JP6498343B2 - インプリント装置、インプリント方法、物品製造方法、成形装置および成形方法。 - Google Patents
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Description
本発明は、インプリント装置、インプリント方法、物品製造方法、成形装置および成形方法に関する。
インプリント装置は、ディスペンサによって部材のパターン形成領域の上にインプリント材を配置し、型のパターン領域をインプリント材に接触させ、インプリント材を硬化させることによって、部材上にインプリント材の硬化物からなるパターンを形成する。型は、モールド、テンプレートまたは原版とも呼ばれうる。ディスペンサに異常があると、部材のパターン形成領域にインプリント材が正しく配置されず、そのために、欠陥を有するパターンが形成されうる。
特許文献1には、ディスペンサによって基板の上にインプリント材を供給した後に、観察部によってモールドを通してインプリント材を観察することによってインプリント材に抜けがあるかどうかを判定することが記載されている。この判定の結果、異常が発見されなければ、基板の上のインプリント材にモールドを接触させ硬化させる処理に移行する。
本発明は、ディスペンサの異常を検出するための有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の1つの側面は、部材におけるパターンを形成すべきパターン形成領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させた状態で該インプリント材を硬化させることによって前記インプリント材のパターンを形成するインプリント装置に係り、前記インプリント装置は、前記部材における、前記パターン形成領域と、前記パターン形成領域の外側の非パターン形成領域と、にインプリント材を配置するディスペンサと、前記パターン形成領域と前記非パターン形成領域の上に前記ディスペンサによってインプリント材が配置された状態で前記非パターン形成領域を検出する検出部と、前記検出部による前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記ディスペンサの異常を判断するための処理を行う制御部と、を備える。
本発明によれば、ディスペンサの異常を検出するための有利な技術が提供される。
以下、添付図面を参照しながら本発明をその例示的な実施形態を通して説明する。
図1には、本発明の第1実施形態のインプリント装置100の構成が示されている。第1実施形態のインプリント装置100は、パターン形成対象の部材103としてのブランクモールドに型102としてのマスターモールドのパターンを転写してレプリカモールドを形成するように構成されている。ただし、後述のように、本発明のインプリント装置は、このような適用例に限定されるものではなく、パターン形成対象の部材103としての半導体基板等の基板に型102のパターンを転写するように構成されてもよい。
インプリント装置100は、部材103のパターン形成領域203の上のインプリント材と型102のパターン領域213とを接触させた状態でインプリント材を硬化させることによって部材103のパターン形成領域203の上にパターンを形成する。部材103は、基部201と、基部201から突出したメサ部202とを有し、メサ部202の表面が単一のパターン形成領域203を構成している。部材103は、パターン形成領域203の外側(メサ部202の外側)に非パターン形成領域204を有する。非パターン形成領域204は型102のパターン領域213に接触しない。型102は、基部211と、基部211から突出したメサ部212とを有し、メサ部212の表面がパターン領域213を構成している。パターン領域213には、部材103のパターン形成領域203に転写すべきパターンが形成されている。型102は、パターン領域213の外側(メサ部212の外側)に非パターン領域214を有する。
インプリント材としては、硬化用のエネルギーが与えられることにより硬化する硬化性組成物(未硬化状態の樹脂と呼ぶこともある)が用いられる。硬化用のエネルギーとしては、電磁波、熱等が用いられうる。電磁波は、例えば、その波長が10nm以上1mm以下の範囲から選択される光、例えば、赤外線、可視光線、紫外線などでありうる。硬化性組成物は、光の照射により、あるいは、加熱により硬化する組成物でありうる。これらのうち、光の照射により硬化する光硬化性組成物は、少なくとも重合性化合物と光重合開始剤とを含有し、必要に応じて非重合性化合物または溶剤を更に含有してもよい。非重合性化合物は、増感剤、水素供与体、内添型離型剤、界面活性剤、酸化防止剤、ポリマー成分などの群から選択される少なくとも一種である。インプリント材は、液滴状、或いは複数の液滴が繋がってできた島状又は膜状となって基板上に配置されうる。インプリント材の粘度(25℃における粘度)は、例えば、1mPa・s以上100mPa・s以下でありうる。
本明細書および添付図面では、部材103のパターン形成領域203の表面に平行な方向をXY平面とするXYZ座標系において方向を示す。XYZ座標系におけるX軸、Y軸、Z軸にそれぞれ平行な方向をX方向、Y方向、Z方向とし、X軸周りの回転、Y軸周りの回転、Z軸周りの回転をそれぞれθX、θY、θZとする。X軸、Y軸、Z軸に関する制御または駆動は、それぞれX軸に平行な方向、Y軸に平行な方向、Z軸に平行な方向に関する制御または駆動を意味する。また、θX軸、θY軸、θZ軸に関する制御または駆動は、それぞれX軸に平行な軸の周りの回転、Y軸に平行な軸の周りの回転、Z軸に平行な軸の周りの回転に関する制御または駆動を意味する。また、位置は、X軸、Y軸、Z軸の座標に基づいて特定されうる情報であり、姿勢は、θX軸、θY軸、θZ軸の値で特定されうる情報である。位置決めは、位置および/または姿勢を制御することを意味する。位置合わせは、部材103および型102の少なくとも一方の位置および/または姿勢の制御を含みうる。
インプリント装置100は、部材103を保持し駆動する部材駆動機構120を備えうる。部材駆動機構120は、部材103を保持するチャック114を有するステージ104と、ステージ104を支持する支持体113と、ステージ104を駆動することによって部材103を駆動する駆動機構115とを含みうる。また、インプリント装置100は、型102を保持し駆動する型駆動機構101を備えうる。部材駆動機構120および型駆動機構101は、部材103と型102との相対位置が調整されるように部材103および型102の少なくとも一方を駆動する相対駆動機構150を構成する。
相対駆動機構150による相対位置の調整は、部材103の上のインプリント材に対する型102の接触、および、硬化したインプリント材(硬化物のパターン)からの型102の分離のための駆動を含みうる。部材駆動機構120は、部材103を複数の軸(例えば、X軸、Y軸、θZ軸の3軸、好ましくは、X軸、Y軸、Z軸、θX軸、θY軸、θZ軸の6軸)について駆動するように構成されうる。型駆動機構101は、型102を複数の軸(例えば、Z軸、θX軸、θY軸の3軸、好ましくは、X軸、Y軸、Z軸、θX軸、θY軸、θZ軸の6軸)について駆動するように構成されうる。
その他、インプリント装置100は、ディスペンサ106、軸外アライメントスコープ107、硬化部105、撮像部109、撮像光源110、軸上アライメントスコープ111、気体供給部125、制御部130等を備えうる。ディスペンサ106は、部材103の表面のうち、パターン形成領域203と、非パターン形成領域204とにインプリント材を配置するように、構成または制御されうる。
