JP5356793B2 - 磁気検出装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記磁気センサ部が、前記磁気検出素子を備えたセンサチップと、複数のリード部を備え、前記磁気検出素子と電気的に接続されるリードフレームと、前記センサチップを設置するためのベース部と、前記ベース部、各リード部の先端の外部接続端子及び前記磁気検出素子との接続領域が露出するように前記リードフレームに成形された樹脂体と、前記センサチップを封止する封止材と、を有して構成されており、
前記樹脂体には、前記センサチップの前記ベース部に対する、及び、前記磁気センサ部の前記ケースに対する共通の位置決め部が設けられていることを特徴とするものである。
(a) 金属板を加工して、前記磁気検出素子を備えたセンサチップを設置するためのベース部及び複数のリード部を有して成るリードフレームを形成する工程、
(b) 前記ベース部、各リード部の先端の外部接続端子及び、前記磁気検出素子と電気的に接続される接続領域が露出するように前記リードフレームに、樹脂体を成形し、このとき、前記樹脂体に位置決め部を形成する工程、
(c) 前記位置決め部を基準として前記センサチップを前記ベース部に設置し、前記磁気検出素子と前記接続領域間を電気的に接続する工程、
(d) 前記センサチップ上を、封止材にて封止する工程、
を有して、前記磁気センサ部を形成し、その後、
(e) 前記(c)工程時と共通の前記位置決め部を基準として前記磁気センサ部を前記ケースに設置する工程、を有することを特徴とするものである。
前記(c)工程にて、前記位置決め部を基準として前記センサチップを前記ベース部に設置し、さらに、
前記(e)工程では、前記(c)工程時と共通の前記位置決め部を基準として前記磁気センサ部をケースに設置する。これにより、前記センサチップのケースに対する位置決め精度、ひいては磁石に対する位置決め精度を向上させることができ、検出精度に優れた磁気検出装置を製造できる。また、磁気センサ部のケースに対する組立作業性を向上させることができる。
2 磁石
3 ケース
4 磁気センサ部
6〜9 磁気検出素子
10、11 センサチップ
12 リードフレーム
13〜16 リード部
13a〜16a 外部接続端子
13b〜16b、32、33 連結部
17 ベース部
20 樹脂体
20a 空間部
21 位置決め分
22 樹脂
30 金属板
30a 枠体
31 フープ材
34 支持部
35、36 穴
Claims (9)
- 磁石と、前記磁石に間隔を空けて配置され、前記磁石からの外部磁界の変化により電気特性が変化する磁気検出素子を備えた磁気センサ部と、前記磁気センサ部を設置するためのケースと、を有する磁気検出装置において、
前記磁気センサ部が、前記磁気検出素子を備えたセンサチップと、複数のリード部を備え、前記磁気検出素子と電気的に接続されるリードフレームと、前記センサチップを設置するためのベース部と、前記ベース部、各リード部の先端の外部接続端子及び前記磁気検出素子との接続領域が露出するように前記リードフレームに成形された樹脂体と、前記センサチップを封止する封止材と、を有して構成されており、
前記樹脂体には、前記センサチップの前記ベース部に対する、及び、前記磁気センサ部の前記ケースに対する共通の位置決め部が設けられていることを特徴とする磁気検出装置。 - 前記磁気センサ部及び前記磁石の設置部が、共通の前記ケースに設けられる請求項1記載の磁気検出装置。
- 前記樹脂体は、前記リードフレームの同一平面領域に形成され、前記樹脂体の側面から前記外部接続端子が突出している請求項1又は2に記載の磁気検出装置。
- 磁石と、前記磁石に間隔を空けて配置され、前記磁石からの外部磁界の変化により電気特性が変化する磁気検出素子を備えた磁気センサ部と、前記磁気センサ部を設置するためのケースと、を有する磁気検出装置の製造方法において、
(a) 金属板を加工して、前記磁気検出素子を備えたセンサチップを設置するためのベース部及び複数のリード部を有して成るリードフレームを形成する工程、
(b) 前記ベース部、各リード部の先端の外部接続端子及び、前記磁気検出素子と電気的に接続される接続領域が露出するように前記リードフレームに、樹脂体を成形し、このとき、前記樹脂体に位置決め部を形成する工程、
(c) 前記位置決め部を基準として前記センサチップを前記ベース部に設置し、前記磁気検出素子と前記接続領域間を電気的に接続する工程、
(d) 前記センサチップ上を、封止材にて封止する工程、
を有して、前記磁気センサ部を形成し、その後、
(e) 前記(c)工程時と共通の前記位置決め部を基準として前記磁気センサ部を前記ケースに設置する工程、を有することを特徴とする磁気検出装置の製造方法。 - 前記ケースには前記磁気センサ部及び前記磁石の設置部が設けられており、共通の前記ケースに前記磁気センサ部及び前記磁石を設置する請求項4記載の磁気検出装置の製造方法。
- 前記(b)工程では、前記樹脂体を、前記リードフレームの同一平面領域に成形し、前記外部接続端子を前記樹脂体の側面から突出させる請求項4又は5に記載の磁気検出装置の製造方法。
- 前記(a)工程では、前記金属板から複数の前記リードフレームが連設されたフープ材を形成し、前記(b)工程では、各リードフレームに対して前記樹脂体を成形し、さらに前記(d)工程と前記(e)工程との間に、各リードフレームごとに分離する工程を有する請求項4ないし6のいずれか1項に記載の磁気検出装置の製造方法。
- 前記(a)工程では、隣り合うリード部間を連結する連結部を形成し、前記(b)工程と前記(c)工程の間に、前記連結部を切断する請求項4ないし7のいずれか1項に記載の磁気検出装置の製造方法。
- 前記(a)工程では、各リード部の先端を連結部を介して前記金属板の枠体に連結し、前記(b)工程と前記(c)工程の間に、前記連結部を切断し、各リード部を、前記金属板の枠体から分断する請求項4ないし8のいずれか1項に記載の磁気検出装置の製造方法。
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