JP5323637B2 - 弾性波装置及びその製造方法 - Google Patents
弾性波装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5323637B2 JP5323637B2 JP2009228784A JP2009228784A JP5323637B2 JP 5323637 B2 JP5323637 B2 JP 5323637B2 JP 2009228784 A JP2009228784 A JP 2009228784A JP 2009228784 A JP2009228784 A JP 2009228784A JP 5323637 B2 JP5323637 B2 JP 5323637B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- insulating film
- cover
- substrate
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
図1は、本発明の実施形態に係るSAW装置1の外観斜視図である。
図5〜図7は、SAW装置1の製造方法を説明する、図3(図1のIII−III線)に対応する断面図である。製造工程は、図5(a)から図7(c)まで順に進んでいく。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子上に空間を形成しつつ前記弾性波素子を覆って封止するとともに、前記空間の外側において前記主面の面する方向へ貫通する孔部を有するカバーと、
前記孔部に充填され、前記弾性波素子に接続された端子と、
前記端子の側面と前記孔部の内壁との間に介在する絶縁膜と、
を有する弾性波装置。 - 前記絶縁膜は、少なくとも前記孔部の基板側の端部から前記空間の上面の高さまで成膜されている
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁膜は、前記カバーの材料よりも遮水性の高い材料により形成され、前記孔部内において前記主面又は前記主面に積層された層と接している
請求項1又は2に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁膜は、前記孔部の内壁から前記カバーの上面へ延在し、前記カバーの上面を覆っている
請求項3に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁膜は、前記カバーの上面から前記カバーの側面へ延在し、前記カバーの側面を覆っている
請求項4に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁膜の材料はSiO2である
請求項3〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記端子は、
前記孔部の内壁に対して前記絶縁膜上に成膜された下地層と、
前記下地層の内側において前記孔部内に充填された中実部と、
を有し、
前記孔部の内壁には、前記孔部が前記基板側において前記基板とは反対側よりも縮径する段差部が形成されており、
前記絶縁膜は、前記段差部の角部を覆い、その覆う部分において、前記下地層が成膜される表面が、前記角部よりもなだらかに形成されている
請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記端子は、
前記絶縁膜を介して前記孔部の内壁に対して成膜された下地層と、
前記下地層の内側において前記孔部内に充填された中実部と、
を有し、
前記孔部は、貫通方向の所定範囲において前記基板側が前記基板とは反対側よりも拡径し、
前記絶縁膜は、前記所定範囲において前記基板側が前記基板とは反対側よりも厚く形成されている
請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 基板の主面に弾性波素子を設ける工程と、
前記弾性波素子上に空間を形成しつつ前記弾性波素子を覆って封止しており、前記空間の外側において前記主面の面する方向へ貫通する孔部が形成されたカバーを形成する工程と、
液状の絶縁材料を前記孔部の内壁に付着させて絶縁膜を成膜する工程と、
無電解めっき法により、前記孔部の内壁に対して前記絶縁膜上に下地層を成膜する工程と、
電気めっき法により、前記下地層上に金属を析出させ、前記孔部に充填された中実部を形成する工程と、
を有する弾性波装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009228784A JP5323637B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 弾性波装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009228784A JP5323637B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 弾性波装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011077938A JP2011077938A (ja) | 2011-04-14 |
JP5323637B2 true JP5323637B2 (ja) | 2013-10-23 |
Family
ID=44021403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009228784A Active JP5323637B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 弾性波装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5323637B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021012376A1 (zh) * | 2019-07-19 | 2021-01-28 | 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 | 体声波谐振器的封装方法及封装结构 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5431198B2 (ja) * | 2010-02-10 | 2014-03-05 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
US10447411B2 (en) | 2015-08-25 | 2019-10-15 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Acoustic wave device and method of manufacturing the same |
JP6656127B2 (ja) * | 2016-09-21 | 2020-03-04 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
WO2018198952A1 (ja) | 2017-04-24 | 2018-11-01 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置およびその製造方法 |
CN111480294B (zh) * | 2017-12-27 | 2023-08-01 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN108964629A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-12-07 | 武汉大学 | 一种可调谐的薄膜体声波谐振器 |
CN117859267A (zh) * | 2021-08-20 | 2024-04-09 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置以及弹性波装置的制造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3951944B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US20070176294A1 (en) * | 2004-03-26 | 2007-08-02 | Fujikura Ltd. | Thorough wiring board and method of manufacturing the same |
JP2005295363A (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波体 |
JP2006279872A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子及びその製造方法並びにその圧電振動子を用いた圧電発振器の製造方法 |
JP2007305960A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-22 | Sharp Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009010559A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電部品及びその製造方法 |
JP2009117730A (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 樹脂封止を用いた中空構造ウェハレベルパッケージ |
WO2009096563A1 (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Kyocera Corporation | 弾性波装置およびその製造方法 |
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009228784A patent/JP5323637B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021012376A1 (zh) * | 2019-07-19 | 2021-01-28 | 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 | 体声波谐振器的封装方法及封装结构 |
US11870410B2 (en) | 2019-07-19 | 2024-01-09 | Ningbo Semiconductor International Corporation | Packaging method and packaging structure of film bulk acoustic resonator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011077938A (ja) | 2011-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5323637B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP5282141B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP6603377B2 (ja) | 弾性波装置および電子部品 | |
JP5497795B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5755434B2 (ja) | 弾性波装置およびその製造方法 | |
JP5514898B2 (ja) | 弾性波装置およびその製造方法 | |
JP2012084954A (ja) | 弾性波素子とこれを用いた電子機器 | |
JP5398561B2 (ja) | 弾性波装置およびその製造方法 | |
JP5815365B2 (ja) | 弾性波装置、電子部品および弾性波装置の製造方法 | |
JP2012109925A (ja) | 弾性波装置およびその製造方法 | |
JP5501792B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP2012029134A (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP5546203B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP5865698B2 (ja) | 弾性波装置、電子部品および弾性波装置の製造方法 | |
JP2017017730A (ja) | 弾性波装置および回路基板 | |
JP6542818B2 (ja) | 弾性波装置およびその製造方法 | |
JP5596970B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP2014222886A (ja) | 弾性波装置および回路基板 | |
JP5514478B2 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP6646089B2 (ja) | 弾性波装置および回路基板 | |
JP2012080188A (ja) | 弾性波装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120413 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130717 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5323637 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |