JP4962795B2

JP4962795B2 - 半導体試験装置

Info

Publication number: JP4962795B2
Application number: JP2008039803A
Authority: JP
Inventors: 定樹安斉
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2008-02-21
Filing date: 2008-02-21
Publication date: 2012-06-27
Anticipated expiration: 2028-02-21
Also published as: JP2009198291A

Description

本発明は、半導体試験装置に関し、詳しくは、ネットワークライセンス方式のライセンス管理における生産効率・テスト効率の改善に関するものである。

半導体試験装置のビジネスにおいては、半導体生産ラインにおける増産や減産による半導体製品の生産量変動を吸収したり、半導体メーカーの設備投資資金の都合などにより、レンタルやリースなどの設備購入によらない半導体試験装置の導入運用が行われることがある。

また、半導体試験装置の導入コストを低く抑えるために、廉価版のハードウェアを用意する代わりに、ソフトウェアによるライセンス制限を施した形でユーザーに提供することも行われている。

ところで、レンタルやリースされる半導体試験装置についても、実際には多機能を実装しているものの、そのうちの利用可能な機能を絞り込んだライセンス制限をかけた形で出荷することがある。

図３は半導体試験装置におけるノードロックライセンス方式の概念図である。図３において、生産ラインネットワーク１には、複数Ｘ台の半導体試験装置２１〜２Ｘが接続されている。各半導体試験装置２１〜２Ｘに個別に設けられているライセンスファイル３１〜３Ｘには、生産ラインネットワーク１に唯一存在するＩＤをキーとして、それぞれの半導体試験装置２１〜２Ｘで利用可能な少なくとも一つの機能が個別に設定登録されている。

これにより、たとえハードウェアとしては各半導体試験装置２１〜２Ｘに半導体試験装置としての全機能が実装されていたとしても、各半導体試験装置２１〜２Ｘで利用可能な機能はライセンスファイル３１〜３Ｘに設定登録されている機能に限定されるので、ユーザーは必要とする機能のライセンスを選択的に購入すればよく、全機能がいつでも使用できる仕様の半導体試験装置を購入する場合に比べて購入コストを下げることができる。

図４は半導体試験装置におけるネットワークライセンス方式の概念図である。図４において、生産ラインネットワーク１には、複数Ｘ台の半導体試験装置２１〜２Ｘと、ライセンスサーバー４が接続されている。ライセンスサーバー４にもライセンスファイル５が設けられている。このライセンスファイル５には、生産ラインネットワーク１に接続されているそれぞれの半導体試験装置２１〜２Ｘで利用可能な機能の総数が定義され登録されていて、半導体試験装置２１〜２Ｘにハードウェアとして全機能が実装されていれば、ネットワーク上での総数制限内であれば半導体試験装置でも空いている機能を使用することができる。

図５は図４の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。生産ラインネットワーク１に接続されている半導体試験装置２からある特定機能を利用する要求が出されると、その要求機能がライセンスサーバー４のライセンスファイル５に定義され登録されている制限機能の利用か否かが判断される（ＳＰ１）。制限機能の利用ではない場合はそのままで処理は終了する。

制限機能を利用する場合には、ライセンスサーバー４にアクセスして使用機能のライセンスを確保する（ＳＰ２）。このライセンス確保処理は、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックアウトに相当する。ライセンスを確保することにより、機能利用要求を出した半導体試験装置２はその機能を利用できる状態になり、その特定機能を利用するためのテストプログラムをダウンロードして実行する。

特定機能の利用形態としては、所定のテストプログラムをダウンロードして実行することにより、何日もそれを連続運転することも多くある。この場合、最初のライセンス認証だけだと、最初のライセンス認証の直後にライセンスサーバー４をダウンさせて次のライセンス要求処理を行うと、許可された以上の状態で動作を許してしまうことになり、ライセンス制限が効かなくなる。そこで、このような不都合を解消するために、一定時間経過する毎に（ＳＰ３）、たとえば周知の「Heart Beat」を使って定期的にライセンスサーバー４との接続確認を行う（ＳＰ４）。

そして、ライセンスサーバー４との通信が可能か否かを判断し（ＳＰ５）、通信可能と判断できる場合はライセンスが不要になったか否かを判断する（ＳＰ６）。ライセンスが継続して必要な場合には、ステップＳＰ３以降の処理を繰り返して実行する。ライセンスが不要になった場合には、使用機能のライセンスを解放し（ＳＰ７）、一連の処理を終了する。このライセンス解放処理は、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックインに相当する。

ステップＳＰ３でライセンスサーバー４との通信が不可能と判断すると、ライセンスサーバー４が異常である旨の表示を行うとともに、中断処理などを行って（ＳＰ８）、一連の処理を終了する。

これにより、生産ラインネットワーク１に接続されている各半導体試験装置２１〜２Ｘがハードウェアとして全機能が実装されているものであれば、ネットワーク１上での総数制限内であれば、どの半導体試験装置でも空いている機能を使用することができる。

特許文献１には、ＩＣテスタにあらかじめ複数の付加機能を組み込んでおき、ライセンスを付与することによりそれらの付加機能を有効にするＩＣテスタの構成例が記載されている。

特許文献２には、ＩＣテスタを用いたテストシステムにおける従量課金方法の例が記載されている。

特開２００２−０４０１０２特開２００４−０５３３９２

しかし、図３のノードロックライセンス方式によれば、ライセンスファイル３１〜３Ｘは各半導体試験装置２１〜２Ｘにそれぞれ対応するように個別に設けられた固定的なものであるため、他の半導体試験装置では使用されずに空いている機能をある半導体試験装置が利用しようとしても、キーとなる半導体試験装置のＩＤが異なることからその空いている機能を利用することはできない。特定機能を使用するテストプログラムを実行する場合には、生産ライン上の特定の半導体試験装置を空けなければならず、生産ライン上のテストプログラム実行と半導体試験装置との割り当てに煩雑なライセンス割り当て管理が生じてしまう。

これに対し、図４のネットワークライセンス方式によれば、ノードロックライセンス方式のような機能割り当て固定の不便さは解消できるが、ノードロックライセンス方式にはない以下のような別の問題がある。

前述のようにライセンス制限が効かなくなることを防ぐためのHeart Beatを使って定期的にライセンスサーバーとの接続確認を行うと、テスト実行中に余分なネットワークアクセスが発生することになり、テスト実行効率を下げたり、ＣＰＵ負荷をかけることでテスト実行処理のムラが発生して問題を生じる恐れがある。定期的なライセンスサーバーとの通信確認の間隔を延ばすことでネットワークアクセスの頻度を下げることはできるが、反面、不正利用のチェックができなくなる期間が延びることになる。

また、半導体試験装置の導入にあたりネットワークライセンス方式のライセンス管理を導入したレンタルやリースのユーザーとしては、診断や校正などの半導体をテストする生産活動に直接的には関係しない半導体試験装置側の都合で半導体試験装置を占有する時間分までレンタル時間にカウントされることは、付加価値のない「余分な」時間をも含むことになり、望ましくない。

本発明は、これらの課題を解決するものであり、その目的は、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できるネットワークライセンス方式の半導体試験装置を実現することにある。

このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、ネットワークライセンス方式でライセンス管理を行う半導体試験装置において、テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する制限機能利用判別手段と、この制限機能利用判別手段で判別されたテスト機能実行中には各テスト単位が終わった時点でライセンスサーバーにライセンス使用状態を問い合わせるライセンス確保状態成立確認手段、が設けられたことを特徴とする。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の半導体試験装置において、前記制限機能利用判別手段で制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能についてはその利用範囲が任意に選択できることを特徴とする。

請求項３記載の発明は、請求項１記載の半導体試験装置において、前記制限機能判別手段は、制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能以外の他の診断機能および校正機能を非制限機能利用と判別することを特徴とする。

本発明によれば、連続テストの実行途中ではライセンス確認やネットワークアクセスが生じないため最大効率で半導体のテストを実施でき、ネットワークライセンス方式の半導体試験装置を、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できる。

以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例の主要部分を示すブロック図であり、図４と共通する部分には同一の符号を付けている。図１において、半導体試験装置２１には、ライセンスを管理する機能として、制限機能利用確認部ａ、使用機能ライセンス確保部ｂ、テストエンド確認部ｃ、ライセンス確保状態成立確認部ｄ、ライセンス不要確認部ｅ、ラスセンスサーバー異常処理部ｆが設けられている。

図２は図１の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。生産ラインネットワーク１に接続されている半導体試験装置２において、特定機能を利用する要求が出されると、制限機能利用確認部ａは、その要求機能がライセンスサーバー４のライセンスファイル５に定義され登録されている制限機能の利用か否かを判断するとともに、テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する（ＳＰ１）。制限機能の利用ではない場合はそのままで処理は終了する。

その要求機能がテストデバッグまたは半導体の連続テスト機能を利用する場合には、使用機能ライセンス確保部ｂはライセンスサーバー４にアクセスして使用機能のライセンスを確保する（ＳＰ２）。このライセンス確保処理は、図５で説明したように、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックアウトに相当する。ライセンスを確保することにより、機能利用要求を出した半導体試験装置２はその機能を利用できる状態になり、テストデバッグまたは半導体の連続テスト機能を利用するためのテストプログラムをダウンロードして実行する。

