JP5284024B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
(磁気センサの構成)
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気センサの概略図であり、図2(a)は、本発明の実施の形態に係る第1及び第2のGMR(巨大磁気抵抗;Giant Magneto Resistance)素子群の配置に関する概略図であり、(b)は、側面図である。図2(a)及び(b)は、磁気センサ1の内部を示している。
リードフレーム10は、金属薄板からプレス加工、又はエッチング加工によって作製され、中央に設けられたアイランド(図示せず)と、アイランドと電気的に独立した複数のインナーリード(図示せず)と、を有し、インナーリードは、アウターリード11と電気的に接続されている。
磁石2は、図2(a)及び(b)に示すように、矩形状を有し、その磁化方向は、リードフレーム10側からN極、S極となり、N極からS極へと磁路を形成する磁界20を発生させている。半導体チップ3は、この磁化方向に対して垂直な面に配置される。この磁化方向は、これに限定されず、リードフレーム10側がS極でも良い。
半導体チップ3は、一例として、ウェハ上にフォトリソグラフィによって第1及び第2のGMR素子群3A、3B、第1〜第4のパッド300〜303、第1〜第4のパッド310〜313が形成され、所定の大きさに切り出された半導体素子である。半導体チップ3は、ウェハから切り出されるので、磁気センサ1は、特性の揃った第1〜第4のGMR素子30〜33を使用することで、精度の高い検出を行うことができる。
図3(a)は、本発明の実施の形態に係る第1のGMR素子群の概略図であり、(b)は、第2のGMR素子群の概略図である。
第2のGMR素子群3Bは、図3(b)に示すように、第2のGMR素子(第2の巨大磁気抵抗素子)31と、第4のGMR素子(第4の巨大磁気抵抗素子)33と、第2のGMR素子31の電極パッドである第1及び第2のパッド310、311と、第4のGMR素子33の電極パッドである第3及び第4のパッド312、313と、を備えて概略構成されている。第1〜第4のパッド310〜313は、リードフレーム10の所定の場所に、ワイヤボンディングによって配線されている。
図4は、本発明の実施の形態に係る磁気センサの等価回路図である。磁気センサ1は、図4に示すように、第1の磁気ベクトル21が作用する第1のGMR素子30と、第2の磁気ベクトル22が作用する第2のGMR素子31とによって第1のハーフブリッジ回路34が形成され、第1の磁気ベクトル21が作用する第3のGMR素子32と、第2の磁気ベクトル22が作用する第4のGMR素子33とによって第2のハーフブリッジ回路35が形成され、さらに、第1及び第2のハーフブリッジ回路34、35とによってフルブリッジ回路が形成されている。
以下に、本実施の形態における磁気センサに関する動作を各図を参照して詳細に説明する。まず、磁気センサ1の製造方法について、図6のフローチャートに基づいて説明する。
続いて磁気センサ1の動作について各図を参照しながら詳細に説明する。図4に示すように、外部磁界4が磁気センサ1に作用するとき、外部磁界4は、第1の磁気ベクトル21と同方向であり、第2の磁気ベクトル22とは方向が反対となっている。
(1)上記した実施の形態における磁気センサ1によれば、GMR素子を用いながら、磁界の方向を判別することができる。
Claims (4)
- 第1の方向、及び前記第1の方向に対して反対方向となる第2の方向に磁界を発生させる磁界発生部と、
一方端に電圧が印加され、複数の折返し形状を有すると共に、前記磁界発生部から発生した前記第1の方向の前記磁界が作用する位置に設けられる第1の巨大磁気抵抗素子と、
一方端が接地され、他端が前記第1の巨大磁気抵抗素子に電気的に接続されて第1のハーフブリッジ回路を構成し、複数の折返し形状を有すると共に、前記磁界発生部から発生した前記第2の方向の前記磁界が作用する位置に設けられる第2の巨大磁気抵抗素子と、
一方端が接地され、前記第1の巨大磁気抵抗素子の複数の折返し形状に嵌り込むように組み合わせて配置されると共に、前記磁界発生部から発生した前記第1の方向の前記磁界が作用する第3の巨大磁気抵抗素子と、
一方端に前記電圧が印加され、他端が前記第3の巨大磁気抵抗素子に電気的に接続されて第2のハーフブリッジ回路を構成し、前記第2の巨大磁気抵抗素子の複数の折返し形状に嵌り込むように組み合わせて配置されると共に、前記磁界発生部から発生した前記第2の方向の前記磁界が作用する第4の巨大磁気抵抗素子と、
を備え、
前記第1及び第3の巨大磁気抵抗素子は、外部磁界の方向が前記第1の方向と同じ向きである場合、前記外部磁界が作用しない場合と比べて磁気抵抗値が小さくなるように磁性層と非磁性層とが交互に積層されて形成され、
前記第2及び第4の巨大磁気抵抗素子は、前記外部磁界の方向が前記第1の方向と同じ向きである場合、前記外部磁界が作用しない場合と比べて磁気抵抗値が大きくなるように磁性層と非磁性層とが交互に積層されて形成された磁気センサ。 - 前記第1〜第4の巨大磁気抵抗素子は、前記磁界発生部の磁化方向に対して垂直な面に設けられる請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記磁界発生部は、前記第1〜第4の巨大磁気抵抗素子と共に樹脂によって封止された後に着磁される請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記磁界発生部は、前記第1〜第4の巨大磁気抵抗素子と共に成膜される請求項1に記載の磁気センサ。
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