JP5384193B2 - 被加工物の保持ユニット - Google Patents
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Description
18 チャックテーブル
28 切削ブレード
50 サブストレート
52 凹部
56,64 貫通孔
58 ドレスボード
60 粘着シート
62 環状フレーム
66,66A 保持ユニット
68 切削溝
72 サブストレート
74 仮止め部材
Claims (4)
- 被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルに吸引保持された該被加工物に切削溝を形成する切削ブレードを有する切削手段とを備えた切削装置において使用される被加工物の保持ユニットであって、
該被加工物が載置される載置領域と、該被加工物の位置ずれを防止する位置ずれ防止手段とを有するサブストレートと、
該サブストレートに貼着された粘着シートと、
該粘着シートの外周縁に貼着された環状フレームとを具備し、
該サブストレートの前記載置領域及び該粘着シートには該サブストレートと該粘着シートとを貫通する複数の貫通孔が形成されており、
該被加工物が該サブストレート上に載置され、該保持テーブル上で吸引保持されることで、該被加工物と該被加工物の保持ユニットとが一体化して該保持テーブルにより保持されることを特徴とする被加工物の保持ユニット。 - 前記位置ずれ防止手段は、前記サブストレートに形成された該被加工物が載置される凹部から構成され、
該凹部の深さは、該被加工物の厚みから前記切削溝の深さを引いた切り残し厚みより浅い請求項1記載の被加工物の保持ユニット。 - 前記位置ずれ防止手段は、該被加工物外周の少なくとも3点に接するように前記サブストレート上に配設された仮止め部材から構成され、
該仮止め部材の高さは、該被加工物の厚みから前記切削溝の深さを引いた切り残し厚みより低い請求項1記載の被加工物の保持ユニット。 - 前記被加工物はドレスボードから構成される請求項1〜3の何れかに記載の被加工物の保持ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009119674A JP5384193B2 (ja) | 2009-05-18 | 2009-05-18 | 被加工物の保持ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009119674A JP5384193B2 (ja) | 2009-05-18 | 2009-05-18 | 被加工物の保持ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010264575A JP2010264575A (ja) | 2010-11-25 |
JP5384193B2 true JP5384193B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=43362025
Family Applications (1)
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JP2009119674A Active JP5384193B2 (ja) | 2009-05-18 | 2009-05-18 | 被加工物の保持ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5384193B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6246566B2 (ja) * | 2013-11-11 | 2017-12-13 | 株式会社ディスコ | ドレス方法 |
JP6376852B2 (ja) * | 2014-06-11 | 2018-08-22 | 株式会社ディスコ | ドレッシングボードの保持治具 |
JP2016078215A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | 株式会社ディスコ | サブチャックテーブル |
JP7282466B2 (ja) * | 2019-07-18 | 2023-05-29 | 株式会社ディスコ | ドレッシング部材及びドレッシング方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH031172Y2 (ja) * | 1985-05-16 | 1991-01-16 | ||
JPH0720231U (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-11 | ローランドディー.ジー.株式会社 | バキュームテーブル |
JP2001121413A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-05-08 | Toshiba Mach Co Ltd | 平板状の被加工材の保持方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2010264575A (ja) | 2010-11-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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