JP2003276091A - フィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合機 - Google Patents
フィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合機Info
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- JP2003276091A JP2003276091A JP2002083344A JP2002083344A JP2003276091A JP 2003276091 A JP2003276091 A JP 2003276091A JP 2002083344 A JP2002083344 A JP 2002083344A JP 2002083344 A JP2002083344 A JP 2002083344A JP 2003276091 A JP2003276091 A JP 2003276091A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡便且つ確実にフィルムを貼り合わせること
が可能なフィルム貼り合わせ方法およびフィルム貼合機
を提供する。 【解決手段】 本発明に係るフィルム貼り合わせ方法
は、基板2上にフィルム3を貼り合わせるフィルム貼り
合わせ方法において、フィルム3をその一端が突出する
ようにフィルム保持基板37上に装着した後、基板2に
対して斜めに配置し、突出するフィルム3の先端に向か
って基板2を斜めに上昇させ、上記フィルム3の先端を
加圧ロール73と基板2との間に挟み、上記基板2を水
平方向に移動することにより上記フィルム3をフィルム
保持基板37上で摺動させ、先端から順に加圧ロール7
3により基板2上に貼り合わせることを特徴とする。
が可能なフィルム貼り合わせ方法およびフィルム貼合機
を提供する。 【解決手段】 本発明に係るフィルム貼り合わせ方法
は、基板2上にフィルム3を貼り合わせるフィルム貼り
合わせ方法において、フィルム3をその一端が突出する
ようにフィルム保持基板37上に装着した後、基板2に
対して斜めに配置し、突出するフィルム3の先端に向か
って基板2を斜めに上昇させ、上記フィルム3の先端を
加圧ロール73と基板2との間に挟み、上記基板2を水
平方向に移動することにより上記フィルム3をフィルム
保持基板37上で摺動させ、先端から順に加圧ロール7
3により基板2上に貼り合わせることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルムを基板に
貼り合わせるフィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合
機に関する。
貼り合わせるフィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合
機に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、パソコン用やワープロ用の画像表
示装置、または一般の観賞用のテレビにおいては、ブラ
ウン管を用いたものに代わってLCD(液晶表示装
置)、OELD(有機エレクトロルミネッセンスディス
プレイ)、PDP(プラズマディスプレイ)など薄型の
ディスプレイデバイスの開発が進み、商品化されてい
る。このようなLCD、PDP等においては、反射防
止、透過効率向上等の観点から、種々の機能のフィルム
部材をディスプレイの表面に貼り合わせることにより良
好な画像品質を実現している。
示装置、または一般の観賞用のテレビにおいては、ブラ
ウン管を用いたものに代わってLCD(液晶表示装
置)、OELD(有機エレクトロルミネッセンスディス
プレイ)、PDP(プラズマディスプレイ)など薄型の
ディスプレイデバイスの開発が進み、商品化されてい
る。このようなLCD、PDP等においては、反射防
止、透過効率向上等の観点から、種々の機能のフィルム
部材をディスプレイの表面に貼り合わせることにより良
好な画像品質を実現している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
フィルム部材をディスプレイの表面に貼り合わせる作業
は、作業者による手作業により行われている。このた
め、フィルム部材の貼り合わせには種々の問題が生じて
いる。まず、フィルム部材の貼り合わせ後に多数の気泡
が残ってしまうという問題がある。フィルム部材の貼り
合わせ後に気泡が残っていると、気泡により光の散乱等
が乱され、所望の画像品質を得ることができず画像品質
の低下の原因となる。
フィルム部材をディスプレイの表面に貼り合わせる作業
は、作業者による手作業により行われている。このた
め、フィルム部材の貼り合わせには種々の問題が生じて
いる。まず、フィルム部材の貼り合わせ後に多数の気泡
が残ってしまうという問題がある。フィルム部材の貼り
合わせ後に気泡が残っていると、気泡により光の散乱等
が乱され、所望の画像品質を得ることができず画像品質
の低下の原因となる。
【0004】また、フィルム部材を貼り合わせる際に大
量の静電気が発生し、該静電気の発生により大気中に浮
遊するゴミや塵がフィルム部材に吸着し、その結果、異
物としてディスプレイとフィルム部材との間に残存して
しまう。この場合も異物により光の散乱等が乱され、所
望の画像品質を得ることができず、画像品質の低下の原
因となる。そして、静電気の帯電量が多い場合には、デ
ィスプレイの電気回路にまで悪影響を与え、電気回路が
損傷する虞もある。
量の静電気が発生し、該静電気の発生により大気中に浮
遊するゴミや塵がフィルム部材に吸着し、その結果、異
物としてディスプレイとフィルム部材との間に残存して
しまう。この場合も異物により光の散乱等が乱され、所
望の画像品質を得ることができず、画像品質の低下の原
因となる。そして、静電気の帯電量が多い場合には、デ
ィスプレイの電気回路にまで悪影響を与え、電気回路が
損傷する虞もある。
【0005】また、フィルム部材を貼り合わせる際にフ
ィルム部材を他部材と擦ってしまう等によりフィルム部
材表面に擦り傷が発生し、これもまた画像品質不良を引
き起こす原因となっている。
ィルム部材を他部材と擦ってしまう等によりフィルム部
材表面に擦り傷が発生し、これもまた画像品質不良を引
き起こす原因となっている。
【0006】そして、手作業であるためフィルム部材の
ディスプレイの表面に対する位置合わせ精度が悪く、そ
の結果、フィルム部材の貼り合わせ精度が悪くなるとい
う問題がある。
ディスプレイの表面に対する位置合わせ精度が悪く、そ
の結果、フィルム部材の貼り合わせ精度が悪くなるとい
う問題がある。
【0007】したがって、これらの問題によりフィルム
部材を効率良く、良好な状態で貼り合わせることができ
ないのが現状である。
部材を効率良く、良好な状態で貼り合わせることができ
ないのが現状である。
【0008】したがって、本発明は上述した従来の実情
に鑑みて創案されたものであり、簡便且つ確実にフィル
ムを貼り合わせることが可能なフィルム貼り合わせ方法
およびフィルム貼合機を提供することを目的とする。
に鑑みて創案されたものであり、簡便且つ確実にフィル
ムを貼り合わせることが可能なフィルム貼り合わせ方法
およびフィルム貼合機を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成する本
発明に係るフィルム貼り合わせ方法は、基板上にフィル
ムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ方法において、フ
ィルムをその一端が突出するようにフィルム保持基板上
に装着した後、基板に対して斜めに配置し、突出するフ
ィルムの先端に向かって基板を斜めに上昇させ、フィル
ムの先端を加圧ロールと基板との間に挟み、基板を水平
方向に移動することによりフィルムをフィルム保持基板
上で摺動させ、先端から順に加圧ロールにより基板上に
貼り合わせることを特徴とするものである。
発明に係るフィルム貼り合わせ方法は、基板上にフィル
ムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ方法において、フ
ィルムをその一端が突出するようにフィルム保持基板上
に装着した後、基板に対して斜めに配置し、突出するフ
ィルムの先端に向かって基板を斜めに上昇させ、フィル
ムの先端を加圧ロールと基板との間に挟み、基板を水平
方向に移動することによりフィルムをフィルム保持基板
上で摺動させ、先端から順に加圧ロールにより基板上に
貼り合わせることを特徴とするものである。
【0010】以上のような本発明に係るフィルム貼り合
わせ方法は、突出するフィルムの先端に向かって基板を
斜めに上昇させる。これにより、本発明に係るフィルム
貼り合わせ方法では、フィルムの貼り合わせが開始され
る端部の撓みがフィルムの面方向にきれいに延ばされ
る。その後、フィルムの撓みがきれいに延ばされた状態
でさらに基板を斜めに上昇させてフィルムを基板と加圧
ロールとの間に挟む。
わせ方法は、突出するフィルムの先端に向かって基板を
斜めに上昇させる。これにより、本発明に係るフィルム
貼り合わせ方法では、フィルムの貼り合わせが開始され
る端部の撓みがフィルムの面方向にきれいに延ばされ
る。その後、フィルムの撓みがきれいに延ばされた状態
でさらに基板を斜めに上昇させてフィルムを基板と加圧
ロールとの間に挟む。
【0011】これにより、フィルムは、貼り合わせが始
まる先端部においてしわや撓みがない状態で加圧ロール
により基板に貼り合わされる。このため、この後の貼り
合わせ工程においてもしわや撓みのない状態でフィルム
の貼り合わせを行うことができる。また、しわや撓みに
起因する気泡の発生を防止することができる。
まる先端部においてしわや撓みがない状態で加圧ロール
により基板に貼り合わされる。このため、この後の貼り
合わせ工程においてもしわや撓みのない状態でフィルム
の貼り合わせを行うことができる。また、しわや撓みに
起因する気泡の発生を防止することができる。
【0012】また、貼り合わせ開始時にフィルムを基板
と加圧ロールとの間に挟むことにより確実に貼り合わせ
開始位置を規定することができるため、精度良くフィル
ムの貼り合わせを行うことができる。
と加圧ロールとの間に挟むことにより確実に貼り合わせ
開始位置を規定することができるため、精度良くフィル
ムの貼り合わせを行うことができる。
【0013】また、本発明においては、フィルム及び基
板を保持基板に吸着保持することが好ましい。フィルム
及び基板を保持基板に吸着保持することによりフィルム
及び基板を確実に保持基板に保持することができ、位置
ずれの発生を防止することができる。
板を保持基板に吸着保持することが好ましい。フィルム
及び基板を保持基板に吸着保持することによりフィルム
及び基板を確実に保持基板に保持することができ、位置
ずれの発生を防止することができる。
【0014】また、フィルムは、装着時には高真空でフ
ィルム保持基板に吸着保持し、加圧ロールによる貼り合
わせ時には低真空でフィルム保持基板に吸着保持するこ
とが好ましい。このように作業段階によってフィルムを
吸着保持する吸引力を使い分けることにより、フィルム
に傷が付くことを防止することができる。
ィルム保持基板に吸着保持し、加圧ロールによる貼り合
わせ時には低真空でフィルム保持基板に吸着保持するこ
とが好ましい。このように作業段階によってフィルムを
吸着保持する吸引力を使い分けることにより、フィルム
に傷が付くことを防止することができる。
【0015】そして、本発明においては、フィルムの貼
り合わせ時に除電をおこなうことが好ましい。フィルム
の貼り合わせ時に除電を行うことにより、フィルム及び
基板における静電気の帯電を減少させることができる。
その結果、貼り合わせ作業及び貼り合わせ後における静
電気の悪影響を抑制することができる。
り合わせ時に除電をおこなうことが好ましい。フィルム
の貼り合わせ時に除電を行うことにより、フィルム及び
基板における静電気の帯電を減少させることができる。
その結果、貼り合わせ作業及び貼り合わせ後における静
電気の悪影響を抑制することができる。
【0016】また、上述した目的を達成する本発明に係
るフィルム貼合機は、基板上にフィルムを貼り合わせる
