な物質に対して透過性を持ち、同時に光のように適度な空間分解能も兼ね備える。さらに、物質によって固有の吸収スペクトルを有することから、例えば分光測定により、小包などに隠された物質の種類を同定し、爆発物などの危険物を検知するような応用が期待できる。これを実現するには、様々な周波数で同調するテラヘルツ波の発生装置が不可欠である。
広帯域光パルスの位相スペクトルに変調を加えることにより、可変な複数の波長におけるパルス列を発生させることができる。この原理を利用して生成した等間隔のフェムト秒パルス列を非線形光学素子に照射させると、テラヘルツ波パルスが連続波の波形を形成する。したがって、テラヘルツ波パルス間隔を周期とする周波数成分が強く発生する。この手段は、フェムト秒パルス列の時間間隔とパルス数を自由に変えられる利点がある。
フェムト秒レーザー光を複屈折結晶に透過させると、その複屈折性により、異なる偏光方向のフェムト秒レーザーパルス間に時間遅延が生じる。この原理を用いて、時間的に等間隔のパルス列を生成し、単一周波数のテラヘルツ波を発生させることができる。しかし、この手段では、フェムト秒パルス列の時間間隔を変えるためには、結晶の長さが異なる複屈折性結晶を必要とする。
フェムト秒レーザー光を回折格子に照射することによって、空間的に分散を与えた楕円形のビーム(空間分散ビーム)を生成し、それを二つに分ける。一つのビームを空間的にシフトさせた状態で2つのビームを重ねて非線形光学素子に照射することでテラヘルツ波を発生させる。このとき、2つの光の波長差はほぼ一定となるので、差周波混合により単一周波数のテラヘルツ波が発生する。また、片方の空間分散ビームを空間的にシフトさせる値を変化させることによって、テラヘルツ波の周波数同調が可能である。
(1)互いに対向して配置された第1および第2のミラーを有し、該第1のミラーは、互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第1と第2の反射面を有し、前記第1および第2のミラーの間に入射するフェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザー光を、前記境界線を跨ぐ前記第1と第2の反射面での反射により第1と第2の反射面の段差間隔に比例する時間差で空間的に分布した複数のパルスレーザー光からなる空間分布パルス列レーザー光に変換する空間分布パルス列変換装置と、
前記空間分布パルス列レーザー光を集光して同軸上に時間的に等間隔な複数のパルスレーザー光からなる同軸パルス列レーザー光を生成する集光レンズとを備えることを特徴とする。
(3)また、前記電磁波は、パルス列レーザー光、テラヘルツ波またはミリ波である。
(4)さらに、前記同軸パルス列レーザー光から周波数帯域の狭いテラヘルツ波またはミリ波を発生させる光伝導アンテナ又は非線形光学結晶を備える。
(5)また、前記第1のミラーの第1と第2の反射面の一方又は両方をその反射面に直交する方向に連続的に移動し、境界線における段差間隔を変化させるパルス間隔調整装置を備え、
これにより前記同軸パルス列レーザー光の時間間隔を連続的に変化させる。
前記第2のミラーの反射面は、xz平面およびxy平面において、前記第1と第2の反射面に平行であり、
前記パルスレーザー光は、少なくともx軸に対し傾斜して前記第1および第2のミラーの間に入射する。
(7)また、本発明の別の実施態様において、前記第1と第2の反射面上において、境界線方向をy軸、これに直交する方向をz軸、前記反射面に直交する方向をx軸とする3次元空間において、
前記第2のミラーの反射面は、xz平面において前記第1と第2の反射面と平行であり、かつxy平面において、前記第1と第2の反射面と非平行である。
(8)さらに、本発明の別の実施態様において、前記第2のミラーは、互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第3と第4の反射面を有する。
(9)互いに対向して配置された第1および第2のミラーを準備し、該第1のミラーに、互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第1と第2の反射面を設け、
前記第1および第2のミラーの間にフェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザー光を入射させ、該パルスレーザー光を前記境界線を跨ぐ前記第1と第2の反射面での反射により第1と第2の反射面の段差間隔に比例する時間差で空間的に分布した複数のパルスレーザー光からなる空間分布パルス列レーザー光に変換し、
