JP5034247B2 - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
このため、シリコン単結晶の酸素濃度の径方向面内分布におけるばらつきを小さくすることが要求されていた。特に、シリコン単結晶の径方向面内における外周に近い領域で酸素濃度が少なくなる現象が発生することがあり、問題となっていた。この問題を解決するため、従来から、シリコン単結晶を製造する際に必要な外形寸法よりも大きい外形寸法の単結晶を成長させ、成長後に外周部分を削って酸素濃度が所定濃度よりも少なくなっている部分をとり除く方法が行われている。しかしながら、単結晶の成長後に外周部分を削る場合、無駄になる減量が多いことや、削る手間がかかるという不都合があった。
前記シリコン単結晶の径方向に磁場を印加する磁場印加ステップを備え、
前記シリコン融液の液面に対する前記磁場の中心高さ位置を、前記シリコン単結晶中の酸素濃度の径方向面内分布が均一になる位置として、液面上方0〜80mmの範囲としたことを特徴とする。
本発明のシリコン単結晶の製造方法は、坩堝に収容された
シリコン融液からシリコン単結晶を引き上げながら成長させて製造するシリコン単結晶の
製造方法において、前記シリコン単結晶の径方向に磁場を印加する磁場印加ステップを備
え、前記シリコン融液の液面に対する前記磁場の中心高さ位置を、前記シリコン単結晶中
の酸素濃度の径方向面内分布が均一になる位置とした。
本発明によれば、シリコン融液の液面に対する前記磁場の中心高さ位置を、シリコン単
結晶中の酸素濃度の径方向面内分布が均一になる位置としているので、酸素濃度の径方向
面内分布が均一であるシリコン単結晶を製造できる。
このような製造方法とすることで、酸素濃度の径方向面内分布が均一であるシリコン単結晶を容易に製造できる。
このような製造方法とすることで、シリコン単結晶の径方向面内における外周に近い領域で酸素濃度が少なくなる現象の発生を抑止することができ、酸素濃度の径方向面内分布が外周に近い領域まで均一であるシリコン単結晶を製造できる。
坩堝2は不図示の坩堝駆動手段に接続され、坩堝2が水平面内で回転し得るとともに、シリコン融液Mの液面変化に対応して上下方向に移動可能となっている。また、磁気コイル1、1は不図示の磁気コイル駆動手段により上下方向に移動可能とされ、シリコン融液Mの液面変化に対応して磁場の中心高さ位置Aを変化させることができるようになっている。
なお、磁気コイル1、1の半径、磁気コイル1、1と坩堝2との距離、磁気コイル1、1相互間の距離、坩堝2の回転数、引き上げ速度などの製造条件は、適宜選択することができ、特に限定されない。
(実験例1)
シリコン単結晶SIの直径Dを300mm、磁場9の中心Aの高さ位置をシリコン融液Mの液面の上方80mmとし、磁気コイル1、1の中心における磁束密度を3000ガウスとし、坩堝2を0.1〜20[min−1]程度の回転速度で回転させるとともに、引き上げるシリコン単結晶SIを1〜25[min−1]程度の回転速度で逆回転させ、シリコン単結晶SIの引き上げ速度0.35〜0.75[mm/min]でシリコン融液Mを固化させることにより長さ1600mmのシリコン単結晶製造を製造し、得られたシリコン単結晶をシリコン単結晶の種結晶側から長さ200mmの位置でスライスしてシリコンウェーハを得た。
磁場9の中心Aの高さ位置Bをシリコン融液Mの液面の上方60mmとしたこと以外は実験例1と同様にしてシリコン単結晶を製造し、得られたシリコン単結晶を実験例1と同様にしてスライスしてシリコンウェーハを得た。
(実験例3)
磁場9の中心Aの高さ位置Bをシリコン融液Mの液面とした(0mm)こと以外は実験例1と同様にしてシリコン単結晶を製造し、得られたシリコン単結晶を実験例1と同様にしてスライスしてシリコンウェーハを得た。
(実験例4)
磁場9の中心Aの高さ位置Bをシリコン融液Mの液面の下方130mmとしたこと以外は実験例1と同様にしてシリコン単結晶を製造し、得られたシリコン単結晶を実験例1と同様にしてスライスしてシリコンウェーハを得た。
図4に示すように、磁場9の中心Aの高さ位置Bをシリコン融液Mの液面の下方130mmとした実験例4では、酸素濃度の径方向面内分布におけるばらつきが大きく、径方向面内における外周に近い領域で急激に酸素濃度が少なくなっている。
これに対し、図5に示すように、磁場9の中心Aの高さ位置Bをシリコン融液Mの液面とした実験例3では、径方向面内における外周に近い中心から130mmよりも外側の領域を除き、酸素濃度の径方向面内分布におけるばらつきが0.6×1017atoms/cm3(6%)程度であり、図4に示す実験例4と比較して小さくなっている。ここで、6%とは、(酸素濃度Max値 - Min値)/(Max値) で算出した割合である。
また、図3に示す磁場9の中心Aの高さ位置Bをシリコン融液Mの液面の上方80mmとした実験例1や、図2に示す上方60mmとした実験例2では、酸素濃度の径方向面内分布におけるばらつきが面内全域に渡って0.3×1017atoms/cm3(3%)程度であり、実験例3や実験例4と比較して小さくなっている。ここで、3%も、同様に(酸素濃度Max値 - Min値)/(Max値) で算出した割合である。しかも、実験例1や実験例2では、実験例3や実験例4と比較して、径方向面内における外周に近い領域で酸素濃度が少なくなる現象が抑止されることが確認できた。
また、磁束密度は3000Gに限らず2500〜3500Gの範囲内では同様の結果を得ることができた。
Claims (2)
- 坩堝に収容されたシリコン融液からシリコン単結晶を引き上げながら成長させて製造するシリコン単結晶の製造方法において、
前記シリコン単結晶の径方向に磁場を印加する磁場印加ステップを備え、
前記シリコン融液の液面に対する前記磁場の中心高さ位置を、前記シリコン単結晶中の酸素濃度の径方向面内分布が均一になる位置として、液面上方0〜80mmの範囲としたことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記シリコン融液の液面に対する前記磁場の中心高さ位置を、液面上方60〜80mmの範囲としたことを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
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JP2006024696A JP5034247B2 (ja) | 2006-02-01 | 2006-02-01 | シリコン単結晶の製造方法 |
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