JP4962795B2 - Semiconductor test equipment - Google Patents

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Description

本発明は、半導体試験装置に関し、詳しくは、ネットワークライセンス方式のライセンス管理における生産効率・テスト効率の改善に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor test apparatus, and more particularly to improvement of production efficiency and test efficiency in network license type license management.

半導体試験装置のビジネスにおいては、半導体生産ラインにおける増産や減産による半導体製品の生産量変動を吸収したり、半導体メーカーの設備投資資金の都合などにより、レンタルやリースなどの設備購入によらない半導体試験装置の導入運用が行われることがある。   In the semiconductor test equipment business, semiconductor testing that does not involve purchases of equipment such as rentals or leases due to the fact that the production volume of semiconductor products in the semiconductor production line has increased or decreased, or because of capital investment funds by semiconductor manufacturers. Equipment may be introduced and operated.

また、半導体試験装置の導入コストを低く抑えるために、廉価版のハードウェアを用意する代わりに、ソフトウェアによるライセンス制限を施した形でユーザーに提供することも行われている。   In addition, in order to keep the introduction cost of semiconductor test equipment low, instead of providing low-priced hardware, it is also provided to users in the form of license restrictions by software.

ところで、レンタルやリースされる半導体試験装置についても、実際には多機能を実装しているものの、そのうちの利用可能な機能を絞り込んだライセンス制限をかけた形で出荷することがある。   By the way, although the semiconductor test apparatus to be rented or leased is actually mounted with multiple functions, it may be shipped with a license restriction that narrows down the available functions.

図３は半導体試験装置におけるノードロックライセンス方式の概念図である。図３において、生産ラインネットワーク１には、複数Ｘ台の半導体試験装置２１〜２Ｘが接続されている。各半導体試験装置２１〜２Ｘに個別に設けられているライセンスファイル３１〜３Ｘには、生産ラインネットワーク１に唯一存在するＩＤをキーとして、それぞれの半導体試験装置２１〜２Ｘで利用可能な少なくとも一つの機能が個別に設定登録されている。   FIG. 3 is a conceptual diagram of the node-locked license system in the semiconductor test apparatus. In FIG. 3, a plurality of X semiconductor test apparatuses 21 to 2X are connected to the production line network 1. In the license files 31 to 3X individually provided in the semiconductor test apparatuses 21 to 2X, at least one of the semiconductor test apparatuses 21 to 2X that can be used by each semiconductor test apparatus 21 to 2X using an ID that exists only in the production line network 1 as a key. Functions are set and registered individually.

これにより、たとえハードウェアとしては各半導体試験装置２１〜２Ｘに半導体試験装置としての全機能が実装されていたとしても、各半導体試験装置２１〜２Ｘで利用可能な機能はライセンスファイル３１〜３Ｘに設定登録されている機能に限定されるので、ユーザーは必要とする機能のライセンスを選択的に購入すればよく、全機能がいつでも使用できる仕様の半導体試験装置を購入する場合に比べて購入コストを下げることができる。   As a result, even if all the functions as the semiconductor test apparatus are implemented in the respective semiconductor test apparatuses 21 to 2X as hardware, the functions available in the respective semiconductor test apparatuses 21 to 2X are stored in the license files 31 to 3X. Since it is limited to the registered functions, the user only needs to selectively purchase the license for the required function, and the purchase cost is lower than when purchasing a semiconductor test equipment with specifications that allow all functions to be used at any time. Can be lowered.

図４は半導体試験装置におけるネットワークライセンス方式の概念図である。図４において、生産ラインネットワーク１には、複数Ｘ台の半導体試験装置２１〜２Ｘと、ライセンスサーバー４が接続されている。ライセンスサーバー４にもライセンスファイル５が設けられている。このライセンスファイル５には、生産ラインネットワーク１に接続されているそれぞれの半導体試験装置２１〜２Ｘで利用可能な機能の総数が定義され登録されていて、半導体試験装置２１〜２Ｘにハードウェアとして全機能が実装されていれば、ネットワーク上での総数制限内であれば半導体試験装置でも空いている機能を使用することができる。   FIG. 4 is a conceptual diagram of a network license system in a semiconductor test apparatus. In FIG. 4, a plurality of X semiconductor test apparatuses 21 to 2 </ b> X and a license server 4 are connected to the production line network 1. The license server 4 is also provided with a license file 5. In this license file 5, the total number of functions that can be used in each of the semiconductor test apparatuses 21 to 2X connected to the production line network 1 is defined and registered, and all the hardware is stored in the semiconductor test apparatuses 21 to 2X. If the function is implemented, an unused function can be used even in the semiconductor test equipment as long as the total number on the network is within the limit.