フィルム貼合機であって、フィルムを保持するフィルム
保持部材と、基板を保持する基板保持部材と、フィルム
を加圧する加圧ロールと、フィルム保持部材に保持した
フィルムを基板上に移動させるフィルム保持部材移動手
段と、基板保持部材に保持した基板を該基板の移動方向
に斜めに上昇させる第一の基板移動手段と、基板保持部
材に保持した基板を該基板の移動方向に移動する第二の
基板移動手段とを備えることを特徴とするものである。
るフィルム貼合機は、基板上にフィルムを貼り合わせる
フィルム貼合機であって、フィルムを保持するフィルム
保持部材と、基板を保持する基板保持部材と、フィルム
を加圧する加圧ロールと、フィルム保持部材に保持した
フィルムを基板上に移動させるフィルム保持部材移動手
段と、基板保持部材に保持した基板を該基板の移動方向
に斜めに上昇させる第一の基板移動手段と、基板保持部
材に保持した基板を該基板の移動方向に移動する第二の
基板移動手段とを備えることを特徴とするものである。
【0017】以上のような本発明に係るフィルム貼合機
では、第一の基板移動手段を備えることにより、フィル
ムの貼り合わせ開始時に基板保持部材に保持された基板
を斜めに上昇させてフィルム保持部材に保持されたフィ
ルムの一端に接触させることができる。これにより、フ
ィルムの貼り合わせが開始される側の端部の撓みが水平
方向にきれいに延ばされる。その後、フィルムの撓みが
きれいに延ばされた状態でさらに基板を斜めに上昇させ
てフィルムを該基板と加圧ロールとの間に挟む。
では、第一の基板移動手段を備えることにより、フィル
ムの貼り合わせ開始時に基板保持部材に保持された基板
を斜めに上昇させてフィルム保持部材に保持されたフィ
ルムの一端に接触させることができる。これにより、フ
ィルムの貼り合わせが開始される側の端部の撓みが水平
方向にきれいに延ばされる。その後、フィルムの撓みが
きれいに延ばされた状態でさらに基板を斜めに上昇させ
てフィルムを該基板と加圧ロールとの間に挟む。
【0018】これにより、フィルムは、先端部にしわや
撓みがない状態で基板に貼り合わされる。そして、この
後の貼り合わせ工程においてもしわや撓みのない状態で
フィルムの貼り合わせを行うことができる。また、しわ
や撓みに起因する気泡の発生を防止することができる。
撓みがない状態で基板に貼り合わされる。そして、この
後の貼り合わせ工程においてもしわや撓みのない状態で
フィルムの貼り合わせを行うことができる。また、しわ
や撓みに起因する気泡の発生を防止することができる。
【0019】また、貼り合わせ開始時にフィルムを基板
と加圧手段との間に挟むことにより確実に貼り合わせ開
始位置を規定することができるため、精度良くフィルム
の貼り合わせを行うことができる。
と加圧手段との間に挟むことにより確実に貼り合わせ開
始位置を規定することができるため、精度良くフィルム
の貼り合わせを行うことができる。
【0020】そして、第二の基板移動手段を備えること
により、先端部がきれいに貼り合わされた基板を水平方
向に移動させて先端から順に加圧ロールにより基板上に
貼り合わせることができる。
により、先端部がきれいに貼り合わされた基板を水平方
向に移動させて先端から順に加圧ロールにより基板上に
貼り合わせることができる。
【0021】また、本発明に係るフィルム貼合機におい
ては、フィルム保持部材及び基板保持部材が、フィルム
及び基板を吸着保持する吸着手段を備えることが好まし
い。フィルム及び基板を保持基板に吸着保持することに
よりフィルム及び基板の位置ずれの発生を防止すること
ができ、精度良くフィルムの貼り合わせを行うことがで
きる。また、フィルム保持部材は、高真空と低真空との
異なる吸引力でフィルムを吸着保持することが好まし
い。そして、装着時には高真空でフィルム保持基板に吸
着保持し、加圧ロールによる貼り合わせ時には低真空で
フィルム保持基板に吸着保持することが好ましい。この
ように作業段階によってフィルムを吸着保持する吸引力
を使い分けることにより、フィルムに傷が付くことを防
止することができる。
ては、フィルム保持部材及び基板保持部材が、フィルム
及び基板を吸着保持する吸着手段を備えることが好まし
い。フィルム及び基板を保持基板に吸着保持することに
よりフィルム及び基板の位置ずれの発生を防止すること
ができ、精度良くフィルムの貼り合わせを行うことがで
きる。また、フィルム保持部材は、高真空と低真空との
異なる吸引力でフィルムを吸着保持することが好まし
い。そして、装着時には高真空でフィルム保持基板に吸
着保持し、加圧ロールによる貼り合わせ時には低真空で
フィルム保持基板に吸着保持することが好ましい。この
ように作業段階によってフィルムを吸着保持する吸引力
を使い分けることにより、フィルムに傷が付くことを防
止することができる。
【0022】そして、本発明に係るフィルム貼合機にお
いては、フィルムの貼り合わせ時に除電を行う除電手段
を備えることが好ましい。フィルムの貼り合わせ時に除
電をおこなうことにより、フィルム及び基板における静
電気の帯電を減少させることができる。その結果、貼り
合わせ作業及び貼り合わせ後における静電気の悪影響を
抑制することができる。
いては、フィルムの貼り合わせ時に除電を行う除電手段
を備えることが好ましい。フィルムの貼り合わせ時に除
電をおこなうことにより、フィルム及び基板における静
電気の帯電を減少させることができる。その結果、貼り
合わせ作業及び貼り合わせ後における静電気の悪影響を
抑制することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照して詳
細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
適宜変更可能である。また、以下に示す図面において
は、図面理解の容易のために、部材を省略している場合
がある。
細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
適宜変更可能である。また、以下に示す図面において
は、図面理解の容易のために、部材を省略している場合
がある。
【0024】本発明に係るフィルム貼り合わせ方法は、
基板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ方
法において、フィルムをその一端が突出するようにフィ
ルム保持基板上に装着した後、基板に対して斜めに配置
し、突出するフィルムの先端に向かって基板を斜めに上
昇させ、フィルムの先端を加圧ロールと基板との間に挟
み、基板を水平方向に移動することによりフィルムをフ
ィルム保持基板上で摺動させ、先端から順に加圧ロール
により基板上に貼り合わせることを特徴とするものであ
る。
基板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ方
法において、フィルムをその一端が突出するようにフィ
ルム保持基板上に装着した後、基板に対して斜めに配置
し、突出するフィルムの先端に向かって基板を斜めに上
昇させ、フィルムの先端を加圧ロールと基板との間に挟
み、基板を水平方向に移動することによりフィルムをフ
ィルム保持基板上で摺動させ、先端から順に加圧ロール
により基板上に貼り合わせることを特徴とするものであ
る。
【0025】また、本発明に係るフィルム貼合機は、基
板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼合機であっ
て、フィルムを保持するフィルム保持部材と、基板を保
持する基板保持部材と、フィルムを加圧する加圧ロール
と、フィルム保持部材に保持したフィルムを基板上に移
動させるフィルム保持部材移動手段と、基板保持部材に
保持した基板を該基板の移動方向に斜めに上昇させる第
一の基板移動手段と、基板保持部材に保持した基板を該
基板の移動方向に移動する第二の基板移動手段とを備え
ることを特徴とするものである。
板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼合機であっ
て、フィルムを保持するフィルム保持部材と、基板を保
持する基板保持部材と、フィルムを加圧する加圧ロール
と、フィルム保持部材に保持したフィルムを基板上に移
動させるフィルム保持部材移動手段と、基板保持部材に
保持した基板を該基板の移動方向に斜めに上昇させる第
一の基板移動手段と、基板保持部材に保持した基板を該
基板の移動方向に移動する第二の基板移動手段とを備え
ることを特徴とするものである。
【0026】図1に本発明を適用して構成した反射防止
フィルム貼合機1の概略構成図を示す。図2に、図1を
矢印Aの方向から見た側面図を示す。図3は、反射防止
フィルム貼合機1の概略平面図である。反射防止フィル
ム貼合機1は、ディスプレイ基板2の主面に反射防止フ
ィルム3を貼り合わせる装置であり、大別して基板移動
機構と、フィルム支持機構と、フィルム加圧機構とによ
り構成されている。以下、これらを順に説明する。
フィルム貼合機1の概略構成図を示す。図2に、図1を
矢印Aの方向から見た側面図を示す。図3は、反射防止
フィルム貼合機1の概略平面図である。反射防止フィル
ム貼合機1は、ディスプレイ基板2の主面に反射防止フ
ィルム3を貼り合わせる装置であり、大別して基板移動
機構と、フィルム支持機構と、フィルム加圧機構とによ
り構成されている。以下、これらを順に説明する。
【0027】ここで、反射防止フィルム貼合機1に用い
るディスプレイ基板2の各層の厚みや構成材料等は特に
限定されるものではなく、例えば厚み1mm〜3mm程
度のLCD(液晶表示装置)、OELD(有機エレクト
ロルミネッセンスディスプレイ)、PDP(プラズマデ
ィスプレイ)などの薄膜ディスプレイ基板及びブラウン
管を用いることができる。
るディスプレイ基板2の各層の厚みや構成材料等は特に
限定されるものではなく、例えば厚み1mm〜3mm程
度のLCD(液晶表示装置)、OELD(有機エレクト
ロルミネッセンスディスプレイ)、PDP(プラズマデ
ィスプレイ)などの薄膜ディスプレイ基板及びブラウン
管を用いることができる。
【0028】まず反射防止フィルム3について説明す
る。反射防止フィルム3は、光の干渉効果を利用して反
射光を除去する働きをするものであり、ディスプレイ基
板2上に貼り合わせることによりディスプレイ装置の視
認特性を向上させるものである。このような反射防止フ
ィルム3は、図4及び図5に示すように光透過性の支持
体6と、該支持体6の一主面上に形成された反射防止膜
7と、該支持体6の他主面上に形成された接着剤層5と
により構成されている。また、該接着剤層5上には接着
剤層5を保護するための保護フィルム4が貼り合わされ
ている。ここで、各層の厚みや構成材料等は特に限定さ
れるものではなく、例えば光透過性の支持体6の厚みは
0.05mm〜0.2mm程度とすることができる。
る。反射防止フィルム3は、光の干渉効果を利用して反
射光を除去する働きをするものであり、ディスプレイ基
板2上に貼り合わせることによりディスプレイ装置の視
認特性を向上させるものである。このような反射防止フ
ィルム3は、図4及び図5に示すように光透過性の支持
体6と、該支持体6の一主面上に形成された反射防止膜
7と、該支持体6の他主面上に形成された接着剤層5と
により構成されている。また、該接着剤層5上には接着
剤層5を保護するための保護フィルム4が貼り合わされ
ている。ここで、各層の厚みや構成材料等は特に限定さ
れるものではなく、例えば光透過性の支持体6の厚みは
0.05mm〜0.2mm程度とすることができる。
【0029】このように構成された反射防止フィルム3
は、ディスプレイ基板2に貼り合わせる際には保護フィ
ルム4を剥離して接着剤層5を露出させる。そして、反
射防止フィルム3とディスプレイ基板2とを正確に位置
合わせし、該接着剤層5をディスプレイ基板2に当接さ
せることによりディスプレイ基板2に接着される。
は、ディスプレイ基板2に貼り合わせる際には保護フィ
ルム4を剥離して接着剤層5を露出させる。そして、反
射防止フィルム3とディスプレイ基板2とを正確に位置
合わせし、該接着剤層5をディスプレイ基板2に当接さ
せることによりディスプレイ基板2に接着される。
【0030】[基板移動機構]基板移動機構は、リニア
レールベースプレート11、基板テーブル12、及びバ
