ところが、上記のインサーキットテスタには、改善すべき以下の課題がある。すなわち、上記のインサーキットテスタでは、放電用のスイッチを動作させることで被検査回路基板のパターンに蓄積された電荷を放電している。しかしながら、このインサーキットテスタでは、放電用のスイッチを含む放電用の専用の回路が必要なため、その分、回路構成が複雑となるという課題が存在する。また、このインサーキットテスタでは、プローブピンとグランド電位とを接続する際(放電用のスイッチのオン動作時)に発生するスパークなどによって放電用のスイッチが動作不良を起こすおそれがあるという課題も存在する。
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、回路構成の簡素化、および動作不良の発生の低減を実現し得るプローブ装置、測定装置および検査装置を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載のプローブ装置は、プロービング対象体に接触させられるプローブピンと、前記プロービング対象体に蓄積されている電荷を前記プローブピンを介して放電する放電処理を行う放電部とを備えたプローブ装置であって、前記放電部は、前記プローブピンを挿通可能な挿通孔が形成されて当該挿通孔に当該プローブピンが挿通された状態で当該プローブピンに対して当該挿通孔の内面が接離するように移動可能に配設されると共に基準電位に接続される導電板と、当該導電板を移動させて前記プローブピンと前記内面とを接離させる移動機構とを備え、前記移動機構は、前記プロービング対象体に前記プローブピンが接触させられている状態において、前記プローブピンと前記内面とを接触させて前記放電処理を実行可能に構成されている。
また、請求項2記載のプローブ装置は、請求項1記載のプローブ装置において、前記プローブピンを複数備え、前記導電板には、前記挿通孔が複数形成され、当該各挿通孔には前記プローブピンが1つずつ挿通されている。
また、請求項3記載の測定装置は、請求項1または2記載のプローブ装置と、前記プローブピンを介して入力した電気信号に基づいて前記プロービング対象体についての電気的物理量を測定する測定部とを備え、前記測定部は、前記プローブ装置における前記プローブピンと前記導電板における前記挿通孔の前記内面とが離反している状態において前記電気的物理量を測定する。
また、請求項4記載の測定装置は、請求項3記載の測定装置において、前記移動機構は、前記プロービング対象体に前記プローブピンが接触させられている状態において、接触させている前記プローブピンと前記内面とを離反させた後に当該プローブピンと当該内面とを接触させて前記電気的物理量の測定の前後において前記放電処理を行う。
また、請求項5記載の測定装置は、請求項4記載の測定装置において、前記移動機構は、前記導電板を一方向に直線的に移動させて前記電気的物理量の測定の前後において前記放電処理を行う。
また、請求項6記載の測定装置は、請求項3から5のいずれかに記載の測定装置において、前記移動機構は、前記導電板を一定の速度で移動させる。
また、請求項7記載の検査装置は、請求項3から6のいずれかに記載の測定装置と、当該測定装置によって測定された前記電気的物理量に基づいて前記プロービング対象体を検査する検査部とを備えている。
請求項1記載のプローブ装置では、プローブピンを挿通可能な挿通孔が形成されて挿通孔にプローブピンが挿通された状態でプローブピンに対して挿通孔の内面が接離するように移動可能に配設されると共に基準電位に接続される導電板と、導電板を移動させてプローブピンと内面とを接離させる移動機構とを備えて放電部が構成され、プロービング対象体にプローブピンが接触させられている状態において、移動機構がプローブピンと内面とを接触させて放電処理を行う。このため、このプローブ装置によれば、放電部が導電板と移動機構とを備えて導電板を基準電位に接続するだけの簡易な構成で、しかも放電用のスイッチを含む放電用の専用の回路が不要となる結果、その分、回路構成を十分に簡素化することができる。
また、このプローブ装置によれば、プローブピンと導電板における挿通孔の内面とを接触させることによってプロービング対象体に蓄積されている電荷を放電する構成のため、例えば導電板の厚みを厚くすることで、通常のスイッチで採用されている接点同士を接触させる構成と比較して、プローブピンと内面との接触面積を十分に大きくすることができる。したがって、このプローブ装置によれば、放電時におけるスパークの発生を低く抑えることができる結果、スパークの発生に起因する動作不良を十分に低減することができる。
また、請求項2記載のプローブ装置によれば、導電板に複数の挿通孔を形成し、各挿通孔にプローブピンを1つずつ挿通したことにより、1つの移動機構によって導電板を移動させることで、複数のプローブピンを1つの導電板における各挿通孔の内面に一度に接触させることができる。つまり、1つの移動機構および1つの導電板を備えただけの簡易な構成でありながら、複数のプローブピンを導電板を介して一度に基準電位に接続することができる。このため、このプローブ装置によれば、複数のプローブピンに対して導電板および移動機構をそれぞれ1つずつ備えた構成(複数の導電板および移動機構を備えた構成)と比較して、放電部をさらに簡易に構成することができる。