前記空間分布パルス列レーザー光を集光して同軸上に時間的に等間隔な複数のパルスレーザー光からなる同軸パルス列レーザー光を生成する、ことを特徴とする。
(11)また、前記第1のミラーの第1と第2の反射面の一方又は両方をその反射面に直交する方向に連続的に移動して境界線における段差間隔を変化させ、前記同軸パルス列レーザー光の時間間隔を連続的に変化させる。
以下は本発明の実施例の効果である。
本発明の一実施態様では、単一のパルスレーザー光(フェムト秒レーザー光又はピコ秒レーザー光)から時間的に等間隔の同軸パルス列レーザー光を生成し、さらにそれを用いて可変調整可能な単一周波数のテラヘルツ波またはミリ波を発生させるものである。
(1) 単一のパルスレーザー光(フェムト秒パルス)による広帯域のテラヘルツ波発生と比べて、広帯域な周波数成分から所望の周波数の分光情報を得ることができるために、周波数成分を切り分ける必要がない。
(2) 従来の複屈折光学結晶によるパルス列レーザー光(フェムト秒パルス列)を生成する手段では、所望の周波数に同調するためには、所定の長さの複屈折光学結晶を準備する必要があり、任意の周波数に同調することは実質的に不可能であることと、パルス幅拡大によるテラヘルツ波の出力低下を防ぐための分散補償が必要であるという問題点があった。しかし、本発明では、第1と第2の反射面の段差間隔を変化させれば、容易に周波数同調が可能であり、ミラー間の反射のみを用いているため、分散補償の必要がない。
(3) 空間分散ビームの差周波混合の場合には、レーザー光強度の低下とパルス幅の拡大によるテラヘルツ波の出力低下という欠点があるが、本発明はミラー間の反射を用いているだけなので、その問題は解消される。
(4) 空間位相変調器と比較すると、リニアアクチュエータで段差ミラーを制御することで数kHzの応答速度で周波数を同調することができ、数百倍高速であることや、ミラーとピエゾ素子で数十万円程度であり、(1/10)にできる。さらに、空間位相変調器では、二つの回折格子と空間光変調器によって、レーザー光強度が低下し、テラヘルツ波の出力も低下するという問題点があったが、本発明ではミラー間の反射のみを用いているため、その問題は解消される。
(A)はレーザー光の段差ミラーでの反射の説明図、(B)〜(D)はレーザー光における時間遅延の空間分布図である。
また、図3は、本発明におけるレンズ集光による同軸パルス列レーザー光生成の説明図である。
さらに、図4は、本発明により発生するテラヘルツ波の波形図である。この図において、(A)は単一のフェムト秒パルスから発生するテラヘルツ波の波形を示す図、(B)はフェムト秒パルス列から発生するテラヘルツ波の波形を示す図である。なお、図4(A)および(B)の右向きの矢印は時間軸を表す。
ここで、テラヘルツ波とミリ波は共に電磁波である。また、発生した電磁波は後述するように周波数同調が可能である。
段差ミラー22の境界部分23でレーザー光を反射させると、図1(A)の右図に示すように、上側の第1反射面22aで反射したレーザー光2と下側の第2反射面22bで反射したレーザー光2の間に、段差ミラー22の段差間隔ΔLだけ光学距離に差が生じる。従って、単一のパルスレーザー光2から2つのパルス列が生成される。
このとき、図2(A)で示すように、段差ミラー22の境界線23に対するレーザー光2の反射位置を、(1)、(2)、(3)の順番にずらしていく。なおこの図2(B)〜図2(D)で、21a、21b、21cは、それぞれ、(1)(2)(3)の反射位置において段差ミラー22の境界線23に当たるレーザーの位置である。
次に、二回目の反射(2)では、(1)と(2)で上側の第1反射面22aで反射したレーザー光を基準として、(1)で下側の第2反射面22bで反射し、(2)で上側の第1反射面22aで反射したレーザー光は段差間隔ΔLの光学距離だけ時間遅延が生じ、(1)と(2)で下側の第2反射面22bで反射したレーザー光は2ΔLの光学距離だけ時間遅延が生じる(図2(C))。
最後に三回目の反射(3)では、(1)と(2)と(3)で上側の第1反射面22aで反射したレーザー光を基準として、(1)と(2)で上側の第1反射面22aで反射し、(3)で下側の第2反射面22bで反射したレーザー光は段差間隔ΔLの光学距離だけ時間遅延が生じ、(1)で上側の第1反射面22aで反射し、(2)と(3)で下側の第2反射面22bで反射したレーザー光は2ΔLの光学距離だけ時間遅延が生じ、(1)と(2)と(3)で下側の第2反射面22bで反射したレーザー光は3ΔLの光学距離だけ時間遅延が生じる(図2(D))。