キュームプレート13を備えて構成されている。リニア
レールベースプレート11は反射防止フィルム貼合機1
のベースとなるものであり、略平板状とされている。そ
して、該リニアレールベースプレート11上には図1の
矢印Aの方向に延びる2本のリニアレール14が設けら
れ、その上には支持プレート15、支持部材16及び支
持部材17を介してバキュームプレート13が配されて
いる。そして、バキュームプレート13上に基板テーブ
ル12が配されている。
レールベースプレート11、基板テーブル12、及びバ
キュームプレート13を備えて構成されている。リニア
レールベースプレート11は反射防止フィルム貼合機1
のベースとなるものであり、略平板状とされている。そ
して、該リニアレールベースプレート11上には図1の
矢印Aの方向に延びる2本のリニアレール14が設けら
れ、その上には支持プレート15、支持部材16及び支
持部材17を介してバキュームプレート13が配されて
いる。そして、バキュームプレート13上に基板テーブ
ル12が配されている。
【0031】支持部材16は、支持プレート15の四隅
近傍にそれぞれ一個ずつ固定して設けられ、その上面が
所定の斜度を有する斜面とされ、リニアレール18が設
けられている。反射防止フィルム貼合機1においては、
この斜度は45°とされている。また、支持部材17は
バキュームプレート13の下面の四隅近傍にそれぞれ一
個ずつ固定して設けられ、該支持部材17の下面も支持
部材16の上面と同じ斜度を有する斜面とされ、該斜面
にはリニアレール18と対応する位置にリニアガイド1
9が設けられている。すなわち、リニアレール18とリ
ニアガイド19とは、同じ斜度を有した状態で設けられ
ている。反射防止フィルム貼合機1においては、この斜
度は45°とされている。そして、リニアレール18と
リニアガイド19とが嵌合することにより支持部材16
と支持部材17とが連結されている。ここで、リニアレ
ール18とリニアガイド19とは、同じ斜度を有するこ
とによりリニアレール18の長手方向に摺動可能な状態
で連結されている。
近傍にそれぞれ一個ずつ固定して設けられ、その上面が
所定の斜度を有する斜面とされ、リニアレール18が設
けられている。反射防止フィルム貼合機1においては、
この斜度は45°とされている。また、支持部材17は
バキュームプレート13の下面の四隅近傍にそれぞれ一
個ずつ固定して設けられ、該支持部材17の下面も支持
部材16の上面と同じ斜度を有する斜面とされ、該斜面
にはリニアレール18と対応する位置にリニアガイド1
9が設けられている。すなわち、リニアレール18とリ
ニアガイド19とは、同じ斜度を有した状態で設けられ
ている。反射防止フィルム貼合機1においては、この斜
度は45°とされている。そして、リニアレール18と
リニアガイド19とが嵌合することにより支持部材16
と支持部材17とが連結されている。ここで、リニアレ
ール18とリニアガイド19とは、同じ斜度を有するこ
とによりリニアレール18の長手方向に摺動可能な状態
で連結されている。
【0032】バキュームプレート13の上には基板テー
ブル12が載置されており、該基板テーブル12上にデ
ィスプレイ基板2が載置、固定される。ここで、バキュ
ームプレート13は、その一端がディスプレイ基板固定
用の真空ポンプ(図示せず)に接続されており、また、
バキュームプレート13の内部には吸引構造が設けら
れ、基板テーブル12をその厚み方向に貫通するように
設けられた吸引孔26を通して基板テーブル12上に載
置されたディスプレイ基板2を吸引保持し、固定できる
ようになっている。
ブル12が載置されており、該基板テーブル12上にデ
ィスプレイ基板2が載置、固定される。ここで、バキュ
ームプレート13は、その一端がディスプレイ基板固定
用の真空ポンプ(図示せず)に接続されており、また、
バキュームプレート13の内部には吸引構造が設けら
れ、基板テーブル12をその厚み方向に貫通するように
設けられた吸引孔26を通して基板テーブル12上に載
置されたディスプレイ基板2を吸引保持し、固定できる
ようになっている。
【0033】ディスプレイ基板2を吸引保持する吸引圧
はとしては、ディスプレイ基板2に反射防止フィルム3
を貼り合わせる際にディスプレイ基板2の位置ずれが生
じないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではなく、例えば、5×103
Pa〜1×104Pa程度とすることが好ましい。吸引
圧があまり低い場合には、ディスプレイ基板2に反射防
止フィルム3を貼り合わせる際にディスプレイ基板2の
位置ずれが生じてしまう。また、吸引圧があまり高い場
合には、ディスプレイ基板2に損傷を与えてしまう。
はとしては、ディスプレイ基板2に反射防止フィルム3
を貼り合わせる際にディスプレイ基板2の位置ずれが生
じないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではなく、例えば、5×103
Pa〜1×104Pa程度とすることが好ましい。吸引
圧があまり低い場合には、ディスプレイ基板2に反射防
止フィルム3を貼り合わせる際にディスプレイ基板2の
位置ずれが生じてしまう。また、吸引圧があまり高い場
合には、ディスプレイ基板2に損傷を与えてしまう。
【0034】基板テーブル12及びバキュームプレート
13の大きさは特に限定されるものではなく、用途に応
じて設計することができ、例えば画面サイズ13〜画面
サイズ20の大きさのディスプレイ基板2に適合するよ
うに設計することができる。また、基板テーブル12及
びバキュームプレート13は、導電性材料により構成す
ることが好ましい。基板テーブル及びバキュームプレー
ト13は、導電性材料により構成することにより、これ
らがアースの役割を果たし、静電気を他部材等に逃がす
ことが可能となる。これにより、基板テーブル12の帯
電量を減少させることが可能となり、静電気の電圧を低
下させることができる。このような導電性材料として
は、例えばSUS、Al、Cuなどの導電性金属が好適
である。
13の大きさは特に限定されるものではなく、用途に応
じて設計することができ、例えば画面サイズ13〜画面
サイズ20の大きさのディスプレイ基板2に適合するよ
うに設計することができる。また、基板テーブル12及
びバキュームプレート13は、導電性材料により構成す
ることが好ましい。基板テーブル及びバキュームプレー
ト13は、導電性材料により構成することにより、これ
らがアースの役割を果たし、静電気を他部材等に逃がす
ことが可能となる。これにより、基板テーブル12の帯
電量を減少させることが可能となり、静電気の電圧を低
下させることができる。このような導電性材料として
は、例えばSUS、Al、Cuなどの導電性金属が好適
である。
【0035】図1に示すように支持プレート15上の支
持部材16と支持部材16との間には基板テーブル上昇
シリンダー20とストッパー21とが固定配置されてい
る。また、バキュームプレート13の下面における基板
テーブル上昇シリンダー20とストッパー21との間に
対応する位置には、ガイド22が固定配置されている。
持部材16と支持部材16との間には基板テーブル上昇
シリンダー20とストッパー21とが固定配置されてい
る。また、バキュームプレート13の下面における基板
テーブル上昇シリンダー20とストッパー21との間に
対応する位置には、ガイド22が固定配置されている。
【0036】ここで、基板テーブル上昇シリンダー20
は、図1の矢印Aの方向に伸縮自在とされており、該基
板テーブル上昇シリンダー20を動作させてガイド22
を押すことによりバキュームプレート13を基板テーブ
ル12ごと、図1の矢印Aの方向に移動させることがで
きる。これにより、基板テーブル12上に吸引保持され
たディスプレイ基板2を図1の矢印Aの方向に移動させ
ることができる。
は、図1の矢印Aの方向に伸縮自在とされており、該基
板テーブル上昇シリンダー20を動作させてガイド22
を押すことによりバキュームプレート13を基板テーブ
ル12ごと、図1の矢印Aの方向に移動させることがで
きる。これにより、基板テーブル12上に吸引保持され
たディスプレイ基板2を図1の矢印Aの方向に移動させ
ることができる。
【0037】ここで、支持プレート15とバキュームプ
レート13とは、上述したようにリニアレール18とリ
ニアガイド19とがリニアレール18の長手方向に摺動
可能に嵌合することにより支持部材16及び支持部材1
7を介して連結されている。また、リニアレール18と
リニアガイド19は、水平方向に対して所定の斜度を有
して形成されているため、バキュームプレート13が図
1の矢印Bの方向に移動すると、リニアガイド19がリ
ニアレール18に沿って図1の矢印Cの方向にスライド
する。これにより、バキュームプレート13を基板テー
ブル12ごと、図1の矢印Cの方向に移動させることが
できる。すなわち、バキュームプレート13を基板テー
ブル12ごと、図1の矢印Bの方向に移動させるととも
に所定の角度で上昇させることができる。したがって、
基板テーブル12に吸着保持されているディスプレイ基
板2を図1の矢印Bの方向に移動させるとともに所定の
角度で上昇させる、すなわち図1の矢印Cの方向に斜め
に上昇させることができる。
レート13とは、上述したようにリニアレール18とリ
ニアガイド19とがリニアレール18の長手方向に摺動
可能に嵌合することにより支持部材16及び支持部材1
7を介して連結されている。また、リニアレール18と
リニアガイド19は、水平方向に対して所定の斜度を有
して形成されているため、バキュームプレート13が図
1の矢印Bの方向に移動すると、リニアガイド19がリ
ニアレール18に沿って図1の矢印Cの方向にスライド
する。これにより、バキュームプレート13を基板テー
ブル12ごと、図1の矢印Cの方向に移動させることが
できる。すなわち、バキュームプレート13を基板テー
ブル12ごと、図1の矢印Bの方向に移動させるととも
に所定の角度で上昇させることができる。したがって、
基板テーブル12に吸着保持されているディスプレイ基
板2を図1の矢印Bの方向に移動させるとともに所定の
角度で上昇させる、すなわち図1の矢印Cの方向に斜め
に上昇させることができる。
【0038】そして、基板テーブル上昇シリンダー20
は、一定長さだけ送り移動した後、停止するように設定
される。このときの一定長さは、基板テーブル12を図
1の矢印Cの方向への移動距離によって決定される。具
体的にいうと、基板テーブル12の上昇距離とリニアレ
ール19とリニアガイド19の角度によって決定され
る。基板テーブル12の図1の矢印Bの方向への水平移
動は、後述する基板テーブル水平送りシリンダー24を
用いることによっても行うことができるが、基板テーブ
ル12の昇降は、基板テーブル上昇シリンダー20を用
いた一連の動作においてしかできない。したがって、基
板テーブル上昇シリンダー20の送り移動距離は、基板
テーブル12を上昇させる距離とリニアレール19とリ
ニアガイド19の角度とから決定することが重要であ
る。
は、一定長さだけ送り移動した後、停止するように設定
される。このときの一定長さは、基板テーブル12を図
1の矢印Cの方向への移動距離によって決定される。具
体的にいうと、基板テーブル12の上昇距離とリニアレ
ール19とリニアガイド19の角度によって決定され
る。基板テーブル12の図1の矢印Bの方向への水平移
動は、後述する基板テーブル水平送りシリンダー24を
用いることによっても行うことができるが、基板テーブ
ル12の昇降は、基板テーブル上昇シリンダー20を用
いた一連の動作においてしかできない。したがって、基
板テーブル上昇シリンダー20の送り移動距離は、基板
テーブル12を上昇させる距離とリニアレール19とリ
ニアガイド19の角度とから決定することが重要であ
る。
【0039】また、基板テーブル12は、リニアレール
ベースプレート11上においてリニアレール14の外側
に設けられた基板テーブル水平送りシリンダー24によ
り、リニアレールベースプレート11上を図1の矢印B
の方向に水平移動可能とされている。支持プレート15
上には上述したように図1の矢印Bの方向に延びる2本
のリニアレール14が設けられている。そして、リニア
レールベースプレート11と支持プレート15とは、支
持プレート15の下面に設けられたリニアガイド23と
