JP2004284772A - 基板搬送システム - Google Patents
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Abstract
【課題】プロセス装置の基板搬送条件を満たしながら所望の処理能力を満足できるとともに、製品の品質低下要因を排除しイニシャルコスト及びランニングコストを削減し、さらに作業性の良いラインを構築できる基板搬送システムを提供する。
【解決手段】カセット11から基板10を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置1を2台(図では1A,1B)配置し各送り出し装置1A,1Bから払い出される基板10を受け取り、プロセス装置40の中心まで基板位置をスライドさせる走行式基板搬送コンベア2を配置する。そして、走行式基板搬送コンベア2から基板10を受け取り、搬送高さを昇降する昇降式基板搬送コンベア4と昇降式基板搬送コンベア4から基板10を受け取りプロセス装置40に基板10を供給する2層構造の昇降機能付の2層昇降式基板搬送コンベア5をプロセス装置40前に配置する。
【選択図】 図1
【解決手段】カセット11から基板10を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置1を2台(図では1A,1B)配置し各送り出し装置1A,1Bから払い出される基板10を受け取り、プロセス装置40の中心まで基板位置をスライドさせる走行式基板搬送コンベア2を配置する。そして、走行式基板搬送コンベア2から基板10を受け取り、搬送高さを昇降する昇降式基板搬送コンベア4と昇降式基板搬送コンベア4から基板10を受け取りプロセス装置40に基板10を供給する2層構造の昇降機能付の2層昇降式基板搬送コンベア5をプロセス装置40前に配置する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、FPD(Flat Panel Display)基板、例えばガラス基板を基板枚葉送り出し装置からプロセス装置に供給する基板搬送システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
FPDの製造プロセスは、加工を1枚単位で行う必要があるために加工ライン内は基板(例えばガラス基板)を1枚ずつ枚葉単位で搬送する一方、ライン間はカセット単位で行われている。従って、各ラインの先頭と末端にはFPD基板ローディング・アンローディング装置が設置され、カセットから基板の供給及びカセットへの基板の回収を行っている。
【0003】
近年、生産性の向上から基板は大判化・薄肉化し、また、カセットへの収納枚数が増加している。これに対応して、特許文献1に記載されるカセットの底板の開口から基板送り出しコンベアをカセット内に進入させ基板の取り出しと収納を行う基板枚葉送り出し装置が使用されている。
【0004】
従来のFPD基板ローディング・アンローディング装置は、カセット交換に伴う基板搬送の停滞を回避する目的で、前述の基板枚葉送り出し装置を2台以上装備し、各送り出し装置と製造プロセスとを走行式基板搬送コンベアで結ぶ構成となっている。
【0005】
また、特許文献2のようにFPD基板ローディング・アンローディング装置をストッカ内に設置してローディング・アンローディング装置へのカセットの供給をスタッカクレーンにて直接行ったり、ストッカと隣接して設置してカセットコンベアを介して行ったりしている。
【0006】
【特許文献1】
特開平11−79389号公報(段落[0010]、図4)
【特許文献2】
特開平11−199007号公報(段落[0016]、図1及び2)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来のFPD基板ローディング・アンローディング装置の構成によると、走行式基板搬送コンベアを介して基板搬送を行うため、走行の往復動作に伴う時間により先行基板と後続基板の供給間隔が広く開いてしまう欠点があった。そのため、プロセス装置の基板搬送条件が低速であり、かつ生産能力によって決まるラインのサイクルタイムが短く基板搬送間隔を基板長さ寸法に非常に近い条件で連続搬送する必要がある場合には装置の処理能力を満足できない問題があった。
また、装置の処理能力を満足するために、走行速度を高速にしたり、プロセス側基板搬送コンベアを複数台直列に配置してコンベアの乗り継ぎ部で搬送速度の切り替えにより搬送間隔を少量ずつ短縮あるいは拡大したりする必要がある。このため、搬送速度の上昇に伴う基板振動により製品の品質低下を招いたり、設備費用の増大となるばかりか、クリーンルーム内で広い面積を占有するためクリーンルームの大型化による建設費用の増大とクリーン度維持のための消費エネルギーの増大が問題であった。
これら問題点は、走行式基板搬送コンベアに限らず昇降式基板搬送コンベアなどの往復動作を行う搬送手段を介する場合には共通の問題であった。
さらに、FPD基板ローディング・アンローディング装置へのカセット供給・搬出を自動倉庫と直結して行う場合に、ラインを横断する作業者動線が確保できない問題があった。
【0008】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、プロセス装置の基板搬送条件を満たしながら所望の処理能力を満足できるとともに、製品の品質低下要因を排除しイニシャルコスト及びランニングコストを削減し、さらに作業性の良いラインを構築できる基板搬送システムを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明は、平板状の基板を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、上記基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、
上記プロセス装置への上記基板の供給速度に応じて第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層を有する2層構造の可動式基板搬送コンベアを備え、上記第1位置で上記第1の層に上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、上記第2の層から基板を上記プロセス装置へ供給し、上記第2位置で上記第2の層に上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、上記第1の層から基板を上記プロセス装置へ供給するようにしたものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1を図1〜6に基づいて説明する。
図1は、実施の形態1の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この基板搬送システムにおいては、カセット11から基板10を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置1を2台(図では1A,1B)配置し各送り出し装置1A,1Bから払い出される基板10を受け取り、プロセス装置40の中心まで基板位置をスライドさせる走行式基板搬送コンベア2を配置する。なお、基板枚葉送り出し装置1は、2台以上の複数台存在しても良い。
そして、走行式基板搬送コンベア2から基板10を受け取り、搬送高さを昇降する昇降式基板搬送コンベア4と昇降式基板搬送コンベア4から基板10を受け取りプロセス装置40に基板10を供給する2層構造の昇降機能付の2層昇降式基板搬送コンベア5をプロセス装置40前に配置したものである。
【0011】
図2は基板10を収納するカセットを示す模式図で、カセット11は、底板12、天板13と柱15によって構成される箱形状をしており、各柱15にはカセット11の内面に向いた水平な横桟16が垂直方向に向かって定ピッチで設けられている。底板12には図3に示す基板枚葉送り出しコンベア17が鉛直方向に向かって進入し得る開口14が設けられている。
【0012】
図3は、基板枚葉送り出し装置1の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)は側面図、(c)は正面図である。
図3のごとく基板枚葉送り出し装置1は、カセット11を鉛直方向に昇降するカセット昇降機構18と、カセット11中の基板を水平方向に搬送する基板送り出しコンベア17を備えている。
【0013】
図4は、昇降式基板搬送コンベア4の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)は側面図、(c)は正面図である。
昇降式基板搬送コンベア4は、図4のごとく基板搬送コンベア19と、これを昇降するコンベア昇降装置20を備えている。
【0014】
図5は、2層昇降式基板搬送コンベア5の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)は側面図、(c)は正面図である。
2層昇降式基板搬送コンベア5は、図5のごとく上段基板搬送コンベア21Aと下段基板搬送コンベア21Bを平行に2層構造に設け、これを昇降する2層コンベア昇降装置22を備えている。
【0015】
次に実施の形態1の動作を図1及び図6を用いて説明する。
基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11A,12Aの供給は、図示されていないがAGV(Automatic Guided Vehicle)などの自動搬送台車や手押し台車、または自動倉庫のスタッカクレーンなどのカセット供給手段により行われる。
【0016】
基板枚葉送り出し装置1Aはカセットの基板収納ピッチ単位でカセット11を下降させ、カセット11Aの最下段に収納された基板10Aから順次基板送り出しコンベア17に積載し水平方向に送り出しを行い、走行式基板搬送コンベア2上に移載を行う。
走行式基板搬送コンベア2は、基板枚葉送り出し装置1Aの受け取り位置から昇降式基板搬送コンベア4の前に移動し、昇降式基板搬送コンベア4に基板10Aを移載する。
【0017】
ここまでの動作は、カセット11Aに収納された複数の基板(例えば60枚)について繰り返し行われる。すべての基板の送り出しが完了すると、基板枚葉送り出し装置1Bからの基板供給に切り替わる。基板枚葉送り出し装置1Aは、カセット昇降機構18を上昇端まで上昇させ、カセット供給手段に対してカセット11Aの交換を要求する。カセットの交換は他方のカセットに収納されたすべての基板搬出が完了するまでに行われれば、プロセス装置への基板供給が途絶えることはない。
