JP4962795B2 - Semiconductor test equipment - Google Patents
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Description
本発明は、半導体試験装置に関し、詳しくは、ネットワークライセンス方式のライセンス管理における生産効率・テスト効率の改善に関するものである。 The present invention relates to a semiconductor test apparatus, and more particularly to improvement of production efficiency and test efficiency in network license type license management.
半導体試験装置のビジネスにおいては、半導体生産ラインにおける増産や減産による半導体製品の生産量変動を吸収したり、半導体メーカーの設備投資資金の都合などにより、レンタルやリースなどの設備購入によらない半導体試験装置の導入運用が行われることがある。 In the semiconductor test equipment business, semiconductor testing that does not involve purchases of equipment such as rentals or leases due to the fact that the production volume of semiconductor products in the semiconductor production line has increased or decreased, or because of capital investment funds by semiconductor manufacturers. Equipment may be introduced and operated.
また、半導体試験装置の導入コストを低く抑えるために、廉価版のハードウェアを用意する代わりに、ソフトウェアによるライセンス制限を施した形でユーザーに提供することも行われている。 In addition, in order to keep the introduction cost of semiconductor test equipment low, instead of providing low-priced hardware, it is also provided to users in the form of license restrictions by software.
ところで、レンタルやリースされる半導体試験装置についても、実際には多機能を実装しているものの、そのうちの利用可能な機能を絞り込んだライセンス制限をかけた形で出荷することがある。 By the way, although the semiconductor test apparatus to be rented or leased is actually mounted with multiple functions, it may be shipped with a license restriction that narrows down the available functions.
図3は半導体試験装置におけるノードロックライセンス方式の概念図である。図3において、生産ラインネットワーク1には、複数X台の半導体試験装置21〜2Xが接続されている。各半導体試験装置21〜2Xに個別に設けられているライセンスファイル31〜3Xには、生産ラインネットワーク1に唯一存在するIDをキーとして、それぞれの半導体試験装置21〜2Xで利用可能な少なくとも一つの機能が個別に設定登録されている。
FIG. 3 is a conceptual diagram of the node-locked license system in the semiconductor test apparatus. In FIG. 3, a plurality of X
これにより、たとえハードウェアとしては各半導体試験装置21〜2Xに半導体試験装置としての全機能が実装されていたとしても、各半導体試験装置21〜2Xで利用可能な機能はライセンスファイル31〜3Xに設定登録されている機能に限定されるので、ユーザーは必要とする機能のライセンスを選択的に購入すればよく、全機能がいつでも使用できる仕様の半導体試験装置を購入する場合に比べて購入コストを下げることができる。
As a result, even if all the functions as the semiconductor test apparatus are implemented in the respective
図4は半導体試験装置におけるネットワークライセンス方式の概念図である。図4において、生産ラインネットワーク1には、複数X台の半導体試験装置21〜2Xと、ライセンスサーバー4が接続されている。ライセンスサーバー4にもライセンスファイル5が設けられている。このライセンスファイル5には、生産ラインネットワーク1に接続されているそれぞれの半導体試験装置21〜2Xで利用可能な機能の総数が定義され登録されていて、半導体試験装置21〜2Xにハードウェアとして全機能が実装されていれば、ネットワーク上での総数制限内であれば半導体試験装置でも空いている機能を使用することができる。
FIG. 4 is a conceptual diagram of a network license system in a semiconductor test apparatus. In FIG. 4, a plurality of X
図5は図4の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。生産ラインネットワーク1に接続されている半導体試験装置2からある特定機能を利用する要求が出されると、その要求機能がライセンスサーバー4のライセンスファイル5に定義され登録されている制限機能の利用か否かが判断される(SP1)。制限機能の利用ではない場合はそのままで処理は終了する。
FIG. 5 is a flowchart showing an example of the flow of the license grant process in the configuration of FIG. When a request to use a specific function is issued from the
制限機能を利用する場合には、ライセンスサーバー4にアクセスして使用機能のライセンスを確保する(SP2)。このライセンス確保処理は、ライセンスサーバー4側からみると、ライセンスのチェックアウトに相当する。ライセンスを確保することにより、機能利用要求を出した半導体試験装置2はその機能を利用できる状態になり、その特定機能を利用するためのテストプログラムをダウンロードして実行する。
When using the restricted function, the
特定機能の利用形態としては、所定のテストプログラムをダウンロードして実行することにより、何日もそれを連続運転することも多くある。この場合、最初のライセンス認証だけだと、最初のライセンス認証の直後にライセンスサーバー4をダウンさせて次のライセンス要求処理を行うと、許可された以上の状態で動作を許してしまうことになり、ライセンス制限が効かなくなる。そこで、このような不都合を解消するために、一定時間経過する毎に(SP3)、たとえば周知の「Heart Beat」を使って定期的にライセンスサーバー4との接続確認を行う(SP4)。