リニアレール14とが嵌合することにより連結されてお
り、リニアガイド23とリニアレール14とは水平方向
に摺動可能とされている。これにより、支持プレート1
5を基板テーブル水平送りシリンダー24により図1の
矢印Bの方向に押すと、リニアガイド23とリニアレー
ル14とが摺動して、支持プレート15がバキュームプ
レート13及び基板テーブル12ごと図1の矢印Bの方
向に水平移動する。すなわち、基板テーブル水平送りシ
リンダー24を用いて基板テーブル12を図1の矢印B
の方向に水平移行させることが可能とされている。ここ
での、基板テーブル12の移動距離は、使用するディス
プレイ基板2の長さにより決定され、基板テーブル12
に吸着保持されたディスプレイ基板2の終端部まで反射
防止フィルムが貼り合わされる距離とされる。
ベースプレート11上においてリニアレール14の外側
に設けられた基板テーブル水平送りシリンダー24によ
り、リニアレールベースプレート11上を図1の矢印B
の方向に水平移動可能とされている。支持プレート15
上には上述したように図1の矢印Bの方向に延びる2本
のリニアレール14が設けられている。そして、リニア
レールベースプレート11と支持プレート15とは、支
持プレート15の下面に設けられたリニアガイド23と
リニアレール14とが嵌合することにより連結されてお
り、リニアガイド23とリニアレール14とは水平方向
に摺動可能とされている。これにより、支持プレート1
5を基板テーブル水平送りシリンダー24により図1の
矢印Bの方向に押すと、リニアガイド23とリニアレー
ル14とが摺動して、支持プレート15がバキュームプ
レート13及び基板テーブル12ごと図1の矢印Bの方
向に水平移動する。すなわち、基板テーブル水平送りシ
リンダー24を用いて基板テーブル12を図1の矢印B
の方向に水平移行させることが可能とされている。ここ
での、基板テーブル12の移動距離は、使用するディス
プレイ基板2の長さにより決定され、基板テーブル12
に吸着保持されたディスプレイ基板2の終端部まで反射
防止フィルムが貼り合わされる距離とされる。
【0040】また、基板テーブル12上には、基板位置
決めガイド25が設けられており、ディスプレイ基板2
の位置決めをスムーズに行えるとともに、精度良くディ
スプレイ基板2の位置決めが行えるようになっている。
すなわち、基板テーブル12上に基板位置決めガイド2
5を設けることにより、効率が良く、且つ高精度でのデ
ィスプレイ基板2の位置決めが実現される。また、この
基板位置決めガイド25は、所望の位置に着脱可能に設
けられている。基板位置決めガイド25をこのように構
成することにより、種々の形状、大きさのディスプレイ
基板2に対応可能となり、本反射防止フィルム貼合機1
の適用の自由度が大きくなる。
決めガイド25が設けられており、ディスプレイ基板2
の位置決めをスムーズに行えるとともに、精度良くディ
スプレイ基板2の位置決めが行えるようになっている。
すなわち、基板テーブル12上に基板位置決めガイド2
5を設けることにより、効率が良く、且つ高精度でのデ
ィスプレイ基板2の位置決めが実現される。また、この
基板位置決めガイド25は、所望の位置に着脱可能に設
けられている。基板位置決めガイド25をこのように構
成することにより、種々の形状、大きさのディスプレイ
基板2に対応可能となり、本反射防止フィルム貼合機1
の適用の自由度が大きくなる。
【0041】[フィルム支持機構]上述した基板移動機
構の上部には、フィルム支持機構が配されている。フィ
ルム支持機構は、リニアレールベースプレート11上に
おいて基板移動機構を挟んでその外方に設けられた支柱
31及び支柱32と、ピロブロックからなり軸受け34
に支持されるフィルム吸着台反転軸35と、該フィルム
吸着台反転軸35に支持部材36を介して接続されるフ
ィルム吸着台37とを備えて構成されている。
構の上部には、フィルム支持機構が配されている。フィ
ルム支持機構は、リニアレールベースプレート11上に
おいて基板移動機構を挟んでその外方に設けられた支柱
31及び支柱32と、ピロブロックからなり軸受け34
に支持されるフィルム吸着台反転軸35と、該フィルム
吸着台反転軸35に支持部材36を介して接続されるフ
ィルム吸着台37とを備えて構成されている。
【0042】そして、フィルム吸着台37は支持部材3
6に固定されており、該支持部材36はフィルム吸着台
反転軸35に固定され、フィルム吸着台反転軸35は正
逆方向に回転自在とされている。したがって、フィルム
吸着台37はフィルム吸着台反転軸35を中心として回
転在とされており、フィルム吸着台37は、図1におけ
るDの位置(実線で示した位置)からEの位置(波線で
示した位置)まで、フィルム吸着台反転軸35を軸とし
て自由に回転移動させることが可能とされている。
6に固定されており、該支持部材36はフィルム吸着台
反転軸35に固定され、フィルム吸着台反転軸35は正
逆方向に回転自在とされている。したがって、フィルム
吸着台37はフィルム吸着台反転軸35を中心として回
転在とされており、フィルム吸着台37は、図1におけ
るDの位置(実線で示した位置)からEの位置(波線で
示した位置)まで、フィルム吸着台反転軸35を軸とし
て自由に回転移動させることが可能とされている。
【0043】フィルム吸着台37は、反射防止フィルム
3を吸着保持するものであり、図6に示すようにバキュ
ームベース41上にバキュームプレート42が組み合わ
されて構成されている。バキュームベース41とバキュ
ームプレート42とは、図7に示すようにバキュームプ
レート42にバキュームベース取り付け孔43を設け
て、バキュームプレート42をバキュームベース41に
ネジ止めすることで固定されている。
3を吸着保持するものであり、図6に示すようにバキュ
ームベース41上にバキュームプレート42が組み合わ
されて構成されている。バキュームベース41とバキュ
ームプレート42とは、図7に示すようにバキュームプ
レート42にバキュームベース取り付け孔43を設け
て、バキュームプレート42をバキュームベース41に
ネジ止めすることで固定されている。
【0044】ここで、バキュームプレート42は導電性
材料により構成されることが好ましい。バキュームプレ
ート42においては、後述するように反射防止フィルム
3を吸引保持した後に保護フィルム4を剥離するが、こ
のとき、保護フィルム4の剥離により大量の静電気が発
生し反射防止フィルム3に帯電してしまう。そして、該
静電気の発生により大気中に浮遊するゴミや塵が反射防
止フィルム3に吸着し、その結果、異物としてディスプ
レイ基板2と反射防止フィルム3との間に残存してしま
う。そして、この異物により光の散乱等が乱され、所望
の画像品質を得ることができず、画像品質の低下してし
まう。さらに、静電気の帯電量が多い場合には、ディス
プレイの電気回路にまで悪影響を与え、電気回路が損傷
する虞もある。例えば、OELDの場合には、静電気の
電圧を250V以下程度に抑えないと電気回路が損傷し
てしまう虞がある。
材料により構成されることが好ましい。バキュームプレ
ート42においては、後述するように反射防止フィルム
3を吸引保持した後に保護フィルム4を剥離するが、こ
のとき、保護フィルム4の剥離により大量の静電気が発
生し反射防止フィルム3に帯電してしまう。そして、該
静電気の発生により大気中に浮遊するゴミや塵が反射防
止フィルム3に吸着し、その結果、異物としてディスプ
レイ基板2と反射防止フィルム3との間に残存してしま
う。そして、この異物により光の散乱等が乱され、所望
の画像品質を得ることができず、画像品質の低下してし
まう。さらに、静電気の帯電量が多い場合には、ディス
プレイの電気回路にまで悪影響を与え、電気回路が損傷
する虞もある。例えば、OELDの場合には、静電気の
電圧を250V以下程度に抑えないと電気回路が損傷し
てしまう虞がある。
【0045】したがって、反射防止フィルム3から保護
フィルム4を剥離した際の静電気の発生量を、若しくは
反射防止フィルム3への帯電量を極力減少させることが
重要である。そこで、本発明においては、バキュームプ
レート42を導電性材料で構成することによりバキュー
ムプレート42がアースの役割を果たし、静電気を他部
材等に逃がすことが可能となる。これにより、反射防止
フィルム3の帯電量を減少させることが可能となり、静
電気の電圧を低下させることができる。このような導電
性材料としては、例えばSUS、Al、Cuなどの導電
性金属が好適である。
フィルム4を剥離した際の静電気の発生量を、若しくは
反射防止フィルム3への帯電量を極力減少させることが
重要である。そこで、本発明においては、バキュームプ
レート42を導電性材料で構成することによりバキュー
ムプレート42がアースの役割を果たし、静電気を他部
材等に逃がすことが可能となる。これにより、反射防止
フィルム3の帯電量を減少させることが可能となり、静
電気の電圧を低下させることができる。このような導電
性材料としては、例えばSUS、Al、Cuなどの導電
性金属が好適である。
【0046】また、バキュームプレート42において
は、反射防止フィルム3を吸引保持する面の表面粗さを
所定の範囲に規定することが好ましく、このような範囲
としては、面粗さ表示でRaが2μm〜10μm程度が
好ましい。反射防止フィルム3を吸引保持する面の表面
粗さが粗すぎる場合、反射防止フィルム3に傷が発生し
てしまう。また、表面粗さが細かすぎる場合には、反射
防止フィルム3が密着してしまい、いわゆる「貼り付
き」と呼ばれる現象が生じ、反射防止フィルム3をディ
スプレイ基板2に貼り合わせる際に反射防止フィルム3
をフィルム吸着台37からスムーズに分離することがで
きなくなってしまう。したがって、バキュームプレート
42の反射防止フィルム3を吸引保持する面の表面粗さ
を上記のような範囲とすることにより、反射防止フィル
ム3に傷つけることなく、また、スムーズにディスプレ
イ基板2に貼り合わせることができる。
は、反射防止フィルム3を吸引保持する面の表面粗さを
所定の範囲に規定することが好ましく、このような範囲
としては、面粗さ表示でRaが2μm〜10μm程度が
好ましい。反射防止フィルム3を吸引保持する面の表面
粗さが粗すぎる場合、反射防止フィルム3に傷が発生し
てしまう。また、表面粗さが細かすぎる場合には、反射
防止フィルム3が密着してしまい、いわゆる「貼り付
き」と呼ばれる現象が生じ、反射防止フィルム3をディ
スプレイ基板2に貼り合わせる際に反射防止フィルム3
をフィルム吸着台37からスムーズに分離することがで
きなくなってしまう。したがって、バキュームプレート
42の反射防止フィルム3を吸引保持する面の表面粗さ
を上記のような範囲とすることにより、反射防止フィル
ム3に傷つけることなく、また、スムーズにディスプレ
イ基板2に貼り合わせることができる。
【0047】そして、バキュームプレート42上には反
射防止フィルム3が載置される。ここで、バキュームプ
レート42の反射防止フィルム3を吸着保持する側の面
には、フィルム位置決めガイド46が設けられており、
反射防止フィルム3の位置決めをスムーズに行えるとと
もに、精度良く反射防止フィルム3の位置決めが行える
ようになっている。すなわち、バキュームプレート42
上にフィルム位置決めガイド46を設けることにより、
効率が良く、且つ高精度での反射防止フィルム3の位置
決めが実現される。また、このフィルム位置決めガイド
46は、バキュームプレート42上の所望の位置に着脱
可能に設けられる。フィルム位置決めガイド46を所望
の位置に着脱可能とすることにより、種々の形状、大き
さの反射防止フィルム3に対応可能となり、本反射防止
フィルム貼合機1の適用の自由度が大きくなる。
射防止フィルム3が載置される。ここで、バキュームプ
レート42の反射防止フィルム3を吸着保持する側の面
には、フィルム位置決めガイド46が設けられており、
反射防止フィルム3の位置決めをスムーズに行えるとと
もに、精度良く反射防止フィルム3の位置決めが行える
ようになっている。すなわち、バキュームプレート42
上にフィルム位置決めガイド46を設けることにより、
効率が良く、且つ高精度での反射防止フィルム3の位置
決めが実現される。また、このフィルム位置決めガイド
46は、バキュームプレート42上の所望の位置に着脱
