JP5921859B2 - 基板処理システム及び制御装置及びプログラム及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
2 群管理装置
3 基板処理装置
4 コントローラ
5 制御装置
6 演算制御部
7 記憶部
12 データ格納領域
13 プログラム格納領域
14 パラメータ退避プログラム
15 パラメータ設定変更プログラム
16 比較プログラム
18 処理開始許可プログラム
19 現在パラメータ格納エリア
21 変更パラメータ登録エリア
22 作業開始前パラメータ退避エリア
23 比較結果格納エリア
73 変更パラメータ登録画面
Claims (4)
- 基板を処理する基板処理装置と、装置パラメータを退避させる退避手段と、前記装置パラメータの各設定値を設定する設定手段と、前記退避手段により退避させた前記装置パラメータと前記設定手段に設定された前記装置パラメータとを比較する比較手段と、を少なくとも有する制御装置と、を有する基板処理システムであって、
前記制御装置は、
メンテナンス作業前に変更する前記装置パラメータを登録する登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータのパラメータ名及び装置パラメータ値を登録させるメンテナンス作業前の装置パラメータ変更処理と、
メンテナンス作業後に前記登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータの前記パラメータ名及び前記装置パラメータ値を登録させる処理と、
メンテナンス作業前とメンテナンス作業後にそれぞれ登録された前記装置パラメータの前記パラメータ名を比較する処理と、
前記退避手段により退避させた前記装置パラメータの前記装置パラメータ値とメンテナンス作業後に登録された前記装置パラメータ値とを比較し、比較結果が不一致の場合に成膜処理の開始を禁止する警告メッセージを前記登録画面に表示する処理と、
前記警告メッセージの内容に従って前記装置パラメータ値を修正し、該装置パラメータ値の比較結果を全て一致させて、変更した該装置パラメータを元に戻す処理と、
を有するメンテナンス作業後の装置パラメータ復旧処理と、
を実行することを特徴とする基板処理システム。 - 装置パラメータを退避させる退避手段と、前記装置パラメータの各設定値を設定する設定手段と、前記退避手段により退避させた前記装置パラメータと前記設定手段に設定された前記装置パラメータとを比較する比較手段と、を少なくとも有する制御装置であって、
メンテナンス作業前に変更する前記装置パラメータを登録する登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータのパラメータ名及び装置パラメータ値を登録させるメンテナンス作業前の装置パラメータ変更処理と、
メンテナンス作業後に前記登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータの前記パラメータ名及び前記装置パラメータ値を登録させる処理と、
メンテナンス作業前とメンテナンス作業後にそれぞれ登録された前記装置パラメータの前記パラメータ名を比較する処理と、
前記退避手段により退避させた前記装置パラメータの前記装置パラメータ値とメンテナンス作業後に登録された前記装置パラメータ値とを比較し、比較結果が不一致の場合に成膜処理の開始を禁止する警告メッセージを前記登録画面に表示する処理と、
前記警告メッセージの内容に従って前記装置パラメータ値を修正し、該装置パラメータ値の比較結果を全て一致させて、変更した該装置パラメータを元に戻す処理と、
を有するメンテナンス作業後の装置パラメータ復旧処理と、
を実行する制御装置。 - 装置パラメータを退避させる退避手段と、前記装置パラメータの各設定値を設定する設定手段と、前記退避手段により退避させた前記装置パラメータと前記設定手段に設定された前記装置パラメータとを比較する比較手段と、を少なくとも有する制御装置で実行されるプログラムであって、
前記制御装置に、
メンテナンス作業前に変更する前記装置パラメータを登録する登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータのパラメータ名及び装置パラメータ値を登録させるメンテナンス作業前の装置パラメータ変更処理と、
メンテナンス作業後に前記登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータの前記パラメータ名及び前記装置パラメータ値を登録させる処理と、
メンテナンス作業前とメンテナンス作業後にそれぞれ登録された前記装置パラメータの前記パラメータ名を比較する処理と、
前記退避手段により退避させた前記装置パラメータの前記装置パラメータ値とメンテナンス作業後に登録された前記装置パラメータ値とを比較し、比較結果が不一致の場合に成膜処理の開始を禁止する警告メッセージを前記登録画面に表示する処理と、
前記警告メッセージの内容に従って前記装置パラメータ値を修正し、該装置パラメータ値の比較結果を全て一致させて、変更した該装置パラメータを元に戻す処理と、
を有するメンテナンス作業後の装置パラメータ復旧処理と、
を実行させるプログラム。 - メンテナンス作業前に変更する前記装置パラメータを登録する登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータのパラメータ名及び装置パラメータ値を登録させるメンテナンス作業前の装置パラメータ変更処理と、
メンテナンス作業後に前記登録画面を表示し、該登録画面上で、選択された前記装置パラメータの前記パラメータ名及び前記装置パラメータ値を登録させる処理と、
メンテナンス作業前とメンテナンス作業後にそれぞれ登録された前記装置パラメータの前記パラメータ名を比較する処理と、
退避手段により退避させた前記装置パラメータの前記装置パラメータ値とメンテナンス作業後に登録された前記装置パラメータ値とを比較し、比較結果が不一致の場合に成膜処理の開始を禁止する警告メッセージを前記登録画面に表示する処理と、
前記警告メッセージの内容に従って前記装置パラメータ値を修正し、該装置パラメータ値の比較結果を全て一致させて、変更した該装置パラメータを元に戻す処理と、
メンテナンス作業前の前記装置パラメータ値を用いて成膜処理を行う為のレシピを実行して、基板を処理する処理と、
を有する半導体装置の製造方法。
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