図５は図４の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。生産ラインネットワーク１に接続されている半導体試験装置２からある特定機能を利用する要求が出されると、その要求機能がライセンスサーバー４のライセンスファイル５に定義され登録されている制限機能の利用か否かが判断される（ＳＰ１）。制限機能の利用ではない場合はそのままで処理は終了する。   FIG. 5 is a flowchart showing an example of the flow of the license grant process in the configuration of FIG. When a request to use a specific function is issued from the semiconductor test apparatus 2 connected to the production line network 1, whether or not the requested function is the use of a restricted function defined and registered in the license file 5 of the license server 4 Is determined (SP1). If the restriction function is not used, the process ends.

制限機能を利用する場合には、ライセンスサーバー４にアクセスして使用機能のライセンスを確保する（ＳＰ２）。このライセンス確保処理は、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックアウトに相当する。ライセンスを確保することにより、機能利用要求を出した半導体試験装置２はその機能を利用できる状態になり、その特定機能を利用するためのテストプログラムをダウンロードして実行する。   When using the restricted function, the license server 4 is accessed to secure a license for the function used (SP2). This license securing process corresponds to a license checkout when viewed from the license server 4 side. By securing the license, the semiconductor test apparatus 2 that has issued the function use request becomes ready to use the function, and downloads and executes a test program for using the specific function.

特定機能の利用形態としては、所定のテストプログラムをダウンロードして実行することにより、何日もそれを連続運転することも多くある。この場合、最初のライセンス認証だけだと、最初のライセンス認証の直後にライセンスサーバー４をダウンさせて次のライセンス要求処理を行うと、許可された以上の状態で動作を許してしまうことになり、ライセンス制限が効かなくなる。そこで、このような不都合を解消するために、一定時間経過する毎に（ＳＰ３）、たとえば周知の「Heart Beat」を使って定期的にライセンスサーバー４との接続確認を行う（ＳＰ４）。   As a usage form of the specific function, there are many cases where a predetermined test program is downloaded and executed to continuously operate it for several days. In this case, if only the first license authentication is performed, if the license server 4 is brought down immediately after the first license authentication and the next license request process is performed, the operation is permitted in a state beyond the permitted state. License restrictions will no longer work. Therefore, in order to eliminate such inconvenience, every time a certain time elapses (SP3), for example, the connection with the license server 4 is periodically confirmed using, for example, the well-known “Heart Beat” (SP4).

そして、ライセンスサーバー４との通信が可能か否かを判断し（ＳＰ５）、通信可能と判断できる場合はライセンスが不要になったか否かを判断する（ＳＰ６）。ライセンスが継続して必要な場合には、ステップＳＰ３以降の処理を繰り返して実行する。ライセンスが不要になった場合には、使用機能のライセンスを解放し（ＳＰ７）、一連の処理を終了する。このライセンス解放処理は、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックインに相当する。   Then, it is determined whether or not communication with the license server 4 is possible (SP5). If it can be determined that communication is possible, it is determined whether or not the license is unnecessary (SP6). If the license is required continuously, the processes after step SP3 are repeated. When the license becomes unnecessary, the license for the function to be used is released (SP7), and the series of processes is terminated. This license release process corresponds to a license check-in when viewed from the license server 4 side.

ステップＳＰ３でライセンスサーバー４との通信が不可能と判断すると、ライセンスサーバー４が異常である旨の表示を行うとともに、中断処理などを行って（ＳＰ８）、一連の処理を終了する。   If it is determined in step SP3 that communication with the license server 4 is impossible, a display indicating that the license server 4 is abnormal is displayed, an interruption process is performed (SP8), and the series of processes ends.

これにより、生産ラインネットワーク１に接続されている各半導体試験装置２１〜２Ｘがハードウェアとして全機能が実装されているものであれば、ネットワーク１上での総数制限内であれば、どの半導体試験装置でも空いている機能を使用することができる。   As a result, if all the semiconductor test apparatuses 21 to 2X connected to the production line network 1 are implemented as hardware, any semiconductor test is within the total number limit on the network 1. A function that is available in the device can be used.

