JP2003276091A - フィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡便且つ確実にフィルムを貼り合わせること
が可能なフィルム貼り合わせ方法およびフィルム貼合機
を提供する。 【解決手段】 本発明に係るフィルム貼り合わせ方法
は、基板２上にフィルム３を貼り合わせるフィルム貼り
合わせ方法において、フィルム３をその一端が突出する
ようにフィルム保持基板３７上に装着した後、基板２に
対して斜めに配置し、突出するフィルム３の先端に向か
って基板２を斜めに上昇させ、上記フィルム３の先端を
加圧ロール７３と基板２との間に挟み、上記基板２を水
平方向に移動することにより上記フィルム３をフィルム
保持基板３７上で摺動させ、先端から順に加圧ロール７
３により基板２上に貼り合わせることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フィルムを基板に
貼り合わせるフィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合
機に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パソコン用やワープロ用の画像表
示装置、または一般の観賞用のテレビにおいては、ブラ
ウン管を用いたものに代わってＬＣＤ（液晶表示装
置）、ＯＥＬＤ（有機エレクトロルミネッセンスディス
プレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）など薄型の
ディスプレイデバイスの開発が進み、商品化されてい
る。このようなＬＣＤ、ＰＤＰ等においては、反射防
止、透過効率向上等の観点から、種々の機能のフィルム
部材をディスプレイの表面に貼り合わせることにより良
好な画像品質を実現している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
フィルム部材をディスプレイの表面に貼り合わせる作業
は、作業者による手作業により行われている。このた
め、フィルム部材の貼り合わせには種々の問題が生じて
いる。まず、フィルム部材の貼り合わせ後に多数の気泡
が残ってしまうという問題がある。フィルム部材の貼り
合わせ後に気泡が残っていると、気泡により光の散乱等
が乱され、所望の画像品質を得ることができず画像品質
の低下の原因となる。

【０００４】また、フィルム部材を貼り合わせる際に大
量の静電気が発生し、該静電気の発生により大気中に浮
遊するゴミや塵がフィルム部材に吸着し、その結果、異
物としてディスプレイとフィルム部材との間に残存して
しまう。この場合も異物により光の散乱等が乱され、所
望の画像品質を得ることができず、画像品質の低下の原
因となる。そして、静電気の帯電量が多い場合には、デ
ィスプレイの電気回路にまで悪影響を与え、電気回路が
損傷する虞もある。

【０００５】また、フィルム部材を貼り合わせる際にフ
ィルム部材を他部材と擦ってしまう等によりフィルム部
材表面に擦り傷が発生し、これもまた画像品質不良を引
き起こす原因となっている。

【０００６】そして、手作業であるためフィルム部材の
ディスプレイの表面に対する位置合わせ精度が悪く、そ
の結果、フィルム部材の貼り合わせ精度が悪くなるとい
う問題がある。

【０００７】したがって、これらの問題によりフィルム
部材を効率良く、良好な状態で貼り合わせることができ
ないのが現状である。

【０００８】したがって、本発明は上述した従来の実情
に鑑みて創案されたものであり、簡便且つ確実にフィル
ムを貼り合わせることが可能なフィルム貼り合わせ方法
およびフィルム貼合機を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成する本
発明に係るフィルム貼り合わせ方法は、基板上にフィル
ムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ方法において、フ
ィルムをその一端が突出するようにフィルム保持基板上
に装着した後、基板に対して斜めに配置し、突出するフ
ィルムの先端に向かって基板を斜めに上昇させ、フィル
ムの先端を加圧ロールと基板との間に挟み、基板を水平
方向に移動することによりフィルムをフィルム保持基板
上で摺動させ、先端から順に加圧ロールにより基板上に
貼り合わせることを特徴とするものである。

【００１０】以上のような本発明に係るフィルム貼り合
わせ方法は、突出するフィルムの先端に向かって基板を
斜めに上昇させる。これにより、本発明に係るフィルム
貼り合わせ方法では、フィルムの貼り合わせが開始され
る端部の撓みがフィルムの面方向にきれいに延ばされ
る。その後、フィルムの撓みがきれいに延ばされた状態
でさらに基板を斜めに上昇させてフィルムを基板と加圧
ロールとの間に挟む。

【００１１】これにより、フィルムは、貼り合わせが始
まる先端部においてしわや撓みがない状態で加圧ロール
により基板に貼り合わされる。このため、この後の貼り
合わせ工程においてもしわや撓みのない状態でフィルム
の貼り合わせを行うことができる。また、しわや撓みに
起因する気泡の発生を防止することができる。

【００１２】また、貼り合わせ開始時にフィルムを基板
と加圧ロールとの間に挟むことにより確実に貼り合わせ
開始位置を規定することができるため、精度良くフィル
ムの貼り合わせを行うことができる。

【００１３】また、本発明においては、フィルム及び基
板を保持基板に吸着保持することが好ましい。フィルム
及び基板を保持基板に吸着保持することによりフィルム
及び基板を確実に保持基板に保持することができ、位置
ずれの発生を防止することができる。

【００１４】また、フィルムは、装着時には高真空でフ
ィルム保持基板に吸着保持し、加圧ロールによる貼り合
わせ時には低真空でフィルム保持基板に吸着保持するこ
とが好ましい。このように作業段階によってフィルムを
吸着保持する吸引力を使い分けることにより、フィルム
に傷が付くことを防止することができる。

【００１５】そして、本発明においては、フィルムの貼
り合わせ時に除電をおこなうことが好ましい。フィルム
の貼り合わせ時に除電を行うことにより、フィルム及び
基板における静電気の帯電を減少させることができる。
その結果、貼り合わせ作業及び貼り合わせ後における静
電気の悪影響を抑制することができる。

【００１６】また、上述した目的を達成する本発明に係
るフィルム貼合機は、基板上にフィルムを貼り合わせる
フィルム貼合機であって、フィルムを保持するフィルム
保持部材と、基板を保持する基板保持部材と、フィルム
を加圧する加圧ロールと、フィルム保持部材に保持した
フィルムを基板上に移動させるフィルム保持部材移動手
段と、基板保持部材に保持した基板を該基板の移動方向
に斜めに上昇させる第一の基板移動手段と、基板保持部
材に保持した基板を該基板の移動方向に移動する第二の
基板移動手段とを備えることを特徴とするものである。

【００１７】以上のような本発明に係るフィルム貼合機
では、第一の基板移動手段を備えることにより、フィル
ムの貼り合わせ開始時に基板保持部材に保持された基板
を斜めに上昇させてフィルム保持部材に保持されたフィ
ルムの一端に接触させることができる。これにより、フ
ィルムの貼り合わせが開始される側の端部の撓みが水平
方向にきれいに延ばされる。その後、フィルムの撓みが
きれいに延ばされた状態でさらに基板を斜めに上昇させ
てフィルムを該基板と加圧ロールとの間に挟む。