ディスペンサ106は、例えば、部材103が部材駆動機構120によって所定方向に連続的に走査されている状態で、パターン形成領域203および非パターン形成領域204にインプリント材が配置されるようにインプリント材を吐出する。軸外アライメントスコープ107は、型102を介さずに部材103のアライメントマークの位置を検出するためのアライメントスコープである。硬化部105は、部材103の上に配置されたインプリント材に硬化用のエネルギー(例えば、紫外線等の光)を照射することによって該インプリント材を硬化させる。撮像部109(観察部、検出部)は、型102を介してパターン形成領域203および非パターン形成領域204を撮像(観察、検出)する。
撮像光源110は、撮像部109による撮像のために、インプリント材を硬化させない波長を有する光で部材103を照明する。波長として、例えば可視光、赤外光が挙げられる。撮像部109は、例えばCCDイメージセンサまたはCMOSイメージセンサなどの2次元イメージセンサを有する。赤外光を用いる場合には、赤外光に感度を有するInGaAsデバイスなどを搭載した近赤外カメラを用いて撮像を行うことができる。インプリント材は、近赤外領域の光を吸収する材料を含むことができ、このような場合、インプリント材の有無が明暗差として検出されうる。また、イメージセンサの前に偏光板が配置された撮像素子(偏光カメラ)を用いることもできる。偏光カメラは、被検物で散乱された、ある一定方向の偏光光を検出することができるので、迷光が受光されるのを抑えることができる。軸上アライメントスコープ111は、部材103のアライメントマークと型102のアライメントマークとの相対位置を検出したり、部材103のアライメントマークおよび基準プレート112の基準マークの位置を検出したりする。
気体供給部125は、型102の周辺に配置され、パージガスを型102の周辺に供給する。パージガスとしては、インプリント材の硬化を阻害しないガス、例えば、ヘリウムガス、窒素ガスおよび凝縮性ガス(例えば、ペンタフルオロプロパン(PFP))の少なくとも1つを含むガスが使用されうる。制御部130は、例えば、FPGA(FieldProgrammable Gate Arrayの略。)などのPLD(Programmable Logic Deviceの略。)、又は、ASIC(Application Specific Integrated Circuitの略。)、又は、プログラムが組み込まれた汎用コンピュータ、又は、これらの全部または一部の組み合わせによって構成されうる。
図示されていないが、インプリント装置100は、部材103の裏面に圧力を加えることによって部材103を型102の側に向かって凸形状になるように変形させる変形機構を備えうる。また、インプリント装置100は、型102の裏面に圧力を加えることによって型102を部材103の側に向かって凸形状になるように変形させる変形機構を備えうる。これらの変形機構を設けることによって、部材103のパターン形成領域203の上のインプリント材と型102のパターン領域213とを最初に中央部において接触させることができる。その後に、部材103および型102の変形量を徐々に小さくすることによって、徐々にインプリント材と型102のパターン領域213との接触領域を拡大することができる。
以下、第1実施形態のインプリント装置100の動作を例示的に説明する。以下で説明する動作は、制御部130によって制御されうる。まず、型102(マスターモールド)が型駆動機構101に取り付けられる。次に、軸上アライメントスコープ111を使って、型102のアライメントマークと基準プレート112の基準マークとの相対位置が検出される。
次に、部材103(ブランクモールド)が部材駆動機構120のステージ104のチャック114に搬送され、チャック114によって保持される。次に、軸外アライメントスコープ107を使って、部材103のアライメントマークの位置と、基準プレート112の基準マークの位置とがそれぞれ検出され、部材103(パターン形成領域203)と基準マークとの相対位置が検出される。これにより、部材103(パターン形成領域203)と型102との相対位置が求められる。次に、部材103(パターン形成領域203)と型102との相対位置に基づいて、軸上アライメントスコープ111の視野に部材103のアライメントマークが入るように部材駆動機構120によって部材103が位置決めされる。次に、軸上アライメントスコープ111を使って、部材103のアライメントマークと型102のアライメントマークとの相対位置(部材103のパターン形成領域203と型102のパターン領域213との相対位置)が検出される。この相対位置に基づいて、部材103のパターン形成領域203と型102のパターン領域213とを位置合わせすることができる。
次に、ディスペンサ106によって、部材103のパターン形成領域203および非パターン形成領域204にインプリント材が配置される。ここで、ディスペンサ106は、例えば、部材103が部材駆動機構120によって所定方向に連続的に走査されている状態でインプリント材を吐出することによって、パターン形成領域203および非パターン形成領域204にインプリント材を配置する。
次に、部材103のパターン形成領域203と型102のパターン領域213とが位置合わせされるように、部材駆動機構120および型駆動機構101が制御される。この際に、軸上アライメントスコープ111を使って部材103のパターン形成領域203と型102のパターン領域213との相対位置が再度検出され、その相対位置に基づいて、パターン形成領域203とパターン領域213とが位置合わせされてもよい。あるいは、ディスペンサ106によってパターン形成領域203および非パターン形成領域204にインプリント材が配置される前における軸上アライメントスコープ111による相対位置の検出は省略されてもよい。インプリント装置100は、形状補正機構を備えてもよく、該形状補正機構によってパターン領域213の形状が補正されてもよい。
次に、部材103のパターン形成領域203にパターンを形成するインプリント処理と、不良検出処理とが実行される。インプリント処理は、接触工程、充填工程、硬化工程および分離工程を含みうる。接触工程は、部材103のパターン形成領域203の上のインプリント材と型102のパターン領域213とを接触させる工程であって、制御部130が相対駆動機構150を動作させることによってなされうる。充填工程は、型102のパターン領域213の凹部にインプリント材を充填させる工程である。硬化工程は、硬化部105が硬化用のエネルギーをパターン形成領域203及び非パターン形成領域204の上のインプリント材に照射するように制御部130が硬化部105を制御することによってなされうる。分離工程は、部材103のパターン形成領域の上のインプリント材の硬化物(パターン)と型102のパターン領域213とを分離させる工程である。分離工程は、制御部130が相対駆動機構150を動作させることによってなされうる。また、非パターン形成領域204の上のインプリント材の硬化を分離工程の後に行ってもよい。
不良検出処理は、撮像部109によって撮像される画像(撮像部109によって検出される検出結果)に基づいて制御部130によって実行されうる。不良検出処理は、未充填欠陥を検出する欠陥検出処理と、ディスペンサ106の異常を検出する異常検出処理とを含みうる。この場合、撮像部109は、パターン形成領域203および非パターン形成領域204の双方を撮像(検出)するように構成されうる。ただし、異常検出処理は、ディスペンサ106の異常を検出する処理のみであってもよく、この場合、撮像部109は、パターン形成領域203および非パターン形成領域204のうち非パターン形成領域204のみを撮像するように構成されうる。
