JP2020067591A - パルス列生成装置 - Google Patents
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例えばパルス幅100fs〜200fsの線偏光レーザーパルスs(0)を透過させ、線偏光方向を45°回転させ水平波(s)と垂直波(p)が50%ずつの成分の線偏光s/p(1)にする第一半波長板2と、
s/p(1)の進行方向を反射(例えば90°)させる第一プリズム3と、
s/p(1)からs成分の進行方向を反射(例えば90°)させるとともにp成分を透過させる第一スプリッタ4と、
反射したs(1)を進行方向逆向きに反射する第一固定ミラー6と、
第一固定ミラー6と第一スプリッタ4の光路の間に配置され、s(1)をp(2)に変換する第一1/4波長板5と、
透過したp(1)の進行方向を反射(例えば90°)させる第二プリズム7と、
反射したp(1)を進行方向逆向きに反射する第一移動ミラー9と、
第一移動ミラー9と第二プリズム7の光路の間に配置され、p(1)をs(2)に変換する第二1/4波長板8と、
第一スプリッタ4に再度到達し透過したp(2)及び第一スプリッタ4で反射させられたs(2)の進行方向軸をズラし逆向きに反射する第三プリズム10と、
第一スプリッタ4と第三プリズム10の光路の間に配置され、p(2)、s(2)を一度通過させそれぞれs/p(3)に変換する第二半波長板11と、
s/p(3)の内、スプリッタ4でs(3)を第二プリズム7方向に反射させ、さらに第一移動ミラー9と異なる方向に第二プリズム7で反射したものを進行方向逆向きに反射させる第二移動ミラー13と、
第二移動ミラー13と第二プリズム7の光路の間に配置され、s(3)をp(4)に変換する第三1/4波長板12と、
s/p(3)の内、スプリッタ4を透過したp(3)を第一固定ミラー6で反射及び第一1/4波長板5を透過し変換された2つのs(4)及び2つのp(4)をそれぞれs/p(5)に変換する第三半波長板14とからなり、
フェムト秒レーザーパルスを、任意の間隔で4分割する。ここでは、第一プリズム3の後段光路に第三半波長板14を設置し、第一プリズム3で反射した後にs/p(5)調整している。
[1]
線偏光レーザーパルスs(0)を透過させ、線偏光方向を45°回転させ水平波(s)と垂直波(p)が50%ずつの成分の線偏光s/p(1)にする第一半波長板と、
s/p(1)の進行方向を反射させる第一プリズムと、
s/p(1)からs成分の進行方向を反射させるとともにp成分を透過させる第一スプリッタと、
反射したs(1)を進行方向逆向きに反射する第一固定ミラーと、
前記第一固定ミラーと前記第一スプリッタの光路の間に配置され、s(1)をp(2)に変換する第一1/4波長板と、
透過したp(1)の進行方向を反射させる第二プリズムと、
反射したp(1)を進行方向逆向きに反射する第一移動ミラーと、
前記第一移動ミラーと前記第二プリズムの光路の間に配置され、p(1)をs(2)に変換する第二1/4波長板と、
前記第一スプリッタに再度到達し透過したp(2)及び前記第一スプリッタで反射させられたs(2)を透過させ、それぞれs/p(3)に変換する第二半波長板と、
s/p(3)の内、s(3)を反射させ、p(3)を透過させる第二スプリッタと、
透過したp(3)を透過、進行方向逆向きに反射させつつp(3)をs(4)に変換する第五1/4波長板及び第二固定ミラーと、
反射したs(3)の進行方向を反射させる第四プリズムと、
反射したs(3)を進行方向逆向きに反射する第三移動ミラーと、
前記第三移動ミラーと前記第四プリズムの光路の間に配置され、s(3)をp(4)に変換する第四1/4波長板と、
前記第二スプリッタで反射したs(4)及び前記第二スプリッタを透過したp(4)を透過させ、それぞれs/p(5)に変換する第四半波長板と、
s(4)及びp(4)と進行方向軸をズラし逆向きにs/p(5)を反射する第五プリズム30と、
前記第二スプリッタを透過したp(5)を前記第四プリズムによって前記第三移動ミラーと異なる方向に反射したものを逆向きに反射させる第四移動ミラーと、
第四移動ミラーと第四プリズムの光路の間に配置され、p(5)をs(6)に変換する第六1/4波長板と、
前記第二スプリッタで反射したs(5)は前記第二固定ミラーに反射、前記第五1/4波長板を通過してp(6)に変換され、前記第二スプリッタを透過し、また、
前記第二スプリッタを透過したp(5)はs(6)に変換されたうえで、前記第二スプリッタで反射して、それぞれ前記第二半波長板に戻り、透過して、それぞれs/p(7)になり、前記第一スプリッタを透過したp(7)は、前記第一固定ミラーで進行方向逆向きに反射しつつ前記第一1/4波長板を透過してs(8)に変換され、