【００１８】これにより、フィルムは、先端部にしわや
撓みがない状態で基板に貼り合わされる。そして、この
後の貼り合わせ工程においてもしわや撓みのない状態で
フィルムの貼り合わせを行うことができる。また、しわ
や撓みに起因する気泡の発生を防止することができる。

【００１９】また、貼り合わせ開始時にフィルムを基板
と加圧手段との間に挟むことにより確実に貼り合わせ開
始位置を規定することができるため、精度良くフィルム
の貼り合わせを行うことができる。

【００２０】そして、第二の基板移動手段を備えること
により、先端部がきれいに貼り合わされた基板を水平方
向に移動させて先端から順に加圧ロールにより基板上に
貼り合わせることができる。

【００２１】また、本発明に係るフィルム貼合機におい
ては、フィルム保持部材及び基板保持部材が、フィルム
及び基板を吸着保持する吸着手段を備えることが好まし
い。フィルム及び基板を保持基板に吸着保持することに
よりフィルム及び基板の位置ずれの発生を防止すること
ができ、精度良くフィルムの貼り合わせを行うことがで
きる。また、フィルム保持部材は、高真空と低真空との
異なる吸引力でフィルムを吸着保持することが好まし
い。そして、装着時には高真空でフィルム保持基板に吸
着保持し、加圧ロールによる貼り合わせ時には低真空で
フィルム保持基板に吸着保持することが好ましい。この
ように作業段階によってフィルムを吸着保持する吸引力
を使い分けることにより、フィルムに傷が付くことを防
止することができる。

【００２２】そして、本発明に係るフィルム貼合機にお
いては、フィルムの貼り合わせ時に除電を行う除電手段
を備えることが好ましい。フィルムの貼り合わせ時に除
電をおこなうことにより、フィルム及び基板における静
電気の帯電を減少させることができる。その結果、貼り
合わせ作業及び貼り合わせ後における静電気の悪影響を
抑制することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照して詳
細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
適宜変更可能である。また、以下に示す図面において
は、図面理解の容易のために、部材を省略している場合
がある。

【００２４】本発明に係るフィルム貼り合わせ方法は、
基板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ方
法において、フィルムをその一端が突出するようにフィ
ルム保持基板上に装着した後、基板に対して斜めに配置
し、突出するフィルムの先端に向かって基板を斜めに上
昇させ、フィルムの先端を加圧ロールと基板との間に挟
み、基板を水平方向に移動することによりフィルムをフ
ィルム保持基板上で摺動させ、先端から順に加圧ロール
により基板上に貼り合わせることを特徴とするものであ
る。

【００２５】また、本発明に係るフィルム貼合機は、基
板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼合機であっ
て、フィルムを保持するフィルム保持部材と、基板を保
持する基板保持部材と、フィルムを加圧する加圧ロール
と、フィルム保持部材に保持したフィルムを基板上に移
動させるフィルム保持部材移動手段と、基板保持部材に
保持した基板を該基板の移動方向に斜めに上昇させる第
一の基板移動手段と、基板保持部材に保持した基板を該
基板の移動方向に移動する第二の基板移動手段とを備え
ることを特徴とするものである。

【００２６】図１に本発明を適用して構成した反射防止
フィルム貼合機１の概略構成図を示す。図２に、図１を
矢印Ａの方向から見た側面図を示す。図３は、反射防止
フィルム貼合機１の概略平面図である。反射防止フィル
ム貼合機１は、ディスプレイ基板２の主面に反射防止フ
ィルム３を貼り合わせる装置であり、大別して基板移動
機構と、フィルム支持機構と、フィルム加圧機構とによ
り構成されている。以下、これらを順に説明する。

【００２７】ここで、反射防止フィルム貼合機１に用い
るディスプレイ基板２の各層の厚みや構成材料等は特に
限定されるものではなく、例えば厚み１ｍｍ〜３ｍｍ程
度のＬＣＤ（液晶表示装置）、ＯＥＬＤ（有機エレクト
ロルミネッセンスディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマデ
ィスプレイ）などの薄膜ディスプレイ基板及びブラウン
管を用いることができる。

【００２８】まず反射防止フィルム３について説明す
る。反射防止フィルム３は、光の干渉効果を利用して反
射光を除去する働きをするものであり、ディスプレイ基
板２上に貼り合わせることによりディスプレイ装置の視
認特性を向上させるものである。このような反射防止フ
ィルム３は、図４及び図５に示すように光透過性の支持
体６と、該支持体６の一主面上に形成された反射防止膜
７と、該支持体６の他主面上に形成された接着剤層５と
により構成されている。また、該接着剤層５上には接着
剤層５を保護するための保護フィルム４が貼り合わされ
ている。ここで、各層の厚みや構成材料等は特に限定さ
れるものではなく、例えば光透過性の支持体６の厚みは
０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍ程度とすることができる。

【００２９】このように構成された反射防止フィルム３
は、ディスプレイ基板２に貼り合わせる際には保護フィ
ルム４を剥離して接着剤層５を露出させる。そして、反
射防止フィルム３とディスプレイ基板２とを正確に位置
合わせし、該接着剤層５をディスプレイ基板２に当接さ
せることによりディスプレイ基板２に接着される。

【００３０】［基板移動機構］基板移動機構は、リニア
レールベースプレート１１、基板テーブル１２、及びバ
キュームプレート１３を備えて構成されている。リニア
レールベースプレート１１は反射防止フィルム貼合機１
のベースとなるものであり、略平板状とされている。そ
して、該リニアレールベースプレート１１上には図１の
矢印Ａの方向に延びる２本のリニアレール１４が設けら
れ、その上には支持プレート１５、支持部材１６及び支
持部材１７を介してバキュームプレート１３が配されて
いる。そして、バキュームプレート１３上に基板テーブ
ル１２が配されている。

【００３１】支持部材１６は、支持プレート１５の四隅
近傍にそれぞれ一個ずつ固定して設けられ、その上面が
所定の斜度を有する斜面とされ、リニアレール１８が設
けられている。反射防止フィルム貼合機１においては、
この斜度は４５°とされている。また、支持部材１７は
バキュームプレート１３の下面の四隅近傍にそれぞれ一
個ずつ固定して設けられ、該支持部材１７の下面も支持
部材１６の上面と同じ斜度を有する斜面とされ、該斜面
にはリニアレール１８と対応する位置にリニアガイド１
９が設けられている。すなわち、リニアレール１８とリ
ニアガイド１９とは、同じ斜度を有した状態で設けられ
ている。反射防止フィルム貼合機１においては、この斜
度は４５°とされている。そして、リニアレール１８と
リニアガイド１９とが嵌合することにより支持部材１６
と支持部材１７とが連結されている。ここで、リニアレ
ール１８とリニアガイド１９とは、同じ斜度を有するこ
とによりリニアレール１８の長手方向に摺動可能な状態
で連結されている。

