JP4951114B2 - 複合箔のカール矯正方法 - Google Patents
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Description
上記キャリア銅箔付極薄電解銅箔の製造工程は、キャリア銅箔を巻き出し後複数配置された処理槽を蛇行走行しつつ浸漬により有機剥離層を形成し、光沢面側に形成された有機系剥離層上に極薄電解銅箔層を電解法により形成後、定法により粗化処理、防錆処理を施して乾燥する方式で実施した。
キャリア銅箔は以下のようにして製造され、光沢面は必然的に電解銅箔に形成されるものである。電解銅箔の製造は、ドラム形状をした回転陰極と、その回転陰極の形状に沿って対向配置する陽極を有する装置を用いて極間に酸性硫酸銅溶液を流し、電解反応を利用して銅を回転陰極のドラム表面に所定厚みで析出させ、回転陰極から連続して引き剥がして巻き取ることで行われる。この状態で得られた銅箔は析離箔と称し、これをキャリア用銅箔として用いるのである。
以下に、キャリア箔を用いて直列に連続配置した各種の槽を順次通過しながら進行する製造工程の順序に従って説明を行う。
巻き出されたキャリア用銅箔(析離箔)は、最初に酸洗処理槽に入り、キャリア用銅箔に付いた油脂成分を除去し、また表面酸化被膜も除去した。
本件発明に係る実施例及び比較例で実施したカール測定方法を以下に示す。
カール矯正前後のキャリア銅箔付極薄電解銅箔製品ロールのTD方向3カ所から10cm角のサンプルを採取した。具体的な採取位置及びサンプルにおけるカール測定位置を図1に示す。
上記にてサンプリングされた10cm角の試片の極薄電解銅箔側を上にして水平な台の上に静置する。そして、試片の4隅(A,B,C,D)の台からの浮き上がり高さ(mm)を測定する。このとき、試片の中央部が浮き上がっている場合には試片を反転させて測定し、測定値は負の値とする。
本件実施例では、対象ロットをキャリア銅箔厚み18μmでは極薄電解銅箔厚み3μm品を主要な試験対象としてロットL1〜L5の5ロットと極薄電解銅箔厚み5μm品をL5に続いて生産されたロットであるL6の1ロットを生産した。この他、比較例として、キャリア銅箔の厚さを35μm、極薄電解銅箔厚み3μm品L7を1ロット生産した。安定した加熱処理が最も行いにくいロール形状で試験を実施したのである。評価項目としてはカール値の他にアニール現象発生の有無を確認するために銅箔層の物性変化を見ることとしたが、複合箔である故に物性測定の信頼性に欠けることから、加熱後の物性変化の有無を代替特性としてハンドリング性の違いを採用して評価した。
本実施例では加熱用オーブンとしてはビッグバッチオーブンBL−2515C(旭科学株式会社製)を使用し、雰囲気温度を195℃に設定した。
まず試験−1として、加熱用のオーブンにロットL1を搬入し、設定温度195℃になってから6時間、8時間、10時間保持した時点のサンプルを外周から採取し、加熱前後のカール値を測定し、矯正の状況を評価した。結果を表1に示す。
続いて、試験対象の残り5ロット(L2〜L7)についてオーブンの設定温度195℃で10時間保持前後のカールを測定し、矯正の状況を評価した。結果を表2に示す。また、このときのキャリア銅箔付極薄電解銅箔自身の温度は175℃以上で5.0時間の保持であったことを確認した。このキャリア銅箔付極薄電解銅箔自身の温度プロファイルを図2に示す。
表2においてキャリア銅箔厚み18μmで比較したとき、極薄電解銅箔厚み3μm品の加熱前のカールの平均値が21.6mmで、最大値が30.0mmであるのに対し、極薄電解銅箔厚み5μm品では同カールの平均値が34.5mmで、最大値が40.0mmとなっていることから、発明者等の経験に基づいて得られていた、極薄電解銅箔層の厚みが薄いものほど製造直後のカール値も小さいという知見が裏付けられている。
そして、極薄電解銅箔厚み3μm品でキャリア厚みの影響を比較すると、35μm厚みキャリア品では加熱前のカール値は平均値で8.3mmであり、18μm厚みキャリア品のカール値平均21.6mmに対して約1/3、そして最大値では15mmに対して30mmと約1/2となっておりキャリア銅箔厚みのカールに及ぼす影響が明らかである。そして、加熱後のカール値もキャリア銅箔厚み35μm品では平均値で0.8mmであり、キャリア銅箔厚み18μm品のカール値は平均3.5mmであることから加熱後のカール値にもキャリア銅箔の厚みの影響が見られている。
そして、キャリア銅箔厚み18μm品のサンプルについて加熱によるカール矯正後のデータを見てみると、極薄電解銅箔厚み3μm品における平均値が3.5mm、最大値が8.0mmであり、極薄電解銅箔厚み5μm品でも同カールの平均値が4.6mm、最大値が9.0mmとともに目標値をクリアーできている。このデータからは、加熱前のカール水準差は大きかったものの加熱後の差は1mmとなっており、ロット間に存在するばらつきを考慮するとほぼ同等であると言うことができる。従って、極薄電解銅箔部分の厚みは製造後のカール現象の発生のしやすさに大きく影響しているが、加熱による矯正効果は極薄銅箔層の厚さによらずほぼ同等に得られていると言うことができる。すなわち、極薄銅箔厚みに応じた加熱処理条件の調整はわずかで済むことも明確である。そして、加熱前後のキャリア銅箔付極薄電解銅箔のハンドリング性を評価した結果ではほとんど変化が見られていないことから、上記加熱条件ではアニールがかかるほどの熱貫流がなかったものと考えられ、加熱による複合箔のカール矯正効果の有効性が確認されたのである。
Claims (12)
- 複合箔のカール矯正方法であって、
当該複合箔がキャリア銅箔/有機剥離層/極薄電解銅箔の3層構造を有するキャリア銅箔付極薄電解銅箔であり、
当該複合箔を加熱処理することを特徴とする複合箔のカール矯正方法。 - 前記複合箔を雰囲気温度120℃〜250℃において1時間〜10時間加熱処理することを特徴とする請求項1に記載の複合箔のカール矯正方法。
- 前記複合箔を雰囲気温度150℃〜200℃において1時間〜7時間加熱処理することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の複合箔のカール矯正方法。
- 前記加熱処理は、下限温度を超えて以降の昇温速度を50℃/時以下とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の複合箔のカール矯正方法。
- 前記複合箔を加熱処理してカールを矯正する方法であって、
複合箔を連続走行させつつ加熱処理し、その後巻き取ることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の複合箔のカール矯正方法。 - 前記複合箔を加熱処理してカールを矯正する方法であって、
複合箔を巻き取った状態で加熱処理することを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の複合箔のカール矯正方法。 - 前記複合箔を加熱処理してカールを矯正する方法であって、
シート状にして積み重ねた状態で加熱処理することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の複合箔のカール矯正方法。 - 前記加熱処理される複合箔を巻き取る際に、不活性ガス雰囲気下で巻き取ることを特徴とする請求項5に記載の複合箔のカール矯正方法。
- 前記複合箔を加熱処理する際に、不活性ガス雰囲気下で加熱処理することを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれかに記載の複合箔のカール矯正方法。
- 請求項1〜請求項9のいずれかに記載のカール矯正方法により得られ、カールの値が10mm以下であることを特徴とする複合箔。
- 前記キャリア銅箔の厚さが18μm以下である請求項10に記載の複合箔。
- 請求項10に係る複合箔を絶縁樹脂と張合わせてなることを特徴とする複合箔張積層板。
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