また、このプローブ装置によれば、複数のプローブピンを導電板を介して一度に基準電位に接続することができるため、例えば、各プローブピンと導電板における挿通孔の内面とが離反状態となった状態において数多く(複数組)のプロービング対象体についての電気的物理量の測定を行い、これによって数多くのプロービング対象体に電荷が蓄積されたときにおいても、それらの電荷を一度に放電させることができる。
また、請求項3記載の測定装置によれば、上記のプローブ装置を備えたことにより、上記のプローブ装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。また、この測定装置によれば、測定部がプローブ装置におけるプローブピンと導電板における挿通孔の内面とが離反している状態において電気的物理量を測定することにより、プローブピンが導電板を介して基準電位に接続されている状態での測定が回避されるため、測定部がプローブピンを介して電気信号を確実に入力することができる結果、その電気信号に基づくプロービング対象体についての電気的物理量を正確に測定することができる。
また、請求項4記載の測定装置によれば、電気的物理量の測定の前後において(つまり、測定前および測定後の2回)放電処理を行うことにより、測定前および測定後の一方においてのみ放電処理を行う構成と比較して、プロービング対象体に蓄積されている電荷をより確実に放電することができるため、蓄積されている電荷による測定値への影響をより確実に防止することができる。
また、この測定装置では、接触させているプローブピンと導電板における挿通孔の内面とを離反させた後にプローブピンと内面とを再び接触させて、電気的物理量の測定の前後において放電処理を行う。このため、この測定装置では、導電板を途中で停止させることなく一方向に1回移動させることで、電気的物理量の測定前における放電処理、電気的物理量の測定、および電気的物理量の測定後における放電処理の3つの処理を連続的に実行させることができる。したがって、この測定装置によれば、放電用のスイッチを動作させてプロービング対象体に蓄積されている電荷を放電する構成とは異なり、電気的物理量の測定の前後における少なくとも2回のスイッチ動作を不要とすることができる結果、数多くのプロービング対象体についての電気的物理量を測定する際においても、スイッチ動作に要する時間分だけ測定時間を十分に短縮することができる。
また、請求項5記載の測定装置によれば、移動機構が導電板を一方向に直線的に移動させて電気的物理量の測定の前後において放電処理を行うことにより、移動方向を途中で変更する構成と比較して、単純な構造の移動機構を用いて電気的物理量の測定の前後における合計2回の放電処理を行うことができるため、測定装置を簡易に構成することができる。
また、請求項6記載の測定装置によれば、移動機構が導電板を一定の速度で移動させることにより、移動速度を途中で変更する構成と比較して、より単純な構造の移動機構を用いて放電処理を行うことができるため、測定装置を一層簡易に構成することができる。
また、請求項7記載の検査装置によれば、上記の各測定装置を備えたことにより、上記の各測定装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。
以下、プローブ装置、測定装置および検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。図1に示す検査装置1は、図2に示す回路基板100における複数の導体パターン101(プロービング対象体の一例であって、同図では5つの導体パターン101a〜101eのみを図示している)のうちの任意の2つの導体パターン101の間の静電容量Cm(電気的物理量の一例)を測定すると共に、その静電容量Cmに基づいて回路基板100の良否(各導体パターン101の良否)を検査可能に構成されている。具体的には、検査装置1は、図1に示すように、基板保持部11、プローブ装置12、プロービング機構13、スキャナ部14、測定用信号生成部15、測定部16および制御部17を備えて構成されている。なお、検査装置1を構成する各構成要素のうちの、検査機能を除く各機能を有する構成要素によって測定装置が構成される。具体的には、測定装置は、基板保持部11、プローブ装置12、プロービング機構13、スキャナ部14、測定用信号生成部15、測定部16、並びに制御部17のうちのプローブ装置12、プロービング機構13、スキャナ部14、測定用信号生成部15および測定部16を制御する機能を有する部分によって構成される。
基板保持部11は、保持板と、保持板に取り付けられて回路基板100の端部を挟み込んで固定するクランプ機構(いずれも図示せず)とを備えて、回路基板100を保持可能に構成されている。
プローブ装置12は、図2に示すように、治具型のプローブ装置であって、複数のプローブピン21、一対の支持板22a,22b、導電板23および移動機構24を備えて構成されている。プローブピン21は、断面が円形で先端が鋭利に形成されている。また、各プローブピン21は、図3に示すように、回路基板100の各導体パターン101の形状や配設位置などに応じた配列パターンで配列された状態で支持板22a,22bによって支持され、検査時に各導体パターン101に一度に接触(プロービング)させられる。