As a usage form of the specific function, there are many cases where a predetermined test program is downloaded and executed to continuously operate it for several days. In this case, if only the first license authentication is performed, if the
そして、ライセンスサーバー4との通信が可能か否かを判断し(SP5)、通信可能と判断できる場合はライセンスが不要になったか否かを判断する(SP6)。ライセンスが継続して必要な場合には、ステップSP3以降の処理を繰り返して実行する。ライセンスが不要になった場合には、使用機能のライセンスを解放し(SP7)、一連の処理を終了する。このライセンス解放処理は、ライセンスサーバー4側からみると、ライセンスのチェックインに相当する。
Then, it is determined whether or not communication with the
ステップSP3でライセンスサーバー4との通信が不可能と判断すると、ライセンスサーバー4が異常である旨の表示を行うとともに、中断処理などを行って(SP8)、一連の処理を終了する。
If it is determined in step SP3 that communication with the
これにより、生産ラインネットワーク1に接続されている各半導体試験装置21〜2Xがハードウェアとして全機能が実装されているものであれば、ネットワーク1上での総数制限内であれば、どの半導体試験装置でも空いている機能を使用することができる。
As a result, if all the
特許文献1には、ICテスタにあらかじめ複数の付加機能を組み込んでおき、ライセンスを付与することによりそれらの付加機能を有効にするICテスタの構成例が記載されている。
特許文献2には、ICテスタを用いたテストシステムにおける従量課金方法の例が記載されている。
しかし、図3のノードロックライセンス方式によれば、ライセンスファイル31〜3Xは各半導体試験装置21〜2Xにそれぞれ対応するように個別に設けられた固定的なものであるため、他の半導体試験装置では使用されずに空いている機能をある半導体試験装置が利用しようとしても、キーとなる半導体試験装置のIDが異なることからその空いている機能を利用することはできない。特定機能を使用するテストプログラムを実行する場合には、生産ライン上の特定の半導体試験装置を空けなければならず、生産ライン上のテストプログラム実行と半導体試験装置との割り当てに煩雑なライセンス割り当て管理が生じてしまう。
However, according to the node-locked license system shown in FIG. 3, the
これに対し、図4のネットワークライセンス方式によれば、ノードロックライセンス方式のような機能割り当て固定の不便さは解消できるが、ノードロックライセンス方式にはない以下のような別の問題がある。 On the other hand, according to the network license system of FIG. 4, the inconvenience of fixed function assignment as in the node-locked license system can be solved, but there are other problems not found in the node-locked license system as follows.
前述のようにライセンス制限が効かなくなることを防ぐためのHeart Beatを使って定期的にライセンスサーバーとの接続確認を行うと、テスト実行中に余分なネットワークアクセスが発生することになり、テスト実行効率を下げたり、CPU負荷をかけることでテスト実行処理のムラが発生して問題を生じる恐れがある。定期的なライセンスサーバーとの通信確認の間隔を延ばすことでネットワークアクセスの頻度を下げることはできるが、反面、不正利用のチェックができなくなる期間が延びることになる。 If you check the connection with the license server periodically using Heart Beat to prevent the license restriction from becoming ineffective as described above, extra network access will occur during the test execution, and the test execution efficiency If the CPU is lowered or the CPU load is applied, the test execution process may be uneven, which may cause a problem. Although it is possible to reduce the frequency of network access by extending the interval of communication confirmation with the periodic license server, on the other hand, the period during which unauthorized use cannot be checked will be extended.
また、半導体試験装置の導入にあたりネットワークライセンス方式のライセンス管理を導入したレンタルやリースのユーザーとしては、診断や校正などの半導体をテストする生産活動に直接的には関係しない半導体試験装置側の都合で半導体試験装置を占有する時間分までレンタル時間にカウントされることは、付加価値のない「余分な」時間をも含むことになり、望ましくない。 In addition, as a rental or leasing user who introduced network license-based license management for the introduction of semiconductor test equipment, the convenience of the semiconductor test equipment is not directly related to production activities such as diagnostics and calibration. Counting in rental time up to the time that the semiconductor test equipment is occupied would also include “extra” time with no added value, which is undesirable.
本発明は、これらの課題を解決するものであり、その目的は、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できるネットワークライセンス方式の半導体試験装置を実現することにある。 The present invention solves these problems, and an object of the present invention is to realize a network license type semiconductor test apparatus that can be used without lowering production efficiency and test efficiency.
