JP4993934B2 - パターン欠陥検査方法、フォトマスクの製造方法、及び表示デバイス用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
目視の斜光検査を自動化した装置としては、例えば、半導体ウエハから製造される半導体デバイス用基板のマクロ検査装置がその一つである。例えば、特許文献1には、半導体ウエハの表面に形成される周期的構造(繰り返しパターン)に所望の波長の光を照射する光源と、基板の表面からの回折光を受光するカメラと、このカメラによって撮影した画像データと無欠陥の基準データとを比較することによって欠陥を検出するための検出手段と、を有する装置が開示されている。このマクロ検査装置は、焦点のオフセット、ウエハの下面にゴミ(粒子)が存在してウエハ上下位置が変動することによるデフォーカス、ウエハの現像/エッチング/剥離工程に起因する半導体ウエハ表面の周期的構造における表面欠陥を、ウエハ全面を単一視野に収めて検査するというものである。
請求項12に記載の発明に係るフォトマスクの製造方法は、請求項5乃至11のいずれかに記載の発明において、上記主パターンの周期は80〜2000μmであり、上記検査用補助パターンの周期は1〜50μmであることを特徴とするものである。
[A]第1の実施の形態(図1〜図7)
図1は、本発明に係る欠陥検査方法における第1の実施の形態を実施するための欠陥検査装置を示す概略側面図である。図2は、図1の欠陥検査装置の他の態様を示す概略側面図である。図5は、図1及び図2の欠陥検査方法において検査対象となる被検査体としてのフォトマスクを示す平面図である。
d(sinθn±sinθi)=nλ …(1)
このフォトマスク50の製造工程は、マスクブランク製造工程、レジストパターン形成工程、マスクパターン形成工程、及び欠陥検査工程を順次実施するものである。
(1)フォトマスク50においては、主パターン56における繰り返しパターン51の周期が、当該繰り返しパターン51における単位パターンの線幅変動や位置変動等の欠陥を、この主パターン56からの回折光の誤差として捉えることができない程に大きな場合がある。この場合には、主パターン56と同時に形成され、且つこの主パターン56とは異なる周期(ピッチd)の繰り返しパターン51を含む検査用補助パターン57からの回折光を受光することで、この検査用補助パターン57の繰り返しパターン51に生じた、単位パターン53の線幅変動や位置変動等の欠陥を回折光の誤差として検出する。
主パターン56と同時に形成された検査用補助パターン57に上記欠陥が生じていれば、主パターン56には、この検査用補助パターン57の欠陥発生位置を含む直線K上に同様な欠陥が発生していると認定できる。従って、検査用補助パターン57の繰り返しパターン51における欠陥を検出することで、主パターン56の繰り返しパターン51における、単位パターン53の線幅変動や位置変動等の欠陥の有無を良好に検査することができる。
図8は、本発明に係る欠陥検査方法における第2の実施の形態において、検査対象となるフォトマスクを示す側断面図である。この第2の実施の形態が前記第1の実施の形態と異なる点は、レジストパターン形成工程後に欠陥検査工程を実施し、その後、検査用補助パターンのレジストパターンの消滅工程、マスクパターン、つまり主パターン56の薄膜パターンの形成工程を順次実施する点である。
(4)主パターン56のレジストパターン61及び検査用補助パターン57のレジストパターン62を、透明基板59の表面に設けられた薄膜60上のレジスト膜に形成し、欠陥検査工程の実施後に、上記レジストパターン62を消滅させる検査用補助パターンのレジストパターン消滅工程を実施し、その後、レジストパターン61をマスクにして上記薄膜60に、マスクパターンとしての主パターン56を形成するマスクパターン形成工程を実施する。このことから、最終製品であるフォトマスク50に検査用補助パターン57が形成されることを防止できる。
この第3の実施の形態におけるパターン欠陥検査方法が前記第2の実施の形態と異なる点は、検査用補助パターンの消滅工程である。
つまり、この第3の実施の形態では、検査用補助パターン57のレジストパターン62を用いて欠陥検査を実施した後、エッチングを施して主パターン56の薄膜パターン(つまり、第1の実施の形態における主パターン56)と、検査用補助パターン57の薄膜パターン(つまり、第1の実施の形態における検査用補助パターン57)を形成し、レジスト剥離を実施して仮のフォトマスクを作製する。
その後、この仮フォトマスクの全面にレジストを再度塗布し、その後検査用補助パターン57に対応したレジスト部分だけを露光する。この露光は、描画機による走査露光でも、その部分のみの面露光でもよい。この露光後、現像を再度実施し、再エッチングを実施して、検査用補助パターン57のレジストパターン62を除去し消滅させる。その後、レジストを剥離してフォトマスクを製造する。
従って、この第3の実施の形態においても、最終製品のフォトマスクに検査用補助パターン57が形成されることがないので、前記第2の実施の形態と同様な効果を奏する。
この第4の実施の形態におけるパターン欠陥検査方法は、前記第1の実施の形態と同様にして、薄膜60に主パターン56及び検査用補助パターン57のそれぞれの薄膜パターンを形成してマスクブランクを作製し、このマスクブランクにおける検査用補助パターン57の薄膜パターンを用いて、第1の実施の形態と同様にして欠陥検査を実施する。次に、上記フォトマスクの全面にレジストを再度塗布し、第3の実施の形態と同様にして、検査用補助パターン57を除去して消滅させる。
従って、この第4の実施の形態においては、前記第1の実施の形態と同様にして繰り返しパターン51の欠陥を検査できる他、第3の実施の形態と同様に、欠陥検査に使用した検査用補助パターン57が存在しない最終製品のフォトマスクを得ることができる。