特許文献１には、ＩＣテスタにあらかじめ複数の付加機能を組み込んでおき、ライセンスを付与することによりそれらの付加機能を有効にするＩＣテスタの構成例が記載されている。   Patent Document 1 describes a configuration example of an IC tester in which a plurality of additional functions are incorporated in the IC tester in advance and the additional functions are enabled by giving a license.

特許文献２には、ＩＣテスタを用いたテストシステムにおける従量課金方法の例が記載されている。   Patent Document 2 describes an example of a pay-per-use method in a test system using an IC tester.

特開２００２−０４０１０２JP 2002-040102 A 特開２００４−０５３３９２JP 2004-053392 A

しかし、図３のノードロックライセンス方式によれば、ライセンスファイル３１〜３Ｘは各半導体試験装置２１〜２Ｘにそれぞれ対応するように個別に設けられた固定的なものであるため、他の半導体試験装置では使用されずに空いている機能をある半導体試験装置が利用しようとしても、キーとなる半導体試験装置のＩＤが異なることからその空いている機能を利用することはできない。特定機能を使用するテストプログラムを実行する場合には、生産ライン上の特定の半導体試験装置を空けなければならず、生産ライン上のテストプログラム実行と半導体試験装置との割り当てに煩雑なライセンス割り当て管理が生じてしまう。   However, according to the node-locked license system shown in FIG. 3, the license files 31 to 3X are fixed and individually provided so as to correspond to the respective semiconductor test apparatuses 21 to 2X. However, even if a semiconductor test apparatus tries to use an unused function without being used, it cannot be used because the ID of the key semiconductor test apparatus is different. When executing a test program that uses a specific function, it is necessary to vacate a specific semiconductor test device on the production line, and complicated license assignment management for the assignment of the test program on the production line and the semiconductor test device. Will occur.

これに対し、図４のネットワークライセンス方式によれば、ノードロックライセンス方式のような機能割り当て固定の不便さは解消できるが、ノードロックライセンス方式にはない以下のような別の問題がある。   On the other hand, according to the network license system of FIG. 4, the inconvenience of fixed function assignment as in the node-locked license system can be solved, but there are other problems not found in the node-locked license system as follows.

前述のようにライセンス制限が効かなくなることを防ぐためのHeart Beatを使って定期的にライセンスサーバーとの接続確認を行うと、テスト実行中に余分なネットワークアクセスが発生することになり、テスト実行効率を下げたり、ＣＰＵ負荷をかけることでテスト実行処理のムラが発生して問題を生じる恐れがある。定期的なライセンスサーバーとの通信確認の間隔を延ばすことでネットワークアクセスの頻度を下げることはできるが、反面、不正利用のチェックができなくなる期間が延びることになる。   If you check the connection with the license server periodically using Heart Beat to prevent the license restriction from becoming ineffective as described above, extra network access will occur during the test execution, and the test execution efficiency If the CPU is lowered or the CPU load is applied, the test execution process may be uneven, which may cause a problem. Although it is possible to reduce the frequency of network access by extending the interval of communication confirmation with the periodic license server, on the other hand, the period during which unauthorized use cannot be checked will be extended.

また、半導体試験装置の導入にあたりネットワークライセンス方式のライセンス管理を導入したレンタルやリースのユーザーとしては、診断や校正などの半導体をテストする生産活動に直接的には関係しない半導体試験装置側の都合で半導体試験装置を占有する時間分までレンタル時間にカウントされることは、付加価値のない「余分な」時間をも含むことになり、望ましくない。   In addition, as a rental or leasing user who introduced network license-based license management for the introduction of semiconductor test equipment, the convenience of the semiconductor test equipment is not directly related to production activities such as diagnostics and calibration. Counting in rental time up to the time that the semiconductor test equipment is occupied would also include “extra” time with no added value, which is undesirable.

本発明は、これらの課題を解決するものであり、その目的は、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できるネットワークライセンス方式の半導体試験装置を実現することにある。   The present invention solves these problems, and an object of the present invention is to realize a network license type semiconductor test apparatus that can be used without lowering production efficiency and test efficiency.

このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、ネットワークライセンス方式でライセンス管理を行う半導体試験装置において、テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する制限機能利用判別手段と、この制限機能利用判別手段で判別されたテスト機能実行中には各テスト単位が終わった時点でライセンスサーバーにライセンス使用状態を問い合わせるライセンス確保状態成立確認手段、が設けられたことを特徴とする。   In order to achieve such an object, the invention described in claim 1 of the present invention is a semiconductor test apparatus that performs license management in a network license system, and includes a test debugging and a semiconductor continuous test function as a license management target limiting function. A function for determining whether to use a license, and a means for confirming the establishment of a license securing state that inquires the license server about the license usage status at the end of each test unit during execution of the test function determined by the means for determining the use of the limited function. , Is provided.

請求項２記載の発明は、請求項１記載の半導体試験装置において、前記制限機能利用判別手段で制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能についてはその利用範囲が任意に選択できることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor test apparatus of the first aspect, the diagnostic function and the calibration function related to the test function that is determined to be the use of the restriction function by the restriction function use determination means can be arbitrarily used. It can be selected.

請求項３記載の発明は、請求項１記載の半導体試験装置において、前記制限機能判別手段は、制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能以外の他の診断機能および校正機能を非制限機能利用と判別することを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor test apparatus according to the first aspect, the limiting function determining means is a diagnostic function and calibration other than the diagnostic function and the calibration function related to the test function determined to be the limiting function use. It is characterized by discriminating the function from unrestricted function use.

本発明によれば、連続テストの実行途中ではライセンス確認やネットワークアクセスが生じないため最大効率で半導体のテストを実施でき、ネットワークライセンス方式の半導体試験装置を、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できる。   According to the present invention, since the license confirmation and the network access do not occur during the execution of the continuous test, the semiconductor test can be performed with the maximum efficiency, and the network license type semiconductor test apparatus can be manufactured without reducing the production efficiency and the test efficiency. Can be used.

以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例の主要部分を示すブロック図であり、図４と共通する部分には同一の符号を付けている。図１において、半導体試験装置２１には、ライセンスを管理する機能として、制限機能利用確認部ａ、使用機能ライセンス確保部ｂ、テストエンド確認部ｃ、ライセンス確保状態成立確認部ｄ、ライセンス不要確認部ｅ、ラスセンスサーバー異常処理部ｆが設けられている。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the main part of one embodiment of the present invention, and the same reference numerals are given to the parts common to FIG. In FIG. 1, the semiconductor test apparatus 21 includes, as functions for managing licenses, a restricted function use confirmation unit a, a used function license securing unit b, a test end confirmation unit c, a license secured state establishment confirmation unit d, and a license unnecessary confirmation unit. e, a Lassense server abnormality processing unit f is provided.

図２は図１の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。生産ラインネットワーク１に接続されている半導体試験装置２において、特定機能を利用する要求が出されると、制限機能利用確認部ａは、その要求機能がライセンスサーバー４のライセンスファイル５に定義され登録されている制限機能の利用か否かを判断するとともに、テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する（ＳＰ１）。制限機能の利用ではない場合はそのままで処理は終了する。   FIG. 2 is a flowchart showing an example of the flow of the license grant process in the configuration of FIG. When a request to use a specific function is issued in the semiconductor test apparatus 2 connected to the production line network 1, the restricted function use confirmation unit a defines and registers the requested function in the license file 5 of the license server 4. It is determined whether or not the restricted function is used, and the test debugging and the semiconductor continuous test function are determined as the use of the restricted function subject to license management (SP1). If the restriction function is not used, the process ends.

その要求機能がテストデバッグまたは半導体の連続テスト機能を利用する場合には、使用機能ライセンス確保部ｂはライセンスサーバー４にアクセスして使用機能のライセンスを確保する（ＳＰ２）。このライセンス確保処理は、図５で説明したように、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックアウトに相当する。ライセンスを確保することにより、機能利用要求を出した半導体試験装置２はその機能を利用できる状態になり、テストデバッグまたは半導体の連続テスト機能を利用するためのテストプログラムをダウンロードして実行する。   When the requested function uses a test debug or a semiconductor continuous test function, the used function license securing unit b accesses the license server 4 to secure a license for the used function (SP2). As described with reference to FIG. 5, this license securing process corresponds to a license checkout when viewed from the license server 4 side. By securing the license, the semiconductor test apparatus 2 that has issued the function use request becomes ready to use the function, and downloads and executes a test program for using the test debug or the semiconductor continuous test function.

