JP5641514B2 - 非接触変位計測装置 - Google Patents
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Description
(第1実施形態に係る非接触変位計測装置の構成)
図1は、第1実施形態に係る非接触変位計測装置の機能を有する3次元測定装置全体を示す斜視図である。3次元測定装置は、非接触型の3次元測定機1と、この3次元測定機1を駆動制御すると共に必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2とにより構成されている。
次に、図6を参照して、第1実施形態に係る3次元測定装置(非接触変位計測装置)の動作について説明する。図6に示すように、第1実施形態に係る3次元測定装置において、第1〜第3測定ユニット17A〜17C(第1〜第3レーザプローブ35a〜35c)は、第1ゲート状駆動部14A(第1〜第3支持アーム14a〜14c)により、測定テーブル13に対してY軸方向に同時に相対移動する。そして、Y軸方向の各位置において、各第1〜第3測定ユニット17A〜17C(第1〜第3レーザプローブ35a〜35c)は、独立した方向にそれぞれ駆動される。第1、第2測定ユニット17A、17B(第1、第2レーザプローブ35a、35b)は、Z軸方向に駆動する。第3測定ユニット17C(第3レーザプローブ35c)は、X軸に方向に駆動する。つまり、第1実施形態に係る3次元測定装置は、ワーク12に3つの入射角をもってレーザ光を照射するように第1〜第3測定ユニット17A〜17C(第1〜第3レーザプローブ35a〜35c)を配置している。また、第1、第2測定ユニット17A、17B(第1、第2レーザプローブ35a、35b)は、所定範囲に亘ってX軸方向にも移動する。第3測定ユニット17C(第3レーザプローブ35c)は、所定範囲に亘ってZ軸方向にも移動する。
次に、第1実施形態に係る3次元測定装置(非接触変位計測装置)の効果について説明する。第1実施形態に係る3次元測定装置は、上記のように動作可能であるので、第1ゲート状駆動部14AをY軸方向に移動させる度に、ワーク12の3方向の面に対する変位量を同時に測定することができる。さらに、第1実施形態に係る3次元測定装置は、上記のように動作可能であるので、その計測経路、計測順序等の制御方法は従来に比べて簡略化される。よって、第1実施形態によれば、短時間で計測を行うことができる。また、その制御に用いられるパートプログラムの作成時間も短縮することができる。
(第2実施形態に係る非接触変位計測装置の構成)
次に、図7を参照して、本発明の第2実施形態に係る非接触変位計測装置の機能を有する3次元測定機装置の構成について説明する。なお、第2実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
次に、図10を参照して、第2実施形態に係る3次元測定装置(非接触変位計測装置)の動作について説明する。図10に示すように、第2実施形態に係る3次元測定装置において、第4測定ユニット17D(第4レーザプローブ35d)は、第2ゲート状駆動部14Bにより、測定テーブル13に対してY軸方向に相対移動する。そして、Y軸方向の各位置において、第4測定ユニット17D(第4レーザプローブ35d)は、第2ゲート状駆動部14Bの円弧状の形状に沿った円周方向Rに移動する。また、第4測定ユニット17D(第4レーザプローブ35d)は、円周移動機構にて移動する軌跡(円周方向R)と直交する直交方向Fに移動する。
次に、第2実施形態に係る3次元測定装置(非接触変位計測装置)の効果について説明する。第2実施形態に係る3次元測定装置は、上記のように動作可能であるので、第2ゲート状駆動部14BをY軸方向に移動させる度に(Y軸方向の所定位置で)、ワーク12のY軸方向に対して直交する面方向の変位量を、複数測定することができる。よって、第2実施形態に係る3次元測定装置は、第1実施形態と同様の効果を奏する。
以上、発明の一実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。
Claims (5)
- 被測定対象を載置可能に構成された測定テーブルと、
前記被測定対象に光を照射すると共に当該光に基づく反射光を受光し且つ当該反射光に基づき前記被測定対象の変位量を計測する複数の変位計測部と、
前記測定テーブルに対して平行な第1軸に沿って当該測定テーブルから相対移動可能に構成され、前記測定テーブルに対して直交する第2軸方向に広がり且つ前記第1軸及び前記第2軸に直交する第3軸方向の前記測定テーブルの両端近傍に端部を有するゲート状に形成されたゲート状駆動部と
を備え、
前記複数の変位計測部は、第1方向の前記変位量を計測する第1変位計測部、並びに、前記第1方向とは異なる第2方向の前記変位量を計測する第2変位計測部を含み、
前記ゲート状駆動部は、前記被測定対象に対して少なくとも2方向から光を照射させるように前記第1及び第2変位計測部を配置可能に構成されている
ことを特徴とする非接触変位計測装置。 - 前記ゲート状駆動部は、
当該ゲート状駆動部の形状に沿って前記変位計測部を移動可能に構成された移動機構を備え、
当該移動機構の所定位置に前記変位計測部を移動させる移動制御部
を備えることを特徴とする請求項1記載の非接触変位計測装置。 - 前記ゲート状駆動部は、
前記第2軸方向に延びる第1支持部と、
前記第2軸方向に延び且つ前記第1支持部から前記第3軸方向に離れる位置に設けられた第2支持部と、
前記第1支持部の上部及び前記第2支持部の上部を連結するように設けられた第3支持部と
を備え、
前記第1支持部、前記第2支持部、及び前記第3支持部によりゲート状に形成されている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の非接触変位計測装置。 - 前記変位計測部は、
前記第1支持部、前記第2支持部、及び前記第3支持部の少なくともいずれか2つにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項3記載の非接触変位計測装置。 - 前記第1支持部及び前記第2支持部の少なくともいずれかに設けられた前記変位計測部は、前記第3軸方向に移動可能に構成され、
前記第3支持部に設けられた前記変位検出部は、前記第2軸方向に移動可能に構成されている
ことを特徴とする請求項3又は請求項4記載の非接触変位計測装置。
Priority Applications (1)
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JP2010011802A JP5641514B2 (ja) | 2010-01-22 | 2010-01-22 | 非接触変位計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010011802A JP5641514B2 (ja) | 2010-01-22 | 2010-01-22 | 非接触変位計測装置 |
Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010011802A Active JP5641514B2 (ja) | 2010-01-22 | 2010-01-22 | 非接触変位計測装置 |
Country Status (1)
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