このようにして、レーザー光2は、図2(D)に示すように、段差間隔ΔLに相当する時間間隔の複数のパルスレーザー光からなるパルス列3(「空間分布パルス列レーザー光」と呼ぶ)に変換される。
なお、集光レンズ26で集光することによって、時間的に等間隔なパルス列を生成しているわけではない。集光レンズ26で集光することで、時間的かつ空間的にも分布しているレーザー光を時間的にのみ列となるレーザー光に変換している。
まず、1つのパルスレーザー光3(フェムト秒レーザー光)を光伝導アンテナの一つであるダイポールアンテナに照射したときに発生したテラヘルツ波の時間波形は、図4(A)の右図のようになる。これは、フェムト秒パルス照射により、電極間にキャリアが励起され、キャリアの時間変化に対応して電磁波が放射されることによる。詳細は、後述する装置構成の説明において説明する。
さらに、段差ミラー22の段差間隔を調整することにより、パルス間隔を任意に変化させることができる。つまり、第1反射面22a又は第2反射面22bを移動させる簡易的な方法で、テラヘルツ波の周波数を所望の周波数に同調することが可能である。
また、テラヘルツ波に替えてミリ波を発生させることも同様にできる。
しかるに、空間位相変調器で生成したフェムト秒パルス列を、非線形光学素子の一種であるZnTe結晶に照射して発生させた場合のTHz波の周波数は、1THz〜3THzまで周波数可変であることは公知である。
そして、光源として、同じパルス幅100fs程度のフェムト秒レーザー光を用いても、発生素子として、例えば、非線形光学素子の一種であるZnTe結晶を用いれば、ミリ波帯からテラヘルツ波帯の周波数の電磁波を発生させることができる。よって、ミリ波を発生させることも可能であるし、ミリ波帯からテラヘルツ波帯の周波数の電磁波を発生させることも可能である。
パルス間隔調整装置28は、段差ミラー22を構成する第1と第2の反射面22a,22bの一方又は両方をその反射面に直交する方向に連続的に移動可能なリニアアクチュエータを有する。
例えば、第1と第2の反射面22a,22bの少なくとも一方に、段差間隔ΔLを可変調整可能なリニアアクチュエータが設けられ、段差間隔ΔLを連続的に移動可能になっている。リニアアクチュエータは、例えばピエゾ素子とこれに電圧を印加する電源装置とで構成することができる。
パルスレーザー装置10は、フェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザー光1を出力する。フェムト秒レーザー光のパルス幅は(1〜数100)×10−15秒(fs)であり、又はピコ秒レーザー光のパルス幅は(1〜数100)10−12秒(ps)である。
この例において、段差ミラー22と対向ミラー24は互いに平行に配置され、反射ミラー16は、段差ミラー22と対向ミラー24との間で楕円パルスレーザー光2を往復反射させ、かつ段差ミラー22における反射ごとに、その反射位置を境界線23に交差する方向にずらすように位置決めされている。
電磁波変換デバイス30は、同軸パルス列レーザー光4から周波数帯域の狭いテラヘルツ波5またはミリ波を発生させる。電磁波変換デバイス30には、光伝導アンテナ又は非線形光学結晶等を用いることができる。
ビーム径が2mmの円形のフェムト秒レーザー光1から、焦点距離の異なる2つのシリンドリカルレンズ14a,14bを用いて、レーザー光2の形状を楕円にする。そして、そのレーザー光2を図1に示したように段差ミラー22と対向ミラー24の間で往復反射させ、フェムト秒パルス列(空間分布パルス列レーザー光3)に変換する。その後、空間的に分布した空間分布パルス列レーザー光3から集光レンズ26で同軸パルス列レーザー光4を生成し、図5に示したダイポール型光伝導アンテナ30のギャップ32aに集光させる。すると、時間的に等間隔なフェムト秒パルス列(同軸パルス列レーザー光4)によって電流変調が加わり、低温成長ガリウムヒ素基板31の裏面からテラヘルツ波5が放射される。
このうち、図8(A)(B)は、第1のミラーと第2のミラーが平行な場合、図9(A)(B)は、第1のミラーと第2のミラーが平行でない場合であり、それぞれ(A)は第2のミラー24Aが単一の反射面を有する場合、(B)は、第2のミラー24Bが互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第3と第4の反射面24a,24bを有する場合である。