テストエンド確認部ｃは、連続テスト中において、１つのテストまたは同時複数測定の１単位がテストエンドとなったタイミングを検出する（ＳＰ３）。テストエンドでない場合にはライセンスが不要か否かのステップＳＰ６にジャンプする。

テストエンド確認部ｃがテストエンドとなったタイミングを検出すると、ライセンス確保状態成立確認部ｄは、図５に示したHeart Beat機能を用いずに、ライセンスサーバー４に対してライセンス使用状態を問い合せ（ＳＰ４）、自分が確保したライセンスを自身で使っている(チェックアウトされている)ライセンス確保状態が成立しているか否かを確認する（ＳＰ５）。

ライセンス確保状態が成立していることを確認すると、ライセンスが不要か否かのステップＳＰ６に遷移する。ステップＳＰ６において、ライセンス不要確認部ｅはライセンスが不要になったか否かの処理判断を行う。ライセンスが継続して必要な場合には、ステップＳＰ３以降の処理を繰り返して実行する。ライセンスが不要になった場合には、使用機能のライセンスを解放し（ＳＰ７）、一連の処理を終了する。図５で説明したように、このライセンス解放処理は、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックインに相当する。

ステップＳＰ１において、その要求機能が半導体の連続テストではなくテストデバッグなどのために単発でテストを実行する場合には、テスト開始時にチェックアウトし、テスト終了時にチェックインを行う。

ステップＳＰ５において、ライセンスが確保できていない状態の場合には、従来技術でのHeart Beat機能を使った場合と同様に、ライセンスサーバー４が異常である旨の表示を行うとともに、中断処理などを行って（ＳＰ８）、一連の処理を終了する。

このように、診断や校正を実行する際には、ステップＳＰ１における制限機能利用確認部ａの判定でライセンス不要扱いとすることにより、診断や校正については通常のライセンス分を使うこともなく、ライセンス制限範囲を超えた実行も可能になる。

なお、機能制限されている部分の診断や校正の実行範囲については、利用範囲より広く診断や校正を実施すると、その所要時間の負担がユーザーにかかることになる。そこで、利用範囲に絞って実施するか、利用可能な最大範囲で実施するかをユーザーが任意に選択できるようにする。

テスト実行の途中ではライセンス確認やネットワークアクセスが生じないため、最大効率で半導体のテストを実施できる。

ライセンス確保確認はそれぞれの半導体テストの切れ目で行うため、ライセンスサーバーの停止などによって許可以上のライセンスを使わせてしまうことはなく、不正利用もできなくなる。

また、ネットワークアクセスによる半導体テスト実行中のテスト時間の揺らぎなども避けられる。

診断や校正についてはライセンス制限を超えた動作をさせることができるため、ライセンス制限のため日頃使っていない機能についても診断や校正を実施することができ、いざ使う際に故障しているというような事態を回避できる。

さらに、従量課金でのレンタルの場合には、診断や校正のための時間に対して課金されないシステムを提供できる。

なお、診断や校正を実行するのにあたり、通常とは別のライセンスを使うようにしてもよいし、診断や校正の実行にはライセンス制限をかけないようにしてもよい。

以上説明したように、本発明によれば、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できるネットワークライセンス方式の半導体試験装置が実現できる。

本発明の一実施例を示すブロック図である。図１の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。半導体試験装置におけるノードロックライセンス方式の概念図である。半導体試験装置におけるネットワークライセンス方式の概念図である。図４の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。

符号の説明

１生産ラインネットワーク
２１〜２Ｘ半導体試験装置
４ライセンスサーバー
５ライセンスファイル
ａ制限機能利用確認部
ｂ使用機能ライセンス確保部
ｃテストエンド確認部
ｄライセンス確保状態成立確認部
ｅライセンス不要確認部
ｆラスセンスサーバー異常処理部

Claims

ネットワークライセンス方式でライセンス管理を行う半導体試験装置において、
テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する制限機能利用判別手段と、
この制限機能利用判別手段で判別されたテスト機能実行中には各テスト単位が終わった時点でライセンスサーバーにライセンス使用状態を問い合わせるライセンス確保状態成立確認手段、
が設けられたことを特徴とする半導体試験装置。
前記制限機能利用判別手段で制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能についてはその利用範囲が任意に選択できることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
前記制限機能判別手段は、制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能以外の他の診断機能および校正機能を非制限機能利用と判別することを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。