また、これらの供給動作は製造ラインのサイクルタイムに従って行われるため、走行式基板搬送コンベア2の往復走行動作の制約から基板の搬送速度は高速(例えば、15m/min)となる。
【0018】
一方、昇降式基板搬送コンベア4は、2層昇降式基板搬送コンベア5の下降位置における下段基板搬送コンベア21B位置まで下降し基板10Aを搬出する。この時の基板搬送速度は走行式基板搬送コンベア2と同等の高速(例えば、15m/min)にて行う(図6(a))。
下段基板搬送コンベア21Bに基板10Aを受け取った2層昇降式基板搬送コンベア5は、上昇位置まで上昇し下段基板搬送コンベア21Bの基板10Aをプロセス装置40へ供給開始する。この時の基板搬送速度はプロセス装置40の速度条件にあわせて行う。例えば、洗浄装置へ供給する場合は、UV(Ultra Violet)照射プロセスの制約から低速(例えば、4m/min)となる(図6(b))。
後続の基板10Bを積載した昇降式基板搬送コンベア4は、2層昇降式コンベア5の上昇位置における上段基板搬送コンベア21A位置まで上昇し基板10Bを搬出する(図6(c))。
【0019】
このとき、上段基板搬送コンベア21Aへの基板10Bの供給動作は製造ラインのサイクルタイムに従った高速であるのに対し、下段基板搬送コンベア21Bからの基板10Aの搬出動作はプロセス装置の速度条件に従った低速であるため、基板10Bの2層昇降式コンベア5への供給動作と基板10Aのプロセス装置へ供給動作とは独立した速度でオーバーラップして行われるとともに、基板10Bの供給動作のほうが先に完了する(図6(d))。
基板10Aがプロセス装置40に移載完了すると、2層昇降式基板搬送コンベア5は下降位置まで下降し上段基板搬送コンベア21A上の基板10Bをプロセス装置40へ供給開始する(図6(e))。
以降、2層昇降式基板搬送コンベア5への基板供給とプロセス装置40への基板供給を繰り返し行う。
【0020】
以上のように実施形態1によれば、平板状の基板10を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置1を用い、この基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置40へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、プロセス装置40側に、プロセス装置40への基板の供給速度に応じて鉛直方向の第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層21A,21Bを有する2層構造の昇降式基板搬送コンベア5を配置すると共に、この2層昇降式基板搬送コンベア5と基板枚葉送り出し装置1との間に、基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を受け取り、2層昇降式基板搬送コンベア5の第1及び第2位置21A,21Bへの昇降動作に応じて昇降する昇降式基板搬送コンベア4を配置し、第1位置で第1の層21Aに昇降式基板搬送コンベア4から搬送された基板を受け取ると共に、第2の層21Bから基板をプロセス装置40へ供給し、第2位置で第2の層21Bに昇降式基板搬送コンベア4から搬送された基板を受け取ると共に、第1の層21Aから基板をプロセス装置40へ供給するようにしたので、先行基板の供給完了後から後続基板の供給を開始するまでの時間が2層昇降式基板搬送コンベア5の上下段の切り替え動作だけであり非常に短くできるため、基板搬送ピッチを基板全長に限りなく近づけることができる。したがって、プロセス装置の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
また、占有スペースは従来の方式と同等以下に抑えることができるため、クリーンルームの占有面積を削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0021】
また、昇降式基板搬送コンベア4と2層昇降式基板搬送コンベア5との基板移載と、2層昇降式基板搬送コンベア5とプロセス装置40との基板移載を独立した速度で並行して行うようにしたので、低速搬送が要求されるプロセス装置40への基板供給と高速搬送が必要な後続基板の受け取りを、高さを違えた同一位置にて同時に行うことができる。
また、先行基板の供給完了後から後続基板の供給を開始するまでの時間が2層昇降式基板搬送コンベア5の上下段の切り替え動作だけであり非常に短くできるため、基板搬送ピッチを基板全長に限りなく近づけることができる。したがって、プロセス装置40の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
【0022】
さらに、基板枚葉送り出し装置1を複数台配置し、これらの基板枚葉送り出し装置1A,1Bと昇降式基板搬送コンベア4との間に、各基板枚葉送り出し装置1A,1Bから送り出された基板10を順次受け取り、昇降式基板搬送コンベア4と対向する所定位置まで移動させて、昇降式基板搬送コンベア4に搬送する走行式基板搬送コンベア2を配置したので、走行式基板搬送コンベア2の走行速度を、ラインのサイクルタイムを満たす最低の速度にできるため、基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができ製品の品質を維持できる。
【0023】
実施の形態2.
図7は、実施の形態2の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態2は、上述の実施形態1の構成において、基板枚葉送り出し装置1及び走行式基板搬送コンベア2を上空に設置し、昇降式基板搬送コンベアの昇降ストロークを拡大したものである。
基板枚葉送り出し装置1A,1Bは、カセット11を保管する自動倉庫23内に設置されており、基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11の供給は自動倉庫23内のカセット供給手段であるスタッカクレーン24によって行う構成としている。
【0024】
この実施形態2によると、走行式基板搬送コンベア2をその下部に作業者が横断可能な空間2Aが形成される位置に配置すると共に、昇降式基板搬送コンベア4の昇降ストロークを走行式基板搬送コンベア2と2層昇降式基板搬送コンベア5との間を昇降し得る大きさに設定したので、新たな装置を追加することなく走行式基板搬送コンベア2の下部を横断可能にし作業者動線を確保することができ、作業性を大幅に改善することができる。
【0025】
実施の形態3.
図8は、実施の形態3の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態3は、上述の実施形態1の構成において、基板枚葉送り出し装置1を1台のみ(図では1A)とし、走行式基板搬送コンベア2を廃止したものである。
この実施形態3においては、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板供給能力を、プロセス装置40への基板供給能力よりもわずかに高めに設定し、1カセット分(例えば60枚)の基板供給が完了する前に昇降式基板搬送コンベア4及び2層昇降式基板搬送コンベア5のすべての基板搬送コンベア上に基板10を待機させることで、待機基板をバッファとして機能させ、それらのバッファが無くなるまでにカセット11Aの交換を行う。
【0026】
この実施形態3によると、基板枚葉送り出し装置を1台のみとし、この基板枚葉送り出し装置1Aから昇降式基板搬送コンベア4に基板10を直接搬送すると共に、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板搬送速度をプロセス装置40への基板供給速度よりもわずかに高めに設定したので、基板搬送システムの構成機器を大幅に削減することが可能であり設備費用を削減可能である。
また、移動量の大きな走行式基板搬送コンベア2を使用しないため、走行に伴う振動が無くなるとともに、基板10の搬送速度が低減できるため、基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができ製品の品質を維持できる。
また、設置面積が大幅に縮小可能であるため、クリーンルームの占有面積をさらに削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0027】
実施の形態4.
図9は、実施の形態4の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態4は、上述の実施形態3の構成において、基板枚葉送り出し装置1Aと昇降式基板搬送コンベア4との間に基板待機コンベア25を追加したものである。図9では基板待機コンベア25は1台としているが2台以上とすることもできる。
この実施形態4においては、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板供給能力を、プロセス装置40への基板供給能力よりもわずかに高めに設定し、1カセット分(例えば60枚)の基板供給が完了する前に基板待機コンベア25、基板昇降コンベア4及び2層昇降式基板搬送コンベア5のすべての基板搬送コンベア上に基板を待機させることで、待機基板をバッファとして機能させ、それらのバッファが無くなるまでにカセット11Aの交換を行う。
【0028】
この実施形態4によると、基板枚葉送り出し装置1Aと昇降式基板搬送コンベア4との間に、基板待機コンベア25を配置し、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板搬送速度をプロセス装置40への基板供給速度よりわずかに高めに設定したので、実施形態3に比べてバッファ基板数量を多くでき、その分だけカセット交換に許容できる時間を拡大することが可能となる。
【0029】
また、図9では基板待機コンベア25をその下部に作業者が横断可能な空間25Aが形成される位置に配置すると共に、昇降式基板搬送コンベア4の昇降ストロークを基板待機コンベア25と2層昇降式基板搬送コンベア5との間を昇降し得る大きさに設定したので、新たな装置を追加することなく基板待機コンベア25の下部を横断可能にし作業者動線を確保することができ、作業性を大幅に改善することができる。
【0030】
実施の形態5.