図8(A)の位置関係は、上述した図6に相当する。
図8(A)の位置関係は、上述した図6において対向ミラー24を対向段差ミラー24Bに置き換えた場合に相当する。その他の構成は図6と同様である。
上述した構成により、楕円パルスレーザー光2をx軸に対しわずかに傾斜させて入射させることにより、段差ミラー22と対向ミラー24との間で楕円パルスレーザー光2を往復反射させ、かつ段差ミラー22における反射ごとに、その反射位置を境界線23に交差する方向にずらすことができる。
また、図8(B)の配置では、対向段差ミラー24Bにおいてもその反射位置を第3と第4の反射面24a,24bの境界線に交差する方向にずらすことができる。
上述した構成により、パルスレーザー光2を段差ミラー22と対向ミラー24との間に入射させることにより、段差ミラー22と対向平面ミラー24A又は対向段差ミラー24Bとの間でパルスレーザー光2を往復反射させ、かつ段差ミラー22における反射ごとに、その反射位置を境界線23に交差する方向にずらすことができる。
また、図8(B)の配置では、対向段差ミラー24Bにおいてもその反射位置を第3と第4の反射面24a,24bの境界線に交差する方向にずらすことができる。
以下、本発明の実施例を説明する。
この図において、図10(A)は、パルスレーザー装置10から出力された単一のパルスレーザー光1(フェムト秒パルス)をダイポール型光伝導アンテナ30に照射させたときに測定された時間波形を示す図である。
この図から、約0.4psのパルス幅の電磁波パルスが一つ発生していることがわかる。
この図から、図10(A)の電磁波パルスの線幅は約650GHzであり、広帯域にテラヘルツ波が発生していることがわかる。
この図から、テラヘルツ波パルス5が4つ確認でき、その時間間隔は約1.3psの実質的に等間隔な周期となっていることがわかる。また、図10(C)の曲線B(パルス列)の電磁波スペクトルは、その周期に相当する0.8THzが中心周波数成分であり、線幅は約130GHzであった。
この図において、(A)(B)(C)はそれぞれ段差間隔が0、70μm、210μmの場合のテラヘルツ波の時間波形を示す。(A)(B)(C)の順でパルス間隔が広くなっていることがわかる。
この図において、0.6THz、0.8THz、0.9THz、1THzにパワーのピークが発生している。また、反射面の段差間隔を広げれば、テラヘルツ波の中心周波数が低周波数側にシフトしている。これより、原理と一致する実験結果が得られ、0.6THzから1THzまで周波数可変であることを示せた。
本発明の特徴は、単一のパルスレーザー光(フェムト秒レーザー光又はピコ秒レーザー光)から、時間的に等間隔に複数個のパルスレーザー光が並ぶ同軸パルス列レーザー光を生成し、さらにそれを用いて単一周波数のテラヘルツ波またはミリ波を発生させることができることである。
市販されている出力パワーが1Wのフェムト秒レーザーの場合を例に挙げる。単一パルスによるテラヘルツ波発生では、レーザーパワーは10mWでテラヘルツ波の出力は飽和する。したがって、一つのパルスあたり10mWとして100個のパルスを生成することができ、周波数1THzで線幅10GHzを達成することができる。
ここで、33psとは、30GHzの周波数において、本発明の手法で狭線幅なスペクトルの電磁波を発生させるための最長のパルス幅である。
また、段差ミラーの形成には図1、図2では形状がD型の反射ミラーを用いたが、形状がD型であることは必須ではない。境界線23のエッジ部分で反射可能なミラーであればいい。
さらに、テラヘルツ波の発生部は、光伝導アンテナのみならず、非線形光学結晶など、非線形性を持つデバイスを有すればよい。
2 楕円パルスレーザー光、3 空間分布パルス列レーザー光、
4 同軸パルス列レーザー光、
10 パルスレーザー装置、12a,12b 反射ミラー、
14a,14b シリンドリカルレンズ、
16 反射ミラー、18a,18b 反射ミラー、
20 空間分布パルス列変換装置、
22 第1のミラー(段差ミラー)、
22a 第1反射面、22b 第2反射面、23 境界線、
24 第2のミラー(対向ミラー)、
24A 対向平面ミラー、24B 対向段差ミラー、
24a 第3反射面、24b 第4反射面、
26 集光レンズ、