【００３２】バキュームプレート１３の上には基板テー
ブル１２が載置されており、該基板テーブル１２上にデ
ィスプレイ基板２が載置、固定される。ここで、バキュ
ームプレート１３は、その一端がディスプレイ基板固定
用の真空ポンプ（図示せず）に接続されており、また、
バキュームプレート１３の内部には吸引構造が設けら
れ、基板テーブル１２をその厚み方向に貫通するように
設けられた吸引孔２６を通して基板テーブル１２上に載
置されたディスプレイ基板２を吸引保持し、固定できる
ようになっている。

【００３３】ディスプレイ基板２を吸引保持する吸引圧
はとしては、ディスプレイ基板２に反射防止フィルム３
を貼り合わせる際にディスプレイ基板２の位置ずれが生
じないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではなく、例えば、５×１０^３
Ｐａ〜１×１０^４Ｐａ程度とすることが好ましい。吸引
圧があまり低い場合には、ディスプレイ基板２に反射防
止フィルム３を貼り合わせる際にディスプレイ基板２の
位置ずれが生じてしまう。また、吸引圧があまり高い場
合には、ディスプレイ基板２に損傷を与えてしまう。

【００３４】基板テーブル１２及びバキュームプレート
１３の大きさは特に限定されるものではなく、用途に応
じて設計することができ、例えば画面サイズ１３〜画面
サイズ２０の大きさのディスプレイ基板２に適合するよ
うに設計することができる。また、基板テーブル１２及
びバキュームプレート１３は、導電性材料により構成す
ることが好ましい。基板テーブル及びバキュームプレー
ト１３は、導電性材料により構成することにより、これ
らがアースの役割を果たし、静電気を他部材等に逃がす
ことが可能となる。これにより、基板テーブル１２の帯
電量を減少させることが可能となり、静電気の電圧を低
下させることができる。このような導電性材料として
は、例えばＳＵＳ、Ａｌ、Ｃｕなどの導電性金属が好適
である。

【００３５】図１に示すように支持プレート１５上の支
持部材１６と支持部材１６との間には基板テーブル上昇
シリンダー２０とストッパー２１とが固定配置されてい
る。また、バキュームプレート１３の下面における基板
テーブル上昇シリンダー２０とストッパー２１との間に
対応する位置には、ガイド２２が固定配置されている。

【００３６】ここで、基板テーブル上昇シリンダー２０
は、図１の矢印Ａの方向に伸縮自在とされており、該基
板テーブル上昇シリンダー２０を動作させてガイド２２
を押すことによりバキュームプレート１３を基板テーブ
ル１２ごと、図１の矢印Ａの方向に移動させることがで
きる。これにより、基板テーブル１２上に吸引保持され
たディスプレイ基板２を図１の矢印Ａの方向に移動させ
ることができる。

【００３７】ここで、支持プレート１５とバキュームプ
レート１３とは、上述したようにリニアレール１８とリ
ニアガイド１９とがリニアレール１８の長手方向に摺動
可能に嵌合することにより支持部材１６及び支持部材１
７を介して連結されている。また、リニアレール１８と
リニアガイド１９は、水平方向に対して所定の斜度を有
して形成されているため、バキュームプレート１３が図
１の矢印Ｂの方向に移動すると、リニアガイド１９がリ
ニアレール１８に沿って図１の矢印Ｃの方向にスライド
する。これにより、バキュームプレート１３を基板テー
ブル１２ごと、図１の矢印Ｃの方向に移動させることが
できる。すなわち、バキュームプレート１３を基板テー
ブル１２ごと、図１の矢印Ｂの方向に移動させるととも
に所定の角度で上昇させることができる。したがって、
基板テーブル１２に吸着保持されているディスプレイ基
板２を図１の矢印Ｂの方向に移動させるとともに所定の
角度で上昇させる、すなわち図１の矢印Ｃの方向に斜め
に上昇させることができる。

【００３８】そして、基板テーブル上昇シリンダー２０
は、一定長さだけ送り移動した後、停止するように設定
される。このときの一定長さは、基板テーブル１２を図
１の矢印Ｃの方向への移動距離によって決定される。具
体的にいうと、基板テーブル１２の上昇距離とリニアレ
ール１９とリニアガイド１９の角度によって決定され
る。基板テーブル１２の図１の矢印Ｂの方向への水平移
動は、後述する基板テーブル水平送りシリンダー２４を
用いることによっても行うことができるが、基板テーブ
ル１２の昇降は、基板テーブル上昇シリンダー２０を用
いた一連の動作においてしかできない。したがって、基
板テーブル上昇シリンダー２０の送り移動距離は、基板
テーブル１２を上昇させる距離とリニアレール１９とリ
ニアガイド１９の角度とから決定することが重要であ
る。

【００３９】また、基板テーブル１２は、リニアレール
ベースプレート１１上においてリニアレール１４の外側
に設けられた基板テーブル水平送りシリンダー２４によ
り、リニアレールベースプレート１１上を図１の矢印Ｂ
の方向に水平移動可能とされている。支持プレート１５
上には上述したように図１の矢印Ｂの方向に延びる２本
のリニアレール１４が設けられている。そして、リニア
レールベースプレート１１と支持プレート１５とは、支
持プレート１５の下面に設けられたリニアガイド２３と
リニアレール１４とが嵌合することにより連結されてお
り、リニアガイド２３とリニアレール１４とは水平方向
に摺動可能とされている。これにより、支持プレート１
５を基板テーブル水平送りシリンダー２４により図１の
矢印Ｂの方向に押すと、リニアガイド２３とリニアレー
ル１４とが摺動して、支持プレート１５がバキュームプ
レート１３及び基板テーブル１２ごと図１の矢印Ｂの方
向に水平移動する。すなわち、基板テーブル水平送りシ
リンダー２４を用いて基板テーブル１２を図１の矢印Ｂ
の方向に水平移行させることが可能とされている。ここ
での、基板テーブル１２の移動距離は、使用するディス
プレイ基板２の長さにより決定され、基板テーブル１２
に吸着保持されたディスプレイ基板２の終端部まで反射
防止フィルムが貼り合わされる距離とされる。

