JP4906496B2 - 半導体パッケージ - Google Patents
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Description
前記基板が、
前記光機能素子からの熱をその基板の背面から放散させるための第1の放熱経路及び該放熱経路の基板から露出した終端に取り付けられた放熱手段、及び
前記半導体パッケージのウィンドウリッドにおいて発生した熱をその背面及び(又は)側面から放散させるための第2の放熱経路及び該放熱経路の基板から露出した終端に取り付けられた放熱手段
を組み合わせて有していることを特徴とする半導体パッケージにある。なお、「放熱経路」なる語は、それを本願明細書において使用した場合、光機能素子からの熱を放熱手段まで伝達させるための経路を指しているので、「伝熱経路」とも呼ぶことができる。
光透過用開口部(参照番号4に対応する空間)を備え、その光透過開口部に透光部材4が接合された第1の平板状リッド部31、及び
内部キャビティ13を規定するものであって、その上面で第1のリッド部31をその周縁部で保持しかつその下面で基板2の素子搭載面に接合した第2の枠状リッド部32とからなる。第1のリッド部31及び第2の枠状リッド部32は、それぞれ、好ましくは矩形であるが、DMDパッケージによってはその他の形状を有していてもよい。また、両リッド部の接合は、いろいろな方法を使用して実施できるが、以下に記載するようにそれらの部材は金属もしくはその合金から形成されていることを考慮した場合、例えば、シームウェルド(抵抗溶接)で行うが好適である。その他の方法としては、例えば、レーザー溶接などを挙げることができる。
(1)光機能素子1からの熱を基板2の背面から放散させるための第1の放熱経路11及び基板2から露出した放熱経路11の終端に取り付けられた放熱手段12、及び
(2)半導体パッケージ10のウィンドウリッド3において発生した熱を基板2の背面及び(又は)側面から放散させるための第2の放熱経路21及び基板2から露出した放熱経路21の終端に取り付けられた放熱手段22
の組み合わせからなる。放熱効果を高めるため及び構成を単純化するため、放熱経路11及び21は、それぞれ、光機能素子1の直下及びウィンドウリッド3(32)の直下に位置するように形成することが好ましい。
本例では、図2に示したような構成を有するDMDパッケージを作製した。
鉄ニッケルコバルト系合金(商品名「コバール(登録商標)」、日立金属社製)をプレス成形して、2つのリッド部材を作製した。1つのリッド部材は、そのほぼ中央に光透過用の開口部を有する第1の平板状矩形リッドである。もう1つのリッド部材は、第1の平板状矩形リッドとほぼ同じ大きさをもった第2の枠状リッド(リッドリング)である。
アルミナのグリーンシートを用意し、その表面にタングステン(W)からなる導電ペーストを所定のパターンで印刷して配線層を形成した。次いで、サーマルビアが位置する部位(すなわち、DMDチップの直下及びウィンドウリッドの枠状リッドの直下)を選択して、多層配線基板にスルーホールをパンチングした。DMDチップのためのスルーホールの直径は約0.5mm、そして枠状リッドのためのスルーホールの直径は約1.0mmであった。次いで、所要の数のグリーンシートを重ね合わせて積層し、サーマルビア用の熱伝導性材料(モリブデンペースト)を印刷した。その後、積層体を焼結した。焼結条件は、ピーク温度:約1,500℃、時間(合計):約2.5日であった。このようにして、サーマルビア付きの多層配線基板が得られた。
引き続いて、上記のようにして作製したDMDユニットの第2の枠状リッドの上面に第1のリッド部材をシームウェルド法で溶着した。最後に、基板から露出したサーマルビアの下方端面に、それぞれ、ヒートスラグを取り付けた。本例で使用したヒートスラグは、アルミニウムからできていた。このようにして、放熱のためのヒートスラグを備えたDMDパッケージが完成した。
2 絶縁性基板
3 ウィンドウリッド
4 透光部材
10 半導体パッケージ
11 第1の放熱経路
12 放熱手段
13 内部キャビティ
21 第2の放熱経路
22 放熱手段
Claims (10)
- 光の照射により機能する光機能素子を絶縁性基板上に搭載するとともに、光透過用開口部を備え、その開口部に透光部材が接合されたウィンドウリッドで前記基板の素子搭載面を気密封止した半導体パッケージにおいて、
前記基板が、多層配線基板であって、
前記光機能素子からの熱をその基板の背面から放散させるための、第1の伝熱経路及び該伝熱経路の基板から露出した終端に取り付けられた熱放散のための放熱手段、及び
前記半導体パッケージのウィンドウリッドにおいて発生した熱を前記基板の側面から放散させるための、第2の伝熱経路及び該伝熱経路の基板から露出した終端に取り付けられた熱放散のための放熱手段
を組み合わせて有していることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記ウィンドウリッドが、
光透過用開口部を備え、その開口部に透光部材が接合された第1の平板状リッド部と、
前記基板及び前記第1の平板状リッド部とともに内部キャビティを規定するものであって、その上面で前記第1のリッド部をその周縁部で保持しかつその下面で前記基板の素子搭載面に接合した第2の枠状リッド部と
からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1及び第2の伝熱経路が、前記基板の少なくとも一部を厚さ方向に貫通した熱伝導性材料充填のサーマルビアを含み、前記サーマルビアが、熱伝導性の材料からなり、かつサーマルビアが、前記光機能素子の直下及び前記基板に対するウィンドウリッドの取り付け部の直下にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体パッケージ。
- 前記透光部材がガラスからなり、ガラスとほぼ同じ熱膨張係数を有する材料から前記ウィンドウリッドが形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記ウィンドウリッドがFeNiCo系合金からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記放熱手段が、ヒートスラグ、ヒートシンク及び放熱フィンからなる群から選ばれることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1及び第2の伝熱経路の材料が、0.34cal/cm・sec・℃以上の熱伝導度を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1及び第2の伝熱経路の材料が、モリブデン、タングステン、金、銀、銅及びアルミニウムからなる群から選択された金属もしくはその合金からなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- デジタル・マイクロミラー・デバイスであることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- リアプロジェクション型液晶テレビの構成に用いられることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
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US8247895B2 (en) * | 2010-01-08 | 2012-08-21 | International Business Machines Corporation | 4D device process and structure |
