JP6357777B2 - 積層マスクの製造方法 - Google Patents
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Description
複数の貫通孔を有し、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される積層マスクの製造方法において、
第1面と、前記第1面とは反対側に設けられるとともに蒸着時には前記基板側に配置される第2面とを有する金属基材と、前記金属基材の前記第2面に設けられた樹脂層と、前記樹脂層の前記金属基材側とは反対側の面に設けられた金属レジスト層と、を有する積層体を準備する工程と、
前記積層体の前記金属基材の前記第1面に第1レジスト層を設けると共に、前記金属レジスト層の前記樹脂層側とは反対側の面に第2レジスト層を設ける工程と、
前記第1レジスト層および前記第2レジスト層を露光して現像することにより、前記第1レジスト層に第1レジスト層開口部を形成すると共に、前記第2レジスト層に第2レジスト層開口部を形成する工程と、
前記第2レジスト層開口部を介して前記金属レジスト層をエッチングし、当該金属レジスト層に金属レジスト層開口部を形成する工程と、
前記金属レジスト層開口部を介して前記樹脂層をエッチングし、当該樹脂層に樹脂層開口部を形成する工程と、
前記第1レジスト層開口部を介して前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程であって、当該金属基材に、前記樹脂層開口部に連通して当該樹脂層開口部とともに前記貫通孔を画成する基材穴を形成する工程と、を備え、
前記樹脂層開口部の壁面は、前記基材穴の壁面よりも前記貫通孔の内側に配置されることを特徴とする積層マスクの製造方法、
を提供する。
複数の貫通孔を有し、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される積層マスクを含む保護フィルム付き積層マスクにおいて、
前記積層マスクと、
前記積層マスクに設けられた第2面側保護フィルムと、を備え、
前記積層マスクは、
第1面と、前記第1面とは反対側に設けられるとともに蒸着時には前記基板側に配置される第2面とを有する金属基材と、
前記金属基材の前記第2面に設けられた樹脂層と、を有し、
前記金属基材は、基材穴を有し、
前記樹脂層は、前記基材穴に連通して当該基材穴とともに前記貫通孔を画成する樹脂層開口部を有し、
前記樹脂層開口部の壁面は、前記基材穴の壁面よりも前記貫通孔の内側に配置され、
前記第2面側保護フィルムは、前記樹脂層の前記金属基材側とは反対側の面に、設けられていることを特徴とする保護フィルム付き積層マスク、
を提供する。
20a 第1面
20b 第2面
21 金属板
21a 第1面
21b 第2面
25 貫通孔
26 樹脂層
27 樹脂層開口部
28 壁面
30 基材穴
31 壁面
35 基材凹部
36 壁面
50 保護フィルム付き積層マスク
70 積層体
71 長尺金属板
71a 第1面
71b 第2面
72 金属レジスト層
73 シード層
74 めっき層
75 金属レジスト層開口部
81 第1レジスト層
81a 第1レジスト層開口部
82 第2レジスト層
82a 第2レジスト層開口部
83 第1面側保護フィルム
84 第2面側保護フィルム
Claims (13)
- 複数の貫通孔を有し、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される積層マスクの製造方法において、
第1面と、前記第1面とは反対側に設けられるとともに蒸着時には前記基板側に配置される第2面とを有する金属基材と、前記金属基材の前記第2面に設けられた樹脂層と、前記樹脂層の前記金属基材側とは反対側の面に設けられた金属レジスト層と、を有する積層体を準備する工程と、
前記積層体の前記金属基材の前記第1面に第1レジスト層を設けると共に、前記金属レジスト層の前記樹脂層側とは反対側の面に第2レジスト層を設ける工程と、
前記第1レジスト層および前記第2レジスト層を露光して現像することにより、前記第1レジスト層に第1レジスト層開口部を形成すると共に、前記第2レジスト層に第2レジスト層開口部を形成する工程と、
前記第2レジスト層開口部を介して前記金属レジスト層をエッチングし、当該金属レジスト層に金属レジスト層開口部を形成する工程と、
前記金属レジスト層開口部を介して前記樹脂層をエッチングし、当該樹脂層に樹脂層開口部を形成する工程と、
前記第1レジスト層開口部を介して前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程であって、当該金属基材に、前記樹脂層開口部に連通して当該樹脂層開口部とともに前記貫通孔を画成する基材穴を形成する工程と、を備え、
前記樹脂層開口部の壁面は、前記基材穴の壁面よりも前記貫通孔の内側に配置されることを特徴とする積層マスクの製造方法。 - 前記樹脂層をエッチングする工程において、前記第2レジスト層が除去されることを特徴とする請求項1に記載の積層マスクの製造方法。
- 前記第1レジスト層開口部および前記第2レジスト層開口部を形成する工程の後、前記金属レジスト層をエッチングする工程の前に、前記金属基材の前記第1面に、当該第1面および前記第1レジスト層を覆う第1面側保護フィルムが設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の積層マスクの製造方法。
- 前記樹脂層をエッチングする工程の後、前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程の前に、前記第1面側保護フィルムが除去されることを特徴とする請求項3に記載の積層マスクの製造方法。
- 前記樹脂層をエッチングする工程の後、前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程の前に、前記樹脂層の前記金属基材側とは反対側の面に、第2面側保護フィルムが設けられ、
前記第2面側保護フィルムが設けられた後、前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程の前に、前記第1面側保護フィルムが除去されることを特徴とする請求項3または4に記載の積層マスクの製造方法。 - 前記樹脂層をエッチングする工程の後、前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程の前に、前記樹脂層の前記金属基材側とは反対側の面に、第2面側保護フィルムが設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の積層マスクの製造方法。
- 前記第2面側保護フィルムは、UV光を照射することにより前記樹脂層から剥離可能であることを特徴とする請求項5または6に記載の積層マスクの製造方法。
- 前記金属レジスト層は、前記樹脂層上にスパッタリングにより設けられたシード層と、前記シード層上にめっきにより設けられためっき層と、を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の積層マスクの製造方法。
- 前記樹脂層をエッチングする工程の後、前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程の前に、前記樹脂層の欠陥部にレーザ光を照射して当該欠陥部を除去することにより前記樹脂層開口部の輪郭を修正することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の積層マスクの製造方法。
- 前記樹脂層は、ポリイミドにより形成されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の積層マスクの製造方法。
- 前記樹脂層をエッチングする工程の後、前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程の前に、前記樹脂層開口部を介して前記金属基材を前記第2面側からエッチングし、当該金属基材の当該第2面側に基材凹部を形成する工程を更に備え、
前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程において、前記基材穴は、前記基材凹部を包含するように形成されることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の積層マスクの製造方法。 - 前記金属基材を前記第1面側からエッチングする際、前記貫通孔が形成される領域における前記第1レジスト層が除去されることを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の積層マスクの製造方法。
- 前記金属基材を前記第1面側からエッチングする際、前記基材穴の壁面の先端縁は、当該基材穴に隣り合う他の前記基材穴の壁面の先端縁と合流することを特徴とする請求項12に記載の積層マスクの製造方法。
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