【００４０】また、基板テーブル１２上には、基板位置
決めガイド２５が設けられており、ディスプレイ基板２
の位置決めをスムーズに行えるとともに、精度良くディ
スプレイ基板２の位置決めが行えるようになっている。
すなわち、基板テーブル１２上に基板位置決めガイド２
５を設けることにより、効率が良く、且つ高精度でのデ
ィスプレイ基板２の位置決めが実現される。また、この
基板位置決めガイド２５は、所望の位置に着脱可能に設
けられている。基板位置決めガイド２５をこのように構
成することにより、種々の形状、大きさのディスプレイ
基板２に対応可能となり、本反射防止フィルム貼合機１
の適用の自由度が大きくなる。

【００４１】［フィルム支持機構］上述した基板移動機
構の上部には、フィルム支持機構が配されている。フィ
ルム支持機構は、リニアレールベースプレート１１上に
おいて基板移動機構を挟んでその外方に設けられた支柱
３１及び支柱３２と、ピロブロックからなり軸受け３４
に支持されるフィルム吸着台反転軸３５と、該フィルム
吸着台反転軸３５に支持部材３６を介して接続されるフ
ィルム吸着台３７とを備えて構成されている。

【００４２】そして、フィルム吸着台３７は支持部材３
６に固定されており、該支持部材３６はフィルム吸着台
反転軸３５に固定され、フィルム吸着台反転軸３５は正
逆方向に回転自在とされている。したがって、フィルム
吸着台３７はフィルム吸着台反転軸３５を中心として回
転在とされており、フィルム吸着台３７は、図１におけ
るＤの位置（実線で示した位置）からＥの位置（波線で
示した位置）まで、フィルム吸着台反転軸３５を軸とし
て自由に回転移動させることが可能とされている。

【００４３】フィルム吸着台３７は、反射防止フィルム
３を吸着保持するものであり、図６に示すようにバキュ
ームベース４１上にバキュームプレート４２が組み合わ
されて構成されている。バキュームベース４１とバキュ
ームプレート４２とは、図７に示すようにバキュームプ
レート４２にバキュームベース取り付け孔４３を設け
て、バキュームプレート４２をバキュームベース４１に
ネジ止めすることで固定されている。

【００４４】ここで、バキュームプレート４２は導電性
材料により構成されることが好ましい。バキュームプレ
ート４２においては、後述するように反射防止フィルム
３を吸引保持した後に保護フィルム４を剥離するが、こ
のとき、保護フィルム４の剥離により大量の静電気が発
生し反射防止フィルム３に帯電してしまう。そして、該
静電気の発生により大気中に浮遊するゴミや塵が反射防
止フィルム３に吸着し、その結果、異物としてディスプ
レイ基板２と反射防止フィルム３との間に残存してしま
う。そして、この異物により光の散乱等が乱され、所望
の画像品質を得ることができず、画像品質の低下してし
まう。さらに、静電気の帯電量が多い場合には、ディス
プレイの電気回路にまで悪影響を与え、電気回路が損傷
する虞もある。例えば、ＯＥＬＤの場合には、静電気の
電圧を２５０Ｖ以下程度に抑えないと電気回路が損傷し
てしまう虞がある。

【００４５】したがって、反射防止フィルム３から保護
フィルム４を剥離した際の静電気の発生量を、若しくは
反射防止フィルム３への帯電量を極力減少させることが
重要である。そこで、本発明においては、バキュームプ
レート４２を導電性材料で構成することによりバキュー
ムプレート４２がアースの役割を果たし、静電気を他部
材等に逃がすことが可能となる。これにより、反射防止
フィルム３の帯電量を減少させることが可能となり、静
電気の電圧を低下させることができる。このような導電
性材料としては、例えばＳＵＳ、Ａｌ、Ｃｕなどの導電
性金属が好適である。

【００４６】また、バキュームプレート４２において
は、反射防止フィルム３を吸引保持する面の表面粗さを
所定の範囲に規定することが好ましく、このような範囲
としては、面粗さ表示でＲａが２μｍ〜１０μｍ程度が
好ましい。反射防止フィルム３を吸引保持する面の表面
粗さが粗すぎる場合、反射防止フィルム３に傷が発生し
てしまう。また、表面粗さが細かすぎる場合には、反射
防止フィルム３が密着してしまい、いわゆる「貼り付
き」と呼ばれる現象が生じ、反射防止フィルム３をディ
スプレイ基板２に貼り合わせる際に反射防止フィルム３
をフィルム吸着台３７からスムーズに分離することがで
きなくなってしまう。したがって、バキュームプレート
４２の反射防止フィルム３を吸引保持する面の表面粗さ
を上記のような範囲とすることにより、反射防止フィル
ム３に傷つけることなく、また、スムーズにディスプレ
イ基板２に貼り合わせることができる。

【００４７】そして、バキュームプレート４２上には反
射防止フィルム３が載置される。ここで、バキュームプ
レート４２の反射防止フィルム３を吸着保持する側の面
には、フィルム位置決めガイド４６が設けられており、
反射防止フィルム３の位置決めをスムーズに行えるとと
もに、精度良く反射防止フィルム３の位置決めが行える
ようになっている。すなわち、バキュームプレート４２
上にフィルム位置決めガイド４６を設けることにより、
効率が良く、且つ高精度での反射防止フィルム３の位置
決めが実現される。また、このフィルム位置決めガイド
４６は、バキュームプレート４２上の所望の位置に着脱
可能に設けられる。フィルム位置決めガイド４６を所望
の位置に着脱可能とすることにより、種々の形状、大き
さの反射防止フィルム３に対応可能となり、本反射防止
フィルム貼合機１の適用の自由度が大きくなる。

【００４８】また、バキュームプレート４２は、該バキ
ュームプレート４２をその厚み方向に貫通するように設
けられた高真空吸引ライン４４及び低真空吸引ライン４
５を通してバキュームプレート４２上に載置された反射
防止フィルム３を吸引保持し、固定できるようになって
いる。

【００４９】反射防止フィルム３をバキュームプレート
４２上に吸引保持する吸引機構は、真空ポンプに接続さ
れた高真空吸引と、ブロワーに接続された低真空吸引と
の２系統からなる。そして、高真空吸引ライン４４は、
高真空吸引用の吸引ラインであり、真空ポンプに接続さ
れている。また、低真空吸引ライン４５は、低真空吸引
用の吸引ラインであり、ブロワーに接続されている。