未充填欠陥を検出する欠陥検出処理は、パターン形成領域203にパターンを形成する処理における異常を検出する処理として理解されうる。未充填欠陥は、例えば、部材103または型102に付着した異物、部材103または型102の化学汚染、気泡の取り込み等によって、型102のパターン領域213(の凹部)にインプリント材が充填されないというものである。異常検出処理において検出されうるディスペンサ106の異常は、例えば、ディスペンサ106のノズルからインプリント材が吐出されない状態、または、ディスペンサ106のノズルから適正量のインプリント材が吐出されない状態でありうる。
部材103の表面が疎液性を有する場合には、部材103のパターン形成領域203に配置されたインプリント材が液滴形状を維持するので、個々のインプリント材を識別することが容易である。したがって、部材103の表面が疎液性を有する場合には、部材103のパターン形成領域203を撮像部109によって撮像し、その撮像によって得られた画像を処理することによってディスペンサ106の異常を検出しうる。
しかし、型102のパターン領域213(の凹部)へのインプリント材の充填性を向上させるために部材103のパターン形成領域203に親液性を持たせる処理がなされうる。パターン形成領域203が親液性を有する場合、パターン形成領域203に供給されたインプリント材がパターン形成領域203の上で広がり、周囲のインプリント材とともにインプリント材の膜を形成し、識別不能になる。したがって、部材103のパターン形成領域203が親液性を有する場合には、部材103のパターン形成領域203に配置されたインプリント材を識別することが難しい。よって、部材103のパターン形成領域203が親液性を有する場合には、部材103のパターン形成領域203を撮像部109によって撮像した画像を処理することによってディスペンサ106の異常を検出することが難しい。
そこで、第1実施形態では、ディスペンサ106によって部材103の非パターン形成領域204にインプリント材が配置され、非パターン形成領域204が撮像部109によって撮像される。そして、制御部130は、撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204の画像に基づいてディスペンサ106の異常を判断するための処理を行う。ディスペンサ106の異常を判断するための処理は、撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204の画像に基づいてディスペンサ106の異常を検出する異常検出処理を含みうる。異常検出処理は、ディスペンサ106の複数のノズルのうちインプリント材を吐出できないノズルを検出する処理を含みうる。あるいは、異常検出処理は、ディスペンサ106の複数のノズルのうちインプリント材の吐出量が異常なノズルを検出する処理を含みうる。
ここで、非パターン形成領域204が疎液性を有する方がインプリント材の有無によってディスペンサ106の異常を検出しやすいが、非パターン形成領域204は親液性を有してもよい。この理由は、以下のように説明されうる。
パターン形成領域203の上のインプリント材は、パターン形成領域203とそれに対向するパターン領域213との間隙が小さいために、インプリント材の蒸気圧が相対的に高く、相対的に揮発しにくい。また、パターン形成領域203の上のインプリント材は、それに型102のパターン領域213が接触した後は、殆ど揮発しない。一方で、非パターン形成領域204の上のインプリント材は、非パターン形成領域204とそれに対向する非パターン領域214との間隙が大きいために、インプリント材の蒸気圧が相対的に低く、相対的に揮発しやすい。また、パターン形成領域203の上のインプリント材に型102のパターン領域213が接触した後においても、非パターン形成領域204の上のインプリント材は、周囲の雰囲気(例えば、パージガス)に曝されており、相対的に揮発しやすい。したがって、パターン形成領域203が親液性を有し、パターン形成領域203の上にインプリント材が供給された直後はインプリント材が膜を構成する場合であっても、その後にインプリント材が部分的に揮発することによってインプリント材が減少しうる。これによって、インプリント材の有無あるいは量を識別可能になる。ここで、相対的な蒸気圧とは、パターン形成領域203の上の空間における蒸気圧と非パターン形成領域204の上の空間における蒸気圧を比較する表現である。また、相対的な揮発性とは、パターン形成領域203の上の空間における揮発性と非パターン形成領域204の上の空間における揮発性を比較する表現である。
図2(a)〜(f)には、ディスペンサ106に異常がない場合に撮像部109によって撮像される画像の遷移が模式的に示されている。撮像部109は、パターン形成領域203および非パターン形成領域204を撮像する。図2(a)には、ディスペンサ106によって部材103のパターン形成領域203、非パターン形成領域204にインプリント材IM、IM’を配置し、パターン形成領域203を型102の下に位置決めした直後の状態が模式的に示されている。
ディスペンサ106は部材103のパターン形成領域203には第1マップMP1に従ってインプリント材IMを配置し、非パターン形成領域204には第1マップMP1とは異なる第2マップMP2に従ってインプリント材IM’を配置するように制御されうる。例えば、第2マップMP2は、ディスペンサ106の全てのノズルからインプリント材IM’を吐出するように作成されうる。また、第2マップMP2は、液滴状態で非パターン形成領域204にディスペンサ106によって塗布された個々のインプリント材IM’を個別に識別可能なように作成されうる。
ディスペンサ106は、第1マップMP1に従ってパターン形成領域203にインプリント材IMを配置するための複数のノズルの全てを使って非パターン形成領域204にインプリント材IM’を配置するように第2マップMP2に従って制御されうる。これにより、パターン形成領域203にインプリント材IMを配置する処理において不良が発生することを把握することができる。
図2(b)には、変形機構によって部材103と型102とをそれぞれ凸形状に変形させ、相対駆動機構150によってパターン形成領域203の上のインプリント材IMとパターン領域213の中央部とを接触させた状態が模式的に示されている。画像の中央には、干渉縞(ニュートンリング)が現れている。図2(c)には、部材103のパターン形成領域203の上のインプリント材IMと型102のパターン領域213の全域とを接触させた状態が模式的に示されている。ここで、変形機構による部材103および型102の変形を緩和しながら、相対駆動機構150によって部材103と型102との距離が小さくされうる。これによって、パターン形成領域203の上のインプリント材IMとパターン領域213の全域とを接触させることができる。図2(c)に示された状態では、パターン形成領域203の上のインプリンント材IM中にマイクロバブルと呼ばれる気泡が存在しうる。
図2(d)には、型102のパターン領域213の凹部へのインプリント材IMの充填が完了し、インプリト材を硬化させる直前の状態が模式的に示されている。図2(e)には、インプリント材IMを硬化させるためにインプリント材に硬化用のエネルギー(ここでは、紫外線等の光)を照射した状態が模式的に示されている。図2(f)には、相対駆動機構150によって部材103と型102との距離を大きくすることによってインプリント材IMの硬化物と型102のパターン領域213とを分離した状態が模式的に示されている。
