JP5012430B2 - 直流試験装置及び半導体試験装置 - Google Patents
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Description
この発明によると、被測定デバイスに流れた電流又は被測定デバイスに現れた電圧の検出結果が出力部から出力されるとフィルタ部において直流成分が遮断され、フィルタ部を透過した直流成分が遮断された検出結果が増幅部で増幅されてから測定部に入力される。
また、本発明の直流試験装置は、前記フィルタ部が、コンデンサ(18a)及び抵抗(18b)を有するハイパスフィルタを備えており、前記時定数変更部は、前記ハイパスフィルタが有する前記抵抗に対して並列接続された抵抗(19a)及びスイッチ(19b)からなる高速充電回路(19)と、当該高速充電回路をなすスイッチの開閉状態を制御する制御装置(23)とを備えることを特徴としている。
また、本発明の直流試験装置は、前記検出部の検出結果と前記増幅部の出力との何れか一方を選択して前記測定部に出力する第1選択部(21)を備えることを特徴としている。
また、本発明の直流試験装置は、前記検出部で検出された電流及び電圧の何れか一方を選択して前記フィルタ部及び前記第1選択部に出力する第2選択部(17)を備えることを特徴としている。
また、本発明の直流試験装置は、前記検出部が、前記被試験デバイスに現れる電圧を検出する電圧バッファ(16)と、前記被試験デバイスの異なるピンに接続されて、前記電圧バッファに接続させる前記被試験デバイスのピンを切り替える複数のスイッチ(41a〜41c)とを備えることを特徴としている。
本発明の半導体試験装置は、被試験デバイス(50)に試験信号を印加して得られる信号を用いて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置において、上記の何れかに記載の直流試験装置を少なくとも1つ備えることを特徴としている。
また、本発明によれば、時定数変更部を用いてフィルタ部の時定数を変更して直流成分に対するフィルタ部のセトリング時間を変えているため、上記の電流変化率やリップル成分の測定を高速に行うことができるという効果がある。
更に、本発明によれば、従来の構成にフィルタ部及び増幅部が追加されただけであるため、大幅なコスト上昇を招くことも無い。
図1は、本発明の第1実施形態による直流試験装置の要部構成を示すブロック図である。図1に示す通り、本実施形態の直流試験装置1は、電圧発生回路11(直流信号印加部)、電流発生回路12(直流信号印加部)、誤差検出回路13(直流信号印加部)、出力アンプ14(直流信号印加部)、電流検出回路15(検出部)、電圧バッファ16(検出部)、選択回路17(第2選択部)、ハイパスフィルタ18(フィルタ部)、高速充電回路19(時定数変更部)、増幅回路20(増幅部)、経路選択回路21(第1選択部)、測定回路22(測定部)、及びコントローラ23(時定数変更部、制御装置)を備えており、VFIM試験及びIFVM試験が可能な装置である。
図3は、本発明の第2実施形態による直流試験装置の要部構成を示すブロック図である。図3に示す直流試験装置2は、図1に示す直流試験装置1が備える電圧バッファ16の入力端に並列に接続されたスイッチ41a〜41cを追加した構成である。尚、スイッチ41a〜41cの数は3つに限られる訳ではなく2つ以上であればよい。
11 電圧発生回路
12 電流発生回路
13 誤差検出回路
14 出力アンプ
15 電流検出回路
16 電圧バッファ
17 選択回路
18 ハイパスフィルタ
18a コンデンサ
18b 抵抗
19 高速充電回路
19a 抵抗
19b スイッチ
20 増幅回路
21 経路選択回路
23 コントローラ
41a〜41c スイッチ
50 DUT
Claims (6)
- 被試験デバイスに所定の電圧又は電流を印加する直流信号印加部と、前記被試験デバイスに流れる電流及び被試験デバイスに現れる電圧を検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて前記被試験デバイスに流れる電流又は被試験デバイスに現れる電圧を測定する測定部とを備える直流試験装置において、
前記検出部から得られる検出結果の直流成分を遮断するフィルタ部と、
前記フィルタ部の時定数を変更して前記直流成分に対する前記フィルタ部のセトリング時間を変える時定数変更部と、
前記フィルタ部から出力される前記直流成分が遮断された前記検出結果を増幅して前記測定部に出力する増幅部と
を備えることを特徴とする直流試験装置。 - 前記フィルタ部は、コンデンサ及び抵抗を有するハイパスフィルタを備えており、
前記時定数変更部は、前記ハイパスフィルタが有する前記抵抗に対して並列接続された抵抗及びスイッチからなる高速充電回路と、当該高速充電回路をなすスイッチの開閉状態を制御する制御装置とを備える
ことを特徴とする請求項1記載の直流試験装置。 - 前記検出部の検出結果と前記増幅部の出力との何れか一方を選択して前記測定部に出力する第1選択部を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の直流試験装置。
- 前記検出部で検出された電流及び電圧の何れか一方を選択して前記フィルタ部及び前記第1選択部に出力する第2選択部を備えることを特徴とする請求項3記載の直流試験装置。
- 前記検出部は、前記被試験デバイスに現れる電圧を検出する電圧バッファと、
前記被試験デバイスの異なるピンに接続されて、前記電圧バッファに接続させる前記被試験デバイスのピンを切り替える複数のスイッチと
を備えることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の直流試験装置。 - 被試験デバイスに試験信号を印加して得られる信号を用いて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
請求項1から請求項5の何れか一項に記載の直流試験装置を少なくとも1つ備えることを特徴とする半導体試験装置。
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