テストエンド確認部ｃは、連続テスト中において、１つのテストまたは同時複数測定の１単位がテストエンドとなったタイミングを検出する（ＳＰ３）。テストエンドでない場合にはライセンスが不要か否かのステップＳＰ６にジャンプする。   The test end confirmation unit c detects the timing at which one unit of one test or simultaneous multiple measurements becomes the test end during the continuous test (SP3). If it is not the test end, the process jumps to step SP6 for determining whether or not a license is required.

テストエンド確認部ｃがテストエンドとなったタイミングを検出すると、ライセンス確保状態成立確認部ｄは、図５に示したHeart Beat機能を用いずに、ライセンスサーバー４に対してライセンス使用状態を問い合せ（ＳＰ４）、自分が確保したライセンスを自身で使っている(チェックアウトされている)ライセンス確保状態が成立しているか否かを確認する（ＳＰ５）。   When the test end confirmation unit c detects the timing when the test end is reached, the license securing state establishment confirmation unit d inquires the license server 4 about the license usage state without using the Heart Beat function shown in FIG. SP4) It is confirmed whether or not a license secured state in which the license secured by itself is used (checked out) is established (SP5).

ライセンス確保状態が成立していることを確認すると、ライセンスが不要か否かのステップＳＰ６に遷移する。ステップＳＰ６において、ライセンス不要確認部ｅはライセンスが不要になったか否かの処理判断を行う。ライセンスが継続して必要な場合には、ステップＳＰ３以降の処理を繰り返して実行する。ライセンスが不要になった場合には、使用機能のライセンスを解放し（ＳＰ７）、一連の処理を終了する。図５で説明したように、このライセンス解放処理は、ライセンスサーバー４側からみると、ライセンスのチェックインに相当する。   If it is confirmed that the license securing state is established, the process proceeds to step SP6 for determining whether or not a license is required. In step SP6, the license unnecessary confirmation unit e determines whether or not the license is unnecessary. If the license is required continuously, the processes after step SP3 are repeated. When the license becomes unnecessary, the license for the function to be used is released (SP7), and the series of processes is terminated. As described with reference to FIG. 5, this license release process corresponds to a license check-in when viewed from the license server 4 side.

ステップＳＰ１において、その要求機能が半導体の連続テストではなくテストデバッグなどのために単発でテストを実行する場合には、テスト開始時にチェックアウトし、テスト終了時にチェックインを行う。   In step SP1, if the requested function is not a continuous test of a semiconductor but a single test for test debugging or the like, checkout is performed at the start of the test and checkin is performed at the end of the test.

ステップＳＰ５において、ライセンスが確保できていない状態の場合には、従来技術でのHeart Beat機能を使った場合と同様に、ライセンスサーバー４が異常である旨の表示を行うとともに、中断処理などを行って（ＳＰ８）、一連の処理を終了する。   In step SP5, if the license is not secured, the license server 4 is displayed as abnormal and the interruption process is performed as in the case of using the Heart Beat function in the prior art. (SP8), and the series of processing ends.

このように、診断や校正を実行する際には、ステップＳＰ１における制限機能利用確認部ａの判定でライセンス不要扱いとすることにより、診断や校正については通常のライセンス分を使うこともなく、ライセンス制限範囲を超えた実行も可能になる。   In this way, when executing diagnosis or calibration, the license is not required in the determination of the restricted function use confirmation unit a in step SP1, so that the license and license are not used for diagnosis and calibration, and the license is not used. Execution beyond the limit is also possible.

なお、機能制限されている部分の診断や校正の実行範囲については、利用範囲より広く診断や校正を実施すると、その所要時間の負担がユーザーにかかることになる。そこで、利用範囲に絞って実施するか、利用可能な最大範囲で実施するかをユーザーが任意に選択できるようにする。   It should be noted that if the diagnosis or calibration is performed over a range where the functions are limited, if the diagnosis or calibration is performed wider than the usage range, the burden of the time required for the user will be imposed. In view of this, the user can arbitrarily select whether to perform the operation within the range of use or within the maximum available range.

テスト実行の途中ではライセンス確認やネットワークアクセスが生じないため、最大効率で半導体のテストを実施できる。   Because no license confirmation or network access occurs during test execution, semiconductor testing can be performed with maximum efficiency.

