JP4985227B2 - 蒸着マスク、蒸着マスク装置、蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク用シート状部材の製造方法 - Google Patents
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Description
15 フレーム
18 蒸着マスク用シート状部材
20 蒸着マスク
20a 一方の面
20b 他方の面
22 有孔領域
23 無孔領域
25 孔
29 巻体
30 積層体
32 樹脂製シート
34 金属製シート
L 直線
θ 角度
Claims (16)
- 樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスクの製造方法。 - 前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスクが製造される
ことを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記積層体を供給する工程において、UV光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記樹脂製シートにUV光を照射して、前記金属製シートと前記樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 蒸着マスクと、蒸着マスクと固定されたフレームと、を備えた蒸着マスク装置の製造方法において、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体の前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程と、
前記フレームを取り付けられた前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスク装置の製造方法。 - 蒸着マスクと、蒸着マスクと固定されたフレームと、を備えた蒸着マスク装置の製造方法において、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、
前記樹脂製シートを除去した後に、前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスク装置の製造方法。 - 前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項6または7に記載の蒸着マスク装置の製造方法。 - 前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスク配置が製造される
ことを特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。 - 前記積層体を供給する工程において、UV光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、接着層にUV光を照射して、金属製シートと樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。 - 前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項6乃至10のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。 - 多数の孔を形成された蒸着マスクに用いられるシート状部材を製造する蒸着マスク用シート状部材の製造方法において、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスク用シート状部材の製造方法。 - 前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項12に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。 - 前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスクに用いられるシート状部材が製造される
ことを特徴とする請求項12または13に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。 - 前記積層体を供給する工程において、UV光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、接着層にUV光を照射して、金属製シートと樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項12乃至14のいずれか一項に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。 - 前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項12乃至15のいずれか一項に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。
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