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、ネットワークライセンス方式でライセンス管理を行う半導体試験装置において、テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する制限機能利用判別手段と、この制限機能利用判別手段で判別されたテスト機能実行中には各テスト単位が終わった時点でライセンスサーバーにライセンス使用状態を問い合わせるライセンス確保状態成立確認手段、が設けられたことを特徴とする。
In order to achieve such an object, the invention described in
請求項2記載の発明は、請求項1記載の半導体試験装置において、前記制限機能利用判別手段で制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能についてはその利用範囲が任意に選択できることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor test apparatus of the first aspect, the diagnostic function and the calibration function related to the test function that is determined to be the use of the restriction function by the restriction function use determination means can be arbitrarily used. It can be selected.
請求項3記載の発明は、請求項1記載の半導体試験装置において、前記制限機能判別手段は、制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能以外の他の診断機能および校正機能を非制限機能利用と判別することを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor test apparatus according to the first aspect, the limiting function determining means is a diagnostic function and calibration other than the diagnostic function and the calibration function related to the test function determined to be the limiting function use. It is characterized by discriminating the function from unrestricted function use.
本発明によれば、連続テストの実行途中ではライセンス確認やネットワークアクセスが生じないため最大効率で半導体のテストを実施でき、ネットワークライセンス方式の半導体試験装置を、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できる。 According to the present invention, since the license confirmation and the network access do not occur during the execution of the continuous test, the semiconductor test can be performed with the maximum efficiency, and the network license type semiconductor test apparatus can be manufactured without reducing the production efficiency and the test efficiency. Can be used.
以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例の主要部分を示すブロック図であり、図4と共通する部分には同一の符号を付けている。図1において、半導体試験装置21には、ライセンスを管理する機能として、制限機能利用確認部a、使用機能ライセンス確保部b、テストエンド確認部c、ライセンス確保状態成立確認部d、ライセンス不要確認部e、ラスセンスサーバー異常処理部fが設けられている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the main part of one embodiment of the present invention, and the same reference numerals are given to the parts common to FIG. In FIG. 1, the
図2は図1の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。生産ラインネットワーク1に接続されている半導体試験装置2において、特定機能を利用する要求が出されると、制限機能利用確認部aは、その要求機能がライセンスサーバー4のライセンスファイル5に定義され登録されている制限機能の利用か否かを判断するとともに、テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する(SP1)。制限機能の利用ではない場合はそのままで処理は終了する。
FIG. 2 is a flowchart showing an example of the flow of the license grant process in the configuration of FIG. When a request to use a specific function is issued in the
その要求機能がテストデバッグまたは半導体の連続テスト機能を利用する場合には、使用機能ライセンス確保部bはライセンスサーバー4にアクセスして使用機能のライセンスを確保する(SP2)。このライセンス確保処理は、図5で説明したように、ライセンスサーバー4側からみると、ライセンスのチェックアウトに相当する。ライセンスを確保することにより、機能利用要求を出した半導体試験装置2はその機能を利用できる状態になり、テストデバッグまたは半導体の連続テスト機能を利用するためのテストプログラムをダウンロードして実行する。
When the requested function uses a test debug or a semiconductor continuous test function, the used function license securing unit b accesses the
テストエンド確認部cは、連続テスト中において、1つのテストまたは同時複数測定の1単位がテストエンドとなったタイミングを検出する(SP3)。テストエンドでない場合にはライセンスが不要か否かのステップSP6にジャンプする。 The test end confirmation unit c detects the timing at which one unit of one test or simultaneous multiple measurements becomes the test end during the continuous test (SP3). If it is not the test end, the process jumps to step SP6 for determining whether or not a license is required.
テストエンド確認部cがテストエンドとなったタイミングを検出すると、ライセンス確保状態成立確認部dは、図5に示したHeart Beat機能を用いずに、ライセンスサーバー4に対してライセンス使用状態を問い合せ(SP4)、自分が確保したライセンスを自身で使っている(チェックアウトされている)ライセンス確保状態が成立しているか否かを確認する(SP5)。
When the test end confirmation unit c detects the timing when the test end is reached, the license securing state establishment confirmation unit d inquires the
ライセンス確保状態が成立していることを確認すると、ライセンスが不要か否かのステップSP6に遷移する。ステップSP6において、ライセンス不要確認部eはライセンスが不要になったか否かの処理判断を行う。ライセンスが継続して必要な場合には、ステップSP3以降の処理を繰り返して実行する。ライセンスが不要になった場合には、使用機能のライセンスを解放し(SP7)、一連の処理を終了する。図5で説明したように、このライセンス解放処理は、ライセンスサーバー4側からみると、ライセンスのチェックインに相当する。
If it is confirmed that the license securing state is established, the process proceeds to step SP6 for determining whether or not a license is required. In step SP6, the license unnecessary confirmation unit e determines whether or not the license is unnecessary. If the license is required continuously, the processes after step SP3 are repeated. When the license becomes unnecessary, the license for the function to be used is released (SP7), and the series of processes is terminated. As described with reference to FIG. 5, this license release process corresponds to a license check-in when viewed from the
ステップSP1において、その要求機能が半導体の連続テストではなくテストデバッグなどのために単発でテストを実行する場合には、テスト開始時にチェックアウトし、テスト終了時にチェックインを行う。 In step SP1, if the requested function is not a continuous test of a semiconductor but a single test for test debugging or the like, checkout is performed at the start of the test and checkin is performed at the end of the test.