導電板23は、図3,4に示すように、板状に構成されると共に、導線を介してグランド電位(基準電位)に接続されている。また、導電板23には、図4に示すように、プローブピン21を挿通可能な挿通孔23aがプローブピン21の配列パターンと同じ配列パターンで形成されている。挿通孔23aは、その内径がプローブピン21の外径よりも大径(一例として、内径がプローブピン21の直径の3倍程度)の平面視円形に形成されている。また、導電板23は、図2に示すように、各挿通孔23aにプローブピン21が1つずつ挿通された状態でプローブピン21に対して挿通孔23aの内面31が接離するようにプローブピン21の軸線に直交する方向(一例として、同図における矢印Aの向きおよび矢印Bの向き)に移動可能に構成されて、支持板22a,22bの間に配置されている。
移動機構24は、導電板23と共に放電部200(図2参照)を構成し、制御部17の制御に従い、導電板23を移動させる移動処理を実行する。移動機構24は、この移動処理において、支持板22a,22bの間において導電板23を移動させることにより、プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが接触する接触状態(図5,6に示す状態)と、両者が離反する離反状態(図2に示す状態)とを切り替える。具体的には、移動機構24は、導電板23を図2における矢印Aの向き(一方向の一例)、または同図における矢印Bの向き(一方向の他の一例)に一定の速度で直線的に移動させて、最初に接触させている状態のプローブピン21と内面31(内面31の一部の部位)とを離反させた後に、プローブピン21と内面31(内面31の上記一部の部位に対してプローブピン21を挟んで対向する内面31の他の一部の部位)とを再び接触させる。このプローブ装置12では、移動機構24が上記の移動処理を実行することにより、後述するように、回路基板100の導体パターン101に蓄積されている電荷を放電(ディスチャージ)する放電処理が静電容量Cmの測定の前後において行われる。
プロービング機構13は、制御部17の制御に従って上下方向にプローブ装置12を移動させることにより、導体パターン101にプローブピン21の先端を接触させるプロービングを実行する。
スキャナ部14は、複数のスイッチ(図示せず)を備えて構成され、制御部17の制御に従って各スイッチをオン状態またはオフ状態に移行させることにより、プローブ装置12のプローブピン21と測定用信号生成部15との接断(接続および切断)、およびプローブピン21と測定部16との接断を行う切断処理を実行する。
測定用信号生成部15は、制御部17の制御に従って測定用電流It(一例として、交流定電流)を出力する。測定部16は、制御部17の制御に従い、各プローブピン21を介して測定用電流Itが供給されている2つの導体パターン101の間の電圧Vm(電気信号の一例)を入力して、その電圧値、測定用電流Itの電流値、並びにその電圧および電流の位相差に基づいて2つの導体パターン101の間の静電容量Cmを測定する。
制御部17は、図外の操作部から出力される操作信号に従って検査装置1を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部17は、プロービング機構13によるプローブ装置12の移動、スキャナ部14による接断処理、およびプローブ装置12の移動機構24による移動処理を制御する。
また、制御部17は、測定部16による静電容量Cmの測定を制御すると共に、検査部として機能して、測定部16によって測定された静電容量Cmに基づいて導体パターン101の良否を検査する。この場合、制御部17は、プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31との離反状態において、つまりプローブピン21が導電板23を介してグランド電位(基準電位)に接続されていない状態において静電容量Cmを測定するように測定部16を制御する。
次に、検査装置1を用いて回路基板100における各導体パターン101の間の静電容量Cmを測定すると共に、測定した静電容量Cmに基づいて導体パターン101の良否検査を行う際の検査装置1の動作について、図面を参照して説明する。なお、初期状態において、図5に示すように、プローブ装置12における各プローブピン21と導電板23の挿通孔23aにおける右側の内面31とが接触状態となっているものとする。
まず、検査対象の回路基板100を基板保持部11における保持板(図示せず)に載置し、次いで、基板保持部11のクランプ機構(図示せず)で回路基板100の端部を挟み込んで固定することにより、回路基板100を基板保持部11に保持させる。続いて、図外の操作部を用いて検査開始操作を行う。この際に、制御部17が、操作部から出力された操作信号に従い、検査処理を実行する。この検査処理では、制御部17は、プロービング機構13を制御してプローブ装置12を下向きに移動させる。これにより、プローブ装置12の各プローブピン21の先端が各導体パターン101に接触(プロービング)させられる。