【００５０】高真空吸引ライン４４は、図７に示すよう
にバキュームプレート４２の外縁に沿ったラインと、該
ラインから内方に向かうラインとにより構成されてい
る。

【００５１】ここで、高真空吸引ライン４４は、フィル
ム吸着台３７が図１のＤの位置にあるときのみに用いら
れる。すなわち、バキュームプレート４２は、図１のＤ
の位置にあるときは、支持部材４８に接続された吸引パ
イプ４７上に載置され、該吸引パイプ４７の真上に高真
空吸引孔４９が位置するように設計されている。そし
て、支持部材４８はその内部に空洞（図示せず）が形成
されており真空ポンプと吸引パイプ４７とを該空洞によ
り接続している。

【００５２】このような構成とすることにより、フィル
ム吸着台３７が図１のＤの位置にあるときには、真空ポ
ンプを作動させることにより支持部材４８の吸引パイプ
４７、支持部材４８内部の空洞、高真空吸引孔４９を通
して高真空吸引ライン４４部分が高真空で吸引され、こ
れによりバキュームプレート４２上の反射防止フィルム
３を強い吸引力で吸引保持する。したがって、フィルム
吸着台３７が図１のＤの位置から外れたときには、バキ
ュームプレート４２と吸引パイプ４７との密閉状態が壊
れるため、バキュームプレート４２上の反射防止フィル
ム３を吸引保持することはできなくなる。

【００５３】このような高真空吸引の吸引圧としては、
反射防止フィルム３から保護フィルム４を剥離する際に
反射防止フィルム３がフィルム吸着台３７から持ち上が
らないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではないが、例えば、５×１０
^３Ｐａ〜１×１０^４Ｐａ程度とすることが好ましい。吸
引圧があまり低い場合には、反射防止フィルム３から保
護フィルム４を剥離する際に反射防止フィルム３がフィ
ルム吸着台３７から持ち上がってしまう。また、吸引圧
があまり高い場合には、反射防止フィルム３に吸引痕が
残ってしまったり、傷が付いたりしてしまう。

【００５４】低真空吸引ライン４５は、略平行な複数の
ライン及びこれらのラインを略直角方向に結ぶラインと
により形成されている。そして、低真空吸引ライン４５
の略平行なラインはそれぞれの幅が異なって形成されて
おり、フィルム吸着台反転軸３５に近いほど幅が広くさ
れる。例えば、図７に示すように低真空吸引ライン４５
ａの幅が１０ｍｍ、低真空吸引ライン４５ｂの幅が８ｍ
ｍ、低真空吸引ライン４５ｃの幅が５ｍｍとされる。こ
れは、反射防止フィルム３をディスプレイ基板２に貼り
合わせる際にディスプレイ基板２がバキュームプレート
４２上を移動するが、このとき、反射防止フィルム３を
確実に吸引保持する吸引力を保持するためである。すな
わち、反射防止フィルム３はディスプレイ基板２に貼り
合わされる際、図７の矢印Ｆの方向に移動しながら貼り
合わされる。このため、貼り合わせ作業開始当初は低真
空吸引ライン４５ａ、低真空吸引ライン４５ｂ、低真空
吸引ライン４５ｃで反射防止フィルム３を吸引保持して
いるが、反射防止フィルム３が図７の矢印Ｆの方向に移
動するにつれて、低真空吸引ライン４５ｃ、低真空吸引
ライン４５ｂによる吸引ができなくなる。しかしなが
ら、低真空吸引ライン４５をこのような構成とすること
により、低真空吸引ライン４５ｃ、低真空吸引ライン４
５ｂによる吸引保持ができなくなる貼り合わせ作業終盤
においても確実に反射防止フィルム３を吸引保持するこ
とができる。これにより、貼り合わせ作業中における反
射防止フィルム３のたるみや縒れの発生を防止すること
が可能となり、これらに起因してディスプレイ基板２と
反射防止フィルム３との間に気泡が発生することを防止
することができる。

【００５５】また、低真空吸引ライン４５は、ブロワー
を作動させることにより低真空吸引孔５０を通して吸引
が行われる。そして、低真空吸引ライン４５は、フィル
ム吸着台３７が図１のＤの位置にあるときのみに限定さ
れず、常時、ブロワーを作動させることにより高真空吸
引ライン４４よりは低い吸引力でバキュームプレート４
２上の反射防止フィルム３を吸引力で吸引保持してい
る。すなわち、低真空吸引ライン４５は、反射防止フィ
ルム３をバキュームプレート４２に載置して吸引保持し
た時点から、反射防止フィルム３がディスプレイ基板２
に貼り合わされるまで常に反射防止フィルム３を吸引保
持する。

【００５６】このような低真空吸引の吸引圧としては、
後述するようにフィルム吸着台３７を反転させて反射防
止フィルム３をディスプレイ基板２に貼り合わせる際
に、反射防止フィルム３がディスプレイ基板２から剥落
しないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではないが、例えば、５×１０
^３Ｐａ〜１×１０^４Ｐａ程度とすることが好ましい。吸
引圧があまり低い場合には、フィルム吸着台３７を反転
させた際に反射防止フィルム３がフィルム吸着台３７か
ら剥落してしまう。

【００５７】フィルム吸着台３７のフィルム吸着台反転
軸３５と反対側の端部には、ガイド６２が設けられてい
る。このガイド６２は、フィルム吸着台３７をフィルム
吸着台反転軸３５を中心に回転移動させたときに、リニ
アベースプレート１１上に設けられたストッパー６３に
当接する。そして、ガイド６２がストッパー６３に支持
されることにより、フィルム吸着台３７が所定の角度を
なした状態で保持される。ストッパー６３は、ガイド６
２の支持位置を調整可能とされており、ガイド６２の支
持位置を調整することにより、フィルム吸着台３７の保
持位置、すなわち保持角度を自在に調整可能とされてい
る。

【００５８】また、フィルム吸着台３７の上部近傍に
は、除電ブロー装置６１が移動可能に配置される。除電
ブローを行うことにより、反射防止フィルム３から保護
フィルム４を剥離する際に発生する静電気の発生を抑制
することができ、反射防止フィルム３の帯電量を減少さ
せることが可能となる。したがって、上述したようにバ
キュームプレート４２を導電性材料により構成し、さら
に除電ブローを行うことにより、より効果的に反射防止
フィルム３の帯電量を減少させることが可能となり、静
電気の電圧を低下させることができる。