前記第一スプリッタで反射したs(7)は、前記第二プリズムに向かい、前記第一移動ミラーと異なる方向に反射したものを逆向きに反射させる第二移動ミラーと、
前記第二移動ミラーと前記第二プリズムの光路の間に配置され、s(7)をp(8)に変換する第三1/4波長板と、
前記第一スプリッタで反射したs(8)と、前記第一スプリッタを透過したp(8)を、8つのs(8)及び8つのp(8)とする16分割のs/p(9)に変換する第三半波長板と、
からなり、
直線偏光レーザーパルスを、16列のフェムト秒パルスに分割することを特徴とする
パルス列生成装置。
[2]
前記線偏光レーザーパルスの時間幅を拡張するパルスストレッチャーを、前記第一半波長板の前段光路に配置したことを特徴とする[1]に記載のパルス列生成装置。
[3]
目的の分割数に分割された各パルスの時間幅を短縮するパルスコンプレッサを、前記光路末端に配置したことを特徴とする[1]又は[2]に記載のパルス列生成装置。
[4]
前記第五1/4波長板及び前記第二固定ミラーを除き、当該位置に第二半波長板が位置する倍化要素を追加配置して、直線偏光レーザーパルスを、32列のフェムト秒パルスに分割することを特徴とする[1]〜[3]の何れか1に記載のパルス列生成装置。
とした。
必要に応じて備える、例えばパルス幅100fs〜200fsの線偏光レーザーパルスを透過させ、時間幅を拡張させ、パルス幅1ピコ秒(ps)程度の線偏光レーザーパルスs(0)に調整するパルスストレッチャー22と、
線偏光レーザーパルスs(0)を透過させ、線偏光方向を45°回転させ水平波(s)と垂直波(p)が50%ずつの成分の線偏光s/p(1)にする第一半波長板2と、
s/p(1)の進行方向を反射(例えば90°)させる第一プリズム3と、
s/p(1)からs成分の進行方向を反射(例えば90°)させるとともにp成分を透過させる第一スプリッタ4と、
反射したs(1)を進行方向逆向きに反射する第一固定ミラー6と、
第一固定ミラー6と第一スプリッタ4の光路の間に配置され、s(1)をp(2)に変換する第一1/4波長板5と、
透過したp(1)の進行方向を反射(例えば90°)させる第二プリズム7と、
反射したp(1)を進行方向逆向きに反射する第一移動ミラー9と、
第一移動ミラー9と第二プリズム7の光路の間に配置され、p(1)をs(2)に変換する第二1/4波長板8と、
第一スプリッタ4に再度到達し透過したp(2)及び第一スプリッタ4で反射させられたs(2)を透過させ、それぞれs/p(3)に変換する第二半波長板11と、
s/p(3)の内、s(3)を反射させ、p(3)を透過させる第二スプリッタ23と、
透過したp(3)を透過、進行方向逆向きに反射させつつp(3)をs(4)に変換する第五1/4波長板27及び第二固定ミラー28と、
反射したs(3)の進行方向を反射させる第四プリズム24と、
反射したs(3)を進行方向逆向きに反射する第三移動ミラー26と、
第三移動ミラー26と第四プリズム24の光路の間に配置され、s(3)をp(4)に変換する第四1/4波長板25と、
第二スプリッタ23で反射したs(4)及び第二スプリッタ23を透過したp(4)を透過させ、それぞれs/p(5)に変換する第四半波長板29と、
s(4)及びp(4)と進行方向軸をズラし逆向きにs/p(5)を反射する第五プリズム30(第四半波長板29は、第五プリズム30の後段に配置しておもよい)と、
第二スプリッタ23を透過したp(5)を第四プリズム24によって第三移動ミラー26と異なる方向に反射したものを逆向きに反射させる第四移動ミラー32と、
第四移動ミラー32と第四プリズム24の光路の間に配置され、p(5)をs(6)に変換する第六1/4波長板31と、
第二スプリッタ23で反射したs(5)は第二固定ミラー28に反射、第五1/4波長板27を通過してp(6)に変換され、第二スプリッタ23を透過し、また、
第二スプリッタ23を透過したp(5)は上述したようにs(6)に変換されたうえで、第二スプリッタ23で反射して、それぞれ第二半波長板11に戻り、透過して、それぞれs/p(7)になり、第一スプリッタ4を透過したp(7)は、第一固定ミラー6で進行方向逆向きに反射しつつ第一1/4波長板5を透過してs(8)に変換され、
第一スプリッタ4で反射したs(7)は、第二プリズム7に向かい、第一移動ミラー9と異なる方向に反射したものを逆向きに反射させる第二移動ミラー13と、
第二移動ミラー13と第二プリズム7の光路の間に配置され、s(7)をp(8)に変換する第三1/4波長板12と、
第一スプリッタ4で反射したs(8)と、第一スプリッタ4を透過したp(8)を、8つのs(8)及び8つのp(8)とする16分割のs/p(9)に変換する第三半波長板14と、
必要に応じて、分割後、各パルスの時間幅を短縮するパルスコンプレッサ33を備えてなる。
2 第一半波長板
3 第一プリズム
4 第一スプリッタ