図2の例では、(a)〜(c)の状態では、非パターン形成領域204の上のインプリント材IM’は、孤立した液滴としては観察されない。これは、インプリント材IM’が非パターン形成領域204の上で連続した膜を形成しているためである。しかし、非パターン形成領域204の上のインプリント材IM’は、徐々に揮発して体積が減少することによって、互いに分離した液滴状態になり、(d)の状態では識別可能になってくる。更に、(e)、(f)の状態になると、より明確に識別可能になる。
図3(a)〜(f)には、ディスペンサ106に異常(インプリント材を吐出できないノズル)がある場合に撮像部109によって撮像される画像の遷移が模式的に示されている。図3(a)〜(f)は、それぞれ図2(a)〜(f)に対応するタイミングで撮像される画像である。図3(a)には、ディスペンサ106によって部材103のパターン形成領域203、非パターン形成領域204にインプリント材IM、IM’を配置し、パターン形成領域203を型102の下に位置決めした直後の状態が模式的に示されている。
図3(b)には、変形機構によって部材103と型102とをそれぞれ凸形状に変形させ、相対駆動機構150によってパターン形成領域203の上のインプリント材IMとパターン領域213の中央部とを接触させた状態が模式的に示されている。画像の中央には、干渉縞(ニュートンリング)が現れている。図3(c)には、部材103のパターン形成領域203の上のインプリント材IMと型102のパターン領域213の全域とを接触させた状態が模式的に示されている。図3(c)に示された状態において、ディスペンサ106に異常(インプリント材を吐出できないノズル)があることによる吐出異常250が僅かに現れている。
図3(b)には、変形機構によって部材103と型102とをそれぞれ凸形状に変形させ、相対駆動機構150によってパターン形成領域203の上のインプリント材IMとパターン領域213の中央部とを接触させた状態が模式的に示されている。画像の中央には、干渉縞(ニュートンリング)が現れている。図3(c)には、部材103のパターン形成領域203の上のインプリント材IMと型102のパターン領域213の全域とを接触させた状態が模式的に示されている。図3(c)に示された状態において、ディスペンサ106に異常(インプリント材を吐出できないノズル)があることによる吐出異常250が僅かに現れている。
図3(d)には、型102のパターン領域213の凹部へのインプリント材IMの充填が完了し、インプリト材を硬化させる直前の状態が模式的に示されている。図3(d)に示された状態において、ディスペンサ106に異常(インプリント材を吐出できないノズル)があることによる吐出異常250がはっきりと現れている。図3(e)には、インプリント材IMを硬化させるためにインプリント材に硬化用のエネルギー(ここでは、紫外線等の光)を照射した状態が模式的に示されている。図3(e)に示された状態においても、ディスペンサ106に異常(インプリント材を吐出できないノズル)があることによる吐出異常250がはっきりと現れている。図3(f)には、相対駆動機構150によって部材103と型102との距離を大きくすることによってインプリント材IMの硬化物と型102のパターン領域213とを分離した状態が模式的に示されている。図3(f)に示された状態において、ディスペンサ106に異常(インプリント材を吐出できないノズル)があることによる吐出異常250が現れている。
以上を考慮すると、制御部130は、パターン形成領域203の上のインプリント材IMにパターン領域213の全域が接触した状態で撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204の画像に基づいて異常検出処理を実行しうる。あるいは、制御部130は、インプリント材IMにパターン領域213の全域が接触した後であってインプリント材IMを硬化させる前に撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204の画像に基づいて異常検出処理を実行しうる。あるいは、制御部130は、パターン形成領域203の上のインプリント材IMを硬化させている期間に撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204の画像に基づいて異常検出処理を実行しうる。
あるいは、制御部130は、パターン形成領域203の上の硬化したインプリント材IMとパターン領域213とを分離するための駆動がなされている期間に撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204の画像に基づいて異常検出処理を実行しうる。あるいは、制御部130は、硬化したインプリント材IMとパターン領域213とが分離された後であってX、Y方向(換言すると、パターン形成領域203に平行な方向。)に関して部材103と型102との相対位置が変更される前に撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204の画像に基づいて異常検出処理を実行しうる。
図4(a)に例示されるように、ディスペンサ106の複数のノズル(白丸で示される部分)は、Y方向に沿って配列されうる。制御部130は、例えば、撮像部109によって撮像された画像300における非パターン形成領域204の画像における輝度をX方向に関して積分して図4(b)に例示されるような結果を得る。ここで、X方向は、ディスペンサ106がインプリント材を配置するときの部材103の走査方向である。図4(b)は、横軸がY方向の位置、縦軸が非パターン形成領域204の画像における輝度(Brightness)をX方向に関して積分して得られた積分値である。制御部130は、積分値と閾値Tとを比較することによって、インプリント材IM’が配置されていない位置(Y方向の位置)、即ち、インプリント材を吐出できないノズルを特定することができる。
第1実施形態によれば、パターン形成領域203の外側の非パターン形成領域204にインプリント材IM’を配置し、非パターン形成領域204の画像に基づいてディスペンサ106の異常が検出される。よって、第1実施形態では、パターン形成領域203の全域の画像に基づいてディスペンサ106の異常を検出する方式よりも小さい負荷(画像処理等の演算負荷)でディスペンサ106の異常を検出することができる。また、第1実施形態によれば、異常検出処理をインプリント処理と並行して実行することができるので、異常検出処理の実行によるスループットの低下を抑えることができる。
撮像部109として、分解能が高い撮像部を採用することによって、液滴状態の複数のインプリント材IM’を個別に識別することができる。これにより、ディスペンサ106の各ノズルの特性を個別に評価することができる。図5に示された例において、ディスペンサ106のノズル501は、インプリント材IM’を吐出することができるが、目標位置からずれた位置にインプリント材IM’を配置してしまうノズルである。ここで、図5において、点線は目標位置を示している。制御部130は、撮像部109によって撮像された画像に基づいて、ノズル501を特定することができる。
図6に例示されるように、部材103の非パターン形成領域204にディスペンサ106によって供給された個々のインプリント材IM’が広がっても個々のインプリント材IM’を識別可能にインプリント材IM’が配置される第2マップMP2が使われうる。この場合、インプリント材IM’の揮発によって個々のインプリント材IM’が識別可能になることを待つ必要がない。即ち、部材103の非パターン形成領域204にディスペンサ106によって供給された直後に、ディスペンサ106の異常を検出する異常検出処理を実行することができる。