可能に設けられる。フィルム位置決めガイド46を所望
の位置に着脱可能とすることにより、種々の形状、大き
さの反射防止フィルム3に対応可能となり、本反射防止
フィルム貼合機1の適用の自由度が大きくなる。
【0048】また、バキュームプレート42は、該バキ
ュームプレート42をその厚み方向に貫通するように設
けられた高真空吸引ライン44及び低真空吸引ライン4
5を通してバキュームプレート42上に載置された反射
防止フィルム3を吸引保持し、固定できるようになって
いる。
ュームプレート42をその厚み方向に貫通するように設
けられた高真空吸引ライン44及び低真空吸引ライン4
5を通してバキュームプレート42上に載置された反射
防止フィルム3を吸引保持し、固定できるようになって
いる。
【0049】反射防止フィルム3をバキュームプレート
42上に吸引保持する吸引機構は、真空ポンプに接続さ
れた高真空吸引と、ブロワーに接続された低真空吸引と
の2系統からなる。そして、高真空吸引ライン44は、
高真空吸引用の吸引ラインであり、真空ポンプに接続さ
れている。また、低真空吸引ライン45は、低真空吸引
用の吸引ラインであり、ブロワーに接続されている。
42上に吸引保持する吸引機構は、真空ポンプに接続さ
れた高真空吸引と、ブロワーに接続された低真空吸引と
の2系統からなる。そして、高真空吸引ライン44は、
高真空吸引用の吸引ラインであり、真空ポンプに接続さ
れている。また、低真空吸引ライン45は、低真空吸引
用の吸引ラインであり、ブロワーに接続されている。
【0050】高真空吸引ライン44は、図7に示すよう
にバキュームプレート42の外縁に沿ったラインと、該
ラインから内方に向かうラインとにより構成されてい
る。
にバキュームプレート42の外縁に沿ったラインと、該
ラインから内方に向かうラインとにより構成されてい
る。
【0051】ここで、高真空吸引ライン44は、フィル
ム吸着台37が図1のDの位置にあるときのみに用いら
れる。すなわち、バキュームプレート42は、図1のD
の位置にあるときは、支持部材48に接続された吸引パ
イプ47上に載置され、該吸引パイプ47の真上に高真
空吸引孔49が位置するように設計されている。そし
て、支持部材48はその内部に空洞(図示せず)が形成
されており真空ポンプと吸引パイプ47とを該空洞によ
り接続している。
ム吸着台37が図1のDの位置にあるときのみに用いら
れる。すなわち、バキュームプレート42は、図1のD
の位置にあるときは、支持部材48に接続された吸引パ
イプ47上に載置され、該吸引パイプ47の真上に高真
空吸引孔49が位置するように設計されている。そし
て、支持部材48はその内部に空洞(図示せず)が形成
されており真空ポンプと吸引パイプ47とを該空洞によ
り接続している。
【0052】このような構成とすることにより、フィル
ム吸着台37が図1のDの位置にあるときには、真空ポ
ンプを作動させることにより支持部材48の吸引パイプ
47、支持部材48内部の空洞、高真空吸引孔49を通
して高真空吸引ライン44部分が高真空で吸引され、こ
れによりバキュームプレート42上の反射防止フィルム
3を強い吸引力で吸引保持する。したがって、フィルム
吸着台37が図1のDの位置から外れたときには、バキ
ュームプレート42と吸引パイプ47との密閉状態が壊
れるため、バキュームプレート42上の反射防止フィル
ム3を吸引保持することはできなくなる。
ム吸着台37が図1のDの位置にあるときには、真空ポ
ンプを作動させることにより支持部材48の吸引パイプ
47、支持部材48内部の空洞、高真空吸引孔49を通
して高真空吸引ライン44部分が高真空で吸引され、こ
れによりバキュームプレート42上の反射防止フィルム
3を強い吸引力で吸引保持する。したがって、フィルム
吸着台37が図1のDの位置から外れたときには、バキ
ュームプレート42と吸引パイプ47との密閉状態が壊
れるため、バキュームプレート42上の反射防止フィル
ム3を吸引保持することはできなくなる。
【0053】このような高真空吸引の吸引圧としては、
反射防止フィルム3から保護フィルム4を剥離する際に
反射防止フィルム3がフィルム吸着台37から持ち上が
らないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではないが、例えば、5×10
3Pa〜1×104Pa程度とすることが好ましい。吸
引圧があまり低い場合には、反射防止フィルム3から保
護フィルム4を剥離する際に反射防止フィルム3がフィ
ルム吸着台37から持ち上がってしまう。また、吸引圧
があまり高い場合には、反射防止フィルム3に吸引痕が
残ってしまったり、傷が付いたりしてしまう。
反射防止フィルム3から保護フィルム4を剥離する際に
反射防止フィルム3がフィルム吸着台37から持ち上が
らないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではないが、例えば、5×10
3Pa〜1×104Pa程度とすることが好ましい。吸
引圧があまり低い場合には、反射防止フィルム3から保
護フィルム4を剥離する際に反射防止フィルム3がフィ
ルム吸着台37から持ち上がってしまう。また、吸引圧
があまり高い場合には、反射防止フィルム3に吸引痕が
残ってしまったり、傷が付いたりしてしまう。
【0054】低真空吸引ライン45は、略平行な複数の
ライン及びこれらのラインを略直角方向に結ぶラインと
により形成されている。そして、低真空吸引ライン45
の略平行なラインはそれぞれの幅が異なって形成されて
おり、フィルム吸着台反転軸35に近いほど幅が広くさ
れる。例えば、図7に示すように低真空吸引ライン45
aの幅が10mm、低真空吸引ライン45bの幅が8m
m、低真空吸引ライン45cの幅が5mmとされる。こ
れは、反射防止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り
合わせる際にディスプレイ基板2がバキュームプレート
42上を移動するが、このとき、反射防止フィルム3を
確実に吸引保持する吸引力を保持するためである。すな
わち、反射防止フィルム3はディスプレイ基板2に貼り
合わされる際、図7の矢印Fの方向に移動しながら貼り
合わされる。このため、貼り合わせ作業開始当初は低真
空吸引ライン45a、低真空吸引ライン45b、低真空
吸引ライン45cで反射防止フィルム3を吸引保持して
いるが、反射防止フィルム3が図7の矢印Fの方向に移
動するにつれて、低真空吸引ライン45c、低真空吸引
ライン45bによる吸引ができなくなる。しかしなが
ら、低真空吸引ライン45をこのような構成とすること
により、低真空吸引ライン45c、低真空吸引ライン4
5bによる吸引保持ができなくなる貼り合わせ作業終盤
においても確実に反射防止フィルム3を吸引保持するこ
とができる。これにより、貼り合わせ作業中における反
射防止フィルム3のたるみや縒れの発生を防止すること
が可能となり、これらに起因してディスプレイ基板2と
反射防止フィルム3との間に気泡が発生することを防止
することができる。
ライン及びこれらのラインを略直角方向に結ぶラインと
により形成されている。そして、低真空吸引ライン45
の略平行なラインはそれぞれの幅が異なって形成されて
おり、フィルム吸着台反転軸35に近いほど幅が広くさ
れる。例えば、図7に示すように低真空吸引ライン45
aの幅が10mm、低真空吸引ライン45bの幅が8m
m、低真空吸引ライン45cの幅が5mmとされる。こ
れは、反射防止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り
合わせる際にディスプレイ基板2がバキュームプレート
42上を移動するが、このとき、反射防止フィルム3を
確実に吸引保持する吸引力を保持するためである。すな
わち、反射防止フィルム3はディスプレイ基板2に貼り
合わされる際、図7の矢印Fの方向に移動しながら貼り
合わされる。このため、貼り合わせ作業開始当初は低真
空吸引ライン45a、低真空吸引ライン45b、低真空
吸引ライン45cで反射防止フィルム3を吸引保持して
いるが、反射防止フィルム3が図7の矢印Fの方向に移
動するにつれて、低真空吸引ライン45c、低真空吸引
ライン45bによる吸引ができなくなる。しかしなが
ら、低真空吸引ライン45をこのような構成とすること
により、低真空吸引ライン45c、低真空吸引ライン4
5bによる吸引保持ができなくなる貼り合わせ作業終盤
においても確実に反射防止フィルム3を吸引保持するこ
とができる。これにより、貼り合わせ作業中における反
射防止フィルム3のたるみや縒れの発生を防止すること
が可能となり、これらに起因してディスプレイ基板2と
反射防止フィルム3との間に気泡が発生することを防止
することができる。
【0055】また、低真空吸引ライン45は、ブロワー
を作動させることにより低真空吸引孔50を通して吸引
が行われる。そして、低真空吸引ライン45は、フィル
ム吸着台37が図1のDの位置にあるときのみに限定さ
れず、常時、ブロワーを作動させることにより高真空吸
引ライン44よりは低い吸引力でバキュームプレート4
2上の反射防止フィルム3を吸引力で吸引保持してい
る。すなわち、低真空吸引ライン45は、反射防止フィ
ルム3をバキュームプレート42に載置して吸引保持し
た時点から、反射防止フィルム3がディスプレイ基板2
に貼り合わされるまで常に反射防止フィルム3を吸引保
持する。
を作動させることにより低真空吸引孔50を通して吸引
が行われる。そして、低真空吸引ライン45は、フィル
ム吸着台37が図1のDの位置にあるときのみに限定さ
れず、常時、ブロワーを作動させることにより高真空吸
引ライン44よりは低い吸引力でバキュームプレート4
2上の反射防止フィルム3を吸引力で吸引保持してい
る。すなわち、低真空吸引ライン45は、反射防止フィ
ルム3をバキュームプレート42に載置して吸引保持し
た時点から、反射防止フィルム3がディスプレイ基板2
に貼り合わされるまで常に反射防止フィルム3を吸引保
持する。
【0056】このような低真空吸引の吸引圧としては、
後述するようにフィルム吸着台37を反転させて反射防
止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせる際
に、反射防止フィルム3がディスプレイ基板2から剥落
しないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではないが、例えば、5×10
3Pa〜1×104Pa程度とすることが好ましい。吸
引圧があまり低い場合には、フィルム吸着台37を反転
させた際に反射防止フィルム3がフィルム吸着台37か
ら剥落してしまう。
後述するようにフィルム吸着台37を反転させて反射防
止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせる際
に、反射防止フィルム3がディスプレイ基板2から剥落
しないように確実に吸引保持することができる圧力であ
れば特に限定されるものではないが、例えば、5×10
3Pa〜1×104Pa程度とすることが好ましい。吸
引圧があまり低い場合には、フィルム吸着台37を反転
させた際に反射防止フィルム3がフィルム吸着台37か
ら剥落してしまう。
【0057】フィルム吸着台37のフィルム吸着台反転
軸35と反対側の端部には、ガイド62が設けられてい
る。このガイド62は、フィルム吸着台37をフィルム
吸着台反転軸35を中心に回転移動させたときに、リニ
アベースプレート11上に設けられたストッパー63に
当接する。そして、ガイド62がストッパー63に支持
されることにより、フィルム吸着台37が所定の角度を
なした状態で保持される。ストッパー63は、ガイド6
2の支持位置を調整可能とされており、ガイド62の支
持位置を調整することにより、フィルム吸着台37の保
持位置、すなわち保持角度を自在に調整可能とされてい
る。
軸35と反対側の端部には、ガイド62が設けられてい
る。このガイド62は、フィルム吸着台37をフィルム
吸着台反転軸35を中心に回転移動させたときに、リニ
アベースプレート11上に設けられたストッパー63に
当接する。そして、ガイド62がストッパー63に支持
されることにより、フィルム吸着台37が所定の角度を
なした状態で保持される。ストッパー63は、ガイド6
2の支持位置を調整可能とされており、ガイド62の支