図10は、実施の形態5の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態5は、上述の実施形態1のように2層昇降式基板搬送コンベア5を用いることなく同様の効果を発揮するためになされたものであって、昇降式基板搬送コンベア4、2層走行式基板搬送コンベア5を廃止しプロセス側基板搬送コンベア3のみとし、2台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bを基板枚葉送り出し装置走行機構26に積載する構造としたものである。
2台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bは基板枚葉送り出し装置走行機構26上で一体に結合されており、基板枚葉送り出し装置走行機構26の走行機能により基板供給方向と直交する水平軸上を自在に動作できる構造となっている。
【0031】
基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11A,11Bの供給及び搬出は、図示されていないAGVなどの自動搬送台車や手押し台車、または自動倉庫のスタッカクレーンなどのカセット供給手段により行われる。
カセット11Aの供給・搬出は、基板枚葉送り出し装置走行機構26が図10(a)における上側、すなわち基板枚葉送り出し機構11Bがプロセス側基板搬送コンベア3の前に位置する時に行われ、カセット11Bの供給・搬出は、基板枚葉送り出し機構26が図10(a)における下側、すなわち基板枚葉送り出し機構11Aがプロセス側基板搬送コンベア3の前に位置する時に行われる。
【0032】
いま、基板枚葉送り出し装置走行機構26が図10(a)における下側に移動し、基板枚葉送り出し装置11Aがプロセス側基板搬送コンベア3の前に位置するものとする。
基板枚葉送り出し装置1Aはカセットの基板収納ピッチ単位でカセット11Aを下降させ、カセット11Aの最下段に収納された基板10を基板送り出しコンベア17に積載し水平方向に送り出しを行い、プロセス側基板搬送コンベア3上に移載を行う。この時の基板搬送速度はプロセス装置40の速度条件に従って行われる。
プロセス側基板搬送コンベア3への基板移載完了とともに、基板枚葉送り出し装置1Aは、基板収納ピッチ分だけカセット11Aを下降させ、基板送り出しコンベア17に次基板を積載する。基板10の搬出タイミングは、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。
以降、カセット11Aに収納された基板枚数分だけ繰り返し搬出を行う。
【0033】
そして、カセット11Aに収納されたすべての基板10の搬出が完了すると、基板枚葉送り出し装置走行機構26は図10(a)における上側に移動し、基板枚葉送り出し装置11Bをプロセス側基板搬送コンベアの前に位置させる。カセット11Aの最終基板に続けて基板枚葉送り出し装置1Bによりカセット11Bの最下段基板から搬出を継続する。これらのカセット切り替え動作は、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。
また、基板枚葉送り出し装置1Aはカセット昇降機構18を上昇端まで上昇させ、カセット供給手段に対してカセット11Aの交換を要求する。カセットの交換は他方のカセットに収納されたすべての基板搬出が完了するまでに行われれば、プロセス装置40への基板供給が途絶えることはない。
【0034】
この実施形態5によると、平板状の基板10を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置1を用い、この基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置40へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、基板枚葉送り出し装置1を、基板搬送方向と直交する水平軸に沿って所定の位置関係を取れるように一体的に移動可能な2台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bによって構成し、これらの基板枚葉送り出し装置1A,1Bから順次搬出された基板をプロセス装置40側に設置されたプロセス側走行式基板搬送コンベア3のみによってプロセス装置40へ供給するようにしたので、ラインの基板搬送中心に対してそれぞれの基板搬送中心を合わせることが可能となり、これにより、基板搬送途中での搬送中心や搬送高さの切り替えが一切無くなり基板10の往復搬送工程が皆無となる。従って、プロセス装置40の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
また、基板10の搬送経路がプロセス装置40に向かって直線搬送のみであるため、基板10の搬送条件が全工程にわたってプロセス装置40の要求搬送速度となる。従って、基板搬送速度は必要最低限とすることができ基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができるため製品の品質を維持できる。
さらに、基板を枚葉単位で頻繁に走行・昇降させる必要がなくなったので、設備の信頼性が向上し安全性が増すとともに、消費エネルギーを抑制することが可能である。
また、基板搬送システムの基板供給方向に対する全長が短くできるため、ライン長の短縮が可能である。従って、クリーンルームの占有面積を削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0035】
実施の形態6.
この発明の実施の形態6を図11〜13に基づいて説明する。
図11は、実施の形態6の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態6は、上述の実施形態1のように2層昇降式基板搬送コンベア5を用いることなく同様の効果を発揮するためになされたもので、昇降式基板搬送コンベア4、2層走行式基板搬送コンベア5を廃止しプロセス側基板搬送コンベア3のみとし、走行式基板搬送コンベア2の代わりに、基板直交搬送コンベア27A,27B及び基板待機コンベア28を設けたものである。
【0036】
図12は、基板直交搬送コンベア27の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)側面図、(c)は正面図である。
基板直交搬送コンベア27は、図12のごとく主基板搬送コンベア29と主基板搬送コンベア29の搬送ローラの隙間から主基板搬送コンベア29の搬送面に対して垂直に浮上、沈下する搬送面をもつ副基板搬送コンベア30と副基板搬送コンベアを浮上・沈下させる浮上機構31を備えている。
【0037】
次に実施の形態6の動作を図11及び図13を用いて説明する。
基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11A,11Bの供給及び搬出は、図示されていないAGVなどの自動搬送台車や手押し台車、または自動倉庫のスタッカクレーンなどのカセット供給手段により行われる。
【0038】
いま、基板枚葉送り出し装置1Bからプロセス装置への基板供給が行われており、基板枚葉送り出し装置1Aには基板の収納されたカセットが供給されているものとする。また、基板10Cをカセット11Bの最終基板とする。
基板枚葉送り出し装置1Bはプロセス装置40の基板搬送速度条件に合わせて基板の枚葉搬出を行う。例えば、洗浄装置へ供給する場合は、UV照射プロセスの制約から低速(例えば、4m/min)となり、かつラインのサイクルタイムを満たすために連続搬送となる。
【0039】
基板枚葉送り出し装置1Bから搬出された基板10Bが基板直交搬送コンベア27Bに到達するとともに、基板枚葉送り出し装置1Bは、基板収納ピッチ分だけカセット11Bを下降させ、基板送り出しコンベア17に最終基板10Cを積載する。最終基板10Cの搬出タイミングは、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。また、基板枚葉送り出し装置1Aは基板枚葉送り出し装置1Bからの基板搬出中に基板10D、10Eを基板待機コンベア28、基板直交搬送コンベア27Aまで搬出して待機する(図13(a))。
【0040】
基板10Cが基板直交搬送コンベア27Bに搬出完了すると、基板枚葉送り出し装置1Bはカセット昇降機構18を上昇端まで上昇し、カセット供給手段に対してカセット11Bの交換を要求する。カセットの交換は他方のカセットに収納されたすべての基板搬出が完了するまでに行われれば、プロセス装置40への基板供給が途絶えることはない。
【0041】
基板10Cがプロセス側基板搬送コンベア3に移載完了するるとともに、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を上昇し副基板搬送コンベア30を浮上させ基板待機コンベア28上の基板10Dを副基板搬送コンベア30上に高速で受け取る。受け取り完了とともに、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を下降させ主基板搬送コンベア29上に基板10Dを移載する。基板待機コンベア25から基板直交搬送コンベア27Bへの基板搬送動作は、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。(図13(b))。
【0042】
基板直交搬送コンベア27Aの浮上装置31を上昇し副基板搬送コンベア30を浮上させ、主基板搬送コンベア29上の基板10Eを副基板搬送コンベア30に積載する。基板10Eを空になった基板待機コンベア28に搬送する。移載完了後、基板直交搬送コンベア27Aの浮上装置31を下降し副基板搬送コンベア30を沈下させる。 (図13(c))。
基板10B〜10Dのプロセス装置40への供給はプロセス装置40の速度条件に従って連続搬送にて行われる。基板直交搬送コンベア27Aから基板待機コンベア28への基板10Eの搬送は基板10Dのプロセス側基板搬送コンベア3への到達よりも早い(図13(d))。
基板枚葉送り出し装置1Aから基板直交搬送コンベア27Aに次基板10Fを搬出する(図13(e))。
基板10Dがプロセス側基板搬送コンベアに移載完了すると、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を上昇し副基板搬送コンベア30を浮上させ基板待機コンベア28上の基板10Eを副基板搬送コンベア30上に受け取る。受け取り完了とともに、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を下降させ主基板搬送コンベア29上に基板10Eを移載する(図13(f))。
以降、カセット11Aに収納された基板枚数分だけ繰り返し搬出を行う。
【0043】
カセット11Aに収納されたすべての基板の搬出が完了すると、基板枚葉送り出し装置1Aのカセット昇降機構18を上昇端まで上昇させ、カセット供給手段に対してカセットの交換を要求する。
また、カセット11Aの最終基板が基板直交搬送コンベア27Bに到達する前までに、基板枚葉送り出し装置1Bのカセット交換が完了し、最下段の基板が基板枚葉送り出し装置1Bの基板送り出しコンベア17に積載されている。
従って、カセット11Aの最終基板が基板直交搬送コンベア27Bに到達しプロセス側基板搬送コンベア3に搬出を開始すると同時に、基板枚葉送り出し装置1Bからの基板供給が継続される。
【0044】
この実施形態6によると、平板状の基板10を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置1を用い、この基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置40へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、基板枚葉送り出し装置1を複数台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bによって構成し、これらの基板枚葉送り出し装置1A,1Bとプロセス装置40間に、基板枚葉送り出し装置と同数の基板直交搬送コンベア27A,27Bと、これらの基板直交搬送コンベア27A,27B間を接続する基板待機コンベア28と、プロセス装置40に基板を供給するプロセス側基板搬送コンベア3とを配置し、複数台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bのうちプロセス装置40と直線の搬送経路で結ばれる基板枚葉送り出し装置1Bの搬送経路に隣接して基板を待機させるようにしたので、基板枚葉送り出し装置1A側からの基板供給時に、低速搬送が要求されるプロセス装置側基板搬送コンベア3と隣接した基板待機コンベア28に次基板を待機させることができ、基板10の供給に必要な時間が短縮できる。従って、プロセス装置40の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
また、次基板の供給に走行式基板搬送コンベア2のような往復動作を伴う基板搬送手段を使用しないので、基板10の搬送速度を低減することが可能である。従って、基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができ製品の品質を維持できる。
さらに、基板10を枚葉単位で頻繁に走行・昇降させる必要がなくなったので、設備の信頼性が向上し安全性が増すとともに、消費エネルギーを抑制することが可能である。
また、占有スペースは従来の方式より抑えることができるため、クリーンルームの占有面積を削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0045】
なお、上記各実施の形態では、FPD基板のローディングについて説明したが、FPD基板のアンローディングについても、搬送方向が逆になるのみでその構成・配置・効果は変わりない。
また、すべての実施形態において、基板搬送手段としてローラコンベアを代表的に記載しているが、搬送手段を限定するものではないため、その他の搬送手段であってもかまわない。
【0046】
さらに、基板の搬送姿勢として水平搬送を代表的に記載しているが、搬送姿勢を限定するものではないため、その他姿勢(例えば、傾斜、垂直)であってもかまわないし、2層昇降式基板搬送コンベアの昇降方向は、鉛直方向を代表的に示しているが、昇降方向を限定するものではないため、基板の搬送姿勢によって斜めや水平であってもかまわない。
例えば、上記のように平板状の基板を鉛直あるいは搬送方向の軸回りに傾斜しその角度が鉛直に近い姿勢で水平方向に搬送する場合には、走行機構を有する走行式基板搬送コンベアと、走行機能を有する2層構造の2層走行式基板搬送コンベアを備え、2層走行式基板搬送コンベアは2層構造の左右基板搬送コンベア間の水平距離分だけ基板搬送方向と直交する水平軸に沿って移動自在とし、走行式基板搬送コンベアは2層走行式基板搬送コンベアの左端位置における左側基板搬送コンベアと右端位置における右側基板搬送コンベア及び走行式基板搬送コンベアとの基板受渡し位置との間を水平方向に移動自在とし、走行式基板搬送コンベアと2層走行式基板搬送コンベアとの基板移載と、2層走行式コンベアとプロセス装置との基板移載を独立した速度で、並行して行いうるように構成すれば良い。
【0047】
【発明の効果】
以上のようにこの発明は、平板状の基板を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、プロセス装置への基板の供給速度に応じて第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層を有する2層構造の可動式基板搬送コンベアを備え、第1位置で第1の層に基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、第2の層から基板をプロセス装置へ供給し、第2位置で第2の層に基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、第1の層から基板をプロセス装置へ供給するようにしたものであり、これによりプロセス装置の基板搬送条件を満たしながら搬送システムとしての処理能力を満足できるとともに、製品の品質低下要因を排除しイニシャルコスト及びランニングコストを削減し、さらに作業性の良いラインを構築することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1に係る基板搬送システムを示す構成図である。
【図2】実施の形態1に用いる基板を収納するカセットの模式図である。
【図3】実施の形態1に用いる基板枚葉送り出し装置の構造図である。
【図4】実施の形態1に用いる昇降式基板搬送コンベアの構造図である。
【図5】実施の形態1に用いる2層昇降式基板搬送コンベアの構造図である。
【図6】実施の形態1の動作説明図である。
【図7】実施の形態2の基板搬送システムを示す構成図である。
【図8】実施の形態3の基板搬送システムを示す構成図である。
【図9】実施の形態4の基板搬送システムを示す構成図である。
【図10】実施の形態5の基板搬送システムを示す構成図である。
【図11】実施の形態6の基板搬送システムを示す構成図である。
【図12】実施の形態6に用いる基板直交搬送コンベアの構造図である。
【図13】実施形態6の動作説明図である。
【符号の説明】
1,1A,1B 基板枚葉送り出し装置
2 走行式基板搬送コンベア
3 プロセス側基板搬送コンベア
4 昇降式基板搬送コンベア
5 2層昇降式基板搬送コンベア
10,10A〜10G 基板
11,11A,11B カセット
17 基板送り出しコンベア
18 カセット昇降機構
19 基板搬送コンベア
20 コンベア昇降機構
21A 上段基板搬送コンベア
21B 下段基板搬送コンベア
22 2層コンベア昇降機構
23 自動倉庫
24 スタッカクレーン
25 基板待機コンベア
26 基板枚葉送り出し装置走行機構
27A,27B 基板直交搬送コンベア
28 基板待機コンベア
29 主基板搬送コンベア
30 副基板搬送コンベア
31 浮上装置
40 プロセス装置
【発明の属する技術分野】
この発明は、FPD(Flat Panel Display)基板、例えばガラス基板を基板枚葉送り出し装置からプロセス装置に供給する基板搬送システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
FPDの製造プロセスは、加工を1枚単位で行う必要があるために加工ライン内は基板(例えばガラス基板)を1枚ずつ枚葉単位で搬送する一方、ライン間はカセット単位で行われている。従って、各ラインの先頭と末端にはFPD基板ローディング・アンローディング装置が設置され、カセットから基板の供給及びカセットへの基板の回収を行っている。
【0003】
近年、生産性の向上から基板は大判化・薄肉化し、また、カセットへの収納枚数が増加している。これに対応して、特許文献1に記載されるカセットの底板の開口から基板送り出しコンベアをカセット内に進入させ基板の取り出しと収納を行う基板枚葉送り出し装置が使用されている。
【0004】
従来のFPD基板ローディング・アンローディング装置は、カセット交換に伴う基板搬送の停滞を回避する目的で、前述の基板枚葉送り出し装置を2台以上装備し、各送り出し装置と製造プロセスとを走行式基板搬送コンベアで結ぶ構成となっている。
【0005】
また、特許文献2のようにFPD基板ローディング・アンローディング装置をストッカ内に設置してローディング・アンローディング装置へのカセットの供給をスタッカクレーンにて直接行ったり、ストッカと隣接して設置してカセットコンベアを介して行ったりしている。
【0006】
【特許文献1】
特開平11−79389号公報(段落[0010]、図4)
【特許文献2】
特開平11−199007号公報(段落[0016]、図1及び2)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来のFPD基板ローディング・アンローディング装置の構成によると、走行式基板搬送コンベアを介して基板搬送を行うため、走行の往復動作に伴う時間により先行基板と後続基板の供給間隔が広く開いてしまう欠点があった。そのため、プロセス装置の基板搬送条件が低速であり、かつ生産能力によって決まるラインのサイクルタイムが短く基板搬送間隔を基板長さ寸法に非常に近い条件で連続搬送する必要がある場合には装置の処理能力を満足できない問題があった。
また、装置の処理能力を満足するために、走行速度を高速にしたり、プロセス側基板搬送コンベアを複数台直列に配置してコンベアの乗り継ぎ部で搬送速度の切り替えにより搬送間隔を少量ずつ短縮あるいは拡大したりする必要がある。このため、搬送速度の上昇に伴う基板振動により製品の品質低下を招いたり、設備費用の増大となるばかりか、クリーンルーム内で広い面積を占有するためクリーンルームの大型化による建設費用の増大とクリーン度維持のための消費エネルギーの増大が問題であった。
これら問題点は、走行式基板搬送コンベアに限らず昇降式基板搬送コンベアなどの往復動作を行う搬送手段を介する場合には共通の問題であった。
さらに、FPD基板ローディング・アンローディング装置へのカセット供給・搬出を自動倉庫と直結して行う場合に、ラインを横断する作業者動線が確保できない問題があった。
