JP5307373B2 - 光走査型顕微鏡 - Google Patents
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Description
また、有限遠型の対物レンズに、アダプタレンズが着脱可能となっている顕微鏡も開示されている(例えば、特許文献2参照。)。これによれば、細径の有限遠対物とアダプタレンズとを組み合わせ、アダプタレンズを光軸方向に移動させることにより、対物レンズの作動距離を変化させる用になっている。
本発明は、試料からの光を略平行光に変換する対物光学系と、該対物光学系からの略平行光を所定の位置に結像する結像光学系と、該結像光学系により所定の位置に結像された光を略平行光束にする瞳投影光学系と、該瞳投影光学系からの略平行光束の角度を偏向させて試料の観察位置を横方向に走査する横方向走査手段と、該横方向走査手段を経由した前記試料からの光を検出する光検出器と、前記結像光学系または前記瞳投影光学系の少なくとも一方を光軸方向に駆動することで、前記対物光学系の作動距離を変化させるレンズ駆動手段とを備え、前記結像光学系は、前記試料側を前側として、その前側焦点が前記対物光学系の後側焦点の近傍に位置するように配置されている光走査型顕微鏡を提供する。
ここで、略平行光は、厳密な平行光のみならず、緩い角度の発散光および収束光を含む。
|D1a×Δs|/(Ftl)2≦0.05 (1)
ここで、Δs:前記結像光学系の全移動距離、D1a:前記結像光学系の移動で中間位置に来たときの前記対物光学系の後側焦点と前記結像光学系の前側焦点との間隔、Ftl:前記結像光学系の焦点距離である。
このようにすることで、作動距離を変化させたときの倍率の変化を小さくすることができる。
このようにすることで、作動距離を変化させたときの倍率の変化をなくすことができる。
|D1×δs|/(Ftl)2≦0.05 (2)
ここで、δs:前記瞳投影光学系の全移動距離、D1:前記対物光学系の後側焦点と前記結像光学系の前側焦点との間隔、Ftl:前記結像光学系の焦点距離である。
このようにすることで、作動距離を変化させたときの倍率の変化を小さくすることができる。
このようにすることで、作動距離を変化させたときの倍率の変化をなくすことができる。
このようにすることで、作動距離を変化させたときの倍率の変化をより小さく抑えることができる。
このようにすることで、試料側をテレセントリック光学系(射出瞳が無限大)に近くすることができる。
さらに、上記発明においては、前記対物光学系の先端を前記試料に密着させた状態で観察を行うこととしてもよい。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1は、レーザ光を出射するレーザ光源2と、該レーザ光源2からのレーザ光を集光するカップリング光学系3と、該カップリング光学系3により集光されたレーザ光を導光する光ファイバ4と、該光ファイバ4によってレーザ光源と接続された顕微鏡本体5と、検出光学系15と、これらを制御する制御部16と、検出光学系15により検出された蛍光または反射光の画像を表示する表示部(図示略)とを備えている。
顕微鏡本体5は、相互に直交する3軸(XYZ)方向に移動可能に設けられるとともに、各軸回りに回転可能に設けられており、対物光学系11の先端の位置および角度を任意に調節することができるようになっている。
対物光学系11は、その先端を試料Aに密着させることにより、試料Aの呼吸や拍動による観察像のブレを抑えるようになっている。
|D1a×Δs|/(Fla)2≦0.05 (1)
ここで、Δs:結像光学系10の全移動距離、D1a:結像光学系10の移動で中間位置に来たときの対物光学系11の後側焦点と結像光学系10の前側焦点との間隔、Fla:結像光学系10の焦点距離である。
本実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1を使用して試料Aの観察を行うには、対物光学系11の先端を試料Aに密着させた状態で、レーザ光源2から光ファイバ4を介して顕微鏡本体5に導かれたレーザ光をダイクロイックミラー7により偏向し、近接ガルバノミラー8によって2次元的に走査し、瞳投影光学系9、結像光学系10および対物光学系11を介して試料Aに集光する。
したがって、対物光学系11を動かすことなく、試料A内の任意の深さの画像を観察することができる。さらに、結像光学系10を動かしながら複数の画像を取得すれば、試料Aの3次元画像を取得することができる。
図2は、各光学系の基準位置、図3は該基準位置から移動した状態をそれぞれ示している。
基準位置は、結像光学系10と瞳投影光学系9がアフォーカル光学系となる(すなわち、結像光学系10の後側焦点と、瞳投影光学系9の前側焦点が一致している)ように配置し、さらに、対物光学系11の位置を該対物光学系11の後側焦点と結像光学系10の前側焦点との間隔がD1となるように配置した位置とする。
P1:対物光学系11の前側焦点、