ステップSP5において、ライセンスが確保できていない状態の場合には、従来技術でのHeart Beat機能を使った場合と同様に、ライセンスサーバー4が異常である旨の表示を行うとともに、中断処理などを行って(SP8)、一連の処理を終了する。
In step SP5, if the license is not secured, the
このように、診断や校正を実行する際には、ステップSP1における制限機能利用確認部aの判定でライセンス不要扱いとすることにより、診断や校正については通常のライセンス分を使うこともなく、ライセンス制限範囲を超えた実行も可能になる。 In this way, when executing diagnosis or calibration, the license is not required in the determination of the restricted function use confirmation unit a in step SP1, so that the license and license are not used for diagnosis and calibration, and the license is not used. Execution beyond the limit is also possible.
なお、機能制限されている部分の診断や校正の実行範囲については、利用範囲より広く診断や校正を実施すると、その所要時間の負担がユーザーにかかることになる。そこで、利用範囲に絞って実施するか、利用可能な最大範囲で実施するかをユーザーが任意に選択できるようにする。 It should be noted that if the diagnosis or calibration is performed over a range where the functions are limited, if the diagnosis or calibration is performed wider than the usage range, the burden of the time required for the user will be imposed. In view of this, the user can arbitrarily select whether to perform the operation within the range of use or within the maximum available range.
テスト実行の途中ではライセンス確認やネットワークアクセスが生じないため、最大効率で半導体のテストを実施できる。 Because no license confirmation or network access occurs during test execution, semiconductor testing can be performed with maximum efficiency.
ライセンス確保確認はそれぞれの半導体テストの切れ目で行うため、ライセンスサーバーの停止などによって許可以上のライセンスを使わせてしまうことはなく、不正利用もできなくなる。 Since license confirmation is performed at each semiconductor test break, the license server will not be used more than allowed due to the suspension of the license server, and unauthorized use will not be possible.
また、ネットワークアクセスによる半導体テスト実行中のテスト時間の揺らぎなども避けられる。 In addition, fluctuations in test time during semiconductor test execution due to network access can be avoided.
診断や校正についてはライセンス制限を超えた動作をさせることができるため、ライセンス制限のため日頃使っていない機能についても診断や校正を実施することができ、いざ使う際に故障しているというような事態を回避できる。 Because diagnosis and calibration can be operated beyond the license limit, functions that are not used on a daily basis due to license restrictions can be diagnosed and calibrated. The situation can be avoided.
さらに、従量課金でのレンタルの場合には、診断や校正のための時間に対して課金されないシステムを提供できる。 Furthermore, in the case of rental with a pay-per-use charge, it is possible to provide a system that is not charged for the time for diagnosis and calibration.
なお、診断や校正を実行するのにあたり、通常とは別のライセンスを使うようにしてもよいし、診断や校正の実行にはライセンス制限をかけないようにしてもよい。 In executing the diagnosis and calibration, a license different from the normal license may be used, and the license restriction may not be applied to the execution of diagnosis and calibration.
以上説明したように、本発明によれば、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できるネットワークライセンス方式の半導体試験装置が実現できる。 As described above, according to the present invention, it is possible to realize a network license type semiconductor test apparatus that can be used without reducing production efficiency and test efficiency.
1 生産ラインネットワーク
21〜2X 半導体試験装置
4 ライセンスサーバー
5 ライセンスファイル
a 制限機能利用確認部
b 使用機能ライセンス確保部
c テストエンド確認部
d ライセンス確保状態成立確認部
e ライセンス不要確認部
f ラスセンスサーバー異常処理部
DESCRIPTION OF
Claims (3)
テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する制限機能利用判別手段と、
この制限機能利用判別手段で判別されたテスト機能実行中には各テスト単位が終わった時点でライセンスサーバーにライセンス使用状態を問い合わせるライセンス確保状態成立確認手段、
が設けられたことを特徴とする半導体試験装置。 In semiconductor test equipment that manages licenses using the network license method,
Restriction function usage determination means for determining test debug and continuous test function of semiconductor as use of restriction function of license management target,
During the execution of the test function determined by the restriction function usage determination means, a license securing state establishment confirmation means for inquiring the license usage status to the license server at the end of each test unit;
A semiconductor test apparatus characterized by comprising:
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