【００５９】［フィルム加圧機構］フィルム加圧機構
は、支柱３１及び支柱３２の上部に配置された貼合加圧
シリンダー７１と、該貼合加圧シリンダー７１に接続さ
れた貼合ローラー軸７２と、該貼合ローラー軸７２に固
定してはめ込まれた貼合ローラー７３とにより構成され
る。貼合ローラー軸７２は、図１において右回りに回転
可能とされている。したがって、貼合ローラー７３は貼
合ローラー軸７２を中心として図１において右回りに回
転可能とされている。貼合ローラー７３は、反射防止フ
ィルム３をディスプレイ基板２に貼り合わせる際に、反
射防止フィルム３に当接し、回転しながら反射防止フィ
ルム３に加圧する役割を果たすものである。貼合ローラ
ー軸７２及び貼合ローラー７３の大きさは特に限定され
るものではなく、フィルム吸着台３７の大きさ、図１の
Ｅの位置ある時の保持位置等を考慮して設定することが
できる。一例として挙げると、例えば貼合ローラー軸７
２の直径を３０ｍｍ〜４０ｍｍ、肉厚５ｍｍの貼合ロー
ラー７３を組み合わせてフィルム加圧機構を構成するこ
とができる。ただし、貼合ローラー７３の幅は、ディス
プレイ基板２の幅よりも長くすることが必要である。ま
た、貼合ローラー７３の材質は、反射防止フィルム３の
静電気の帯電を抑制するために導電性材料を用いること
が好ましく、例えば導電性ゴムが好適である。そして、
導電性ゴムの硬度は、例えば４０度〜７０度の範囲が好
適である。

【００６０】また、反射防止フィルム３の静電気の帯電
量を減少させるために、貼合ローラー７３の近傍に除電
バー７４が設けられている。貼合ローラー７３の近傍に
除電バー７４を設けることにより、より確実に反射防止
フィルム３の静電気の帯電量を減少させることができ
る。除電バー７４は、貼合ローラー７３や貼合ローラー
軸７２に接触させる必要はなく、貼合ローラー７３の近
傍に配置すればよい。このような除電バー７４は、金属
材料等の導電性材料により構成することができる。

【００６１】次に、上記のように構成された反射防止フ
ィルム貼合機１を用いたフィルムの貼り合わせ方法につ
いて説明する。反射防止フィルム貼合機１を用いて反射
防止フィルム３をディスプレイ基板２に貼り合わせるに
は、まず、ディスプレイ基板２の大きさに切断した反射
防止フィルム３をフィルム吸着台３７のバキュームプレ
ート４２に載せ、フィルム位置決めガイド４６を用いて
正確に位置合わせを行う。このとき、反射防止フィルム
３をフィルム吸着台３７のフィルム吸着台反転軸３５側
において略２０ｍｍ程度突出させる。

【００６２】次に、真空ポンプ及びブロワを起動し、高
真空吸引ライン４４及び低真空吸引ライン４５に吸引力
を付与する。これにより、反射防止フィルム３は、高真
空吸引ライン４４及び低真空吸引ライン４５により吸引
保持される。また、除電ブロー装置を起動させ、反射防
止フィルム３に対する除電ブローを開始する。

【００６３】次に、反射防止フィルム３の保護フィルム
４を剥離する。保護フィルム４の剥離は手作業で行って
も良く、また自動化しても良い。

【００６４】次に、保護フィルム４を剥離した反射防止
フィルム３を吸着保持した状態でフィルム吸着台３７を
フィルム吸着台反転軸３５を中心として基板テーブル１
２側に回転移動させる。

【００６５】このとき、フィルム吸着台３７が高真空吸
引孔４９から離れることにより高真空吸引ライン４４に
よる反射防止フィルム３の吸引が終了する。したがっ
て、この後の工程においては、反射防止フィルム３は低
真空吸引ライン４５のみによりフィルム吸着台３７に吸
着される。このような機構としては、リミットスイッチ
を設けても良く、また、単にフィルム吸着台３７が高真
空吸引孔４９から離れることで吸引が終了するようにし
ても良い。

【００６６】そして、フィルム吸着台３７をフィルム吸
着台反転軸３５を中心として回転移動させて、ガイド６
２が予め所定の位置に調整されたストッパー６３に当接
し、支持されることによりフィルム吸着台３７がディス
プレイ基板２と所定の角度で斜めの状態で保持される。
このときの図１８に示すようなフィルム吸着台３７がデ
ィスプレイ基板２となす角度θは例えば１０°前後とす
ることが好ましい。フィルム吸着台３７とディスプレイ
基板２との角度が小さすぎる場合には、後述するように
反射防止フィルム３を貼合ローラー７３を用いて貼り合
わせる前にディスプレイ基板２と密着してしまい、気泡
やしわが発生してしまい、きれいな状態で反射防止フィ
ルム３をディスプレイ基板２に貼り合わせることができ
ない。また、角度が大きすぎる場合には、反射防止フィ
ルム３とディスプレイ基板２との位置合わせが難しくな
る。

【００６７】また、フィルム吸着台３７が所定の角度を
なした状態で保持されたとき、フィルム吸着台３７の先
端から略２０ｍｍ突出した反射防止フィルム３は、貼合
ローラー７３と基板テーブル１２との間に配される。そ
して、この突出した反射防止フィルム３は、図８に示す
ように反射防止フィルム３の形状と自重により撓んだ状
態となる。このときの撓み量は常に一定になるものでは
なく個々の反射防止フィルム３によりばらつきが生じ、
基板テーブル１２を垂直方向に上昇させた場合には、反
射防止フィルム３の貼り合わせ開始位置のずれの発生、
反射防止フィルム３のしわの発生、またこれらに起因し
た気泡の発生等の問題を引き起こす。そして、これら
は、この後の貼り合わせ工程にも悪影響を及ぼし、反射
防止フィルム３の貼り合わせ精度の低下の原因にもな
る。

【００６８】そこで、反射防止フィルム貼合機１では、
このばらつきを最小限に抑制するために、基板テーブル
１２を該基板テーブル１２の搬送方向、すなわち図１の
矢印Ｃ方向に斜めに上昇させる。基板テーブル１２を図
１の矢印Ｃ方向に斜めに上昇させると、ディスプレイ基
板２が反射防止フィルム３に接触して反射防止フィルム
３の先端が緊張保持される。そして、反射防止フィルム
３は、その突出した先端部が反射防止フィルム３に接触
して緊張保持されることによりフィルム吸着台３７から
突出した部分の撓みが水平方向にきれいに延ばされる。

