JP5085387B2 - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Description
一方、レーザ変位計を用いた非接触式計測方法も知られているが(特許文献1〜3参照)、前記のような形状精度を知るには、いずれにしても被検査体自体をレーザ変位計の前で移動させるかレーザ変位系を走査させる必要があり、測定に時間がかかる点は同様である。
キャリブレーションでは、所定間隔を置いて対向配置されたN組のレーザ変位計の間に、標準試料を長さ方向が照射ビームに対し平行になるように位置決めし、レーザビームを照射して標準試料の両端面までの距離を測定し、この位置を各測定ポイントにおける基準位置(ゼロ点)として設定する。なお、標準試料の代わりに、両端の端面が長さ方向に対し正確に垂直で、両端面間の長さが標準試料とは異なるが既知の他の試料を用いて、標準試料に対応する基準位置を設定(補正が必要)することもできる。
図1(a)に示すように、標準試料1の長さをL0、対向配置されたレーザ変位計2,3から標準試料1の端面までの距離をα0,β0、レーザ変位計2,3間の距離をWとしたとき、次式が成立する。
W=L0+(α0+β0)・・・(1)
次に図1(b)に示すように、被検査体4の長さをL、被検査体4の端面までの距離をα,βとしたとき、次式が成立する。
W=L+(α+β)・・・(2)
(1)、(2)式より、次式が成立する。
L=L0−{(α−α0)+(β−β0)}・・・(3)
L=L0−(Δα+Δβ)・・・(4)
このように、標準試料に対して設定された基準位置からの変位Δα,Δβに基づいて、被検査体4の押出方向に沿った長さ(切断長さ)を算出することができる。本発明では被検査体4の両切断端面にN組の測定ポイントが設定されるから、被検査体4の断面のN組の測定ポイントにおいて切断長さを算出することになる。なお、切断長さを求める場合、対向配置されたレーザ変位計は、照射光軸をなるべく正確に一直線上に置くようにすることが望ましい。続いて算出した切断長さLを基準値L0と比較し、当該被検査体4の切断長さLが予め設定した公差範囲内であるかどうかを判定する。
両切断端面の平行度については、対向配置されたレーザ変位計に対応するN組の測定ポイント毎に、前記変位に基づいて前記被検査体の切断長さを求め、その最大値Lmaxと最小値LminからΔL=Lmax−Lminを両切断端面の平行度として算出する。必要に応じてΔLが公差範囲内(平行度の基準値は0)であるかどうかを判定する。
各切断端面の押出方向に対する直角度については、各切断端面の隅部に設定された4つの測定ポイントのうち、各切断端面の2組の対辺のうち一方の組の対辺の一方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差と、前記一方の組の対辺の他方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差を算出して、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するY方向直角度として求め、このY方向直角度が公差範囲内(Y方向直角度の基準値はゼロ)であるかどうかを判定する。同時に、各切断端面の隅部に設定された4つの測定ポイントのうち、各切断端面の2組の対辺のうち他方の組の対辺の一方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差と、前記他方の組の対辺の他方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差を算出して、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するZ方向直角度として求め、このZ方向直角度が公差範囲内(Z方向直角度の基準値はゼロ)であるかどうかを判定することもできる。Y方向及びZ方向は互いに垂直で、かついずれも被検査体の押出方向に垂直である。
なお、切断長さを求めるのでなければ、対向配置されたレーザ変位計は、必ずしも照射光軸を一直線上に置く必要はない。
検査工程が短時間で行えることから、例えば全数検査しても生産性が特に阻害されるようなこともなく、また、必要に応じて、検査結果に基づいて被検査体の良否判定を行い、直ちに良品と不良品を仕分けることもできるから、切断工程と検査工程、さらには鍛造、切削等の製品製造工程をインライン化することも可能となる。
図2は、断面矩形のアルミニウム合金押出材を押出方向に垂直に所定長さに切断した被検査体の形状精度を検査する方法及び装置を説明するもので、4組(計8個)のレーザ変位計A1−A2,B1−B2,C1−C2,D1−D2が,被検査体4の長さより所定間隔長い距離を置いて対向配置され、対向配置された(同じ組の)レーザ変位計(例えばA1とA2)はいずれもレーザビームの照射光軸がそれぞれ一直線上になるように設定されている。また、各レーザ変位計の測定ポイントa1,a2,b1,b2,c1,c2,d1,d2は、位置決めされた被検査体4の切断端面の各隅部に位置し、かつ各切断端面の測定ポイントa1,b1,c1,d1、及びa2,b2,c2,d2を仮に線分でつなぐと矩形となるように位置設定されている。
被検査体4の位置決め後、ステップ1において、レーザ変位計A1〜D1,A2〜D2から両切断端面4a,4bにレーザビームを照射し、それぞれの検出信号に基づき、各測定ポイントa1,a2,b1,b2,c1,c2,d1,d2毎に基準位置からの変位(それぞれΔa1,Δa2,Δb1,Δb2,Δc1,Δc2,Δd1,Δd2とする)を求める。ステップ2において、対向配置されたレーザ変位計に対応する4組の測定ポイント(a1とa2,b1とb2,c1とc2,d1とd2)毎に、求めた変位(Δa1とΔa2,Δb1とΔb2,Δc1とΔc2,Δd1とΔd2)から切断長さを算出する。切断長さは4つ算出される。
ステップ3においてYESのとき、ステップ4において、算出した切断長さに基づいて両切断端面の平行度を算出する。具体的には、切断長さの最大値Lmaxと最小値LminからΔL=Lmax−Lminを両切断端面の平行度として算出する。ステップ5において、算出した平行度ΔLが予め設定した公差範囲内であるかどうかを判定する。NOと判定したとき、ステップ10においてこの被検査体を不良品と判定し、ステップ11において排出指令を出し、製品製造工程に供給することなくライン外に排出する。
切断端面4aのY方向直角度は、切断端面4aに設定された4つの測定ポイントa1,b1,c1,d1のうち、切断端面4aのY方向に向く1組の対辺4ac,4adの一方の辺4acの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントa1,c1で測定された変位Δa1,Δc1の差(変位差=|Δa1−Δc1|)を算出し、他方の辺4adの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントb1,d1で測定された変位Δb1,Δd1の差(変位差=|Δb1−Δd1|)を算出し、2つの変位差を比較していずれか大きい方として求められる。一方、切断端面4bのY方向直角度は、切断端面4bに設定された4つの測定ポイントa2,b2,c2,d2のうち、切断端面のY方向に向く1組の対辺4bc,4bdの一方の辺4bcの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントa2,c2で測定された変位Δa2,Δc2の差(変位差=|Δa2−Δc2|)を算出し、他方の辺4bdの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントb2,d2で測定された変位Δb2,Δd2の差(変位差=|Δb2−Δd2|)を算出し、2つの変位差を比較していずれか大きい方として求められる。
ステップ7においてYESのとき、ステップ8において、各切断端面4a,4bのZ方向直角度を算出する。切断端面4aのZ方向直角度は、切断端面4aに設定された4つの測定ポイントa1,b1,c1,d1のうち、切断端面のZ方向に向く1組の対辺4aa,4abの一方の辺4aaの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントa1,b1で測定された変位Δa1,Δb1の差(変位差=|Δa1−Δb1|)を算出し、他方の辺4abの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントc1,d1で測定された変位Δc1,Δd1の差(変位差=|Δc1−Δd1|)を算出し、2つの変位差を比較していずれか大きい方として求められる。一方、切断端面4bのZ方向直角度は、切断端面4bに設定された4つの測定ポイントa2,b2,c2,d2のうち、切断端面4bのZ方向に向く1組の対辺4ba,4bbの一方の辺4baの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントa2,b2で測定された変位Δa2,Δb2の差(変位差=|Δa2−Δb2|)を算出し、他方の辺4bbの両側の隅部に設定された2つの測定ポイントc2,d2で測定された変位Δc2,Δd2の差(変位差=|Δc2−Δd2|)を算出し、2つの変位差を比較していずれか大きい方として求められる。
ステップ9においてYESと判定したとき、この被検査体4はステップ12において良品と判定し、ステップ13において製品製造工程に供給する。
なお、各被検査物毎にスタートからエンドまでの制御が行われる。また、この検査方法では、切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面のY方向垂直度及びZ方向垂直度の全てについて形状精度を算出し、その3次元的形状精度が予め設定した公差の範囲内かどうかを判定したが、これらの一部のみについて算出及び判定することもできる。
2,3 レーザ変位計
4 被検査体
5 定盤
6 位置決め部材
7 当接部材(プッシャー)
8 制御装置
A1〜D1,A2〜D2 レーザ変位計
a1,a2,b1,b2,c1,c2,d1,d2 測定ポイント
Claims (11)
- アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体の形状精度を検査する検査方法において、所定間隔を開けてそれぞれ対向配置したN(N:2以上の整数)組のレーザ変位計の間に、前記被検査体を押出方向が前記レーザ変位計のレーザビームの照射光軸に平行に向くように位置決めし、各レーザ変位計から前記被検査体の両切断端面にレーザビームを照射し、各レーザ変位計の検出信号に基づき、前記被検査体について各測定ポイント毎に予め標準試料に対して設定された基準位置からの変位を求め、対向配置されたレーザ変位計に対応するN組の測定ポイント毎に、前記変位に基づいて前記被検査体の切断長さを算出し、切断長さの基準値と比較して公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする検査方法。