例えば、上記両実施の形態では被検査体がフォトマスク50であり、表示デバイス用基板を製造するための上記フォトマスク50の繰り返しパターン51に発生した欠陥を検査するものを述べたが、この被検査体は表示デバイス用基板であってもよい。この場合には、表示デバイス用基板における表示面を形成する画素パターン(具体的には、液晶表示パネルの薄膜トランジスタや対向基板、カラーフィルタ等の繰り返しパターン)に生じた欠陥を検査することになる。
50 フォトマスク
51 繰り返しパターン
53 単位パターン
56 主パターン
57 検査用補助パターン
59 透明基板
60 薄膜
61 主レジストパターン
62 検査用補助レジストパターン
Claims (14)
- 単位パターンが周期的に配列されてなる、周期が80〜2000μmの繰り返しパターンを含む主パターンを有する被検査体の、上記主パターンに発生した、位置変動又は線幅変動による欠陥を検査するパターン欠陥検査方法であって、
上記主パターンを形成する工程では、周期が1〜50μmの繰り返しパターンを、上記主パターン以外の領域に上記主パターンと同時に描画することによって、上記主パターンと同一量の位置変動又は線幅変動を有する検査用補助パターンを形成し、
この検査用補助パターンに所望の入射角で光を照射し、上記検査用補助パターンからの、絶対値がゼロより大きい回折光を観察手段が受光することにより当該検査用補助パターンの欠陥を検出することによって、上記主パターンの欠陥の有無を検査することを特徴とするパターン欠陥検査方法。 - 上記検査用補助パターンは、単位パターンが互いに直交する方向に周期的に配列して構成されたことを特徴とする請求項1に記載のパターン欠陥検査方法。
- 上記被検査体が、表示デバイス用基板製造用のフォトマスク、または表示デバイス用基板であることを特徴とする請求項1又は2に記載のパターン欠陥検査方法。
- 単位パターンが周期的に配列されてなる、周期が80〜2000μmの繰り返しパターンを含む主パターンを形成するパターン形成工程を有するフォトマスクの製造方法であって、
上記パターン形成工程では、周期が1〜50μmの繰り返しパターンを、上記主パターンの領域外に当該主パターンと同時に描画することによって、上記主パターンと同一量の位置変動又は線幅変動を有する検査用補助パターンを形成し、
このパターン形成工程後に、上記検査用補助パターンに所望の入射角で光を照射し、上記検査用補助パターンからの、絶対値がゼロより大きい回折光を観察手段が受光することにより当該検査用補助パターンの欠陥を検出することによって、上記主パターンの欠陥の有無を検査する欠陥検査工程を実施することを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 単位パターンが周期的に配列されてなる繰り返しパターンを含む主パターンを有するフォトマスクの製造方法であって、
透明基板上に、薄膜及びレジスト膜が形成されたフォトマスクブランクの表面であって上記主パターンを形成する領域外に、上記主パターンとは異なる周期の繰り返しパターンを含む検査用補助パターンを、上記主パターンと同時に描画することによって形成する、パターン形成工程と、
形成された上記検査用補助パターンに所望の入射角で光を入射し、当該検査用補助パターンからの回折光を観察手段が受光することにより当該検査用補助パターンの欠陥を検出する欠陥検査工程と、
上記欠陥検査工程後、上記検査用補助パターンを消滅させる補助パターン消滅工程と、を有することを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 上記パターン形成工程は、検査用補助パターンを主パターンと同時に描画し、現像によって上記検査用補助パターンのレジストパターンを形成することにより実施し、
上記欠陥検査工程は、上記検査用補助パターンのレジストパターンに光を入射して、この検査用補助パターンからの反射光の回折光を観察手段が受光することにより実施することを特徴とする請求項5に記載のフォトマスクの製造方法。 - 上記補助パターン消滅工程は、検査用補助パターンのレジストパターンを除去することを含むことを特徴とする請求項5または6に記載のフォトマスクの製造方法。
- 上記補助パターン消滅工程は、検査用補助パターン部分の薄膜を除去することを含むことを特徴とする請求項5または6に記載のフォトマスクの製造方法。
- 上記パターン形成工程は、検査用補助パターンを、主パターンと同時に描画し、現像及びエッチングによって上記検査用補助パターンの薄膜パターンを形成することにより実施し、
上記欠陥検査工程は、上記検査用補助パターンの薄膜パターンに光を入射して、この検査用補助パターンからの反射光又は透過光の回折光を観察手段が受光することにより実施することを特徴とする請求項5に記載のフォトマスクの製造方法。 - 上記補助パターン消滅工程は、検査用補助パターン部分の薄膜パターンを除去することを含むことを特徴とする請求項9に記載のフォトマスクの製造方法。
- 上記検査用補助パターンの欠陥は、上記記主パターンと同時に描画されることにより、上記主パターンと同一量の位置変動又は線幅変動を有するものであることを特徴とする、請求項5乃至10のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法。
- 上記主パターンの周期は80〜2000μmであり、上記検査用補助パターンの周期は1〜50μmであることを特徴とする請求項5乃至11のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法。
- 上記検査用補助パターンは、単位パターンが互いに直交する方向に周期的に配列して構成されることを特徴とする請求項5乃至12のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法。
- 請求項4乃至13のいずれかに記載のフォトマスクの製造方法により製造されたフォトマスクを用いて画素パターンを形成し、表示デバイス用基板を製造することを特徴とする表示デバイス用基板の製造方法。
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