持位置を調整することにより、フィルム吸着台37の保
持位置、すなわち保持角度を自在に調整可能とされてい
る。
【0058】また、フィルム吸着台37の上部近傍に
は、除電ブロー装置61が移動可能に配置される。除電
ブローを行うことにより、反射防止フィルム3から保護
フィルム4を剥離する際に発生する静電気の発生を抑制
することができ、反射防止フィルム3の帯電量を減少さ
せることが可能となる。したがって、上述したようにバ
キュームプレート42を導電性材料により構成し、さら
に除電ブローを行うことにより、より効果的に反射防止
フィルム3の帯電量を減少させることが可能となり、静
電気の電圧を低下させることができる。
は、除電ブロー装置61が移動可能に配置される。除電
ブローを行うことにより、反射防止フィルム3から保護
フィルム4を剥離する際に発生する静電気の発生を抑制
することができ、反射防止フィルム3の帯電量を減少さ
せることが可能となる。したがって、上述したようにバ
キュームプレート42を導電性材料により構成し、さら
に除電ブローを行うことにより、より効果的に反射防止
フィルム3の帯電量を減少させることが可能となり、静
電気の電圧を低下させることができる。
【0059】[フィルム加圧機構]フィルム加圧機構
は、支柱31及び支柱32の上部に配置された貼合加圧
シリンダー71と、該貼合加圧シリンダー71に接続さ
れた貼合ローラー軸72と、該貼合ローラー軸72に固
定してはめ込まれた貼合ローラー73とにより構成され
る。貼合ローラー軸72は、図1において右回りに回転
可能とされている。したがって、貼合ローラー73は貼
合ローラー軸72を中心として図1において右回りに回
転可能とされている。貼合ローラー73は、反射防止フ
ィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせる際に、反
射防止フィルム3に当接し、回転しながら反射防止フィ
ルム3に加圧する役割を果たすものである。貼合ローラ
ー軸72及び貼合ローラー73の大きさは特に限定され
るものではなく、フィルム吸着台37の大きさ、図1の
Eの位置ある時の保持位置等を考慮して設定することが
できる。一例として挙げると、例えば貼合ローラー軸7
2の直径を30mm〜40mm、肉厚5mmの貼合ロー
ラー73を組み合わせてフィルム加圧機構を構成するこ
とができる。ただし、貼合ローラー73の幅は、ディス
プレイ基板2の幅よりも長くすることが必要である。ま
た、貼合ローラー73の材質は、反射防止フィルム3の
静電気の帯電を抑制するために導電性材料を用いること
が好ましく、例えば導電性ゴムが好適である。そして、
導電性ゴムの硬度は、例えば40度〜70度の範囲が好
適である。
は、支柱31及び支柱32の上部に配置された貼合加圧
シリンダー71と、該貼合加圧シリンダー71に接続さ
れた貼合ローラー軸72と、該貼合ローラー軸72に固
定してはめ込まれた貼合ローラー73とにより構成され
る。貼合ローラー軸72は、図1において右回りに回転
可能とされている。したがって、貼合ローラー73は貼
合ローラー軸72を中心として図1において右回りに回
転可能とされている。貼合ローラー73は、反射防止フ
ィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせる際に、反
射防止フィルム3に当接し、回転しながら反射防止フィ
ルム3に加圧する役割を果たすものである。貼合ローラ
ー軸72及び貼合ローラー73の大きさは特に限定され
るものではなく、フィルム吸着台37の大きさ、図1の
Eの位置ある時の保持位置等を考慮して設定することが
できる。一例として挙げると、例えば貼合ローラー軸7
2の直径を30mm〜40mm、肉厚5mmの貼合ロー
ラー73を組み合わせてフィルム加圧機構を構成するこ
とができる。ただし、貼合ローラー73の幅は、ディス
プレイ基板2の幅よりも長くすることが必要である。ま
た、貼合ローラー73の材質は、反射防止フィルム3の
静電気の帯電を抑制するために導電性材料を用いること
が好ましく、例えば導電性ゴムが好適である。そして、
導電性ゴムの硬度は、例えば40度〜70度の範囲が好
適である。
【0060】また、反射防止フィルム3の静電気の帯電
量を減少させるために、貼合ローラー73の近傍に除電
バー74が設けられている。貼合ローラー73の近傍に
除電バー74を設けることにより、より確実に反射防止
フィルム3の静電気の帯電量を減少させることができ
る。除電バー74は、貼合ローラー73や貼合ローラー
軸72に接触させる必要はなく、貼合ローラー73の近
傍に配置すればよい。このような除電バー74は、金属
材料等の導電性材料により構成することができる。
量を減少させるために、貼合ローラー73の近傍に除電
バー74が設けられている。貼合ローラー73の近傍に
除電バー74を設けることにより、より確実に反射防止
フィルム3の静電気の帯電量を減少させることができ
る。除電バー74は、貼合ローラー73や貼合ローラー
軸72に接触させる必要はなく、貼合ローラー73の近
傍に配置すればよい。このような除電バー74は、金属
材料等の導電性材料により構成することができる。
【0061】次に、上記のように構成された反射防止フ
ィルム貼合機1を用いたフィルムの貼り合わせ方法につ
いて説明する。反射防止フィルム貼合機1を用いて反射
防止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせるに
は、まず、ディスプレイ基板2の大きさに切断した反射
防止フィルム3をフィルム吸着台37のバキュームプレ
ート42に載せ、フィルム位置決めガイド46を用いて
正確に位置合わせを行う。このとき、反射防止フィルム
3をフィルム吸着台37のフィルム吸着台反転軸35側
において略20mm程度突出させる。
ィルム貼合機1を用いたフィルムの貼り合わせ方法につ
いて説明する。反射防止フィルム貼合機1を用いて反射
防止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせるに
は、まず、ディスプレイ基板2の大きさに切断した反射
防止フィルム3をフィルム吸着台37のバキュームプレ
ート42に載せ、フィルム位置決めガイド46を用いて
正確に位置合わせを行う。このとき、反射防止フィルム
3をフィルム吸着台37のフィルム吸着台反転軸35側
において略20mm程度突出させる。
【0062】次に、真空ポンプ及びブロワを起動し、高
真空吸引ライン44及び低真空吸引ライン45に吸引力
を付与する。これにより、反射防止フィルム3は、高真
空吸引ライン44及び低真空吸引ライン45により吸引
保持される。また、除電ブロー装置を起動させ、反射防
止フィルム3に対する除電ブローを開始する。
真空吸引ライン44及び低真空吸引ライン45に吸引力
を付与する。これにより、反射防止フィルム3は、高真
空吸引ライン44及び低真空吸引ライン45により吸引
保持される。また、除電ブロー装置を起動させ、反射防
止フィルム3に対する除電ブローを開始する。
【0063】次に、反射防止フィルム3の保護フィルム
4を剥離する。保護フィルム4の剥離は手作業で行って
も良く、また自動化しても良い。
4を剥離する。保護フィルム4の剥離は手作業で行って
も良く、また自動化しても良い。
【0064】次に、保護フィルム4を剥離した反射防止
フィルム3を吸着保持した状態でフィルム吸着台37を
フィルム吸着台反転軸35を中心として基板テーブル1
2側に回転移動させる。
フィルム3を吸着保持した状態でフィルム吸着台37を
フィルム吸着台反転軸35を中心として基板テーブル1
2側に回転移動させる。
【0065】このとき、フィルム吸着台37が高真空吸
引孔49から離れることにより高真空吸引ライン44に
よる反射防止フィルム3の吸引が終了する。したがっ
て、この後の工程においては、反射防止フィルム3は低
真空吸引ライン45のみによりフィルム吸着台37に吸
着される。このような機構としては、リミットスイッチ
を設けても良く、また、単にフィルム吸着台37が高真
空吸引孔49から離れることで吸引が終了するようにし
ても良い。
引孔49から離れることにより高真空吸引ライン44に
よる反射防止フィルム3の吸引が終了する。したがっ
て、この後の工程においては、反射防止フィルム3は低
真空吸引ライン45のみによりフィルム吸着台37に吸
着される。このような機構としては、リミットスイッチ
を設けても良く、また、単にフィルム吸着台37が高真
空吸引孔49から離れることで吸引が終了するようにし
ても良い。
【0066】そして、フィルム吸着台37をフィルム吸
着台反転軸35を中心として回転移動させて、ガイド6
2が予め所定の位置に調整されたストッパー63に当接
し、支持されることによりフィルム吸着台37がディス
プレイ基板2と所定の角度で斜めの状態で保持される。
このときの図18に示すようなフィルム吸着台37がデ
ィスプレイ基板2となす角度θは例えば10°前後とす
ることが好ましい。フィルム吸着台37とディスプレイ
基板2との角度が小さすぎる場合には、後述するように
反射防止フィルム3を貼合ローラー73を用いて貼り合
わせる前にディスプレイ基板2と密着してしまい、気泡
やしわが発生してしまい、きれいな状態で反射防止フィ
ルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせることができ
ない。また、角度が大きすぎる場合には、反射防止フィ
ルム3とディスプレイ基板2との位置合わせが難しくな
る。
着台反転軸35を中心として回転移動させて、ガイド6
2が予め所定の位置に調整されたストッパー63に当接
し、支持されることによりフィルム吸着台37がディス
プレイ基板2と所定の角度で斜めの状態で保持される。
このときの図18に示すようなフィルム吸着台37がデ
ィスプレイ基板2となす角度θは例えば10°前後とす
ることが好ましい。フィルム吸着台37とディスプレイ
基板2との角度が小さすぎる場合には、後述するように
反射防止フィルム3を貼合ローラー73を用いて貼り合
わせる前にディスプレイ基板2と密着してしまい、気泡
やしわが発生してしまい、きれいな状態で反射防止フィ
ルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせることができ
ない。また、角度が大きすぎる場合には、反射防止フィ
ルム3とディスプレイ基板2との位置合わせが難しくな
る。
【0067】また、フィルム吸着台37が所定の角度を
なした状態で保持されたとき、フィルム吸着台37の先
端から略20mm突出した反射防止フィルム3は、貼合
ローラー73と基板テーブル12との間に配される。そ
して、この突出した反射防止フィルム3は、図8に示す
ように反射防止フィルム3の形状と自重により撓んだ状
態となる。このときの撓み量は常に一定になるものでは
なく個々の反射防止フィルム3によりばらつきが生じ、
基板テーブル12を垂直方向に上昇させた場合には、反
射防止フィルム3の貼り合わせ開始位置のずれの発生、
反射防止フィルム3のしわの発生、またこれらに起因し
た気泡の発生等の問題を引き起こす。そして、これら
は、この後の貼り合わせ工程にも悪影響を及ぼし、反射
防止フィルム3の貼り合わせ精度の低下の原因にもな
る。
なした状態で保持されたとき、フィルム吸着台37の先
端から略20mm突出した反射防止フィルム3は、貼合
ローラー73と基板テーブル12との間に配される。そ
して、この突出した反射防止フィルム3は、図8に示す
ように反射防止フィルム3の形状と自重により撓んだ状
態となる。このときの撓み量は常に一定になるものでは
なく個々の反射防止フィルム3によりばらつきが生じ、
基板テーブル12を垂直方向に上昇させた場合には、反
射防止フィルム3の貼り合わせ開始位置のずれの発生、
反射防止フィルム3のしわの発生、またこれらに起因し
た気泡の発生等の問題を引き起こす。そして、これら
は、この後の貼り合わせ工程にも悪影響を及ぼし、反射
防止フィルム3の貼り合わせ精度の低下の原因にもな
る。
【0068】そこで、反射防止フィルム貼合機1では、
このばらつきを最小限に抑制するために、基板テーブル
12を該基板テーブル12の搬送方向、すなわち図1の
矢印C方向に斜めに上昇させる。基板テーブル12を図
1の矢印C方向に斜めに上昇させると、ディスプレイ基