P2:対物光学系11の位置、
P3:対物光学系11の後側焦点、
P4:結像光学系10の前側焦点、
P5:結像光学系10の位置、
P6:結像光学系10の後側焦点および瞳投影光学系9の前側焦点
P7:瞳投影光学系9の位置、
P8:瞳投影光学系9の後側焦点。
Zwd=n(Δ−δ)(Fob/Ftl)2/(1+A) (3)
瞳投影光学系9の後側での平行光束が光軸に対して角度θplとなる場合の試料A側の結像位置の光軸に垂直方向の高さYobの比、すなわち、(θpl/Yob)は、
(θpl/Yob)=M/Fpl (4)
ただし、
M=−(Ftl/Fob)(1+A) (5)
A=(D1+Δ)(Δ−δ)/Ftl2 (6)
Zwd:対物光学系11の作動距離の基準位置P1からの変化量、
Δ:結像光学系10の基準位置P5からの変位量
δ:瞳投影光学系9の基準位置P7からの変位量
n:試料側の屈折率
Fob:対物光学系11の焦点距離
Ftl:結像光学系10の焦点距離
Fpl:瞳投影光学系9の焦点距離
M:試料を対物光学系11と結像光学系10により結像した場合の横倍率
θpl:物体の光線高Yobのとき、瞳投影光学系9より後側の平行光の光軸に対する角度(近接ガルバノミラー8の角度の半値に対応)。
Zp={δ−(Fpl/Ftl)2・(D1+Δ)/(1+A)} (7)
となる。
Zwd=n×Δ(Fob/Ftl)2/(1+Atl) (3′)
の関係が成り立つ。
ここで、
(θpl/Yob)=Mtl/Fpl (4′)
ただし、
Mtl=−(Ftl/Fob)(1+Atl) (5′)
Atl=(D1+Δ)×Δ/Ftl2 (6′)
である。
ここで、結像光学系の移動範囲をΔ=0(瞳光学系と結像光学系がアフォーカルになる位置)の近傍で動かし、かつ、対物光学系の後側焦点を結像光学系の前側焦点近傍にする、すなわちD1を小さくするように各光学系を配置することが望ましい。
こうすると、式(6′)より Δ=0近傍でのΔに対するAtlの変化量が小さくなるので、結像光学系を動かしても(Δを変えても)横倍率Mtlや光線角度と物体高の比(θpl/Yob)の変化を小さくすることができる。
具体的には D1aは、前記式(1)を満足するように設定すすることが望ましく、この条件によりAtlおよび横倍率Mtlの変化をほぼ5%以下に抑えることができる。
図5はΔ(結像光学系の変位)を横軸、縦軸にZwd(作動距離WDの変化)をとったもの、図6はΔを横軸、(θpl/Yob)すなわち、横倍率Mに比例する量を縦軸に示したものである。
例えば、Fob=9mm,Ftl=50mm,Fpl=12mm、Δ:−1.5mm〜+1.5mm、すなわち、Δs=3mm、D1a=15mmの場合を図5、図6において実線(A)で示した。
|D1a×Δs|/(Ftl)2=0.018≦0.05 (1)
となり、前記式(1)を満足する。
このとき、Atlの変化は結像光学系の可動範囲でわずか0.0018である。このように、式(1)を満たすと、(6′)のAtlの値の変化が結像レンズを動かす範囲全域にわたって小さくなるので、作動距離WDが変化しても、(5′)の横倍率Mtlの変化および、光線角度と物体高の比(4′)の(θpl/Yob)の変化が実用上十分なほど小さくなる。
この場合には、Δに関するAtlの傾きがΔ=0の近くでは0になるので、横倍率の変化が非常に小さくなる。本実施例では全領域にわたってもAtlの変化は0.0009である。
なお、本実施形態の説明において、上述した第1の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
瞳投影光学系9を光軸方向に駆動することにより作動距離が変化するので、試料A内の任意の深さの画像を観察することができる。
Zwd=−n×δ(Fob/Ftl)2/(1+Apl) (3″)
の関係が成り立つ。
ここで、
(θpl/Yob)=Mpl/Fpl (4″)
ただし、
Mpl=−(Ftl/Fob)(1+Apl) (5″)
Apl=−δ×D1/Ftl2 (6″)
である。
ここで、対物光学系11の後側焦点を結像光学系10の前側焦点近傍にする、すなわちD1を小さくすることが望ましい。D1が小さいと、瞳投影光学系を動かしても(δを変えても)横倍率Mplや光線角度と物体高の比(θpl/Yob)の変化が小さくすることができる。
Zwdの変化する範囲は主にδの動く範囲できまるので、δの範囲は大きくは変わらない。したがって、Mplの変化は主にD1で決まることになる。
具体的には、瞳投影レンズの全移動量δsに対して、
|D1 ×δs|/Ftl2≦0.05 (2)
とすることが望ましい。
この条件により、Aplの変化を0.05以下に抑えることができる。
図9はδ(瞳投影光学系の変位)を横軸、縦軸にZwd(作動距離WDの変化)をとったもの、図10はδを横軸、(θpl/Yob)、すなわち、横倍率に比例する量を縦軸に示したものである。
例えば、Fob=9mm,Ftl=50mm,Fpl=12mm、δ:−1.5mm〜+1.5mm、すなわち、δs=3mm、D1a=15mmの場合を図9、図10において実線(A)で示した。