図7には、第1実施形態のインプリント装置100の動作の一例が示されている。この動作は、制御部130によって制御される。まず、工程S701では、部材103がステージ104のチャック114の上に搬送され、チャック114によって保持される。工程S702では、部材103と型102との相対位置が検出される。工程S103では、ディスペンサ106によって部材103のパターン形成領域203および非パターン形成領域にインプリント材が配置される。
工程S704では、インプリント処理が実行される。インプリント処理は、前述のように、接触工程、充填工程、硬化工程および分離工程を含みうる。工程S704と並行して工程S705、工程S706が実行されうる。工程S705では、撮像部109によってパターン形成領域203および非パターン形成領域204が撮像される。また、工程S706では、工程S705で撮像された画像またはそれを処理した画像が不図示のディスプレイに表示される。
また、工程S705に次いで、工程S707〜S710が工程S704と並行して実行されうる。制御部130は、欠陥検出処理を実行するかどうかを設定する機能を備えている。工程S707では、制御部130は、欠陥検出処理を実行することが設定されているかどうかを判断し、欠陥検出処理を実行することが設定されている場合は、工程S708に進み、そうでなければ工程S711に進む。工程S708では、制御部130は、パターン形成領域203の画像に基づいて未充填欠陥を検出する処理を実行する。そして、未充填欠陥が検出された場合には、工程S712に進み、検出されなかった場合には、工程S711に進む。
制御部130は、異常検出処理を実行するかどうかを設定する機能を備えている。工程S709では、ディスペンサ106の異常を検出する異常検出処理を実行することが設定されているかどうかを判断し、異常検出処理を実行することが設定されている場合は、工程S710に進み、そうでなければ工程S711に進む。工程S710では、制御部130は、非パターン形成領域204の画像に基づいてディスペンサ106の異常を検出する異常検出処理を実行する。そして、ディスペンサ106の異常が検出された場合には、工程S713に進み、検出されなかった場合には、工程S711に進む。なお、工程S711は、並行して実行されている工程S704の終了後に実行される。
制御部130は、ディスペンサ106の異常を有するノズルを回復する回復処理を実行するかどうかを設定する機能を備えている。工程S713では、制御部130は、回復処理を実行することが設定されているかを判断し、回復処理を実行することが設定されている場合は、工程S715に進み、そうでなければ、工程S718に進む。工程S715では、回復処理が実行される。回復処理は、例えば、ディスペンサ106の下面(ノズルの出口が配置された面)へのインプリント材の溢れによる異常から回復するために、該下面を不図示の吸引機構によって吸引する動作を含みうる。あるいは、回復処理は、ノズルのつまりによる異常から回復するために、ノズルに対してディスペンサ106の内部から陽圧をかけてインプリント材を押し出す動作を含みうる。
工程S716では、制御部130は、ディスペンサ106が異常状態から回復したかどうかを判断する。この判断は、例えば、不図示のカメラによってノズルを観察すること、不図示の吐出観察装置によって吐出を観察すること、等によってなされうる。工程S716において、ディスペンサ106が異常状態から回復したと判断された場合には、工程S717に進み、生産が継続され、そうでなければ、工程S712に進む。工程S712では、部材103が搬出され、工程S720では、異常が発生したことが通知され、工程S721において、生産を中止される。
工程S718では、制御部130は、異常を有するノズルがパターン形成領域203にインプリント材を配置するために使用されるノズルであるかどうかを第1マップMP1に基づいて判断する。そして、異常を有するノズルがパターン形成領域203にインプリント材を配置するために使用されるノズルである場合には、工程S712に進み、そうでなければ、工程S719に進む。後者は、異常を有するノズルが存在するものの、パターン形成領域203へのパターンの形成のためには問題がないことを意味する。工程S719では、制御部130は、ディスペンサ106のノズルに異常があること、および、生産を継続することを通知する。
工程S711では、部材103が搬出され、工程S722では、生産を継続するかどうかが判断され、継続する場合には、工程S701に戻り、終了する場合は、工程S723で生産が正常に終了したことが通知され、工程S724で生産が終了される。
インプリント装置100は、ディスペンサ106の異常を判断するための処理として、工程S706において、判断のための画像をディスプレイに表示させ、操作者にディスペンサ106の異常の有無を判断させる処理を実行しうる。また、インプリント装置100は、操作者の判断により生産を中止するための生産中止スイッチを備えうる。工程S725では、制御部130は、生産中止スイッチがオンされたかどうか(即ち、生産の中止が指示されたかどうか)を判断し、オンされた場合は工程S726に進む。工程S726では、制御部130は、安全な停止状態までシーケンスを進める。制御部130は、例えば、パターン形成領域203の上のインプリント材が硬化していなければ、インプリント材を硬化させ、硬化したインプリント材と型102とが分離された後に部材103が搬出されるように、インプリント材を硬化させる。工程S727では、部材103が搬出され、工程S728では、生産を中心することが通知され、工程S721において、生産が中止される。
以下、図8、図9を参照しながら本発明の第2実施形態のインプリント装置について説明する。なお、第2実施形態として言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。第2実施形態のインプリント装置は、パターン形成対象の部材としての半導体基板等の部材Sに型Mのパターンを転写するように構成されている。図8では省略されているが、第2実施形態のインプリント装置は、第1実施形態のインプリント装置100と同様の構成を備えうる。
型Mは、例えば、第1実施形態のインプリント装置100によって、部材103としてのブランクモールドに型102としてのマスターモールドのパターンが転写されて構成されるレプリカモールドでありうる。部材Sは、複数のパターン形成領域801(ショット領域)を有する。第2実施形態では、非パターン形成領域802は、複数のパターン形成領域801の間のスクライブライン領域でありうる。
第2実施形態では、ディスペンサ106は、部材Sの表面のうち、パターン形成領域801と、パターン形成領域801の外側の非パターン形成領域802とに、それぞれインプリント材IM、IM’を配置する。撮像部109は、非パターン形成領域802の上にディスペンサ106によってインプリント材IM’が配置された状態で非パターン形成領域802を撮像する。制御部130は、撮像部109によって撮像された非パターン形成領域802の画像に基づいてディスペンサ106の異常を判断するための処理を行う。 次に、第3実施形態のインプリント装置について説明する。なお、第3実施形態として言及しない事項は、第1又は第2実施形態に従いうる。本実施形態では、部材103、型102や基準プレート112のマークを検出する軸上アライメントスコープ111が、ディスペンサ106によって吐出されたインプリント材を検出する。軸上アライメントスコープ111は、光軸に対して斜めの方向から照明光を射出し、型102または部材103などの被検物を照明し、被検物によって光軸の方向に向かって反射された光を受光素子で検出する。このように、軸上アライメントスコープ111(検出器)は、暗視野照明によって被検物を計測する(暗視野観察)。
