JP5278808B2 - 三次元形状測定装置 - Google Patents
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Description
3 被検物
14 ヘッド駆動部(移動機構、並進移動機構)
20 光プローブ(撮像装置)
30 支持装置
33 ステージ駆動部(移動機構、回転移動機構)
43 ジョイスティック(操作装置)
52 画像処理部(測定処理部)
53 駆動制御部(作動制御装置)
101 測定機本体(第2実施形態)
102 基台(支持装置)
103 被検物
114 ヘッド駆動部(移動機構、並進移動機構、回転移動機構)
120 光プローブ(撮像装置)
143 ジョイスティック(操作装置)
153 駆動制御部(作動制御装置)
WD ワークディスタンス
Claims (5)
- 被検物が載置される支持装置と、
前記支持装置上に載置された前記被検物を照明し前記被検物からの光を受光して前記被検物を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置により撮像された前記被検物の画像に基づき被検物測定する測定処理部と、
前記支持装置および前記撮像装置を互いに直交する3軸回りの相対回転移動と前記3軸方向の相対平進移動とのうちの少なくとも3つの相対移動を可能に支持する移動機構と、
前記支持装置および前記撮像装置を前記相対移動させる制御を行う作動制御装置とを有して構成される三次元形状測定装置であって、
前記作動制御装置は、前記撮像装置による前記被検物上の撮像部位を走査するために前記撮像装置および前記支持装置の相対移動制御を行う第1の作動制御モードと、前記撮像装置が前記撮像部位を撮像可能な状態を維持して前記撮像装置および前記支持装置の相対移動制御を行う第2の作動制御モードとを有していることを特徴とする三次元形状測定装置。 - 前記移動機構の作動を前記作動制御装置を介して操作する操作装置を更に備え、
前記作動制御装置は、前記操作装置からの操作信号に基づき、前記第1もしくは第2作動制御モードによる前記相対移動の制御を行うように構成されることを特徴とする請求項1に記載の三次元形状測定装置。 - 前記作動制御装置は、前記第2の作動制御モードにおいて、前記撮像装置と前記被検物の観察位置との間の距離であるワークディスタンスを一定に維持した状態を保ちつつ前記相対移動の制御を行うように構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の三次元形状測定装置。
- 前記移動機構が、前記撮像装置を前記3軸方向に並進移動可能に支持する並進移動機構と、前記支持装置を前記3軸のうちの少なくとも2軸回りに回転移動可能に支持する回転移動機構とから構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の三次元形状測定装置。
- 前記移動機構が、前記撮像装置を前記3軸方向の並進移動可能に支持する並進移動機構と、前記撮像装置を前記3軸のうちの所定の軸回りに回転移動可能に支持するとともに、前記所定の軸に直交する平面内に延びて前記所定の軸回りの回転に伴って前記平面内で回転変位する回転軸を中心として回転移動可能に支持する回転移動機構とから構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の三次元形状測定装置。
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