次いで、制御部17は、スキャナ部14を制御して、各導体パターン101のうちの一対の導体パターン101(例えば、図5に示す導体パターン101a,101b)に接触している一対のプローブピン21(同図に示すプローブピン21a,21b)と測定用信号生成部15および測定部16とを接続させる。
この状態では、各プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが接触状態となっているため、各プローブピン21が導電板23を介してグランド電位に接続されている。このため、各導体パターン101に電荷が蓄積されているときには、その電荷が、各導体パターン101、各プローブピン21および導電板23を介してグランド電位に放電される。
続いて、制御部17は、プローブ装置12の移動機構24を制御して、移動処理を実行させる。この際に、移動機構24は、図5に示す矢印Aの向きに導電板23を一定の速度で直線的に移動させる。
次いで、図2に示すように、各プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが離反状態となったときには、導電板23を介しての各プローブピン21とグランド電位との接続が解除される。続いて、制御部17は、測定用信号生成部15を制御して測定用電流Itを出力させる。この際に、測定用信号生成部15から出力された測定用電流Itがプローブピン21a,21bを介して導体パターン101a,101bに供給される。
次いで、制御部17は、測定部16を制御して、静電容量Cmの測定を実行させる。この際に、測定部16は、測定用電流Itの供給によって生じる導体パターン101a,101bの間の電圧Vmをプローブピン21a,21bを介して入力して、その電圧値、測定用電流Itの電流値、並びにその電圧および電流の位相差に基づいて導体パターン101a,101bの間の静電容量Cmを測定する。
続いて、制御部17は、測定用信号生成部15を制御して測定用電流Itの出力を停止させると共に、測定部16によって測定された静電容量Cmの値と基準値とを比較することによって導体パターン101a,101bの良否を検査する。
次いで、図6に示すように、各プローブピン21と導電板23の挿通孔23aにおける左側の内面31の一部とが接触状態となったときには、制御部17は、プローブ装置12の移動機構24を制御して、移動処理を停止させる。この状態では、各プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが接触状態となっているため、各導体パターン101に電荷が蓄積されているときには、その電荷が、各導体パターン101、各プローブピン21および導電板23を介してグランド電位に放電される。
このプローブ装置12では、上記したように、移動機構24が導電板23を移動させることによってプローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31との接触状態および離反状態を切り替え、これによって静電容量Cmの測定の前後において各導体パターン101に蓄積されている電荷が放電される。このため、このプローブ装置12では、放電用のスイッチによって蓄積されている電荷を放電する構成とは異なり、静電容量Cmの測定の前後におけるスイッチ動作が不要なため、数多くの導体パターン101についての静電容量Cmの測定および検査を行う際においても、スイッチ動作に要する時間分だけ測定時間を短縮することが可能となる。
また、このプローブ装置12では、放電部200が導電板23と移動機構24とを備えて導電板23をグランド電位に接続するだけの簡易な構成で、しかも放電用のスイッチを含む放電用の専用の回路が不要となる結果、その分、回路構成を簡素化することが可能となっている。さらに、このプローブ装置12では、プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とを接触させることによって導体パターン101に蓄積されている電荷を放電する構成のため、導電板23の厚みを厚くすることで、通常のスイッチで採用されている接点同士を接触させる構成と比較して、プローブピン21と内面31との接触面積を十分に大きくすることができる。このため、放電時におけるスパークの発生を低く抑えることができる結果、スパークの発生に起因する動作不良を十分に低減することが可能となっている。また、このプローブ装置12では、移動機構24が導電板23を直線的に一定の速度で移動させる。このため、移動方向を途中で変更したり、移動速度を途中で変更したりする構成と比較して、単純な構造の移動機構24を用いて放電処理を行うことが可能となっている。
続いて、制御部17は、スキャナ部14を制御して、プローブピン21a,21bと測定用信号生成部15および測定部16との接続を解除させると共に、他の一対の導体パターン101(例えば、図5に示す導体パターン101b,101c)に接触している一対のプローブピン21(同図に示すプローブピン21b,21c)と測定用信号生成部15および測定部16とを接続させる。
この状態では、図6に示すように、各プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが接触状態となっているため、この時点において各導体パターン101に電荷が蓄積されているときには、その電荷が、各導体パターン101、各プローブピン21および導電板23を介してグランド電位に放電される。
次いで、制御部17は、プローブ装置12の移動機構24を制御して、移動処理を実行させる。この際に、移動機構24は、図6に示す矢印Bの向き(上記した矢印Aの向きとは逆向き)に導電板23を一定の速度で直線的に移動させる。
続いて、図2に示すように、各プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが離反状態となったときには、上記したように、導電板23を介しての各プローブピン21とグランド電位との接続が解除される。次いで、制御部17は、測定用信号生成部15を制御して測定用電流Itを出力させる。この際に、測定用信号生成部15から出力された測定用電流Itがプローブピン21b,21cを介して導体パターン101b,101cに測定用電流Itが供給される。
続いて、測定部16が、制御部17の制御に従って導体パターン101b,101cの間の静電容量Cmを測定する。次いで、制御部17は、測定用信号生成部15を制御して測定用電流Itの出力を停止させると共に、測定部16によって測定された静電容量Cmの値と基準値とを比較することによって導体パターン101b,101cの良否を検査する。
続いて、図5に示すように、各プローブピン21と導電板23の挿通孔23aにおける右側の内面31とが接触状態となったときには、制御部17は、プローブ装置12の移動機構24を制御して、移動処理を停止させる。この状態では、各プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが接触状態となっているため、各導体パターン101に電荷が蓄積されているときには、その電荷が、各導体パターン101、各プローブピン21および導電板23を介してグランド電位に放電される。
このプローブ装置12では、上記したように、図2に示す矢印Aの向き、およびそれとは逆の矢印Bの向きに移動機構24が導電板23を移動させることで、2回の静電容量Cmの測定の前後において放電処理が行われる。つまり、導電板23を1回往復移動させることで、合計3回(中間での1回は、測定の前後で兼用する)の放電処理が行われる。このため、1回の静電容量Cmの測定およびその前後における放電処理を行う度に、導電板23を初期位置(プローブピン21と内面31とが最初に接触している位置)に移動させる構成と比較して、測定時間をさらに短縮することが可能となっている。
このように、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1では、挿通孔23aに挿通されたプローブピン21に対して挿通孔23aの内面31が接離するように移動可能に配設された導電板23と導電板23を移動させる移動機構24とを備えて放電部200が構成され、導体パターン101にプローブピン21がプロービングされている状態において、移動機構24がプローブピン21と内面31内面とを接触させて放電処理を行う。このため、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、放電部200が導電板23と移動機構24とを備えて導電板23をグランド電位に接続するだけの簡易な構成で、しかも放電用のスイッチを含む放電用の専用の回路が不要となる結果、その分、回路構成を十分に簡素化することができる。
また、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とを接触させることによって導体パターン101に蓄積されている電荷を放電する構成のため、導電板23の厚みを厚くすることで、通常のスイッチで採用されている接点同士を接触させる構成と比較して、プローブピン21と内面31との接触面積を十分に大きくすることができる。したがって、このプローブ装置12および検査装置1によれば、放電時におけるスパークの発生を低く抑えることができる結果、スパークの発生に起因する動作不良を十分に低減することができる。
また、この測定装置および検査装置1によれば、測定部16がプローブ装置12におけるプローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが離反している状態において静電容量Cmを測定することにより、プローブピン21が導電板23を介してグランド電位に接続されている状態での測定が回避されるため、測定部16がプローブピン21を介して電圧Vmを確実に入力することができる結果、その電圧Vmに基づく導体パターン101の間の静電容量Cmを正確に測定することができる。
また、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、導電板23に複数の挿通孔23aを形成し、導電板23の各挿通孔23aにプローブピン21を1つずつ挿通したことにより、1つの移動機構24によって移動機構24を移動させることで、複数のプローブピン21を1つの導電板23における各挿通孔23aの内面31に一度に接触させることができる。つまり、1つの移動機構24および1つの導電板23を備えただけの簡易な構成でありながら、複数のプローブピン21を導電板23を介して一度にグランド電位に接続することができる。このため、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、1つのプローブピン21に対して導電板23および移動機構24を1つずつ備えた構成当と比較して、プローブ装置12の放電部200をさらに簡易に構成することができる。