【００６９】そして、フィルムの撓みがきれいに延ばさ
れた状態でさらに基板テーブル１２を図１の矢印Ｃ方向
に斜めに上昇させ、反射防止フィルム３を該ディスプレ
イ基板２と貼合ローラー７３との間に挟み込む。これに
より、反射防止フィルム３を、貼り合わせが始まる先端
部、すなわちフィルム吸着台３７から突出した部分がし
わや撓みがない状態でディスプレイ基板２に貼り合わせ
ることができる。そして、しわや撓みに起因する気泡の
発生を防止することができ、きれいな状態に貼り合わせ
ることができる。また、貼り合わせ開始位置を簡便且つ
確実に決定することができる。そして、貼り合わせ開始
時の反射防止フィルム３とディスプレイ基板２との位置
合わせが簡便且つ確実に行われるため、良好な貼り合わ
せ精度を実現することができる。

【００７０】ここで、反射防止フィルム貼合機１におい
ては、基板テーブル１２の上昇角度は、４５°とされて
いる。しかしながら、基板テーブル１２の上昇角度は４
５°に限定されるものではなく、例えば８０°程度とし
ても良い。ただし、基板テーブル１２の上昇角度があま
り小さい場合には、フィルムが基板テーブル１２に擦れ
てしまったり、貼り合わせ開始位置が決めにくくなる。

【００７１】次に、基板テーブル水平送りシリンダー２
４により基板テーブル１２を図１の矢印Ｂ方向に移動さ
せる。基板テーブル１２を図１の矢印Ｃ方向に移動させ
ることにより基板テーブル１２に吸引保持されているデ
ィスプレイ基板２が矢印Ｂ方向に移動する。また、反射
防止フィルム３はその先端部がディスプレイ基板２に貼
り合わされているため、反射防止フィルム３は基板テー
ブル１２が移動することによりディスプレイ基板２に引
っ張られる。このとき、反射防止フィルム３は、低真空
吸引ライン４５の弱い吸引力のみでフィルム吸着台３７
に吸着保持されているため、ディスプレイ基板２に引っ
張られると低真空吸引ライン４５に吸着されながらフィ
ルム吸着台３７上を摺動することができる。そして、反
射防止フィルム３は低真空吸引ライン４５の弱い吸引力
のみで吸引されているため、フィルム吸着台３７上を摺
動しても反射防止フィルム３に傷が発生することがな
い。

【００７２】これらの一連の動作をディスプレイ基板２
の終端まで行うことにより、きれいな状態で反射防止フ
ィルム３をディスプレイ基板２に貼り合わせることがで
きる。

【００７３】また、このとき、貼合ローラー７３により
反射防止フィルム３に対してわずかに圧力を加える。す
なわち、貼合ローラー７３は、反射防止フィルム３にわ
ずかな圧力を加えた状態で回転しながら反射防止フィル
ム３を矢印Ｃ方向に送り出す。これにより、反射防止フ
ィルム３とディスプレイ基板２との間の空気を抜きなが
ら反射防止フィルム３をディスプレイ基板２に貼り合わ
せることができるため、気泡やしわの発生が無く、きれ
いな状態で反射防止フィルム３をディスプレイ基板２に
貼り合わせることができる。このような貼合ローラー７
３の圧力は、使用する反射防止フィルム３の種類等によ
り適宜調整すれば良く、例えば、貼合ローラー７３のゴ
ムの弾性力程度でもきれいな貼り合わせを行うことが可
能である。

【００７４】また、この一連の動作が行われている間、
除電ブロー７４が反射防止フィルム３に帯電した静電気
を設置回路に導くため、静電気の影響が抑制され、大気
中に浮遊するゴミや塵が反射防止フィルム３に吸着する
ことが抑制されている。これにより、反射防止フィルム
３とディスプレイ基板２との間に、大気中に浮遊するゴ
ミや塵が異物として混入することが防止される。

【００７５】基板テーブル１２の移動速度、すなわち、
送り速度は、２０ｍｍ／ｓｅｃ〜３００ｍｍ／ｓｅｃの
範囲が好ましい。このような速度で基板テーブル１２を
移動させることにより、反射防止フィルム３やディスプ
レイ基板２にストレスをかけずに反射防止フィルム３の
貼り合わせを行うことができる。

【００７６】ディスプレイ基板２の終端が貼合ローラー
７３の位置まで移動した時点で、反射防止フィルム３の
ディスプレイ基板２への貼り合わせが終了する。この時
点で、基板テーブル上昇シリンダー２０を下降させる。
また、これと同時に低真空吸引ライン４５用のブロワー
を停止させる。そして、反射防止フィルム３の貼り合わ
せが終了したディスプレイ基板２を基板テーブル１２か
ら取り外して反射防止フィルム３の貼り合わせ作業が終
了する。この後は、基板テーブル１２を初期の位置、す
なわち貼り合わせ開始位置に戻し、また、フィルム吸着
台３７を初期の位置に戻せば次の作業を行うことができ
る。

【００７７】以上により、反射防止フィルム３やディス
プレイ基板２にストレスをかけずに自然な状態で貼り合
わせることができ、気泡、しわ、異物混入等の現象が発
生することなく、高品質な完成品を得ることができる。
また、反射防止フィルム貼合機１によれば、貼り合わせ
精度も良いため、例えば±０．５ｍｍ程度の公差条件も
十分に満たすことが可能である。また、上述した種々の
条件を適当に選択することにより、帯電静電気の電圧が
低い状態、例えば２５０Ｖ以下程度で反射防止フィルム
３の貼り合わせを行うことができる。

【００７８】なお、上述した操作は全て、手動で行って
も良く、また、自動制御としても良く、作業状況等の諸
条件により種々の変更が可能である。

【００７９】また、上記においては、図７に示すような
パターンの高真空吸引ライン４４及び低真空吸引ライン
４５を有するフィルム吸着台３７を用いた場合について
説明したが、高真空吸引ライン４４及び低真空吸引ライ
ン４５のパターンはこれに限定されるものではなく、例
えば図９に示すようにバキュームプレート４２'に複数
の高真空吸引孔４９'及び低真空吸引孔５０'を備えた構
成としても良い。このとき、高真空吸引孔４９'及び低
真空吸引孔５０'の角部は図１０に示すように丸みをつ
けることが好ましい。これにより、反射防止フィルム３
に傷がつくことを防止できる。

【００８０】

【発明の効果】本発明に係るフィルム貼り合わせ方法
は、基板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わ
せ方法において、フィルムをその一端が突出するように
フィルム保持基板上に装着した後、基板に対して斜めに
配置し、突出するフィルムの先端に向かって基板を斜め
に上昇させ、上記フィルムの先端を加圧ロールと基板と
の間に挟み、上記基板を水平方向に移動することにより
上記フィルムをフィルム保持基板上で摺動させ、先端か
ら順に加圧ロールにより基板上に貼り合わせるものであ
る。