【0008】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、プロセス装置の基板搬送条件を満たしながら所望の処理能力を満足できるとともに、製品の品質低下要因を排除しイニシャルコスト及びランニングコストを削減し、さらに作業性の良いラインを構築できる基板搬送システムを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明は、平板状の基板を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、上記基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、
上記プロセス装置への上記基板の供給速度に応じて第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層を有する2層構造の可動式基板搬送コンベアを備え、上記第1位置で上記第1の層に上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、上記第2の層から基板を上記プロセス装置へ供給し、上記第2位置で上記第2の層に上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、上記第1の層から基板を上記プロセス装置へ供給するようにしたものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1を図1〜6に基づいて説明する。
図1は、実施の形態1の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この基板搬送システムにおいては、カセット11から基板10を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置1を2台(図では1A,1B)配置し各送り出し装置1A,1Bから払い出される基板10を受け取り、プロセス装置40の中心まで基板位置をスライドさせる走行式基板搬送コンベア2を配置する。なお、基板枚葉送り出し装置1は、2台以上の複数台存在しても良い。
そして、走行式基板搬送コンベア2から基板10を受け取り、搬送高さを昇降する昇降式基板搬送コンベア4と昇降式基板搬送コンベア4から基板10を受け取りプロセス装置40に基板10を供給する2層構造の昇降機能付の2層昇降式基板搬送コンベア5をプロセス装置40前に配置したものである。
【0011】
図2は基板10を収納するカセットを示す模式図で、カセット11は、底板12、天板13と柱15によって構成される箱形状をしており、各柱15にはカセット11の内面に向いた水平な横桟16が垂直方向に向かって定ピッチで設けられている。底板12には図3に示す基板枚葉送り出しコンベア17が鉛直方向に向かって進入し得る開口14が設けられている。
【0012】
図3は、基板枚葉送り出し装置1の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)は側面図、(c)は正面図である。
図3のごとく基板枚葉送り出し装置1は、カセット11を鉛直方向に昇降するカセット昇降機構18と、カセット11中の基板を水平方向に搬送する基板送り出しコンベア17を備えている。
【0013】
図4は、昇降式基板搬送コンベア4の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)は側面図、(c)は正面図である。
昇降式基板搬送コンベア4は、図4のごとく基板搬送コンベア19と、これを昇降するコンベア昇降装置20を備えている。
【0014】
図5は、2層昇降式基板搬送コンベア5の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)は側面図、(c)は正面図である。
2層昇降式基板搬送コンベア5は、図5のごとく上段基板搬送コンベア21Aと下段基板搬送コンベア21Bを平行に2層構造に設け、これを昇降する2層コンベア昇降装置22を備えている。
【0015】
次に実施の形態1の動作を図1及び図6を用いて説明する。
基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11A,12Aの供給は、図示されていないがAGV(Automatic Guided Vehicle)などの自動搬送台車や手押し台車、または自動倉庫のスタッカクレーンなどのカセット供給手段により行われる。
【0016】
基板枚葉送り出し装置1Aはカセットの基板収納ピッチ単位でカセット11を下降させ、カセット11Aの最下段に収納された基板10Aから順次基板送り出しコンベア17に積載し水平方向に送り出しを行い、走行式基板搬送コンベア2上に移載を行う。
走行式基板搬送コンベア2は、基板枚葉送り出し装置1Aの受け取り位置から昇降式基板搬送コンベア4の前に移動し、昇降式基板搬送コンベア4に基板10Aを移載する。
【0017】
ここまでの動作は、カセット11Aに収納された複数の基板(例えば60枚)について繰り返し行われる。すべての基板の送り出しが完了すると、基板枚葉送り出し装置1Bからの基板供給に切り替わる。基板枚葉送り出し装置1Aは、カセット昇降機構18を上昇端まで上昇させ、カセット供給手段に対してカセット11Aの交換を要求する。カセットの交換は他方のカセットに収納されたすべての基板搬出が完了するまでに行われれば、プロセス装置への基板供給が途絶えることはない。
また、これらの供給動作は製造ラインのサイクルタイムに従って行われるため、走行式基板搬送コンベア2の往復走行動作の制約から基板の搬送速度は高速(例えば、15m/min)となる。
【0018】
一方、昇降式基板搬送コンベア4は、2層昇降式基板搬送コンベア5の下降位置における下段基板搬送コンベア21B位置まで下降し基板10Aを搬出する。この時の基板搬送速度は走行式基板搬送コンベア2と同等の高速(例えば、15m/min)にて行う(図6(a))。
下段基板搬送コンベア21Bに基板10Aを受け取った2層昇降式基板搬送コンベア5は、上昇位置まで上昇し下段基板搬送コンベア21Bの基板10Aをプロセス装置40へ供給開始する。この時の基板搬送速度はプロセス装置40の速度条件にあわせて行う。例えば、洗浄装置へ供給する場合は、UV(Ultra Violet)照射プロセスの制約から低速(例えば、4m/min)となる(図6(b))。
後続の基板10Bを積載した昇降式基板搬送コンベア4は、2層昇降式コンベア5の上昇位置における上段基板搬送コンベア21A位置まで上昇し基板10Bを搬出する(図6(c))。
【0019】
このとき、上段基板搬送コンベア21Aへの基板10Bの供給動作は製造ラインのサイクルタイムに従った高速であるのに対し、下段基板搬送コンベア21Bからの基板10Aの搬出動作はプロセス装置の速度条件に従った低速であるため、基板10Bの2層昇降式コンベア5への供給動作と基板10Aのプロセス装置へ供給動作とは独立した速度でオーバーラップして行われるとともに、基板10Bの供給動作のほうが先に完了する(図6(d))。
基板10Aがプロセス装置40に移載完了すると、2層昇降式基板搬送コンベア5は下降位置まで下降し上段基板搬送コンベア21A上の基板10Bをプロセス装置40へ供給開始する(図6(e))。
以降、2層昇降式基板搬送コンベア5への基板供給とプロセス装置40への基板供給を繰り返し行う。
【0020】
以上のように実施形態1によれば、平板状の基板10を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置1を用い、この基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置40へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、プロセス装置40側に、プロセス装置40への基板の供給速度に応じて鉛直方向の第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層21A,21Bを有する2層構造の昇降式基板搬送コンベア5を配置すると共に、この2層昇降式基板搬送コンベア5と基板枚葉送り出し装置1との間に、基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を受け取り、2層昇降式基板搬送コンベア5の第1及び第2位置21A,21Bへの昇降動作に応じて昇降する昇降式基板搬送コンベア4を配置し、第1位置で第1の層21Aに昇降式基板搬送コンベア4から搬送された基板を受け取ると共に、第2の層21Bから基板をプロセス装置40へ供給し、第2位置で第2の層21Bに昇降式基板搬送コンベア4から搬送された基板を受け取ると共に、第1の層21Aから基板をプロセス装置40へ供給するようにしたので、先行基板の供給完了後から後続基板の供給を開始するまでの時間が2層昇降式基板搬送コンベア5の上下段の切り替え動作だけであり非常に短くできるため、基板搬送ピッチを基板全長に限りなく近づけることができる。したがって、プロセス装置の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
また、占有スペースは従来の方式と同等以下に抑えることができるため、クリーンルームの占有面積を削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0021】
また、昇降式基板搬送コンベア4と2層昇降式基板搬送コンベア5との基板移載と、2層昇降式基板搬送コンベア5とプロセス装置40との基板移載を独立した速度で並行して行うようにしたので、低速搬送が要求されるプロセス装置40への基板供給と高速搬送が必要な後続基板の受け取りを、高さを違えた同一位置にて同時に行うことができる。
また、先行基板の供給完了後から後続基板の供給を開始するまでの時間が2層昇降式基板搬送コンベア5の上下段の切り替え動作だけであり非常に短くできるため、基板搬送ピッチを基板全長に限りなく近づけることができる。したがって、プロセス装置40の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
【0022】
さらに、基板枚葉送り出し装置1を複数台配置し、これらの基板枚葉送り出し装置1A,1Bと昇降式基板搬送コンベア4との間に、各基板枚葉送り出し装置1A,1Bから送り出された基板10を順次受け取り、昇降式基板搬送コンベア4と対向する所定位置まで移動させて、昇降式基板搬送コンベア4に搬送する走行式基板搬送コンベア2を配置したので、走行式基板搬送コンベア2の走行速度を、ラインのサイクルタイムを満たす最低の速度にできるため、基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができ製品の品質を維持できる。
【0023】
実施の形態2.