また、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、複数のプローブピン21を導電板23を介して一度にグランド電位に接続することができるため、例えば、各プローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とが離反状態となった状態において数多く(複数組)の導体パターン101についての静電容量Cmの測定を行い、これによって数多くの導体パターン101に電荷が蓄積されたときにおいても、それらの電荷を一度に放電させることができる。
また、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、静電容量Cmの測定の前後において(つまり、測定前および測定後の2回)放電処理を行うことにより、測定前および測定後の一方においてのみ放電処理を行う構成と比較して、導体パターン101に蓄積されている電荷をより確実に放電することができるため、蓄積されている電荷による測定値への影響をより確実に防止することができる。
また、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1では、接触させているプローブピン21と導電板23における挿通孔23aの内面31とを離反させた後にプローブピン21と内面31とを再び接触させて、静電容量Cmの測定の前後において放電処理を行う。このため、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1では、導電板23を途中で停止させることなく一方向に1回移動させることで、静電容量Cmの測定前における放電処理、静電容量Cmの測定、および静電容量Cmの測定後における放電処理の3つの処理を連続的に実行させることができる。したがって、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、放電用のスイッチを動作させて導体パターン101に蓄積されている電荷を放電する構成とは異なり、静電容量Cmの測定の前後における少なくとも2回のスイッチ動作を不要とすることができる結果、数多くの導体パターン101についての静電容量Cmを測定する際においても、スイッチ動作に要する時間分だけ測定時間を十分に短縮することができる。
また、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、移動機構24が導電板23を一方向に直線的に移動させて静電容量Cmの測定の前後において放電処理を行うことにより、移動方向を途中で変更する構成と比較して、単純な構造の移動機構24を用いて静電容量Cmの測定の前後における合計2回の放電処理を行うことができるため、プローブ装置12、測定装置および検査装置1を簡易に構成することができる。
また、このプローブ装置12、測定装置および検査装置1によれば、移動機構24が移動処理において導電板23を一定の速度で移動させることにより、移動速度を途中で変更したりする構成と比較して、より単純な構造の移動機構24を用いて放電処理を行うことができるため、プローブ装置12、測定装置および検査装置1を一層簡易に構成することができる。
なお、複数のプローブピン21と、挿通孔23aが複数形成された導電板23とを備えて、各挿通孔23aにプローブピン21を1つずつ挿通したプローブ装置12を例に挙げて説明したが、1つのプローブピン21と、挿通孔23aが1つだけ形成された導電板23とを備えて、そのプローブピン21を挿通孔23aに挿通したプローブ装置を採用することもできる。また、このプローブ装置を採用したときには、このプローブ装置をプロービング機構13によって移動させて測定対象の導体パターン101にプローブピン21を接触させるフライングプローブタイプの測定装置や検査装置を構成することができる。
また、平面視が円形の挿通孔23aを導電板23に形成した例について上記したが、挿通孔23aの形状はこれに限定されず、平面視が楕円形や多角形の挿通孔23aを採用することができる。
また、移動機構24が導電板23を直線的に移動させる構成例について上記したが、移動方向を途中で変更する構成、(例えば、プローブピン21が挿通孔23aの中央部に位置した時点で移動方向を90°変更したり、180°変更したりする構成)を採用することもできる。さらに、移動機構24が導電板23を一定の速度で移動させる構成例について上記したが、導電板23の移動速度を変更する構成(例えば、プローブピン21が挿通孔23aの中央部に位置した状態で移動速度を低下させる構成)を採用することもできる。
また、電気的物理量としての静電容量Cmを測定する構成について上記したが、電圧や電流などの他の電気的物理量を測定する際に用いるプローブ装置12や測定装置に適用することもできる。