- 前記被検査体を、前記レーザビームの照射光軸に平行に設置した定盤の面上に置き、次いで前記被検査体の側面を位置決め部材に当接させて位置決めすることを特徴とする請求項1に記載された検査方法。
- 前記切断端面が矩形であり、N≧4であり、それぞれの測定ポイントとして少なくとも各切断端面の4つの隅部近傍が設定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載された検査方法。
- 対向配置されたレーザ変位計に対応するN組の測定ポイント毎に、前記変位に基づいて前記被検査体の切断長さを求め、その最大値Lmaxと最小値LminからΔL=Lmax−Lminを両切断端面の平行度として算出し、このΔLが平行度の公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする請求項3に記載された検査方法。
- 各切断端面の隅部に設定された4つの測定ポイントのうち、各切断端面の2組の対辺のうち一方の組の対辺の一方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差と、前記一方の組の対辺の他方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差を算出して、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するY方向直角度として求め、このY方向直角度が公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする請求項3又は4に記載された検査方法。
- 各切断端面の隅部に設定された4つの測定ポイントのうち、各切断端面の2組の対辺のうち他方の組の対辺の一方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差と、前記他方の組の対辺の他方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差を算出して、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するZ方向直角度として求め、このZ方向直角度が公差範囲内であるかどうかを判定することを特徴とする請求項5に記載された検査方法。
- アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体の形状精度を検査する検査装置において、前記被検査体の両切断端面にレーザビームを照射できるように所定間隔を開けてそれぞれ対向配置されたN(N:2以上の整数)組のレーザ変位計と、対向配置されたレーザ変位計の間で前記被検査体を載せる定盤と、前記被検査体の側面を当接させて押出方向が前記レーザ変位計のレーザビームの照射光軸に平行になるように前記被検査体を位置決めする位置決め部材と、定盤上に載せた被検査体を位置決めのため位置決め部材に当接させる当接部材と、各レーザ変位計の検出信号に基づき、前記被検査体について各測定ポイント毎に予め標準試料に対して設定された基準位置からの変位を求め、対向配置されたレーザ変位計に対応するN組の測定ポイント毎に、前記変位に基づいて前記被検査体の切断長さを算出し、切断長さの基準値と比較して公差範囲内であるかどうかを判定する制御装置を備えることを特徴とする検査装置。
- 前記被検査体の切断端面が矩形であり、N≧4であり、それぞれの測定ポイントとして少なくとも各切断端面の4つの隅部が設定されていることを特徴とする請求項7に記載された検査装置。
- 前記制御装置が、対向配置されたレーザ変位計に対応するN組の測定ポイント毎に、前記変位に基づいて前記被検査体の切断長さを求め、その最大値Lmaxと最小値LminからΔL=Lmax−Lminを両切断端面の平行度として算出し、このΔLが平行度の公差範囲内であるかどうかを判定するものであることを特徴とする請求項8に記載された検査装置。
- 前記制御装置が、各切断端面の隅部に設定された4つの測定ポイントのうち、各切断端面の2組の対辺のうち一方の組の対辺の一方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差と、前記一方の組の対辺の他方の辺の両側に設定された2つの測定ポイントの変位差を算出して、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するY方向直角度として求め、このY方向直角度が公差範囲内であるかどうかを判定するものであることを特徴とする請求項8又は9に記載された検査装置。
- 前記制御装置が、各切断端面の隅部に設定された4つの測定ポイントのうち、各切断端面の2組の対辺のうち他方の組の対辺の一方の辺の両側の隅部に設定された2つの測定ポイントの変位差と、前記他方の組の対辺の他方の辺の両側に設定された2つの測定ポイントの変位差を算出して、いずれか大きい方を被検査体の各切断端面の押出方向に対するZ方向直角度として求め、このZ方向直角度が公差範囲内であるかどうかを判定するものであることを特徴とする請求項10に記載された検査装置。
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