JP5501792B2 - 弾性波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(SAW装置の構成)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るSAW装置1の外観斜視図である。
図8(a)〜図10(c)は、SAW装置1の製造方法を説明する、図4(図3のIV−IV線)に対応する断面図である。製造工程は、図8(a)から図10(c)まで順に進んでいく。
図11は、第2の実施形態のSAW装置101を示す、第1の実施形態の図3に相当する平面図である。
図13は、第3の実施形態のSAW装置201の要部を示す、第1の実施形態の図5に相当する断面図である。
図14(a)〜図14(c)は、第4の実施形態のSAW装置の製造方法を説明する断面図である。
Claims (10)
- 基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子に積層される保護層と、
前記主面の平面視において前記弾性波素子を囲む枠部と、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部とを有するカバーと、
前記枠部の内壁面から前記枠部の枠内の前記基板の主面上にかけて形成され、前記主面上において前記保護層に積層された絶縁膜と、
を有する弾性波装置。 - 前記絶縁膜はSiO2からなる
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁膜は、前記保護層と同一の材料により形成されている
請求項1又は2に記載の弾性波装置。 - 前記主面に立てて設けられ、前記枠部及び前記蓋部を貫通する端子を更に有し、
前記絶縁膜は、前記端子が貫通する前記枠部の孔部の内周面から前記孔部の内側の前記主面上にかけても形成されている
請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁膜は、前記枠部の内壁面から前記枠部と前記蓋部との間に延在している
請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁膜は、前記枠部と前記蓋部との間から前記枠部の外壁面に延在し、さらに、前記枠部の外側の前記基板の主面上に延在している
請求項5に記載の弾性波装置。 - 基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記主面の平面視において前記弾性波素子を囲む枠部と、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部とを有するカバーと、
前記枠部の内壁面から前記枠部の枠内の前記基板の主面上にかけて形成された絶縁膜と、
前記主面に設けられ、前記弾性波素子に接続された第1配線と、
前記第1配線上に設けられた絶縁体と、
前記絶縁体上に設けられ、前記第1配線と立体配線部を構成する第2配線と、
を有し、
前記立体配線部は、前記枠部の枠内に配置されており、
前記絶縁膜は、前記立体配線部を覆っている
弾性波装置。 - 基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記主面の平面視において前記弾性波素子を囲む枠部と、前記枠部の開口を塞ぐ蓋部とを有するカバーと、
前記枠部の内壁面から前記枠部の枠内の前記基板の主面上にかけて形成された絶縁膜と、
前記主面に設けられ、前記弾性波素子に接続された第1配線と、
前記第1配線上に設けられた絶縁体と、
前記絶縁体上に設けられ、前記第1配線と立体配線部を構成する第2配線と、
を有し、
前記枠部は、前記立体配線部に積層されており、
前記絶縁膜は、前記枠部の、前記立体配線部と前記弾性波素子との間に位置する内壁面から前記枠部の枠内の前記基板の主面上にかけて形成されている
弾性波装置。 - 前記枠部の内壁面は、前記基板の主面側ほど幅広になるように傾斜している
請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 基板の主面に弾性波素子を形成する工程と、
前記弾性波素子に積層される保護層を形成する工程と、
前記主面の平面視において前記弾性波素子を囲む枠部を形成する工程と、
前記枠部の内壁面から前記枠部の枠内の前記基板の主面上にかけて配置され、前記主面上において前記保護層に積層される絶縁膜を形成する工程と、
前記枠部を塞ぐ蓋部を形成する工程と、
を有する弾性波装置の製造方法。
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