【００８１】また、本発明に係るフィルム貼合機は、基
板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼合機であっ
て、上記フィルムを保持するフィルム保持部材と、上記
基板を保持する基板保持部材と、上記フィルムを加圧す
る加圧ロールと、上記フィルム保持部材に保持した上記
フィルムを上記基板上に移動させるフィルム保持部材移
動手段と、上記基板保持部材に保持した上記基板を該基
板の移動方向に斜めに上昇させる第一の基板移動手段
と、上記基板保持部材に保持した上記基板を該基板の移
動方向に移動する第二の基板移動手段とを備えてなるも
のである。

【００８２】以上のような本発明によれば、フィルムに
ストレスをかけずに自然な状態でフィルムを基板に貼り
合わせることが可能である。そして、完成品には気泡、
しわ、異物混入等の現象が発生せず、高品質な完成品を
得ることが可能である。

【００８３】したがって、本発明によれば、簡便且つ確
実にフィルムを貼り合わせることが可能なフィルム貼り
合わせ方法およびフィルム貼合機を提供することが可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る反射防止フィルム貼合機の概略構
成図である。

【図２】本発明に係る反射防止フィルム貼合機の側面図
である。

【図３】本発明に係る反射防止フィルム貼合機の概略平
面図である。

【図４】反射防止フィルムの一構成例を示す断面図であ
る。

【図５】反射防止フィルムの一構成例を示す平面図であ
る。

【図６】フィルム吸着台の一構成例を示す側面図であ
る。

【図７】フィルム吸着台の一構成例を示す平面図であ
る。

【図８】反射防止フィルムの貼合工程を説明する要部断
面図である。

【図９】フィルム吸着台の他の構成例を示す平面図であ
る。

【図１０】高真空吸引孔及び低真空吸引孔を説明する要
部断面図である。

【符号の説明】

１ 反射防止フィルム貼合機、２ ディスプレイ基板、
３ 反射防止フィルム、１１ リニアベースプレート、
１２ 基板テーブル、１３ バキュームプレート、１４
リニアレール、１８ リニアレール、１９ リニアガ
イド、２０ 基板テーブル上昇シリンダー、２１ スト
ッパー、２２ ガイド、２３ リニアガイド、２４ 基
板テーブル水平送りシリンダー、２５ 基板位置決めガ
イド、２６ 吸引孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F211 AG03 AM32 TA03 TC02 TD11 TJ13 TJ14 TJ15 TJ23 TJ30 TQ03

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上にフィルムを貼り合わせるフィル
   ム貼り合わせ方法において、 フィルムをその一端が突出するようにフィルム保持基板
   上に装着した後、基板に対して斜めに配置し、 突出するフィルムの先端に向かって基板を斜めに上昇さ
   せ、上記フィルムの先端を加圧ロールと基板との間に挟
   み、 上記基板を水平方向に移動することにより上記フィルム
   をフィルム保持基板上で摺動させ、先端から順に加圧ロ
   ールにより基板上に貼り合わせることを特徴とするフィ
   ルム貼り合わせ方法。
2. 【請求項２】 上記フィルムは、フィルム保持基板に吸
   着により保持させることを特徴とする請求項１記載のフ
   ィルム貼り合わせ方法。
3. 【請求項３】 上記フィルムは、装着時には高真空でフ
   ィルム保持基板に吸着保持し、加圧ロールによる貼り合
   わせ時には低真空でフィルム保持基板に吸着保持するこ
   とを特徴とする請求項２記載のフィルム貼り合わせ方
   法。
4. 【請求項４】 上記フィルムは、粘着層と粘着層上に貼
   られた保護フィルムとを備えてなり、 上記フィルムを高真空でフィルム保持基板に吸着保持し
   た状態で上記保護フィルムを剥離し、保護フィルム剥離
   後に低真空で吸着保持して貼り合わせを行うことを特徴
   とする請求項３記載のフィルム貼り合わせ方法。
5. 【請求項５】 上記フィルムに対して除電を行うことを
   特徴とする請求項１記載のフィルム貼り合わせ方法。
6. 【請求項６】 上記フィルムに対して除電ブローを行う
   ことを特徴とする請求項５記載のフィルム貼り合わせ方
   法。
7. 【請求項７】 上記加圧ロールの近傍に除電部材を配置
   することを特徴とする請求項５記載のフィルム貼り合わ
   せ方法。
8. 【請求項８】 上記フィルム保持基板を導電性材料によ
   り構成することを特徴とする請求項５記載のフィルム貼
   り合わせ方法。
9. 【請求項９】 上記基板を基板保持基板に吸着保持する
   ことを特徴とする請求項１記載のフィルム貼り合わせ方
   法。
10. 【請求項１０】 上記基板保持基板を導電性材料により
    構成することを特徴とする請求項９記載のフィルム貼り
    合わせ方法。
11. 【請求項１１】 基板上にフィルムを貼り合わせるフィ
    ルム貼合機であって、 上記フィルムを保持するフィルム保持部材と、 上記基板を保持する基板保持部材と、 上記フィルムを加圧する加圧ロールと、 上記フィルム保持部材に保持した上記フィルムを上記基
    板上に移動させるフィルム保持部材移動手段と、 上記基板保持部材に保持した上記基板を該基板の移動方
    向に斜めに上昇させる第一の基板移動手段と、 上記基板保持部材に保持した上記基板を該基板の移動方
    向に移動する第二の基板移動手段とを備えることを特徴
    とするフィルム貼合機。
12. 【請求項１２】 上記フィルム保持部材が、上記フィル
    ムを吸着保持する吸着手段を有することを特徴とする請
    求項１１記載のフィルム貼合機。
13. 【請求項１３】 上記吸着手段が、高真空と低真空との
    異なる吸引力を備えることを特徴とする請求項１２記載
    のフィルム貼合機。
14. 【請求項１４】 上記基板保持部材が、上記基板を吸着
    保持する吸着手段を有することを特徴とする請求項１１
    記載のフィルム貼合機。
15. 【請求項１５】 上記フィルムの除電手段を有すること
    を特徴とする請求項１１記載のフィルム貼合機。
16. 【請求項１６】 上記除電手段が除電ブロー装置である
    ことを特徴とする請求項１５記載のフィルム貼合機。
17. 【請求項１７】 上記除電手段が加圧ロールの近傍に設
    けられた除電部材であることを特徴とする請求項１５記
    載のフィルム貼合機。
18. 【請求項１８】 上記フィルム保持部材が導電性材料に
    よりなることを特徴とする請求項１５記載のフィルム貼
    合機。
19. 【請求項１９】 上記基板保持部材を導電性材料により
    構成することを特徴とする請求項１１記載のフィルム貼
    合機。