JP5008929B2 - 液晶装置の製造方法 - Google Patents
液晶装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5008929B2 JP5008929B2 JP2006245155A JP2006245155A JP5008929B2 JP 5008929 B2 JP5008929 B2 JP 5008929B2 JP 2006245155 A JP2006245155 A JP 2006245155A JP 2006245155 A JP2006245155 A JP 2006245155A JP 5008929 B2 JP5008929 B2 JP 5008929B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- pixel electrode
- crystal device
- electrode
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
次に、本発明の実施形態における液晶装置の全体構成を図1及び図2に基づいて説明する。
[液晶装置の構成]
次に、本発明の実施形態における液晶装置を図3及び図4に基づいて説明する。
[液晶装置の製造方法]
次に、本発明の実施形態における液晶装置のうち、特にTFTアレイ基板10の製造プロセスを図5〜図7に基づいて説明する。
[ショット分割]
次に、上述したショット分割の位置について説明する。ここで、図3における走査線1の延在する方向をX方向、データ線3の延在する方向をY方向とする。本実施形態では、図5(g)の画素電極11を形成する工程において、Y方向については、画素電極11の非形成領域であって、走査線1が形成されている領域と略同一位置(ブラックマトリクス43内)でショット分割をしており、X方向については、図3の線分B−B´の位置、つまり画素電極11の形成領域内でショット分割をしている。このX方向のショット分割は、ショット分割の境界B−B´が画素電極11の形成領域に配置されるように行う。しかもショット分割の境界B−B´が、画素電極11の形成領域の周縁部のうち走査線1に沿った周縁部のみと交差するように、X方向のショット分割を行う。このように、Y方向にショット分割する場合の境界は、X方向と平行に配置され、X方向にショット分割する場合の境界は、Y方向と平行に配置されている。
Claims (5)
- 液晶を挟持して対向する第1基板及び第2基板と、前記液晶を駆動する画素電極と共通電極を備える液晶装置の製造方法であって、
前記第1基板上に、走査線及びデータ線を形成する工程の後、前記画素電極と、前記画素電極の上層に形成され、前記画素電極と電極絶縁膜を介して重なる部分に開口部を有する前記共通電極と、をフォトリソグラフィーにより形成する工程を備え、
前記画素電極を形成する工程は、前記第1基板上に画素電極材料を成膜する工程と、前記画素電極材料上にレジストを塗布する工程と、前記レジストを数回に分けて露光する画素電極露光工程と、を有し、
前記共通電極を形成する工程は、前記電極絶縁膜上に共通電極材料を成膜する工程と、前記共通電極材料上にレジストを塗布する工程と、前記レジストを数回に分けて露光する共通電極露光工程と、を有し、
前記画素電極露光工程は、前記数回に分けて行う露光の境界を、前記走査線方向を分割する境界が前記画素電極の形成領域内にあり、前記データ線方向を分割する境界が前記画素電極の非形成領域内にあるように配置して露光処理を行い、前記共通電極露光工程は、前記数回に分けて行う露光の境界を、前記データ線方向を分割する境界及び前記走査線方向を分割する境界がともに前記共通電極の開口部の非形成領域にあるように配置して露光処理を行う液晶装置の製造方法。 - 請求項1に記載の液晶装置の製造方法であって、
前記画素電極露光工程は、前記数回に分けて行う露光の境界を、前記走査線方向を分割する境界が、前記画素電極の形成領域の周縁部のうち前記走査線に沿った周縁部のみと交差するとともに、前記データ線方向を分割する境界が、前記走査線が形成されている領域と略同一位置になるように配置する液晶装置の製造方法。 - 請求項1または請求項2の何れかの液晶装置の製造方法により製造された液晶装置。
- 請求項3に記載の液晶装置であって、
前記画素電極の前記走査線に沿った周縁部および前記走査線と平面視において重なるように形成されたブラックマトリクスを備える液晶装置。 - 請求項3に記載の液晶装置であって、
前記第1基板上に、前記画素電極への通電を制御するスイッチング素子にデータ信号を供給し、前記走査線と交差するように設けられた前記データ線を備え、
前記画素電極の前記データ線に沿った周縁部および前記データ線と平面視において重なる位置にブラックマトリクスが形成されていない液晶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006245155A JP5008929B2 (ja) | 2006-09-11 | 2006-09-11 | 液晶装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006245155A JP5008929B2 (ja) | 2006-09-11 | 2006-09-11 | 液晶装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008065214A JP2008065214A (ja) | 2008-03-21 |
JP2008065214A5 JP2008065214A5 (ja) | 2009-03-12 |
JP5008929B2 true JP5008929B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=39287962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006245155A Expired - Fee Related JP5008929B2 (ja) | 2006-09-11 | 2006-09-11 | 液晶装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5008929B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5261237B2 (ja) | 2009-03-19 | 2013-08-14 | 株式会社ジャパンディスプレイウェスト | 液晶表示パネル |
JP6982976B2 (ja) | 2017-04-19 | 2021-12-17 | キヤノン株式会社 | 半導体デバイスの製造方法および半導体デバイス |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3237484B2 (ja) * | 1995-09-13 | 2001-12-10 | 株式会社日立製作所 | アクティブマトリックス型液晶表示装置及びその製造方法 |
JP3006586B2 (ja) * | 1998-06-01 | 2000-02-07 | 日本電気株式会社 | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
JP2000029053A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP3577625B2 (ja) * | 1998-11-26 | 2004-10-13 | 株式会社アドバンスト・ディスプレイ | 液晶表示装置の製造方法 |
WO2001018597A1 (fr) * | 1999-09-07 | 2001-03-15 | Hitachi, Ltd | Afficheur à cristaux liquides |
JP4401551B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2010-01-20 | エーユー オプトロニクス コーポレイション | 液晶表示装置の製造方法、表示装置の製造方法、及び液晶表示装置 |
-
2006
- 2006-09-11 JP JP2006245155A patent/JP5008929B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008065214A (ja) | 2008-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4619997B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
JP4041336B2 (ja) | 液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP4772599B2 (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
US8614779B2 (en) | Lateral electric field type active-matrix addressing liquid crystal display device | |
JP4925030B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
US8724064B2 (en) | Fringe field switching mode liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
JP4828557B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP4900072B2 (ja) | 液晶装置および電子機器 | |
JP5354523B2 (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP4395130B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP2008058573A (ja) | 液晶装置及び電子機器 | |
JP2006106658A (ja) | マスク及びこれを用いる液晶表示装置用表示板の製造方法 | |
JP4244289B2 (ja) | 液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置 | |
JP2007310152A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 | |
JP4049639B2 (ja) | 液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置 | |
US20060092351A1 (en) | Liquid crystal display panel of horizontal electronic field applying type and fabricating method thereof | |
JP2005004206A (ja) | 反射−透過型アレー基板とこの製造方法及びこれを有する液晶表示装置 | |
KR101758834B1 (ko) | 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조 방법 | |
KR101423909B1 (ko) | 표시 기판 및 이를 구비하는 액정 표시 장치 | |
US20030043309A1 (en) | Active matrix substrate and manufacturing method thereof | |
KR101172048B1 (ko) | 액정 표시패널 및 그 제조방법 | |
JP5008929B2 (ja) | 液晶装置の製造方法 | |
KR20060047575A (ko) | 액정표시장치 | |
JP4900073B2 (ja) | 液晶装置および電子機器 | |
JP4078928B2 (ja) | 電気光学装置および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090126 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090126 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100526 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110906 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120330 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5008929 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |