JP5006411B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施形態に係る基板搬送装置Aのレイアウトを示す平面図、図2は図1の線I−Iに沿う直交搬送装置1の構造説明図、図3は図1の線II−IIに沿う直交搬送装置1の構造説明図である。各図において、矢印X、Yは相互に直交する水平方向を示す。X、Y方向の正逆方向を特に言う場合には、矢印の方向を+X、+Yとし、逆の方向を−X、−Yという。矢印Zは上下方向(鉛直方向)を示す。上下を区別して言う場合には、上方向を+Z、下方向を−Zという。
直交搬送装置1は、X方向にガラス基板Wを水平に搬送する第1搬送装置10と、第1搬送装置10上のガラス基板WをY方向に水平に搬送する第2搬送装置20と、第1搬送装置10及び第2搬送装置20を支持する架台500とを備える。架台500は、架台本体部501と、架台本体部501を支持する脚部502とで構成される。
第1搬送装置10は、互いにX方向に離間した複数列の第1搬送ユニット11で構成される。本実施形態の場合、第1搬送ユニット11は4列設けられている。
図2に示すように第2搬送装置20は、同期的に制御され、互いにX方向に離間した複数の第2搬送ユニット21で構成され、架台本体部501上に設けられる。本実施形態の場合、第2搬送ユニット21は3つ設けられている。以下、図2乃至図4を参照して各第2搬送ユニット21の構成を詳述する。図4は第2搬送ユニット21の斜視図である。第2搬送ユニット21は、支持ユニット30と、昇降ユニット40と、駆動ユニット50と、を備える。
支持ユニット30はY方向に延び、そのY方向の長さはガラス基板WのY方向の幅よりも若干長い。このため、各第2搬送ユニット21の支持ユニット30によって、ガラス基板Wを安定して支持できる。
昇降ユニット40は、本実施形態の場合、エアシリンダであり、図4に示す通り本体部42と、可動部41とを備える。本体部42に対するエアの供給及び切り換えにより、可動部41はZ方向に往復移動する。昇降ユニット40は、支持ユニット30の下方に配置され、可動部41が支持ユニット30の支持部材31の下面に連結されている。
図2及び図3に示すように、駆動ユニット50は第1搬送ユニット11よりも下方に配置され、支持ユニット30及び昇降ユニット40をY方向に移動させる。第1搬送ユニット11の下方のスペースに駆動ユニット50を配置することで、直交搬送装置1全体の小型化が図れる。
図1を参照して、コンベア装置2及び3は、本実施形態の場合、いずれも複数のローラコンベアユニット60から構成されている。コンベア装置2は、第1搬送装置10の+X方向の側方に配置され、搬送装置4から直交搬送装置1へガラス基板Wを搬送する。コンベア装置3は第1搬送装置10の+X側に配置され、直交搬送装置1から搬送装置4へガラス基板Wを搬送する。
搬送装置4は、コンベア装置3から搬送されてくるガラス基板Wを不図示の処理装置へ搬送し、処理装置から搬送されてくるガラス基板Wをコンベア装置2へ搬送する。搬送装置4の構成は、例えば、直交搬送装置1と同様の構成でもよいし、Y方向に移動可能な多関節型のロボット等でもよい。
図6は収納カセット70の斜視図である。収納カセット70はコンベア装置5の上方に設けられ、ガラス基板Wを水平姿勢で、Z方向に多段に収納可能なカセットである。なお、図6はガラス基板Wが未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット70は複数の柱部材71と、梁部材72と、により略直方体形状のフレーム体をなしている。梁部材72の配設間隔は、コンベア装置5が収納カセット70の下方から収納カセット70内に進入できるように設定され、梁部材72は、コンベア装置5が下方から進入可能な開口部を形成している。
コンベア装置5は、本実施形態の場合、複数のローラコンベアユニット60から構成されている。コンベア装置5は収納カセット70毎に設けられ、収納カセット70の下方に位置している。また、コンベア装置5は、図1に示すように、第1搬送装置10の−X方向の側方に配置され、直交搬送装置1との間でガラス基板Wの搬送、ここでは、収納カセット70へのガラス基板Wの搬入及び収納カセット70からのガラス基板Wの搬出を行う。
一対の昇降装置80により収納カセット70をZ方向に昇降することで、収納カセット70とコンベア装置5とをZ方向に相対的に移動させる。これに代えて、コンベア装置5をZ方向に昇降する構成としてもよい。なお、コンベア装置5を昇降する構成とした場合は、第1搬送装置10も昇降する構成になる。
図8は基板搬送装置Aの制御装置200の構成を示すブロック図である。制御装置(制御手段)200は基板搬送装置Aの全体の制御を司るCPU201と、CPU201のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるRAM202と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるROM203と、を備える。RAM202、ROM203は他の記憶手段を採用可能である。