28 パルス間隔調整装置(ピエゾ素子と電源装置)、
30 電磁波変換デバイス
(非線形光学素子、光伝導アンテナ又は非線形光学結晶)、
31 低温成長ガリウムヒ素基板、32 電極、
32a ギャップ、33 電源
Claims (11)
- 互いに対向して配置された第1および第2のミラーを有し、該第1のミラーは、互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第1と第2の反射面を有し、前記第1および第2のミラーの間に入射するフェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザー光を、前記境界線を跨ぐ前記第1と第2の反射面での反射により第1と第2の反射面の段差間隔に比例する時間差で空間的に分布した複数のパルスレーザー光からなる空間分布パルス列レーザー光に変換する空間分布パルス列変換装置と、
前記空間分布パルス列レーザー光を集光して同軸上に時間的に等間隔な複数のパルスレーザー光からなる同軸パルス列レーザー光を生成する集光レンズとを備えることを特徴とする電磁波発生装置。 - 前記フェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザー光を出力するパルスレーザー装置を備えることを特徴とする請求項1記載の電磁波発生装置。
- 前記電磁波は、パルス列レーザー光、テラヘルツ波またはミリ波であることを特徴とする請求項1記載の電磁波発生装置。
- 前記同軸パルス列レーザー光から周波数帯域の狭いテラヘルツ波またはミリ波を発生させる光伝導アンテナ又は非線形光学結晶を備えることを特徴とする請求項1に記載の電磁波発生装置。
- 前記第1のミラーの第1と第2の反射面の一方又は両方をその反射面に直交する方向に連続的に移動し、境界線における段差間隔を変化させるパルス間隔調整装置を備え、
これにより前記同軸パルス列レーザー光の時間間隔を連続的に変化させることを特徴とする請求項1に記載の電磁波発生装置。 - 前記第1と第2の反射面上において、境界線方向をy軸、これに直交する方向をz軸、前記反射面に直交する方向をx軸とする3次元空間において、
前記第2のミラーの反射面は、xz平面およびxy平面において、前記第1と第2の反射面に平行であり、
前記パルスレーザー光は、少なくともx軸に対し傾斜して前記第1および第2のミラーの間に入射する、ことを特徴とする請求項1に記載の電磁波発生装置。 - 前記第1と第2の反射面上において、境界線方向をy軸、これに直交する方向をz軸、前記反射面に直交する方向をx軸とする3次元空間において、
前記第2のミラーの反射面は、xz平面において前記第1と第2の反射面と平行であり、かつxy平面において、前記第1と第2の反射面と非平行である、ことを特徴とする請求項1に記載の電磁波発生装置。 - 前記第2のミラーは、互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第3と第4の反射面を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の電磁波発生装置。
- 互いに対向して配置された第1および第2のミラーを準備し、該第1のミラーに、互いにその一部で密接する境界線を跨いで段差部を有する第1と第2の反射面を設け、
前記第1および第2のミラーの間にフェムト秒レーザーパルス又はピコ秒レーザーパルスのパルスレーザー光を入射させ、該パルスレーザー光を前記境界線を跨ぐ前記第1と第2の反射面での反射により第1と第2の反射面の段差間隔に比例する時間差で空間的に分布した複数のパルスレーザー光からなる空間分布パルス列レーザー光に変換し、
前記空間分布パルス列レーザー光を集光して同軸上に時間的に等間隔な複数のパルスレーザー光からなる同軸パルス列レーザー光を生成する、ことを特徴とする電磁波発生方法。 - 前記同軸パルス列レーザー光を光伝導アンテナ又は非線形光学結晶に入射し、周波数帯域の狭いテラヘルツ波またはミリ波を発生させる、ことを特徴とする請求項9に記載の電磁波発生方法。
- 前記第1のミラーの第1と第2の反射面の一方又は両方をその反射面に直交する方向に連続的に移動して境界線における段差間隔を変化させ、前記同軸パルス列レーザー光の時間間隔を連続的に変化させることを特徴とする請求項9に記載の電磁波発生方法。
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