板2が反射防止フィルム3に接触して反射防止フィルム
3の先端が緊張保持される。そして、反射防止フィルム
3は、その突出した先端部が反射防止フィルム3に接触
して緊張保持されることによりフィルム吸着台37から
突出した部分の撓みが水平方向にきれいに延ばされる。
このばらつきを最小限に抑制するために、基板テーブル
12を該基板テーブル12の搬送方向、すなわち図1の
矢印C方向に斜めに上昇させる。基板テーブル12を図
1の矢印C方向に斜めに上昇させると、ディスプレイ基
板2が反射防止フィルム3に接触して反射防止フィルム
3の先端が緊張保持される。そして、反射防止フィルム
3は、その突出した先端部が反射防止フィルム3に接触
して緊張保持されることによりフィルム吸着台37から
突出した部分の撓みが水平方向にきれいに延ばされる。
【0069】そして、フィルムの撓みがきれいに延ばさ
れた状態でさらに基板テーブル12を図1の矢印C方向
に斜めに上昇させ、反射防止フィルム3を該ディスプレ
イ基板2と貼合ローラー73との間に挟み込む。これに
より、反射防止フィルム3を、貼り合わせが始まる先端
部、すなわちフィルム吸着台37から突出した部分がし
わや撓みがない状態でディスプレイ基板2に貼り合わせ
ることができる。そして、しわや撓みに起因する気泡の
発生を防止することができ、きれいな状態に貼り合わせ
ることができる。また、貼り合わせ開始位置を簡便且つ
確実に決定することができる。そして、貼り合わせ開始
時の反射防止フィルム3とディスプレイ基板2との位置
合わせが簡便且つ確実に行われるため、良好な貼り合わ
せ精度を実現することができる。
れた状態でさらに基板テーブル12を図1の矢印C方向
に斜めに上昇させ、反射防止フィルム3を該ディスプレ
イ基板2と貼合ローラー73との間に挟み込む。これに
より、反射防止フィルム3を、貼り合わせが始まる先端
部、すなわちフィルム吸着台37から突出した部分がし
わや撓みがない状態でディスプレイ基板2に貼り合わせ
ることができる。そして、しわや撓みに起因する気泡の
発生を防止することができ、きれいな状態に貼り合わせ
ることができる。また、貼り合わせ開始位置を簡便且つ
確実に決定することができる。そして、貼り合わせ開始
時の反射防止フィルム3とディスプレイ基板2との位置
合わせが簡便且つ確実に行われるため、良好な貼り合わ
せ精度を実現することができる。
【0070】ここで、反射防止フィルム貼合機1におい
ては、基板テーブル12の上昇角度は、45°とされて
いる。しかしながら、基板テーブル12の上昇角度は4
5°に限定されるものではなく、例えば80°程度とし
ても良い。ただし、基板テーブル12の上昇角度があま
り小さい場合には、フィルムが基板テーブル12に擦れ
てしまったり、貼り合わせ開始位置が決めにくくなる。
ては、基板テーブル12の上昇角度は、45°とされて
いる。しかしながら、基板テーブル12の上昇角度は4
5°に限定されるものではなく、例えば80°程度とし
ても良い。ただし、基板テーブル12の上昇角度があま
り小さい場合には、フィルムが基板テーブル12に擦れ
てしまったり、貼り合わせ開始位置が決めにくくなる。
【0071】次に、基板テーブル水平送りシリンダー2
4により基板テーブル12を図1の矢印B方向に移動さ
せる。基板テーブル12を図1の矢印C方向に移動させ
ることにより基板テーブル12に吸引保持されているデ
ィスプレイ基板2が矢印B方向に移動する。また、反射
防止フィルム3はその先端部がディスプレイ基板2に貼
り合わされているため、反射防止フィルム3は基板テー
ブル12が移動することによりディスプレイ基板2に引
っ張られる。このとき、反射防止フィルム3は、低真空
吸引ライン45の弱い吸引力のみでフィルム吸着台37
に吸着保持されているため、ディスプレイ基板2に引っ
張られると低真空吸引ライン45に吸着されながらフィ
ルム吸着台37上を摺動することができる。そして、反
射防止フィルム3は低真空吸引ライン45の弱い吸引力
のみで吸引されているため、フィルム吸着台37上を摺
動しても反射防止フィルム3に傷が発生することがな
い。
4により基板テーブル12を図1の矢印B方向に移動さ
せる。基板テーブル12を図1の矢印C方向に移動させ
ることにより基板テーブル12に吸引保持されているデ
ィスプレイ基板2が矢印B方向に移動する。また、反射
防止フィルム3はその先端部がディスプレイ基板2に貼
り合わされているため、反射防止フィルム3は基板テー
ブル12が移動することによりディスプレイ基板2に引
っ張られる。このとき、反射防止フィルム3は、低真空
吸引ライン45の弱い吸引力のみでフィルム吸着台37
に吸着保持されているため、ディスプレイ基板2に引っ
張られると低真空吸引ライン45に吸着されながらフィ
ルム吸着台37上を摺動することができる。そして、反
射防止フィルム3は低真空吸引ライン45の弱い吸引力
のみで吸引されているため、フィルム吸着台37上を摺
動しても反射防止フィルム3に傷が発生することがな
い。
【0072】これらの一連の動作をディスプレイ基板2
の終端まで行うことにより、きれいな状態で反射防止フ
ィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせることがで
きる。
の終端まで行うことにより、きれいな状態で反射防止フ
ィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わせることがで
きる。
【0073】また、このとき、貼合ローラー73により
反射防止フィルム3に対してわずかに圧力を加える。す
なわち、貼合ローラー73は、反射防止フィルム3にわ
ずかな圧力を加えた状態で回転しながら反射防止フィル
ム3を矢印C方向に送り出す。これにより、反射防止フ
ィルム3とディスプレイ基板2との間の空気を抜きなが
ら反射防止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わ
せることができるため、気泡やしわの発生が無く、きれ
いな状態で反射防止フィルム3をディスプレイ基板2に
貼り合わせることができる。このような貼合ローラー7
3の圧力は、使用する反射防止フィルム3の種類等によ
り適宜調整すれば良く、例えば、貼合ローラー73のゴ
ムの弾性力程度でもきれいな貼り合わせを行うことが可
能である。
反射防止フィルム3に対してわずかに圧力を加える。す
なわち、貼合ローラー73は、反射防止フィルム3にわ
ずかな圧力を加えた状態で回転しながら反射防止フィル
ム3を矢印C方向に送り出す。これにより、反射防止フ
ィルム3とディスプレイ基板2との間の空気を抜きなが
ら反射防止フィルム3をディスプレイ基板2に貼り合わ
せることができるため、気泡やしわの発生が無く、きれ
いな状態で反射防止フィルム3をディスプレイ基板2に
貼り合わせることができる。このような貼合ローラー7
3の圧力は、使用する反射防止フィルム3の種類等によ
り適宜調整すれば良く、例えば、貼合ローラー73のゴ
ムの弾性力程度でもきれいな貼り合わせを行うことが可
能である。
【0074】また、この一連の動作が行われている間、
除電ブロー74が反射防止フィルム3に帯電した静電気
を設置回路に導くため、静電気の影響が抑制され、大気
中に浮遊するゴミや塵が反射防止フィルム3に吸着する
ことが抑制されている。これにより、反射防止フィルム
3とディスプレイ基板2との間に、大気中に浮遊するゴ
ミや塵が異物として混入することが防止される。
除電ブロー74が反射防止フィルム3に帯電した静電気
を設置回路に導くため、静電気の影響が抑制され、大気
中に浮遊するゴミや塵が反射防止フィルム3に吸着する
ことが抑制されている。これにより、反射防止フィルム
3とディスプレイ基板2との間に、大気中に浮遊するゴ
ミや塵が異物として混入することが防止される。
【0075】基板テーブル12の移動速度、すなわち、
送り速度は、20mm/sec〜300mm/secの
範囲が好ましい。このような速度で基板テーブル12を
移動させることにより、反射防止フィルム3やディスプ
レイ基板2にストレスをかけずに反射防止フィルム3の
貼り合わせを行うことができる。
送り速度は、20mm/sec〜300mm/secの
範囲が好ましい。このような速度で基板テーブル12を
移動させることにより、反射防止フィルム3やディスプ
レイ基板2にストレスをかけずに反射防止フィルム3の
貼り合わせを行うことができる。
【0076】ディスプレイ基板2の終端が貼合ローラー
73の位置まで移動した時点で、反射防止フィルム3の
ディスプレイ基板2への貼り合わせが終了する。この時
点で、基板テーブル上昇シリンダー20を下降させる。
また、これと同時に低真空吸引ライン45用のブロワー
を停止させる。そして、反射防止フィルム3の貼り合わ
せが終了したディスプレイ基板2を基板テーブル12か
ら取り外して反射防止フィルム3の貼り合わせ作業が終
了する。この後は、基板テーブル12を初期の位置、す
なわち貼り合わせ開始位置に戻し、また、フィルム吸着
台37を初期の位置に戻せば次の作業を行うことができ
る。
73の位置まで移動した時点で、反射防止フィルム3の
ディスプレイ基板2への貼り合わせが終了する。この時
点で、基板テーブル上昇シリンダー20を下降させる。
また、これと同時に低真空吸引ライン45用のブロワー
を停止させる。そして、反射防止フィルム3の貼り合わ
せが終了したディスプレイ基板2を基板テーブル12か
ら取り外して反射防止フィルム3の貼り合わせ作業が終
了する。この後は、基板テーブル12を初期の位置、す
なわち貼り合わせ開始位置に戻し、また、フィルム吸着
台37を初期の位置に戻せば次の作業を行うことができ
る。
【0077】以上により、反射防止フィルム3やディス
プレイ基板2にストレスをかけずに自然な状態で貼り合
わせることができ、気泡、しわ、異物混入等の現象が発
生することなく、高品質な完成品を得ることができる。
また、反射防止フィルム貼合機1によれば、貼り合わせ
精度も良いため、例えば±0.5mm程度の公差条件も
十分に満たすことが可能である。また、上述した種々の
条件を適当に選択することにより、帯電静電気の電圧が
低い状態、例えば250V以下程度で反射防止フィルム
3の貼り合わせを行うことができる。
プレイ基板2にストレスをかけずに自然な状態で貼り合
わせることができ、気泡、しわ、異物混入等の現象が発
生することなく、高品質な完成品を得ることができる。
また、反射防止フィルム貼合機1によれば、貼り合わせ
精度も良いため、例えば±0.5mm程度の公差条件も
十分に満たすことが可能である。また、上述した種々の
条件を適当に選択することにより、帯電静電気の電圧が
低い状態、例えば250V以下程度で反射防止フィルム
3の貼り合わせを行うことができる。
【0078】なお、上述した操作は全て、手動で行って
も良く、また、自動制御としても良く、作業状況等の諸
条件により種々の変更が可能である。
も良く、また、自動制御としても良く、作業状況等の諸
条件により種々の変更が可能である。
【0079】また、上記においては、図7に示すような
パターンの高真空吸引ライン44及び低真空吸引ライン
45を有するフィルム吸着台37を用いた場合について
説明したが、高真空吸引ライン44及び低真空吸引ライ
ン45のパターンはこれに限定されるものではなく、例
えば図9に示すようにバキュームプレート42'に複数
の高真空吸引孔49'及び低真空吸引孔50'を備えた構
成としても良い。このとき、高真空吸引孔49'及び低
真空吸引孔50'の角部は図10に示すように丸みをつ
けることが好ましい。これにより、反射防止フィルム3
に傷がつくことを防止できる。
パターンの高真空吸引ライン44及び低真空吸引ライン
45を有するフィルム吸着台37を用いた場合について
説明したが、高真空吸引ライン44及び低真空吸引ライ
ン45のパターンはこれに限定されるものではなく、例
えば図9に示すようにバキュームプレート42'に複数
の高真空吸引孔49'及び低真空吸引孔50'を備えた構
成としても良い。このとき、高真空吸引孔49'及び低
真空吸引孔50'の角部は図10に示すように丸みをつ
けることが好ましい。これにより、反射防止フィルム3
に傷がつくことを防止できる。
【0080】
【発明の効果】本発明に係るフィルム貼り合わせ方法
は、基板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わ
