JP2008207451A - ワークを貼り合わせるための装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のワーク81を吸引支持するための第1の支持面21aを備えた第1のステージ21と、第1のワーク81と第2のワーク82とが対峙した状態で、第2のワーク82の一方の端部82cを除いた部分を吸引支持するための第2の支持面22aを備えた第2のステージ22と、第2のワーク82の一方の端部82cを第1のワーク81とは反対の側から第1のワーク81に対して押圧するためのローラ60と、第1のステージ21と第2のステージ22との間隔を保った状態で、第1のステージ21の位置を、第2のステージ22およびローラ60の位置に対して相対的に移動させる移動装置30とを有する。
【選択図】図14
Description
1b 基板貼り合せ装置(ワークを貼り合わせるための装置)
11 第1のフィルム(第1のワーク)
11a (第1のフィルムの)第1の面、 11b (第1のフィルムの)第2の面
11c (第1のフィルムの)一方の端部
11d (第1のフィルムの)他方の端部
12 第2のフィルム(第2のワーク)
12a (第2のフィルムの)第1の面、 12b (第2のフィルムの)第2の面
12c (第2のフィルムの)一方の端部
12d (第2のフィルムの)他方の端部
13、14、83、84 保護フィルム
21 第1のステージ(第1の支持手段)、 21a 第1の支持面
22 第2のステージ(第2の支持手段)、 22a 第2の支持面
22c (第2の支持手段の)張出部
23 第3のステージ(第3の支持手段)、 23a 第3の支持面
30 移動装置(移動手段)、 40 回転装置(回転させる手段)
50 エアシリンダ(第3の支持手段を動かす手段)、 60 ローラ、
71 第1のヘッド、 72 第2のヘッド
81 第1の基板(第1のワーク)
81a (第1の基板の)第1の面、 81b (第1の基板の)第2の面
81c (第1の基板の)一方の端部、 81d (第1の基板の)他方の端部
82 第2の基板(第2のワーク)
82a (第2の基板の)第1の面、 82b (第2の基板の)第2の面
82c (第2の基板の)一方の端部、 82d (第2の基板の)他方の端部
90 スペーサ、 100 スペーサ駆動装置(スペーサ駆動手段)
110 弾性部材
Claims (10)
- 第1のワークと第2のワークとを貼り合わせるための装置であって、
前記第1のワークを吸引支持するための第1の支持面を備えた第1の支持手段と、
前記第1のワークと前記第2のワークとを微小な間隔を開けて対峙した状態で、前記第2のワークの一方の端部を除いた部分を吸引支持するための第2の支持面を備えた第2の支持手段と、
前記第2のワークの前記一方の端部を、前記第1のワークとは反対の側から前記第1のワークに対して押圧するためのローラと、
前記第1の支持手段と前記第2の支持手段との間隔を保った状態で、前記第1の支持手段の位置を、前記第2の支持手段および前記ローラの位置に対して相対的に移動させる移動手段とを有し、
前記ローラにより、前記第2のワークの前記一方の端部を前記第1のワークの一方の端部に押圧し、前記第2のワークを前記第1のワークに押圧した状態で、前記移動手段により、前記ローラの位置を、前記第1の支持手段に支持された前記第1のワークの他方の端部に相対的に移動させることにより、前記第1のワークに前記第2のワークを貼り付ける、装置。 - 請求項1において、
前記ローラにより、前記第2のワークの前記一方の端部を前記第1のワークの前記一方の端部に押圧するときに、前記第2のワークの他方の端部に接触して前記第2のワークの前記他方の端部と前記第1のワークの前記他方の端部との間隔を維持するスペーサであって、前記移動手段により、前記第1の支持手段とともに、前記第2の支持手段に対して相対的に移動するスペーサと、
前記スペーサを、前記第1の支持面に対して前記第2の支持手段の側に突き出た第1の状態と、前記第1の支持面に対して突き出ていない第2の状態とに動かすためのスペーサ駆動手段とをさらに有する、装置。 - 請求項2において、前記スペーサ駆動手段は、前記移動手段の動作と連動して、前記スペーサを前記第1の状態から前記第2の状態に動かす、装置。
- 請求項2または3において、前記スペーサは、ピンタイプのものである、装置。
- 請求項2ないし4のいずれかにおいて、前記第2の支持手段の前記ローラとは反対側の端は、前記第1の支持手段の前記ローラとは反対側の端よりも張り出す張出部を備えており、
前記スペーサは、前記第1の状態において、前記張出部と対峙する、装置。 - 請求項1または2において、前記第1の支持手段は、前記第1の支持面を形成する多孔性の弾性部材を含む、装置。
- 請求項1において、前記第1のワークおよび前記第2のワークは、それぞれの第1の面が前記第1の支持面および前記第2の支持面に支持されており、
前記第1の支持面に吸引支持された前記第1のワークの第2の面から保護フィルムを剥がす第1のヘッドと、
前記第2の支持面に吸引支持された前記第2のワークの第2の面から保護フィルムを剥がす第2のヘッドとをさらに有する、装置。 - 請求項7において、前記第2のワークの前記一方の端部を吸引支持するための第3の支持面を備えた第3の支持手段と、
前記第3の支持手段を、前記第3の支持面が前記第2の支持面とともに前記第2のワークを吸引支持する第1の位置から、前記第2のワークの前記一方の端部から前記第3の支持手段が離れた第2の位置へ動かす手段とをさらに有する、装置。 - 請求項7において、前記第2の支持手段および/または前記第1の支持手段を、保護フィルムを剥がす位置から、前記第2のワークの前記第2の面と前記第1のワークの前記第2の面とが対峙する位置へ回転させる手段をさらに有する、装置。
- 請求項9において、
前記第1の支持手段は、前記第1のワークを、前記第2の面を上向きにして支持し、
前記回転させる手段は、前記第2の支持手段を回転し、前記第2のワークの前記第2の面が上向きになる位置から、前記第2の面が下向きになる位置へ動かす、装置。
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