以下、第3実施形態のインプリント装置の動作を例示的に説明する。以下で説明する動作は、制御部130によって制御されうる。まず、部材103と型102との概略相対位置に基づいて、軸上アライメントスコープ111の視野に部材103のアライメントマーク34が入るように、部材駆動機構120によって部材103が位置決めされる。インプリント装置には軸上アライメントスコープ111が4つ設けられている。
図11は、部材103のパターン形成領域203およびその付近(周辺)を例示する平面図である。図11に示すように、部材103のパターン形成領域203の外側の4隅にアライメントマーク34(34a、34b、34c、34d)が設けられている。型102にも、アライメントマーク34に対応する位置にアライメントマークが設けられている。1つの軸上アライメントスコープ111が1つのアライメントマーク34を検出するように構成されている。
次に、軸上アライメントスコープ111を使って、部材103のアライメントマーク34と型102のアライメントマークとの相対位置が検出される。この相対位置に基づいて、部材103のパターン形成領域203と型102のパターン領域213とを位置合わせすることができる。
次に、ディスペンサ106の下に部材103が位置決めされるように部材駆動機構120によって部材103が移動される。そして、ディスペンサ106によって部材103上にインプリント材30が配置される。ここで、ディスペンサ106は、例えば、部材103が部材駆動機構120によって所定方向に連続的に走査されている状態でインプリント材を吐出することによってインプリント材を配置する。本実施形態では、第1実施形態でインプリント材を配置したパターン形成領域203および非パターン形成領域204の他に、非パターン形成領域204の外側にある第3領域33(33a、33b、33c、33d)にもインプリント材30を配置する。図11に示すように、第3領域33は、パターン形成領域203の外側の4隅であって、アライメントマーク34の隣に設けられた第3領域33a、33b、33c、33dを含む。第3領域33は、非パターン形成領域204と同様に、パターンが形成されない領域であって、軸上アライメントスコープ111で検出できる視野より小さい領域である。制御部130は、パターン形成領域203および非パターン形成領域204を含む領域におけるインプリント材を配置すべき位置を示す第1データ(マップ)を取得する。そして、制御部130は、第3領域33におけるインプリント材を配置すべき位置を示す第2データを第1データに対して追加した第3データを作成する。そして、制御部130は、第3データに基づいてインプリント材が配置されるようにディスペンサ106の吐出を制御する。
図11に示すように、非パターン形成領域204の最上列に配列されるインプリント材と同じ並びを構成するように第3領域33a、33cにもインプリント材が配置される。また、非パターン形成領域204の最下列に配列されるインプリント材と同じ並びを構成するように第3領域33b、33dにもインプリント材が配置される。ディスペンサ106の吐出口の配列が2列ある場合は、非パターン形成領域204の最上列と、非パターン形成領域204の最下列とで、インプリント材を吐出する吐出口の列が異なるように設定されうる。この場合、第3領域33b、33dを検査することで、ディスペンサ106の吐出口の第1列目の吐出異常を検出でき、第3領域33a、33cを検査することで、ディスペンサ106の吐出口の第2列目の吐出異常を検出できる。なお、図11では、パターン形成領域203に配置されるインプリント材を省略している。
次に、先に位置合せしたときのデータに基づいて、部材103のパターン形成領域203と型102のパターン領域213とが位置合わせされるように、部材駆動機構120が制御される。軸上アライメントスコープ111は移動可能に構成され、軸上アライメントスコープ111を移動する駆動部が備えられている。部材103のパターン形成領域203と型102のパターン領域213とが位置合わせされる前に、軸上アライメントスコープ111は、その視野が、アライメントマーク34を検出するときの位置から第3領域33内に入るように移動される。
次に、部材103の第3領域33を軸上アライメントスコープ111で撮像し、第3領域33に配置されたインプリント材の状態を観察する。軸上アライメントスコープ111は暗視野照明であるため、軸上アライメントスコープ111で照明されてインプリント材で反射、散乱された光をイメージセンサで検出する。制御部130は、検出された光に基づいてインプリント材が正常に配置されているかどうか、つまり、ディスペンサの吐出異常を判定する。例えば、ディスペンサ106の異常がなく第3領域33にインプリント材が正常に配置されたときに軸上アライメントスコープ111で検出される総光量を基準値とする。そして、実際に軸上アライメントスコープ111で検出された総光量をその基準値と比較することによって、異常判定を行うことができる。また、ディスペンサ106の異常がなく第3領域33にインプリント材が正常に配置されたときに軸上アライメントスコープ111で撮像される画像を基準画像として、基準画像と比較することによって吐出異常を判定してもよい。
また、撮像部109による非パターン形成領域204の撮像も並行して行われうる。制御部130は、撮像部109によって撮像された非パターン形成領域204と第3領域33の画像に基づいてディスペンサ106の異常を判断するための処理を行うことができる。撮像部109は明視野照明による計測(明視野観察)を行うので、軸上アライメントスコープ111による暗視野観察とは違う方式で計測を行うことができ、それぞれ異なる計測結果を得ることが可能となる。したがって、撮像部109による明視野観察と軸上アライメントスコープ111による暗視野観察とを並行して実行することで総合的にディスペンサ106の異常を判断することができる。
上記アライメントスコープの場合には、その検出視野においてインプリント材の異常を型102と部材103のパターン形成領域203上に配置されたインプリント材が接触する前に検出できる。異常が検出された場合には、型102とインプリント材を接触させることなくインプリント材に対して硬化用の光で露光を行った後、部材103を搬出する。搬出前に露光するのは、インプリント材が固められておらず、部材搬出の際にインプリント材が揮発もしくは飛散して装置を汚染するためである。
撮像部109による非パターン形成領域204の撮像については、インプリント装置のユーザーインターフェイスに、実行するかどうかを選択する欄を設け、実行が選択された場合だけ実行してもよい。ディスペンサ106による第3領域33へのインプリント材の配置と、軸上アライメントスコープ111による第3領域33の撮像についても、該ユーザーインターフェイスに、実行するかどうかを選択する欄を設け、実行が選択された場合だけ実行してもよい。
インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、第1実施形態で製造される型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