せ方法において、フィルムをその一端が突出するように
フィルム保持基板上に装着した後、基板に対して斜めに
配置し、突出するフィルムの先端に向かって基板を斜め
に上昇させ、上記フィルムの先端を加圧ロールと基板と
の間に挟み、上記基板を水平方向に移動することにより
上記フィルムをフィルム保持基板上で摺動させ、先端か
ら順に加圧ロールにより基板上に貼り合わせるものであ
る。
は、基板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わ
せ方法において、フィルムをその一端が突出するように
フィルム保持基板上に装着した後、基板に対して斜めに
配置し、突出するフィルムの先端に向かって基板を斜め
に上昇させ、上記フィルムの先端を加圧ロールと基板と
の間に挟み、上記基板を水平方向に移動することにより
上記フィルムをフィルム保持基板上で摺動させ、先端か
ら順に加圧ロールにより基板上に貼り合わせるものであ
る。
【0081】また、本発明に係るフィルム貼合機は、基
板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼合機であっ
て、上記フィルムを保持するフィルム保持部材と、上記
基板を保持する基板保持部材と、上記フィルムを加圧す
る加圧ロールと、上記フィルム保持部材に保持した上記
フィルムを上記基板上に移動させるフィルム保持部材移
動手段と、上記基板保持部材に保持した上記基板を該基
板の移動方向に斜めに上昇させる第一の基板移動手段
と、上記基板保持部材に保持した上記基板を該基板の移
動方向に移動する第二の基板移動手段とを備えてなるも
のである。
板上にフィルムを貼り合わせるフィルム貼合機であっ
て、上記フィルムを保持するフィルム保持部材と、上記
基板を保持する基板保持部材と、上記フィルムを加圧す
る加圧ロールと、上記フィルム保持部材に保持した上記
フィルムを上記基板上に移動させるフィルム保持部材移
動手段と、上記基板保持部材に保持した上記基板を該基
板の移動方向に斜めに上昇させる第一の基板移動手段
と、上記基板保持部材に保持した上記基板を該基板の移
動方向に移動する第二の基板移動手段とを備えてなるも
のである。
【0082】以上のような本発明によれば、フィルムに
ストレスをかけずに自然な状態でフィルムを基板に貼り
合わせることが可能である。そして、完成品には気泡、
しわ、異物混入等の現象が発生せず、高品質な完成品を
得ることが可能である。
ストレスをかけずに自然な状態でフィルムを基板に貼り
合わせることが可能である。そして、完成品には気泡、
しわ、異物混入等の現象が発生せず、高品質な完成品を
得ることが可能である。
【0083】したがって、本発明によれば、簡便且つ確
実にフィルムを貼り合わせることが可能なフィルム貼り
合わせ方法およびフィルム貼合機を提供することが可能
である。
実にフィルムを貼り合わせることが可能なフィルム貼り
合わせ方法およびフィルム貼合機を提供することが可能
である。
【図1】本発明に係る反射防止フィルム貼合機の概略構
成図である。
成図である。
【図2】本発明に係る反射防止フィルム貼合機の側面図
である。
である。
【図3】本発明に係る反射防止フィルム貼合機の概略平
面図である。
面図である。
【図4】反射防止フィルムの一構成例を示す断面図であ
る。
る。
【図5】反射防止フィルムの一構成例を示す平面図であ
る。
る。
【図6】フィルム吸着台の一構成例を示す側面図であ
る。
る。
【図7】フィルム吸着台の一構成例を示す平面図であ
る。
る。
【図8】反射防止フィルムの貼合工程を説明する要部断
面図である。
面図である。
【図9】フィルム吸着台の他の構成例を示す平面図であ
る。
る。
【図10】高真空吸引孔及び低真空吸引孔を説明する要
部断面図である。
部断面図である。
1 反射防止フィルム貼合機、2 ディスプレイ基板、
3 反射防止フィルム、11 リニアベースプレート、
12 基板テーブル、13 バキュームプレート、14
リニアレール、18 リニアレール、19 リニアガ
イド、20 基板テーブル上昇シリンダー、21 スト
ッパー、22 ガイド、23 リニアガイド、24 基
板テーブル水平送りシリンダー、25 基板位置決めガ
イド、26 吸引孔
3 反射防止フィルム、11 リニアベースプレート、
12 基板テーブル、13 バキュームプレート、14
リニアレール、18 リニアレール、19 リニアガ
イド、20 基板テーブル上昇シリンダー、21 スト
ッパー、22 ガイド、23 リニアガイド、24 基
板テーブル水平送りシリンダー、25 基板位置決めガ
イド、26 吸引孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Fターム(参考) 4F211 AG03 AM32 TA03 TC02 TD11
TJ13 TJ14 TJ15 TJ23 TJ30
TQ03
Claims (19)
- 【請求項1】 基板上にフィルムを貼り合わせるフィル
ム貼り合わせ方法において、 フィルムをその一端が突出するようにフィルム保持基板
上に装着した後、基板に対して斜めに配置し、 突出するフィルムの先端に向かって基板を斜めに上昇さ
せ、上記フィルムの先端を加圧ロールと基板との間に挟
み、 上記基板を水平方向に移動することにより上記フィルム
をフィルム保持基板上で摺動させ、先端から順に加圧ロ
ールにより基板上に貼り合わせることを特徴とするフィ
ルム貼り合わせ方法。 - 【請求項2】 上記フィルムは、フィルム保持基板に吸
着により保持させることを特徴とする請求項1記載のフ
ィルム貼り合わせ方法。 - 【請求項3】 上記フィルムは、装着時には高真空でフ
ィルム保持基板に吸着保持し、加圧ロールによる貼り合
わせ時には低真空でフィルム保持基板に吸着保持するこ
とを特徴とする請求項2記載のフィルム貼り合わせ方
法。 - 【請求項4】 上記フィルムは、粘着層と粘着層上に貼
られた保護フィルムとを備えてなり、 上記フィルムを高真空でフィルム保持基板に吸着保持し
た状態で上記保護フィルムを剥離し、保護フィルム剥離
後に低真空で吸着保持して貼り合わせを行うことを特徴
とする請求項3記載のフィルム貼り合わせ方法。 - 【請求項5】 上記フィルムに対して除電を行うことを
特徴とする請求項1記載のフィルム貼り合わせ方法。 - 【請求項6】 上記フィルムに対して除電ブローを行う
ことを特徴とする請求項5記載のフィルム貼り合わせ方
法。 - 【請求項7】 上記加圧ロールの近傍に除電部材を配置
することを特徴とする請求項5記載のフィルム貼り合わ
せ方法。 - 【請求項8】 上記フィルム保持基板を導電性材料によ
り構成することを特徴とする請求項5記載のフィルム貼
り合わせ方法。 - 【請求項9】 上記基板を基板保持基板に吸着保持する
ことを特徴とする請求項1記載のフィルム貼り合わせ方
法。 - 【請求項10】 上記基板保持基板を導電性材料により
構成することを特徴とする請求項9記載のフィルム貼り
合わせ方法。 - 【請求項11】 基板上にフィルムを貼り合わせるフィ
ルム貼合機であって、 上記フィルムを保持するフィルム保持部材と、 上記基板を保持する基板保持部材と、 上記フィルムを加圧する加圧ロールと、 上記フィルム保持部材に保持した上記フィルムを上記基
板上に移動させるフィルム保持部材移動手段と、 上記基板保持部材に保持した上記基板を該基板の移動方
向に斜めに上昇させる第一の基板移動手段と、 上記基板保持部材に保持した上記基板を該基板の移動方
向に移動する第二の基板移動手段とを備えることを特徴
とするフィルム貼合機。 - 【請求項12】 上記フィルム保持部材が、上記フィル
ムを吸着保持する吸着手段を有することを特徴とする請
求項11記載のフィルム貼合機。 - 【請求項13】 上記吸着手段が、高真空と低真空との
異なる吸引力を備えることを特徴とする請求項12記載
のフィルム貼合機。 - 【請求項14】 上記基板保持部材が、上記基板を吸着
保持する吸着手段を有することを特徴とする請求項11
記載のフィルム貼合機。 - 【請求項15】 上記フィルムの除電手段を有すること
を特徴とする請求項11記載のフィルム貼合機。 - 【請求項16】 上記除電手段が除電ブロー装置である
ことを特徴とする請求項15記載のフィルム貼合機。 - 【請求項17】 上記除電手段が加圧ロールの近傍に設
けられた除電部材であることを特徴とする請求項15記
載のフィルム貼合機。 - 【請求項18】 上記フィルム保持部材が導電性材料に
よりなることを特徴とする請求項15記載のフィルム貼
合機。 - 【請求項19】 上記基板保持部材を導電性材料により
構成することを特徴とする請求項11記載のフィルム貼
合機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002083344A JP2003276091A (ja) | 2002-03-25 | 2002-03-25 | フィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002083344A JP2003276091A (ja) | 2002-03-25 | 2002-03-25 | フィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003276091A true JP2003276091A (ja) | 2003-09-30 |
Family
ID=29206864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002083344A Pending JP2003276091A (ja) | 2002-03-25 | 2002-03-25 | フィルム貼り合わせ方法及びフィルム貼合機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003276091A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008162230A (ja) * | 2007-01-04 | 2008-07-17 | Hitachi Plant Technologies Ltd | フィルム貼付方法及びフィルム貼付装置 |
JP2008207451A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Nagano Automation Kk | ワークを貼り合わせるための装置 |
JP5308569B1 (ja) * | 2012-09-18 | 2013-10-09 | Jpテック株式会社 | 保護フィルムの貼付装置 |
KR20180137100A (ko) * | 2017-06-16 | 2018-12-27 | 한선미 | 디스플레이 패널용 편광필름 부착장치 |
-
2002
- 2002-03-25 JP JP2002083344A patent/JP2003276091A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101214747B (zh) * | 2007-01-04 | 2012-08-22 | 株式会社日立工业设备技术 | 膜粘贴方法及膜粘贴装置 |
JP2008207451A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Nagano Automation Kk | ワークを貼り合わせるための装置 |
JP5308569B1 (ja) * | 2012-09-18 | 2013-10-09 | Jpテック株式会社 | 保護フィルムの貼付装置 |
WO2014045468A1 (ja) * | 2012-09-18 | 2014-03-27 | Jpテック株式会社 | 保護フィルムの貼付装置 |
KR20180137100A (ko) * | 2017-06-16 | 2018-12-27 | 한선미 | 디스플레이 패널용 편광필름 부착장치 |
KR101944852B1 (ko) | 2017-06-16 | 2019-02-01 | 한선미 | 디스플레이 패널용 편광필름 부착장치 |
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