US7888852B1 (en) * | 2010-02-22 | 2011-02-15 | Wen-Kung Sung | LED heat dissipation structure |
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KR20130107780A (ko) * | 2012-03-23 | 2013-10-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 방열성을 향상시킨 칩 온 필름 패키지 |
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JP6046421B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-12-14 | 京セラ株式会社 | 配線基板および電子装置 |
US9244107B2 (en) * | 2012-11-12 | 2016-01-26 | Marvell World Trade Ltd. | Heat sink blade pack for device under test testing |
JP5364838B1 (ja) * | 2012-11-30 | 2013-12-11 | Jx日鉱日石金属株式会社 | キャリア付銅箔 |
JP2014138046A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体発光素子パッケージ固定構造 |
US9142695B2 (en) * | 2013-06-03 | 2015-09-22 | Optiz, Inc. | Sensor package with exposed sensor array and method of making same |
JP2015094798A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、投射型表示装置および電気光学装置の製造方法 |
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JP2017050315A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | イビデン株式会社 | プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 |
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US10325828B2 (en) * | 2016-03-30 | 2019-06-18 | Qorvo Us, Inc. | Electronics package with improved thermal performance |
JP6947240B2 (ja) * | 2016-04-15 | 2021-10-13 | 株式会社Jvcケンウッド | 光デバイス |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4771365A (en) * | 1987-10-30 | 1988-09-13 | Honeywell Inc. | Passive cooled electronic chassis |
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JP2861981B2 (ja) * | 1997-04-11 | 1999-02-24 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の冷却構造 |
US5907474A (en) * | 1997-04-25 | 1999-05-25 | Advanced Micro Devices, Inc. | Low-profile heat transfer apparatus for a surface-mounted semiconductor device employing a ball grid array (BGA) device package |
JP2001051292A (ja) * | 1998-06-12 | 2001-02-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置および半導体表示装置 |
GB9818474D0 (en) * | 1998-08-26 | 1998-10-21 | Hughes John E | Multi-layer interconnect package for optical devices & standard semiconductor chips |
US20010038140A1 (en) * | 2000-04-06 | 2001-11-08 | Karker Jeffrey A. | High rigidity, multi-layered semiconductor package and method of making the same |
JP3467454B2 (ja) * | 2000-06-05 | 2003-11-17 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6683512B2 (en) * | 2001-06-21 | 2004-01-27 | Kyocera Corporation | High frequency module having a laminate board with a plurality of dielectric layers |
US6894853B2 (en) * | 2002-05-10 | 2005-05-17 | Texas Instruments Incorporated | Stress relieved frame |
US20040080917A1 (en) * | 2002-10-23 | 2004-04-29 | Steddom Clark Morrison | Integrated microwave package and the process for making the same |
JP2005101337A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Kyocera Corp | 光半導体装置 |
JP4459031B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2010-04-28 | 京セラ株式会社 | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 |
JP2005311107A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光学半導体装置 |
JP2006071879A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Sony Corp | 光学装置及び画像生成装置 |
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