硬化物のパターンは、上記物品の少なくとも一部の構成部材として、そのまま用いられるか、或いは、レジストマスクとして一時的に用いられる。基板の加工工程においてエッチング又はイオン注入等が行われた後、レジストマスクは除去される。
次に、物品製造方法について説明する。図10(a)に示すように、絶縁体等の被加工材2zが表面に形成されたシリコンウエハ等の基板1zを用意し、続いて、インクジェット法等により、被加工材2zの表面にインプリント材3zを付与する。ここでは、複数の液滴状になったインプリント材3zが基板上に付与された様子を示している。
図10(b)に示すように、インプリント用の型4zを、その凹凸パターンが形成された側を基板上のインプリント材3zに向け、対向させる。図10(c)に示すように、インプリント材3zが付与された基板1と型4zとを接触させ、圧力を加える。インプリント材3zは型4zと被加工材2zとの隙間に充填される。この状態で硬化用のエネルギーとして光を型4zを透して照射すると、インプリント材3zは硬化する。
図10(d)に示すように、インプリント材3zを硬化させた後、型4zと基板1zを引き離すと、基板1z上にインプリント材3zの硬化物のパターンが形成される。この硬化物のパターンは、型の凹部が硬化物の凸部に、型の凹部が硬化物の凸部に対応した形状になっており、即ち、インプリント材3zに型4zの凹凸パターンが転写されたことになる。
図10(e)に示すように、硬化物のパターンを耐エッチングマスクとしてエッチングを行うと、被加工材2zの表面のうち、硬化物が無いか或いは薄く残存した部分が除去され、溝5zとなる。図10(f)に示すように、硬化物のパターンを除去すると、被加工材2zの表面に溝5zが形成された物品を得ることができる。ここでは硬化物のパターンを除去したが、加工後も除去せずに、例えば、半導体素子等に含まれる層間絶縁用の膜、つまり、物品の構成部材として利用してもよい。
なお、以上の実施形態ではパターンが形成された型を用いたインプリント装置を説明したが、これは、本発明の例示的な実施形態に過ぎない。本発明は、凹凸のない平板上の型を用いて、その型を基板上の組成物に接触させて組成物を成形し、組成物を硬化させることによって、組成物を平坦化する平坦化装置(成形装置)にも適用可能である。
100:インプリント装置、101:型駆動機構、102:型、103:部材、104:ステージ、105:硬化部、106:ディスペンサ、109:撮像部、130:制御部、203:パターン形成領域、204:非パターン形成領域
Claims (31)
- 部材におけるパターンを形成すべきパターン形成領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させた状態で該インプリント材を硬化させることによって前記インプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記部材における、前記パターン形成領域と、前記パターン形成領域の外側の非パターン形成領域と、にインプリント材を配置するディスペンサと、
前記パターン形成領域と前記非パターン形成領域の上に前記ディスペンサによってインプリント材が配置された状態で前記非パターン形成領域を検出する検出部と、
前記検出部による前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記ディスペンサの異常を判断するための処理を行う制御部と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記ディスペンサは、前記パターン形成領域には第1マップに従ってインプリント材を配置し、前記非パターン形成領域には前記第1マップとは異なる第2マップに従ってインプリント材を配置する、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記ディスペンサは、前記パターン形成領域にインプリント材を配置するための複数のノズルの全てを使って、前記非パターン形成領域にインプリント材を配置する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。 - 前記ディスペンサは、前記部材が所定方向に連続的に走査されている状態でインプリント材を吐出することによって前記パターン形成領域および前記非パターン形成領域にインプリント材を配置する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記異常を判断するための処理は、前記検出部による前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記ディスペンサの異常を検出する異常検出処理を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記異常検出処理は、前記ディスペンサの複数のノズルのうちインプリント材を吐出できないノズルを検出する処理を含む、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記異常検出処理は、前記ディスペンサの複数のノズルのうちインプリント材の吐出量が異常なノズルを検出する処理を含む、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記パターン形成領域の上のインプリント材と前記パターン領域とが接触した状態で前記検出部によって検出された前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記異常検出処理を実行する、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記パターン形成領域の上のインプリント材と前記パターン領域の全域とが接触した後であって前記パターン形成領域の上のインプリント材を硬化させる前に前記検出部によって検出された前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記異常検出処理を実行する、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記パターン形成領域の上のインプリント材を硬化させている期間に前記検出部によって検出された前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記異常検出処理を実行する、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記パターン形成領域の上の硬化したインプリント材と前記パターン領域とを分離するための駆動がなされている期間に前記検出部によって検出された前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記異常検出処理を実行する、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記パターン形成領域の上の硬化したインプリント材と前記パターン領域とが分離された後であって前記パターン形成領域に平行な方向に関して前記部材と前記型との相対位置が変更される前に前記検出部によって検出された前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記異常検出処理を実行する、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記異常を判断するための処理は、前記検出部によって検出された前記非パターン形成領域の検出結果をディスプレイに表示させ、操作者に前記ディスペンサの異常の有無を判断させる処理を含む、