|D1×δs|/Ftl2=0.018≦0.05
となるので、前記式(2)を満足する。
このとき、Aplの変化はわずか0.0018である。このように、式(2)を満たすと、式(6″)のAplの値の変化が小さくなるので、作動距離WDが変化しても、式(5″)の横倍率Mplの変化および、式(4″)
の光線角度と物体高の比(θpl/Yob)の変化が実用上十分なほど小さくなる。」
この場合には、Aplはδの値にかかわらず、常にApl=0になるので、横倍率はまったく変化しなくなる。
なお、本実施形態の説明において、上述した第1の実施形態に係るレーザ走査型顕微鏡1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
瞳位置調整手段42による射出瞳の位置Zpの調整は、式(7)に従って行えばよい。ここで、Zp=0は、図2に示される基準位置における瞳投影光学系9の後側焦点位置に一致している。
Zp={δ−(Fpl/Ftl)2・D1/(1+A)}
式(1)または式(2)が成立する場合には、1>>Aであるので、
Zp=δ−(Fpl/Ftl)2・D1となり、図12に示されるように、瞳投影光学系9の変位δに対して射出瞳の位置Zpを線形に、ほぼ同じ量δだけスライドさせればよい。
Zp=−(Fpl/Ftl)2・(D1+Δ)
したがって、図12に示されるように、結像光学系10の変位Δに対して射出瞳の位置Zpを線形に−(Fpl/Ftl)2・Δだけスライドさせればよい。
1,30,40 レーザ走査型顕微鏡(光走査型顕微鏡)
4a 出射端(光射出部)
6 コリメート光学系(第1のコリメート光学系)
7 ダイクロイックミラー(検出光分離手段)
8 近接ガルバノミラー(横方向走査手段)
9 瞳投影光学系
10 結像光学系
11 対物光学系
12,12′ レンズ駆動手段
13 カップリング光学系(第2のコリメート光学系)
14a 入射端(光受光部)
41 スキャン光学系
42 瞳位置調整手段
Claims (9)
- 試料からの光を略平行光に変換する対物光学系と、
該対物光学系からの略平行光を所定の位置に結像する結像光学系と、
該結像光学系により所定の位置に結像された光を略平行光束にする瞳投影光学系と、
該瞳投影光学系からの略平行光束の角度を偏向させて試料の観察位置を横方向に走査する横方向走査手段と、
該横方向走査手段を経由した前記試料からの光を検出する光検出器と、
前記結像光学系または前記瞳投影光学系の少なくとも一方を光軸方向に駆動することで、前記対物光学系の作動距離を変化させるレンズ駆動手段とを備え、
前記結像光学系は、前記試料側を前側として、その前側焦点が前記対物光学系の後側焦点の近傍に位置するように配置されている光走査型顕微鏡。 - 前記レンズ駆動手段が、前記結像光学系を光軸方向に駆動し、
前記瞳投影光学系が固定され、
以下の式(1)を満たす請求項1に記載の光走査型顕微鏡。
|D1a×Δs|/(Ftl)2≦0.05 (1)
ここで、
Δs:前記結像光学系の全移動距離、
D1a:前記結像光学系の移動で中間位置に来たときの前記対物光学系の後側焦点と前記結像光学系の前側焦点との間隔、
Ftl:前記結像光学系の焦点距離
である。 - D1a=0
である請求項2に記載の光走査型顕微鏡。 - 前記レンズ駆動手段が前記瞳投影光学系を光軸方向に駆動し、
前記結像光学系が固定され、
以下の条件式(2)を満たす請求項1に記載の光走査型顕微鏡。
|D1×δs|/(Ftl)2≦0.05 (2)
ここで、
δs:前記瞳投影光学系の全移動距離、
D1:前記対物光学系の後側焦点と前記結像光学系の前側焦点との間隔、
Ftl:前記結像光学系の焦点距離
である。 - D1=0
である請求項4に記載の光走査型顕微鏡。 - 前記瞳投影光学系または前記結像光学系の少なくとも一方が、互いにアフォーカル光学系として成立する位置を中心として移動させられる請求項1から請求項5のいずれかに記載の光走査型顕微鏡。
- 前記瞳投影光学系の後側焦点近傍に前記横方向走査手段が配置されている請求項1から請求項6のいずれかに記載の光走査型顕微鏡。
- 試料を照明または励起する光を射出する光射出部と、
前記光検出器へ向けて導かれる前記試料からの光を受光する光受光部と、
前記光射出部からの光を略平行光にする第1のコリメート光学系と、
前記試料からの光を前記光受光部に集光する第2のコリメート光学系と、
前記光射出部からの光と試料からの光とを分離する検出光分離手段と、
前記横方向走査手段とを備えるスキャン光学系と、
該スキャン光学系を前記瞳投影光学系の光軸方向に移動させて前記横方向走査手段近傍に瞳位置を一致させる瞳位置調整手段とを備える請求項1から請求項7のいずれかに記載の光走査型顕微鏡。 - 前記対物光学系の先端を前記試料に密着させた状態で観察を行う請求項1から請求項8のいずれかに記載の光走査型顕微鏡。
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