図9乃至図16を参照して、基板搬送装置Aによるガラス基板Wの搬送例について説明する。本実施形態では、図9に示すように+Y側にガラス基板Wを収納した収納カセット70を配置し、−Y側に空の収納カセット70を配置して、+Y側に位置する収納カセット70から未処理のガラス基板Wを処理装置へ搬送し、−Y側に位置する収納カセット70へ処理装置から処理済のガラス基板Wを搬送する場合について説明する。まず、図10乃至図12を参照して、+Y側に位置する収納カセット70から未処理のガラス基板Wを処理装置へ搬送する場合を説明する。
Claims (10)
- 基板をその下側から支持して第1搬送方向で水平に搬送する第1搬送手段と、
前記第1搬送手段上の前記基板を、その下側から支持して前記第1搬送方向と直交する第2搬送方向で水平に搬送する第2搬送手段と、を備え、
前記第1搬送手段は、
互いに前記第1搬送方向に離間した複数列の第1搬送ユニットで構成され、
前記第2搬送手段は、
互いに前記第1搬送方向に離間した複数の第2搬送ユニットで構成され、
各々の前記第2搬送ユニットは、
前記第1搬送ユニット間の空隙に配置され、前記基板をその下側から支持する支持ユニットと、
前記支持ユニットの下方に配置され、かつ、前記支持ユニットに連結して設けられ、前記第1搬送ユニット上の前記基板を前記支持ユニットが前記第1搬送ユニットから持ち上げる上昇位置と、前記支持ユニットが前記第1搬送ユニット上の前記基板と干渉しない降下位置と、の間で前記支持ユニットを昇降させる昇降ユニットと、
前記第1搬送ユニットよりも下方に配置され、前記支持ユニット及び前記昇降ユニットを前記第2搬送方向に移動させる駆動ユニットと、
前記支持ユニットに設けられ、前記第2搬送方向に離間して配置された一対の基板保持ユニットと、を備え、
前記基板保持ユニットは、
前記基板の端縁に当接する当接部材と、
前記当接部材を前記第2搬送方向に往復移動する移動ユニットと、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記第1搬送ユニットが、独立して駆動可能な複数のローラコンベアユニットを備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記支持ユニットが、
前記第2搬送方向に延びる支持部材と、
前記第2搬送方向に離間して複数設けられ、前記基板の下面に当接し、前記第2搬送方向と直交する方向と平行な軸回りに回転自在にブラケットを介して前記支持部材に支持されたローラと、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記駆動ユニットが、
前記第2搬送方向に延びるレール部材と、
前記レール部材に沿ってスライド移動自在に設けられると共に前記昇降ユニットが搭載されるスライダと、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記駆動ユニットが、
前記第2搬送方向に離間した一対のプーリと、
前記一対のプーリに巻き回されると共に前記スライダに連結されたベルトと、
前記第1搬送方向に延び、前記一対のプーリをそれぞれ回転駆動させる一対の軸と、
前記一対の軸のうち、一方の軸を回転駆動させる駆動源と、
を備え、
各々の前記駆動ユニットにおける前記一対の軸のうち、一方の軸及び他方の軸がそれぞれ全て連結して設けられ、その一方の軸に1つの前記駆動源が連結して設けられることを特徴とする請求項4に記載の基板搬送装置。 - 前記レール部材と前記スライダと前記一対のプーリと前記ベルトとを囲包するカバー部材を更に備えたことを特徴とする請求項5に記載の基板搬送装置。
- 前記第1搬送手段の前記第1搬送方向の側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第1搬送方向で水平に搬送することにより、前記第1搬送手段との間で前記基板を搬送する第3搬送手段を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記第3搬送手段の上方に配置され、前記第3搬送手段が進入可能な開口部を有すると共に、前記基板を水平姿勢で収納するスロットを上下方向に複数備えた収納カセットと、前記第3搬送手段と、を相対的に昇降する昇降手段を更に備えたことを特徴とする請求項7に記載の基板搬送装置。
- 前記第1搬送手段の前記第1搬送方向の一方側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第1搬送方向で水平に搬送することにより、前記第1搬送手段との間で前記基板を搬送する第3搬送手段と、
前記第1搬送手段の前記第1搬送方向の他方側方に配置され、前記基板をその下側から支持して前記第1搬送方向で水平に搬送することにより、前記第1搬送手段との間で前記基板を搬送する第4搬送手段と、
を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記支持ユニットの前記第2搬送方向の長さが前記基板の幅よりも長いことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
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