JP4916715B2 - 電子部品 - Google Patents
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Description
実施例に係る複数のキャパシタ素子および比較例に係る複数のキャパシタ素子について、高温高湿試験を行った。具体的には、各キャパシタ素子を、環境温度85℃および湿度95%の条件下に1000時間放置した。その結果、実施例に係る複数のキャパシタ素子においては、試験の前後でキャパシタンスの値に変化はなく、また、電極膜11(下位電極膜)と誘電体膜13の間に剥離は確認されなかった。これに対し、比較例に係る複数のキャパシタ素子の一部では、試験後にキャパシタンスの大幅な低下が生じ、キャパシタンスの低下したキャパシタ素子では、下位電極膜と誘電体膜の間に剥離が生じていることを確認した。剥離の有無は、キャパシタ素子に対して集束イオンビーム(FIB)加工を施して現れた所定断面についてのSEM観察により判定した。本高温高湿試験のこのような結果から、実施例のキャパシタ素子は、比較例のキャパシタ素子よりも、下位電極膜と誘電体膜の密着性に優れることが判る。
実施例に係る別の複数のキャパシタ素子および比較例に係る別の複数のキャパシタ素子について、耐熱性試験を行った。具体的には、各キャパシタ素子を、環境温度を150℃から260℃に昇温させた後に260℃から150℃に降温させる工程を1サイクルとして、これを4サイクル行う試験に付した。その結果、実施例に係る複数のキャパシタ素子においては、電極膜11(下位電極膜)と誘電体膜13の間に剥離は確認されなかった。これに対し、比較例に係る複数のキャパシタ素子の一部では、下位電極膜と誘電体膜の間に剥離が生じた。剥離の有無は、キャパシタ素子に対してFIB加工を施して現れた所定断面についてのSEM観察により判定した。本熱サイクル試験のこのような結果からも、実施例のキャパシタ素子は、比較例のキャパシタ素子よりも、下位電極膜と誘電体膜の密着性に優れることが判る。
実施例および比較例のキャパシタ素子について、耐電圧を測定した。実施例および比較例のキャパシタ素子の耐電圧は、各々、230Vおよび140Vであった。このように、実施例のキャパシタ素子は、比較例のキャパシタ素子よりも高い耐電圧を示した。
S 基板
10,10A,10B キャパシタ
11,12 電極膜
11a 下地密着層
11b 主導電層
11c 密着金属層
11c’ 酸化被膜
13 誘電体膜
20 コイルインダクタ
30A,30B,30C,30D 電極パッド
40 配線
41 第1配線部
42 第2配線部
43 第3配線部
50 保護膜
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1電極膜、当該第1電極膜に対向する第2電極膜、並びに、当該第1および第2電極膜の間の誘電体膜、からなる積層構造を有するキャパシタ部と、
前記基板上に設けられた配線膜と、
を備え、
前記第1電極膜は、前記誘電体膜の側に酸化被膜を有して当該誘電体膜と接合している密着金属層、を含む多層構造を有し、
前記配線膜は、前記第1電極膜の多層構造から前記密着金属層を除いた層構造を有し、
前記第1電極膜における前記密着金属層以外の部位と前記配線膜とは連続している、電子部品。 - 前記密着金属層は、Ti,Cr,Taからなる群より選択される金属を含む、請求項1に記載の電子部品。
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1電極膜、当該第1電極膜に対向する第2電極膜、並びに、当該第1および第2電極膜の間の誘電体膜、からなる積層構造を有するキャパシタ部と、
前記基板上に設けられた配線膜と、
を備え、
前記第1電極膜は、Ti,Cr,Taからなる群より選択される金属を含んで前記誘電体膜と接合している密着金属層、を含む多層構造を有し、
前記配線膜は、前記第1電極膜の多層構造から前記密着金属層を除いた層構造を有し、
前記第1電極膜における前記密着金属層以外の部位と前記配線膜とは連続している、電子部品。 - 前記第1電極膜は、前記密着金属層に含まれる前記金属を含んで前記基板と接合する密着層を含む、請求項2または3に記載の電子部品。
- 前記第1電極膜は、Cu,Au,Ag,Alからなる群より選択される金属を含む主導電層を含む、請求項1から4のいずれか一つに記載の電子部品。
- 前記基板上に設けられた受動部品を更に備え、前記配線膜は、当該受動部品と前記キャパシタ部との間の電気的経路の少なくとも一部を構成する、請求項1から5のいずれか一つに記載の電子部品。
- 前記基板上に設けられた電極パッドを更に備え、前記配線膜は、当該電極パッドと前記キャパシタ部との間の電気的経路の少なくとも一部を構成する、請求項1から6のいずれか一つに記載の電子部品。
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