ことを請求項1乃至12のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、前記パターン形成領域と前記非パターン形成領域の上に前記ディスペンサによってインプリント材が配置された状態で前記非パターン形成領域を撮像し、
前記制御部は、前記検出部によって撮像された前記非パターン形成領域の画像に基づいて前記ディスペンサの異常を判断するための処理を行うことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、前記非パターン形成領域の他、前記パターン形成領域を撮像し、
前記制御部は、前記検出部によって撮像された前記非パターン形成領域の画像および前記パターン形成領域の画像に基づいて、前記パターン形成領域にパターンを形成する処理における異常を検出する、
ことを特徴とする請求項14に記載のインプリント装置。 - 前記部材は、基部と、前記基部から突出したメサ部とを有し、前記メサ部の表面が単一の前記パターン形成領域を構成している、
ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記部材は、基部と、前記基部から突出したメサ部とを有し、前記基部が前記非パターン形成領域を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記非パターン形成領域は、前記非パターン形成領域の上のインプリント材が前記型に接触しない領域である
ことを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記部材は、前記パターン形成領域を含む複数のパターン形成領域を有し、前記非パターン形成領域は、前記複数のパターン形成領域の間のスクライブライン領域である、
ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記ディスペンサの異常が検出された場合に、前記ディスペンサの機能を回復する処理を実行する、
ことを特徴とする請求項1乃至19のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 生産の中止が指示された場合に、前記パターン形成領域の上のインプリント材が硬化していなければ、インプリント材を硬化させ、硬化したインプリント材と前記型とが分離された後に前記部材が搬出される、
ことを特徴とする請求項1乃至20のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記ディスペンサの異常を検出するための前記処理を実行するかどうかを設定する機能を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至21のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、前記型を介して前記非パターン形成領域を検出する、
ことを特徴とする請求項1乃至22のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、前記型のアライメントマークと前記部材のアライメントマークを検出する検出器を含み、
前記検出器が前記非パターン形成領域を検出し、
前記制御部は、前記検出器によって検出された前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記処理を行う、ことを特徴とする請求項1乃至23のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、
前記パターン形成領域と前記非パターン形成領域の上に前記ディスペンサによってインプリント材が配置された状態で前記非パターン形成領域を撮像する撮像部と、
前記型のアライメントマークと前記部材のアライメントマークを検出する検出器と、を含み、
前記検出器が検出を行う領域と前記撮像部が撮像を行う前記非パターン形成領域とは互いに異なる、ことを特徴とする請求項1乃至24のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記検出器は暗視野観察によって撮像し、前記撮像部は明視野観察によって撮像する、ことを特徴とする請求項25に記載のインプリント装置。
- 前記パターン形成領域のインプリント材と前記型とを接触させる前に、前記検出器が前記非パターン形成領域を検出して前記ディスペンサの異常を検出した場合、前記パターン形成領域のインプリント材と前記型とを接触させずにインプリント材を硬化させることを特徴とする請求項24乃至26のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至27のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて部材の上にパターンを形成する工程と、
前記工程において前記パターンが形成された部材の処理を行う工程と、
を含み、前記処理が行われた前記部材から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。 - 部材におけるパターンを形成すべきパターン形成領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させた状態で該インプリント材を硬化させることによって前記インプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記部材における、前記パターン形成領域と、前記パターン形成領域の外側の非パターン形成領域と、にディスペンサによってインプリント材を配置する工程と、
前記パターン形成領域と前記非パターン形成領域の上に前記ディスペンサによってインプリント材が配置された状態で前記非パターン形成領域を検出する工程と、
前記非パターン形成領域の検出結果に基づいて前記ディスペンサの異常を判断するための処理を行う工程と、
を含むことを特徴とするインプリント方法。 - 部材上の組成物と型を接触させた状態で前記組成物を硬化させて前記組成物と前記型を離す処理を行うことによって前記組成物を成形する成形装置であって、
前記部材上に組成物を吐出するディスペンサと、
前記ディスペンサによって前記部材上に配置された組成物を検出する検出部と、
前記検出部による検出結果に基づいて前記ディスペンサの異常を判断する制御部と、を備え、
前記ディスペンサは、前記部材のうち、吐出した組成物が前記処理において前記型と接触する第1領域及び前記型と接触しない第2領域に、組成物を配置し、
前記検出部は、前記処理において、前記第1領域の組成物と前記型を接触させているときに前記第2領域を検出し、
前記制御部は、前記検出部による前記第2領域の検出結果に基づいて前記ディスペンサの異常を判断することを特徴とする成形装置。 - 部材上の組成物と型を接触させた状態で前記組成物を硬化させて前記組成物と前記型を離す処理を行うことによって前記組成物を成形する成形方法であって、
ディスペンサを用いて前記部材上に組成物を吐出する際、前記部材のうち、吐出した組成物が前記処理において前記型と接触する第1領域及び前記型と接触しない第2領域に、組成物を配置する工程と、
前記処理において前記第1領域の組成物と前記型を接触させているときに前記第2領域の組成物を検出した結果に基づいて前記ディスペンサの異常を判断するための処理を行う工程とを有することを特徴とする成形方法。
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