5 第一1/4波長板
6 第一固定ミラー
7 第二プリズム
8 第二1/4波長板
9 第一移動ミラー
10 第三プリズム
11 第二半波長板
12 第三1/4波長板
13 第二移動ミラー
14 第三半波長板
21 16パルス列生成装置
22 パルスストレッチャー
23 第二スプリッタ
24 第四プリズム
25 第四1/4波長板
26 第三移動ミラー
27 第五1/4波長板
28 第二固定ミラー
29 第四半波長板
30 第五プリズム
31 第六1/4波長板
32 第四移動ミラー
33 パルスコンプレッサ
34 倍化要素
Claims (4)
- 線偏光レーザーパルスs(0)を透過させ、線偏光方向を45°回転させ水平波(s)と垂直波(p)が50%ずつの成分の線偏光s/p(1)にする第一半波長板と、
s/p(1)の進行方向を反射させる第一プリズムと、
s/p(1)からs成分の進行方向を反射させるとともにp成分を透過させる第一スプリッタと、
反射したs(1)を進行方向逆向きに反射する第一固定ミラーと、
前記第一固定ミラーと前記第一スプリッタの光路の間に配置され、s(1)をp(2)に変換する第一1/4波長板と、
透過したp(1)の進行方向を反射させる第二プリズムと、
反射したp(1)を進行方向逆向きに反射する第一移動ミラーと、
前記第一移動ミラーと前記第二プリズムの光路の間に配置され、p(1)をs(2)に変換する第二1/4波長板と、
前記第一スプリッタに再度到達し透過したp(2)及び前記第一スプリッタで反射させられたs(2)を透過させ、それぞれs/p(3)に変換する第二半波長板と、
s/p(3)の内、s(3)を反射させ、p(3)を透過させる第二スプリッタと、
透過したp(3)を透過、進行方向逆向きに反射させつつp(3)をs(4)に変換する第五1/4波長板及び第二固定ミラーと、
反射したs(3)の進行方向を反射させる第四プリズムと、
反射したs(3)を進行方向逆向きに反射する第三移動ミラーと、
前記第三移動ミラーと前記第四プリズムの光路の間に配置され、s(3)をp(4)に変換する第四1/4波長板と、
前記第二スプリッタで反射したs(4)及び前記第二スプリッタを透過したp(4)を透過させ、それぞれs/p(5)に変換する第四半波長板と、
s(4)及びp(4)と進行方向軸をズラし逆向きにs/p(5)を反射する第五プリズム30と、
前記第二スプリッタを透過したp(5)を前記第四プリズムによって前記第三移動ミラーと異なる方向に反射したものを逆向きに反射させる第四移動ミラーと、
第四移動ミラーと第四プリズムの光路の間に配置され、p(5)をs(6)に変換する第六1/4波長板と、
前記第二スプリッタで反射したs(5)は前記第二固定ミラーに反射、前記第五1/4波長板を通過してp(6)に変換され、前記第二スプリッタを透過し、また、
前記第二スプリッタを透過したp(5)はs(6)に変換されたうえで、前記第二スプリッタで反射して、それぞれ前記第二半波長板に戻り、透過して、それぞれs/p(7)になり、前記第一スプリッタを透過したp(7)は、前記第一固定ミラーで進行方向逆向きに反射しつつ前記第一1/4波長板を透過してs(8)に変換され、
前記第一スプリッタで反射したs(7)は、前記第二プリズムに向かい、前記第一移動ミラーと異なる方向に反射したものを逆向きに反射させる第二移動ミラーと、
前記第二移動ミラーと前記第二プリズムの光路の間に配置され、s(7)をp(8)に変換する第三1/4波長板と、
前記第一スプリッタで反射したs(8)と、前記第一スプリッタを透過したp(8)を、8つのs(8)及び8つのp(8)とする16分割のs/p(9)に変換する第三半波長板と、
からなり、
直線偏光レーザーパルスを、16列のフェムト秒パルスに分割することを特徴とする
パルス列生成装置。 - 前記線偏光レーザーパルスの時間幅を拡張するパルスストレッチャーを、前記第一半波長板の前段光路に配置したことを特徴とする請求項1に記載のパルス列生成装置。
- 目的の分割数に分割された各パルスの時間幅を短縮するパルスコンプレッサを、前記光路末端に配置したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のパルス列生成装置。
- 前記第五1/4波長板及び前記第二固定ミラーを除き、当該位置に第二半波長板が位置する倍化要素を追加配置して、直線偏光レーザーパルスを、32列のフェムト秒パルスに分割することを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか1項に記載のパルス列生成装置。
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2018
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