図7は、実施の形態2の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態2は、上述の実施形態1の構成において、基板枚葉送り出し装置1及び走行式基板搬送コンベア2を上空に設置し、昇降式基板搬送コンベアの昇降ストロークを拡大したものである。
基板枚葉送り出し装置1A,1Bは、カセット11を保管する自動倉庫23内に設置されており、基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11の供給は自動倉庫23内のカセット供給手段であるスタッカクレーン24によって行う構成としている。
【0024】
この実施形態2によると、走行式基板搬送コンベア2をその下部に作業者が横断可能な空間2Aが形成される位置に配置すると共に、昇降式基板搬送コンベア4の昇降ストロークを走行式基板搬送コンベア2と2層昇降式基板搬送コンベア5との間を昇降し得る大きさに設定したので、新たな装置を追加することなく走行式基板搬送コンベア2の下部を横断可能にし作業者動線を確保することができ、作業性を大幅に改善することができる。
【0025】
実施の形態3.
図8は、実施の形態3の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態3は、上述の実施形態1の構成において、基板枚葉送り出し装置1を1台のみ(図では1A)とし、走行式基板搬送コンベア2を廃止したものである。
この実施形態3においては、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板供給能力を、プロセス装置40への基板供給能力よりもわずかに高めに設定し、1カセット分(例えば60枚)の基板供給が完了する前に昇降式基板搬送コンベア4及び2層昇降式基板搬送コンベア5のすべての基板搬送コンベア上に基板10を待機させることで、待機基板をバッファとして機能させ、それらのバッファが無くなるまでにカセット11Aの交換を行う。
【0026】
この実施形態3によると、基板枚葉送り出し装置を1台のみとし、この基板枚葉送り出し装置1Aから昇降式基板搬送コンベア4に基板10を直接搬送すると共に、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板搬送速度をプロセス装置40への基板供給速度よりもわずかに高めに設定したので、基板搬送システムの構成機器を大幅に削減することが可能であり設備費用を削減可能である。
また、移動量の大きな走行式基板搬送コンベア2を使用しないため、走行に伴う振動が無くなるとともに、基板10の搬送速度が低減できるため、基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができ製品の品質を維持できる。
また、設置面積が大幅に縮小可能であるため、クリーンルームの占有面積をさらに削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0027】
実施の形態4.
図9は、実施の形態4の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態4は、上述の実施形態3の構成において、基板枚葉送り出し装置1Aと昇降式基板搬送コンベア4との間に基板待機コンベア25を追加したものである。図9では基板待機コンベア25は1台としているが2台以上とすることもできる。
この実施形態4においては、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板供給能力を、プロセス装置40への基板供給能力よりもわずかに高めに設定し、1カセット分(例えば60枚)の基板供給が完了する前に基板待機コンベア25、基板昇降コンベア4及び2層昇降式基板搬送コンベア5のすべての基板搬送コンベア上に基板を待機させることで、待機基板をバッファとして機能させ、それらのバッファが無くなるまでにカセット11Aの交換を行う。
【0028】
この実施形態4によると、基板枚葉送り出し装置1Aと昇降式基板搬送コンベア4との間に、基板待機コンベア25を配置し、2層昇降式基板搬送コンベア5までの基板搬送速度をプロセス装置40への基板供給速度よりわずかに高めに設定したので、実施形態3に比べてバッファ基板数量を多くでき、その分だけカセット交換に許容できる時間を拡大することが可能となる。
【0029】
また、図9では基板待機コンベア25をその下部に作業者が横断可能な空間25Aが形成される位置に配置すると共に、昇降式基板搬送コンベア4の昇降ストロークを基板待機コンベア25と2層昇降式基板搬送コンベア5との間を昇降し得る大きさに設定したので、新たな装置を追加することなく基板待機コンベア25の下部を横断可能にし作業者動線を確保することができ、作業性を大幅に改善することができる。
【0030】
実施の形態5.
図10は、実施の形態5の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態5は、上述の実施形態1のように2層昇降式基板搬送コンベア5を用いることなく同様の効果を発揮するためになされたものであって、昇降式基板搬送コンベア4、2層走行式基板搬送コンベア5を廃止しプロセス側基板搬送コンベア3のみとし、2台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bを基板枚葉送り出し装置走行機構26に積載する構造としたものである。
2台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bは基板枚葉送り出し装置走行機構26上で一体に結合されており、基板枚葉送り出し装置走行機構26の走行機能により基板供給方向と直交する水平軸上を自在に動作できる構造となっている。
【0031】
基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11A,11Bの供給及び搬出は、図示されていないAGVなどの自動搬送台車や手押し台車、または自動倉庫のスタッカクレーンなどのカセット供給手段により行われる。
カセット11Aの供給・搬出は、基板枚葉送り出し装置走行機構26が図10(a)における上側、すなわち基板枚葉送り出し機構11Bがプロセス側基板搬送コンベア3の前に位置する時に行われ、カセット11Bの供給・搬出は、基板枚葉送り出し機構26が図10(a)における下側、すなわち基板枚葉送り出し機構11Aがプロセス側基板搬送コンベア3の前に位置する時に行われる。
【0032】
いま、基板枚葉送り出し装置走行機構26が図10(a)における下側に移動し、基板枚葉送り出し装置11Aがプロセス側基板搬送コンベア3の前に位置するものとする。
基板枚葉送り出し装置1Aはカセットの基板収納ピッチ単位でカセット11Aを下降させ、カセット11Aの最下段に収納された基板10を基板送り出しコンベア17に積載し水平方向に送り出しを行い、プロセス側基板搬送コンベア3上に移載を行う。この時の基板搬送速度はプロセス装置40の速度条件に従って行われる。
プロセス側基板搬送コンベア3への基板移載完了とともに、基板枚葉送り出し装置1Aは、基板収納ピッチ分だけカセット11Aを下降させ、基板送り出しコンベア17に次基板を積載する。基板10の搬出タイミングは、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。
以降、カセット11Aに収納された基板枚数分だけ繰り返し搬出を行う。
【0033】
そして、カセット11Aに収納されたすべての基板10の搬出が完了すると、基板枚葉送り出し装置走行機構26は図10(a)における上側に移動し、基板枚葉送り出し装置11Bをプロセス側基板搬送コンベアの前に位置させる。カセット11Aの最終基板に続けて基板枚葉送り出し装置1Bによりカセット11Bの最下段基板から搬出を継続する。これらのカセット切り替え動作は、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。
また、基板枚葉送り出し装置1Aはカセット昇降機構18を上昇端まで上昇させ、カセット供給手段に対してカセット11Aの交換を要求する。カセットの交換は他方のカセットに収納されたすべての基板搬出が完了するまでに行われれば、プロセス装置40への基板供給が途絶えることはない。
【0034】
この実施形態5によると、平板状の基板10を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置1を用い、この基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置40へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、基板枚葉送り出し装置1を、基板搬送方向と直交する水平軸に沿って所定の位置関係を取れるように一体的に移動可能な2台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bによって構成し、これらの基板枚葉送り出し装置1A,1Bから順次搬出された基板をプロセス装置40側に設置されたプロセス側走行式基板搬送コンベア3のみによってプロセス装置40へ供給するようにしたので、ラインの基板搬送中心に対してそれぞれの基板搬送中心を合わせることが可能となり、これにより、基板搬送途中での搬送中心や搬送高さの切り替えが一切無くなり基板10の往復搬送工程が皆無となる。従って、プロセス装置40の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
また、基板10の搬送経路がプロセス装置40に向かって直線搬送のみであるため、基板10の搬送条件が全工程にわたってプロセス装置40の要求搬送速度となる。従って、基板搬送速度は必要最低限とすることができ基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができるため製品の品質を維持できる。
さらに、基板を枚葉単位で頻繁に走行・昇降させる必要がなくなったので、設備の信頼性が向上し安全性が増すとともに、消費エネルギーを抑制することが可能である。
また、基板搬送システムの基板供給方向に対する全長が短くできるため、ライン長の短縮が可能である。従って、クリーンルームの占有面積を削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0035】
実施の形態6.