ライセンス確保確認はそれぞれの半導体テストの切れ目で行うため、ライセンスサーバーの停止などによって許可以上のライセンスを使わせてしまうことはなく、不正利用もできなくなる。   Since license confirmation is performed at each semiconductor test break, the license server will not be used more than allowed due to the suspension of the license server, and unauthorized use will not be possible.

また、ネットワークアクセスによる半導体テスト実行中のテスト時間の揺らぎなども避けられる。   In addition, fluctuations in test time during semiconductor test execution due to network access can be avoided.

診断や校正についてはライセンス制限を超えた動作をさせることができるため、ライセンス制限のため日頃使っていない機能についても診断や校正を実施することができ、いざ使う際に故障しているというような事態を回避できる。   Because diagnosis and calibration can be operated beyond the license limit, functions that are not used on a daily basis due to license restrictions can be diagnosed and calibrated. The situation can be avoided.

さらに、従量課金でのレンタルの場合には、診断や校正のための時間に対して課金されないシステムを提供できる。   Furthermore, in the case of rental with a pay-per-use charge, it is possible to provide a system that is not charged for the time for diagnosis and calibration.

なお、診断や校正を実行するのにあたり、通常とは別のライセンスを使うようにしてもよいし、診断や校正の実行にはライセンス制限をかけないようにしてもよい。   In executing the diagnosis and calibration, a license different from the normal license may be used, and the license restriction may not be applied to the execution of diagnosis and calibration.

以上説明したように、本発明によれば、生産効率・テスト効率を低下させることなく使用できるネットワークライセンス方式の半導体試験装置が実現できる。   As described above, according to the present invention, it is possible to realize a network license type semiconductor test apparatus that can be used without reducing production efficiency and test efficiency.

本発明の一実施例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows one Example of this invention. 図１の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing an example of a flow of a license grant process in the configuration of FIG. 半導体試験装置におけるノードロックライセンス方式の概念図である。It is a conceptual diagram of the node lock license system in a semiconductor test apparatus. 半導体試験装置におけるネットワークライセンス方式の概念図である。It is a conceptual diagram of the network license system in a semiconductor test apparatus. 図４の構成におけるライセンス付与の処理の流れの一例を示すフローチャートである。5 is a flowchart illustrating an example of a flow of a license grant process in the configuration of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ 生産ラインネットワーク
２１〜２Ｘ 半導体試験装置
４ ライセンスサーバー
５ ライセンスファイル
ａ 制限機能利用確認部
ｂ 使用機能ライセンス確保部
ｃ テストエンド確認部
ｄ ライセンス確保状態成立確認部
ｅ ライセンス不要確認部
ｆ ラスセンスサーバー異常処理部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Production line network 21-2X Semiconductor test equipment 4 License server 5 License file a Restriction function utilization confirmation part b Use function license securing part c Test end confirmation part d License securing state establishment confirmation part e License unnecessary confirmation part f Lassense server abnormality Processing part

Claims (3)

ネットワークライセンス方式でライセンス管理を行う半導体試験装置において、
テストデバッグおよび半導体の連続テスト機能をライセンス管理対象の制限機能の利用として判別する制限機能利用判別手段と、
この制限機能利用判別手段で判別されたテスト機能実行中には各テスト単位が終わった時点でライセンスサーバーにライセンス使用状態を問い合わせるライセンス確保状態成立確認手段、
が設けられたことを特徴とする半導体試験装置。 In semiconductor test equipment that manages licenses using the network license method,
Restriction function usage determination means for determining test debug and continuous test function of semiconductor as use of restriction function of license management target,
During the execution of the test function determined by the restriction function usage determination means, a license securing state establishment confirmation means for inquiring the license usage status to the license server at the end of each test unit;
A semiconductor test apparatus characterized by comprising: 前記制限機能利用判別手段で制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能についてはその利用範囲が任意に選択できることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。   2. The semiconductor test apparatus according to claim 1, wherein a use range of a diagnosis function and a calibration function related to a test function determined to be use of the restriction function by the restriction function use determination unit can be arbitrarily selected. 前記制限機能判別手段は、制限機能利用と判別されたテスト機能に関連する診断機能および校正機能以外の他の診断機能および校正機能を非制限機能利用と判別することを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。   2. The restriction function determination unit determines that a diagnosis function and a calibration function other than a diagnosis function and a calibration function related to a test function determined to be a restriction function use are non-restriction function use. Semiconductor test equipment.
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