JP5135611B2 - テスト装置 - Google Patents
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図1を参照して、テスト装置101は、テスタ本体51と、テストヘッド52と、ケーブル8〜10とを備える。テストヘッド52は、複数のインタフェース基板3と、複数のピンカード6,7とを含む。
Claims (2)
- 複数の半導体装置を試験するテスト装置であって、
前記複数の半導体装置の一部である1または複数の基準半導体装置の基準電位レベルを測定する基準電位測定回路と、
前記測定されたレベルに基づいて前記複数の半導体装置に共通の電源電圧を供給する電源電圧供給回路と、
前記半導体装置に対応して設けられ、対応の前記半導体装置の基準電位レベルを検知し、前記基準電位レベルを共通の所定値に制御する複数の基準電位制御回路と、
前記基準半導体装置の基準電位ノードと前記基準半導体装置以外の前記半導体装置に対応する前記基準電位制御回路とを電気的に接続するケーブルとを備え、
前記基準半導体装置以外の前記半導体装置に対応する前記基準電位制御回路は、前記ケーブルによって伝達される前記基準半導体装置の基準電位レベルになるように対応の前記半導体装置の基準電位レベルを制御する、テスト装置。 - 複数の半導体装置を試験するテスト装置であって、
前記複数の半導体装置の一部である1または複数の基準半導体装置の基準電位レベルを測定する基準電位測定回路と、
前記測定されたレベルに基づいて前記複数の半導体装置に共通の電源電圧を供給する電源電圧供給回路と、
前記半導体装置に対応して設けられ、対応の前記半導体装置の基準電位レベルを検知し、前記基準電位レベルを共通の所定値に制御する複数の基準電位制御回路と、
前記半導体装置に対応して設けられ、対応の前記半導体装置が着脱可能に装着される複数のインタフェース基板とを備え、
各前記基準電位制御回路は、対応の前記インタフェース基板に装着され、前記インタフェース基板を介して対応の前記半導体装置の基準電位レベルの検知および制御を行ない、
前記テスト装置は、さらに、
前記基準半導体装置に対応する前記インタフェース基板と前記基準電位測定回路とを電気的に接続するケーブルを備え、
前記基準電位測定回路は、前記ケーブルを介して前記基準半導体装置の基準電位レベルを測定する、テスト装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP5135611B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2555426B1 (en) | 2010-04-01 | 2019-01-09 | Daishinku Corporation | Base of surface-mount-type electronic component-use package, and surface-mount-type electronic component-use package |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2540713Y2 (ja) * | 1991-03-11 | 1997-07-09 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験装置 |
JPH06331700A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Icテスターのgndバッファ回路 |
JP3144259B2 (ja) * | 1995-01-31 | 2001-03-12 | 安藤電気株式会社 | プログラム電圧印加回路 |
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JP2010085232A (ja) | 2010-04-15 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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