この発明の実施の形態6を図11〜13に基づいて説明する。
図11は、実施の形態6の基板搬送システムを示す構成図であり、(a)は平面図、(b)は側面図を示している。
この実施形態6は、上述の実施形態1のように2層昇降式基板搬送コンベア5を用いることなく同様の効果を発揮するためになされたもので、昇降式基板搬送コンベア4、2層走行式基板搬送コンベア5を廃止しプロセス側基板搬送コンベア3のみとし、走行式基板搬送コンベア2の代わりに、基板直交搬送コンベア27A,27B及び基板待機コンベア28を設けたものである。
【0036】
図12は、基板直交搬送コンベア27の構成を示すもので、(a)は上面図、(b)側面図、(c)は正面図である。
基板直交搬送コンベア27は、図12のごとく主基板搬送コンベア29と主基板搬送コンベア29の搬送ローラの隙間から主基板搬送コンベア29の搬送面に対して垂直に浮上、沈下する搬送面をもつ副基板搬送コンベア30と副基板搬送コンベアを浮上・沈下させる浮上機構31を備えている。
【0037】
次に実施の形態6の動作を図11及び図13を用いて説明する。
基板枚葉送り出し装置1A,1Bへのカセット11A,11Bの供給及び搬出は、図示されていないAGVなどの自動搬送台車や手押し台車、または自動倉庫のスタッカクレーンなどのカセット供給手段により行われる。
【0038】
いま、基板枚葉送り出し装置1Bからプロセス装置への基板供給が行われており、基板枚葉送り出し装置1Aには基板の収納されたカセットが供給されているものとする。また、基板10Cをカセット11Bの最終基板とする。
基板枚葉送り出し装置1Bはプロセス装置40の基板搬送速度条件に合わせて基板の枚葉搬出を行う。例えば、洗浄装置へ供給する場合は、UV照射プロセスの制約から低速(例えば、4m/min)となり、かつラインのサイクルタイムを満たすために連続搬送となる。
【0039】
基板枚葉送り出し装置1Bから搬出された基板10Bが基板直交搬送コンベア27Bに到達するとともに、基板枚葉送り出し装置1Bは、基板収納ピッチ分だけカセット11Bを下降させ、基板送り出しコンベア17に最終基板10Cを積載する。最終基板10Cの搬出タイミングは、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。また、基板枚葉送り出し装置1Aは基板枚葉送り出し装置1Bからの基板搬出中に基板10D、10Eを基板待機コンベア28、基板直交搬送コンベア27Aまで搬出して待機する(図13(a))。
【0040】
基板10Cが基板直交搬送コンベア27Bに搬出完了すると、基板枚葉送り出し装置1Bはカセット昇降機構18を上昇端まで上昇し、カセット供給手段に対してカセット11Bの交換を要求する。カセットの交換は他方のカセットに収納されたすべての基板搬出が完了するまでに行われれば、プロセス装置40への基板供給が途絶えることはない。
【0041】
基板10Cがプロセス側基板搬送コンベア3に移載完了するるとともに、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を上昇し副基板搬送コンベア30を浮上させ基板待機コンベア28上の基板10Dを副基板搬送コンベア30上に高速で受け取る。受け取り完了とともに、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を下降させ主基板搬送コンベア29上に基板10Dを移載する。基板待機コンベア25から基板直交搬送コンベア27Bへの基板搬送動作は、ラインのサイクルタイムにあわせて行われる。(図13(b))。
【0042】
基板直交搬送コンベア27Aの浮上装置31を上昇し副基板搬送コンベア30を浮上させ、主基板搬送コンベア29上の基板10Eを副基板搬送コンベア30に積載する。基板10Eを空になった基板待機コンベア28に搬送する。移載完了後、基板直交搬送コンベア27Aの浮上装置31を下降し副基板搬送コンベア30を沈下させる。 (図13(c))。
基板10B〜10Dのプロセス装置40への供給はプロセス装置40の速度条件に従って連続搬送にて行われる。基板直交搬送コンベア27Aから基板待機コンベア28への基板10Eの搬送は基板10Dのプロセス側基板搬送コンベア3への到達よりも早い(図13(d))。
基板枚葉送り出し装置1Aから基板直交搬送コンベア27Aに次基板10Fを搬出する(図13(e))。
基板10Dがプロセス側基板搬送コンベアに移載完了すると、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を上昇し副基板搬送コンベア30を浮上させ基板待機コンベア28上の基板10Eを副基板搬送コンベア30上に受け取る。受け取り完了とともに、基板直交移載コンベア27Bの浮上装置31を下降させ主基板搬送コンベア29上に基板10Eを移載する(図13(f))。
以降、カセット11Aに収納された基板枚数分だけ繰り返し搬出を行う。
【0043】
カセット11Aに収納されたすべての基板の搬出が完了すると、基板枚葉送り出し装置1Aのカセット昇降機構18を上昇端まで上昇させ、カセット供給手段に対してカセットの交換を要求する。
また、カセット11Aの最終基板が基板直交搬送コンベア27Bに到達する前までに、基板枚葉送り出し装置1Bのカセット交換が完了し、最下段の基板が基板枚葉送り出し装置1Bの基板送り出しコンベア17に積載されている。
従って、カセット11Aの最終基板が基板直交搬送コンベア27Bに到達しプロセス側基板搬送コンベア3に搬出を開始すると同時に、基板枚葉送り出し装置1Bからの基板供給が継続される。
【0044】
この実施形態6によると、平板状の基板10を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置1を用い、この基板枚葉送り出し装置1から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置40へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、基板枚葉送り出し装置1を複数台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bによって構成し、これらの基板枚葉送り出し装置1A,1Bとプロセス装置40間に、基板枚葉送り出し装置と同数の基板直交搬送コンベア27A,27Bと、これらの基板直交搬送コンベア27A,27B間を接続する基板待機コンベア28と、プロセス装置40に基板を供給するプロセス側基板搬送コンベア3とを配置し、複数台の基板枚葉送り出し装置1A,1Bのうちプロセス装置40と直線の搬送経路で結ばれる基板枚葉送り出し装置1Bの搬送経路に隣接して基板を待機させるようにしたので、基板枚葉送り出し装置1A側からの基板供給時に、低速搬送が要求されるプロセス装置側基板搬送コンベア3と隣接した基板待機コンベア28に次基板を待機させることができ、基板10の供給に必要な時間が短縮できる。従って、プロセス装置40の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができる。
また、次基板の供給に走行式基板搬送コンベア2のような往復動作を伴う基板搬送手段を使用しないので、基板10の搬送速度を低減することが可能である。従って、基板10への振動・衝撃を最小に抑えることができ製品の品質を維持できる。
さらに、基板10を枚葉単位で頻繁に走行・昇降させる必要がなくなったので、設備の信頼性が向上し安全性が増すとともに、消費エネルギーを抑制することが可能である。
また、占有スペースは従来の方式より抑えることができるため、クリーンルームの占有面積を削減できクリーンルームの小型化が可能となり、建築費用の削減とともにクリーン度維持のための消費エネルギーを削減することが可能である。
【0045】
なお、上記各実施の形態では、FPD基板のローディングについて説明したが、FPD基板のアンローディングについても、搬送方向が逆になるのみでその構成・配置・効果は変わりない。
また、すべての実施形態において、基板搬送手段としてローラコンベアを代表的に記載しているが、搬送手段を限定するものではないため、その他の搬送手段であってもかまわない。
【0046】
さらに、基板の搬送姿勢として水平搬送を代表的に記載しているが、搬送姿勢を限定するものではないため、その他姿勢(例えば、傾斜、垂直)であってもかまわないし、2層昇降式基板搬送コンベアの昇降方向は、鉛直方向を代表的に示しているが、昇降方向を限定するものではないため、基板の搬送姿勢によって斜めや水平であってもかまわない。
例えば、上記のように平板状の基板を鉛直あるいは搬送方向の軸回りに傾斜しその角度が鉛直に近い姿勢で水平方向に搬送する場合には、走行機構を有する走行式基板搬送コンベアと、走行機能を有する2層構造の2層走行式基板搬送コンベアを備え、2層走行式基板搬送コンベアは2層構造の左右基板搬送コンベア間の水平距離分だけ基板搬送方向と直交する水平軸に沿って移動自在とし、走行式基板搬送コンベアは2層走行式基板搬送コンベアの左端位置における左側基板搬送コンベアと右端位置における右側基板搬送コンベア及び走行式基板搬送コンベアとの基板受渡し位置との間を水平方向に移動自在とし、走行式基板搬送コンベアと2層走行式基板搬送コンベアとの基板移載と、2層走行式コンベアとプロセス装置との基板移載を独立した速度で、並行して行いうるように構成すれば良い。
【0047】
【発明の効果】
以上のようにこの発明は、平板状の基板を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、プロセス装置への基板の供給速度に応じて第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層を有する2層構造の可動式基板搬送コンベアを備え、第1位置で第1の層に基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、第2の層から基板をプロセス装置へ供給し、第2位置で第2の層に基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、第1の層から基板をプロセス装置へ供給するようにしたものであり、これによりプロセス装置の基板搬送条件を満たしながら搬送システムとしての処理能力を満足できるとともに、製品の品質低下要因を排除しイニシャルコスト及びランニングコストを削減し、さらに作業性の良いラインを構築することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1に係る基板搬送システムを示す構成図である。
【図2】実施の形態1に用いる基板を収納するカセットの模式図である。
【図3】実施の形態1に用いる基板枚葉送り出し装置の構造図である。
【図4】実施の形態1に用いる昇降式基板搬送コンベアの構造図である。
【図5】実施の形態1に用いる2層昇降式基板搬送コンベアの構造図である。
【図6】実施の形態1の動作説明図である。
【図7】実施の形態2の基板搬送システムを示す構成図である。
【図8】実施の形態3の基板搬送システムを示す構成図である。
【図9】実施の形態4の基板搬送システムを示す構成図である。
【図10】実施の形態5の基板搬送システムを示す構成図である。
【図11】実施の形態6の基板搬送システムを示す構成図である。
【図12】実施の形態6に用いる基板直交搬送コンベアの構造図である。
【図13】実施形態6の動作説明図である。
【符号の説明】
1,1A,1B 基板枚葉送り出し装置
2 走行式基板搬送コンベア
3 プロセス側基板搬送コンベア
4 昇降式基板搬送コンベア
5 2層昇降式基板搬送コンベア
10,10A〜10G 基板
11,11A,11B カセット
17 基板送り出しコンベア
18 カセット昇降機構
19 基板搬送コンベア
20 コンベア昇降機構
21A 上段基板搬送コンベア
21B 下段基板搬送コンベア
22 2層コンベア昇降機構
23 自動倉庫
24 スタッカクレーン
25 基板待機コンベア
26 基板枚葉送り出し装置走行機構
27A,27B 基板直交搬送コンベア
28 基板待機コンベア
29 主基板搬送コンベア
30 副基板搬送コンベア
31 浮上装置
40 プロセス装置
Claims (12)
- 平板状の基板を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、上記基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、
上記プロセス装置への上記基板の供給速度に応じて第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層を有する2層構造の可動式基板搬送コンベアを備え、上記第1位置で上記第1の層に上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、上記第2の層から基板を上記プロセス装置へ供給し、
上記第2位置で上記第2の層に上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取ると共に、上記第1の層から基板を上記プロセス装置へ供給するようにしたことを特徴とする基板搬送システム。 - 上記基板枚葉送り出し装置と上記2層構造の基板搬送コンベアとの間に、上記2層構造の基板搬送コンベアの移動動作に応じて移動する可動式基板搬送コンベアを配置し、上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を、上記第1の層及び第2の層に交互に搬送するようにしたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送システム。
- 平板状の基板を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、上記基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、
上記プロセス装置側に、上記プロセス装置への上記基板の供給速度に応じて鉛直方向の第1位置と第2位置に交互に移動し、それぞれ異なる位置で上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取る第1及び第2の層を有する2層構造の昇降式基板搬送コンベアを配置すると共に、
この2層昇降式基板搬送コンベアと上記基板枚葉送り出し装置との間に、上記基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を受け取り、上記2層昇降式基板搬送コンベアの上記第1及び第2位置への昇降動作に応じて昇降する昇降式基板搬送コンベアを配置し、
上記第1位置で上記第1の層に上記昇降式基板搬送コンベアから搬送された基板を受け取ると共に、上記第2の層から基板を上記プロセス装置へ供給し、
上記第2位置で上記第2の層に上記昇降式基板搬送コンベアから搬送された基板を受け取ると共に、上記第1の層から基板を上記プロセス装置へ供給するようにしたことを特徴とする基板搬送システム。 - 上記昇降式基板搬送コンベアと上記2層昇降式基板搬送コンベアとの基板移載と、上記2層昇降式基板搬送コンベアと上記プロセス装置との基板移載とを独立した速度で並行して行うようにしたことを特徴とする請求項3記載の基板搬送システム。
- 上記基板枚葉送り出し装置を複数台配置し、これらの基板枚葉送り出し装置と上記昇降式基板搬送コンベアとの間に、各基板枚葉送り出し装置から搬出された上記基板を順次受け取り、上記昇降式基板搬送コンベアと対向する所定位置まで移動させて、上記昇降式基板搬送コンベアに搬送する走行式基板搬送コンベアを配置したことを特徴とする請求項3または4記載の基板搬送システム。
- 上記走行式基板搬送コンベアをその下部に作業者が横断可能な空間が形成される位置に配置すると共に、上記昇降式基板搬送コンベアの昇降ストロークを上記走行式基板搬送コンベアと上記2層昇降式基板搬送コンベアとの間を昇降し得る大きさに設定したことを特徴とする請求項5記載の基板搬送システム。
- 上記基板枚葉送り出し装置を1台のみとし、この基板枚葉送り出し装置から上記昇降式基板搬送コンベアに基板を直接搬送すると共に、上記2層昇降式基板搬送コンベアまでの基板搬送速度を上記プロセス装置への基板供給速度よりもわずかに高めに設定したことを特徴とする請求項3記載の基板搬送システム。
- 上記基板枚葉送り出し装置と上記昇降式基板搬送コンベアとの間に、基板待機コンベアを配置し、上記2層昇降式基板搬送コンベアまでの基板搬送速度を上記プロセス装置への基板供給速度よりわずかに高めに設定したことを特徴とする請求項3記載の基板搬送システム。
- 平板状の基板を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、上記基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、
上記基板枚葉送り出し装置を、基板搬送方向と直交する水平軸に沿って所定の位置関係を取れるように一体的に移動可能な2台の基板枚葉送り出し装置によって構成し、これらの基板枚葉送り出し装置から順次搬出された基板を上記プロセス装置側に設置されたプロセス側走行式基板搬送コンベアのみによって上記プロセス装置へ供給するようにしたことを特徴とする基板搬送システム。 - 上記基板枚葉送り出し装置は上記プロセス装置への基板供給速度に合わせて基板の枚葉搬送を行うことを特徴とする請求項8記載の基板搬送システム。
- 平板状の基板を枚葉送出する基板枚葉送り出し装置を用い、この基板枚葉送り出し装置から搬出された基板を水平方向に搬送し、上記基板に所定の処理を行うプロセス装置へ枚葉単位で供給する基板搬送システムにおいて、
上記基板枚葉送り出し装置を複数台の基板枚葉送り出し装置によって構成し、
これらの基板枚葉送り出し装置と上記プロセス装置間に、上記基板枚葉送り出し装置と同数の基板直交搬送コンベアと、これらの基板直交搬送コンベア間を接続する基板待機コンベアと、上記プロセス装置に上記基板を供給するプロセス側基板搬送コンベアとを配置し、
上記複数台の基板枚葉送り出し装置のうち上記プロセス装置と直線の搬送経路で結ばれる基板枚葉送り出し装置の搬送経路に隣接して基板を待機させるようにしたことを特徴とする基板搬送システム。 - 上記基板直交搬送コンベア、基板待機コンベア及びプロセス側基板搬送コンベア上に各1枚の基板を待機させるようにしたことを特徴とする請求項11記載の基板搬送システム。
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